JPH08180473A - 光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法 - Google Patents
光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法Info
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- JPH08180473A JPH08180473A JP33535594A JP33535594A JPH08180473A JP H08180473 A JPH08180473 A JP H08180473A JP 33535594 A JP33535594 A JP 33535594A JP 33535594 A JP33535594 A JP 33535594A JP H08180473 A JPH08180473 A JP H08180473A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 紫外線硬化樹脂硬化時に発生する歪みを、少
なくとも有効エリア領域内では抑止した、高精度なスタ
ンパーを作成できる光記録媒体用スタンパー原盤の製造
方法を提供する。 【構成】 プリフォーマットを有するオリジナル型を用
いて成型したセルに紫外線硬化樹脂を注入し、該紫外線
硬化樹脂を硬化してスタンパー原盤を製造する方法にお
いて、紫外線を照射する領域を区分し、各領域に紫外線
の強度を変えて照射して紫外線硬化樹脂を硬化させる
か、又は紫外線を照射する領域を区分し、各々の領域に
紫外線を段階的に照射して紫外線硬化樹脂を硬化させる
光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法。
なくとも有効エリア領域内では抑止した、高精度なスタ
ンパーを作成できる光記録媒体用スタンパー原盤の製造
方法を提供する。 【構成】 プリフォーマットを有するオリジナル型を用
いて成型したセルに紫外線硬化樹脂を注入し、該紫外線
硬化樹脂を硬化してスタンパー原盤を製造する方法にお
いて、紫外線を照射する領域を区分し、各領域に紫外線
の強度を変えて照射して紫外線硬化樹脂を硬化させる
か、又は紫外線を照射する領域を区分し、各々の領域に
紫外線を段階的に照射して紫外線硬化樹脂を硬化させる
光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光記録媒体用基板の製
造に用いるスタンパー作製用原盤の製造方法に関するも
のである。
造に用いるスタンパー作製用原盤の製造方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、光記録媒体用スタンパー原盤
の一般的製造方法として、オリジナル型とレプリカ用基
板との少なくとも何れか一方に、紫外線硬化樹脂（以下
２Ｐ樹脂と称する）を塗布又は滴下（以下ディスペンス
と称する）し、その後オリジナル型とレプリカ用基板と
を重ね合わせて２Ｐ樹脂を展伸（以下スプレッドと称す
る）し、その状態で少なくとも何れか一方より光を照射
し２Ｐ樹脂を硬化し、その後オリジナル型とレプリカ用
基板とを剥離して、レプリカ用基板上に２Ｐ樹脂レプリ
カを転写する方法が行なわれていた。
の一般的製造方法として、オリジナル型とレプリカ用基
板との少なくとも何れか一方に、紫外線硬化樹脂（以下
２Ｐ樹脂と称する）を塗布又は滴下（以下ディスペンス
と称する）し、その後オリジナル型とレプリカ用基板と
を重ね合わせて２Ｐ樹脂を展伸（以下スプレッドと称す
る）し、その状態で少なくとも何れか一方より光を照射
し２Ｐ樹脂を硬化し、その後オリジナル型とレプリカ用
基板とを剥離して、レプリカ用基板上に２Ｐ樹脂レプリ
カを転写する方法が行なわれていた。
【０００３】図４は従来のディスペンススプレッド法に
よる２Ｐ樹脂レプリカを形成したスタンパー用原盤の製
造方法を示す工程図である。同図４により従来法を説明
する。まず、オリジナル型１を固定板１１に固定し、オ
リジナル型１上に２Ｐ樹脂８を一定量ディスペンスする
（図４（ａ）参照）。しかる後に、ガラス基板２を重ね
合わせ、２Ｐ樹脂８をオリジナル型１とガラス基板２の
間全面にスプレッドし、ガラス基板２上より紫外線光
（ＵＶ光）を照射し２Ｐ樹脂８を硬化させる（図４
（ｂ）参照）。その後、硬化した２Ｐ樹脂８をガラス基
板２と共にオリジナル型１から剥離することにより硬化
２Ｐ樹脂１０（２Ｐ樹脂レプリカ）が形成されたスタン
パー原盤を製造していた（図４（ｃ）参照）。
よる２Ｐ樹脂レプリカを形成したスタンパー用原盤の製
造方法を示す工程図である。同図４により従来法を説明
する。まず、オリジナル型１を固定板１１に固定し、オ
リジナル型１上に２Ｐ樹脂８を一定量ディスペンスする
（図４（ａ）参照）。しかる後に、ガラス基板２を重ね
合わせ、２Ｐ樹脂８をオリジナル型１とガラス基板２の
間全面にスプレッドし、ガラス基板２上より紫外線光
（ＵＶ光）を照射し２Ｐ樹脂８を硬化させる（図４
（ｂ）参照）。その後、硬化した２Ｐ樹脂８をガラス基
板２と共にオリジナル型１から剥離することにより硬化
２Ｐ樹脂１０（２Ｐ樹脂レプリカ）が形成されたスタン
パー原盤を製造していた（図４（ｃ）参照）。
【０００４】しかしながら、この様な従来法において
は、重ね合わせ時やスプレッドの際に樹脂中に気泡が混
入したり、過剰の２Ｐ樹脂をディスペンスすることによ
って２Ｐ樹脂のはみ出しが生じるなどの問題があった。
はみ出しについては、例えば図４（ｃ）に示すように、
硬化した２Ｐ樹脂レプリカ１０の端部に２Ｐ樹脂の突起
１０′が形成されてしまう場合がある。この突起１０′
をそのままにしておくと、後の工程において欠けが発生
してゴミとなり、２Ｐ樹脂レプリカのパターン部に付着
したり、オリジナル型１の端部に付着して、再度２Ｐ樹
脂レプリカ製造に用いる場合にオリジナル型の突起とな
ってしまったりするという問題がある。
は、重ね合わせ時やスプレッドの際に樹脂中に気泡が混
入したり、過剰の２Ｐ樹脂をディスペンスすることによ
って２Ｐ樹脂のはみ出しが生じるなどの問題があった。
はみ出しについては、例えば図４（ｃ）に示すように、
硬化した２Ｐ樹脂レプリカ１０の端部に２Ｐ樹脂の突起
１０′が形成されてしまう場合がある。この突起１０′
をそのままにしておくと、後の工程において欠けが発生
してゴミとなり、２Ｐ樹脂レプリカのパターン部に付着
したり、オリジナル型１の端部に付着して、再度２Ｐ樹
脂レプリカ製造に用いる場合にオリジナル型の突起とな
ってしまったりするという問題がある。
【０００５】そこで、オリジナル型およびガラス基板端
部に剥離剤を塗布したり、マスキング剤を利用して、硬
化してバリとなった２Ｐ樹脂をはがし取ることが考えら
れる。しかし、このはがし取られたバリは、２Ｐ樹脂レ
プリカやオリジナル型のパターン面に付着し欠陥となる
可能性があり、やはり好ましくない。
部に剥離剤を塗布したり、マスキング剤を利用して、硬
化してバリとなった２Ｐ樹脂をはがし取ることが考えら
れる。しかし、このはがし取られたバリは、２Ｐ樹脂レ
プリカやオリジナル型のパターン面に付着し欠陥となる
可能性があり、やはり好ましくない。
【０００６】これらの問題を解決する従来技術として、
特開昭６１−２１３１３０号公報に記載の様な、スプレ
ッドを真空中で行ない気泡混入を抑止し、更に外周縁部
に２Ｐ樹脂の漏出防止壁を設け、はみ出しを防止する方
法がある。しかしながら、この様な防止壁を設けた場
合、ディスペンスする２Ｐ樹脂の供給量を正確に制御す
ることが困難であり、供給量が不足する場合は凹凸パタ
ーン部に２Ｐ樹脂が供給されない場合がある。また過剰
の場合には防止壁を超えてはみ出しが発生する。
特開昭６１−２１３１３０号公報に記載の様な、スプレ
ッドを真空中で行ない気泡混入を抑止し、更に外周縁部
に２Ｐ樹脂の漏出防止壁を設け、はみ出しを防止する方
法がある。しかしながら、この様な防止壁を設けた場
合、ディスペンスする２Ｐ樹脂の供給量を正確に制御す
ることが困難であり、供給量が不足する場合は凹凸パタ
ーン部に２Ｐ樹脂が供給されない場合がある。また過剰
の場合には防止壁を超えてはみ出しが発生する。
【０００７】他方、２Ｐ樹脂のはみ出しや気泡混入を防
止する従来技術として、特開平５−７３９６７号公報に
示す様な、オリジナル型と注入口を設けたガラス基板の
間にスペーサを介在させて成型したセルに、真空系内で
２Ｐ樹脂を注入して硬化する方法がある。しかし、これ
ら従来法では２Ｐ樹脂の硬化収縮により、硬化した２Ｐ
樹脂の表面が歪んだり、防止壁やスペーサ材の周端部で
は硬化した２Ｐ樹脂がオリジナル型からはがれる、いわ
ゆる「浮き」あるいは「ひけ」が生じるという問題もあ
る。
止する従来技術として、特開平５−７３９６７号公報に
示す様な、オリジナル型と注入口を設けたガラス基板の
間にスペーサを介在させて成型したセルに、真空系内で
２Ｐ樹脂を注入して硬化する方法がある。しかし、これ
ら従来法では２Ｐ樹脂の硬化収縮により、硬化した２Ｐ
樹脂の表面が歪んだり、防止壁やスペーサ材の周端部で
は硬化した２Ｐ樹脂がオリジナル型からはがれる、いわ
ゆる「浮き」あるいは「ひけ」が生じるという問題もあ
る。
【０００８】この様な問題を解決する従来技術として、
特開平１−１９６７４８号公報に記載の様な、オリジナ
ル型と基板の間にゴムやバネからなる弾性体を介在させ
て浮きやひけを低減させる方法がある。
特開平１−１９６７４８号公報に記載の様な、オリジナ
ル型と基板の間にゴムやバネからなる弾性体を介在させ
て浮きやひけを低減させる方法がある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では、２Ｐ樹脂を光硬化するとき、外周に防止壁、
スペーサ等があるため、硬化収縮による歪みが外周端部
から発生し、その硬化した２Ｐ樹脂の表面の歪みが有効
エリア領域内にも及んでしまうという欠点があった。こ
の様なスタンパー原盤の有効エリア領域内の歪みは、そ
のまま作製されるスタンパーに転写されるために、その
スタンパーを用いた場合には高精度かつ高品位な光記録
媒体用基板の成形が難しくなる問題点があった。
来例では、２Ｐ樹脂を光硬化するとき、外周に防止壁、
スペーサ等があるため、硬化収縮による歪みが外周端部
から発生し、その硬化した２Ｐ樹脂の表面の歪みが有効
エリア領域内にも及んでしまうという欠点があった。こ
の様なスタンパー原盤の有効エリア領域内の歪みは、そ
のまま作製されるスタンパーに転写されるために、その
スタンパーを用いた場合には高精度かつ高品位な光記録
媒体用基板の成形が難しくなる問題点があった。
【００１０】本発明は、この様な従来技術の問題点を解
決するためになされたものであり、プリフォーマットを
有するオリジナル型を用いて成型したセルに２Ｐ樹脂を
注入し、該２Ｐ樹脂を硬化してスタンパー原盤を製造す
る方法において、２Ｐ樹脂の硬化時に発生する歪みを、
少なくとも有効エリア領域内では抑止した、高精度なス
タンパーを作成できる光記録媒体用スタンパー原盤の製
造方法を提供することを目的とするものである。
決するためになされたものであり、プリフォーマットを
有するオリジナル型を用いて成型したセルに２Ｐ樹脂を
注入し、該２Ｐ樹脂を硬化してスタンパー原盤を製造す
る方法において、２Ｐ樹脂の硬化時に発生する歪みを、
少なくとも有効エリア領域内では抑止した、高精度なス
タンパーを作成できる光記録媒体用スタンパー原盤の製
造方法を提供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明の第一の発
明は、プリフォーマットを有するオリジナル型を用いて
成型したセルに紫外線硬化樹脂を注入し、該紫外線硬化
樹脂を硬化してスタンパー原盤を製造する方法におい
て、紫外線を照射する領域を区分し、各領域に紫外線を
強度を変えて照射して紫外線硬化樹脂を硬化させること
を特徴とする光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法で
ある。
明は、プリフォーマットを有するオリジナル型を用いて
成型したセルに紫外線硬化樹脂を注入し、該紫外線硬化
樹脂を硬化してスタンパー原盤を製造する方法におい
て、紫外線を照射する領域を区分し、各領域に紫外線を
強度を変えて照射して紫外線硬化樹脂を硬化させること
を特徴とする光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法で
ある。
【００１２】本発明の第二の発明は、プリフォーマット
を有するオリジナル型を用いて成型したセルに紫外線硬
化樹脂を注入し、該紫外線硬化樹脂を硬化してスタンパ
ー原盤を製造する方法において、紫外線を照射する領域
を区分し、各領域に紫外線を段階的に照射して紫外線硬
化樹脂を硬化させることを特徴とする光記録媒体用スタ
ンパー原盤の製造方法である。
を有するオリジナル型を用いて成型したセルに紫外線硬
化樹脂を注入し、該紫外線硬化樹脂を硬化してスタンパ
ー原盤を製造する方法において、紫外線を照射する領域
を区分し、各領域に紫外線を段階的に照射して紫外線硬
化樹脂を硬化させることを特徴とする光記録媒体用スタ
ンパー原盤の製造方法である。
【００１３】以下、本発明の第一の発明を詳細に説明す
る。本発明によれば、光記録媒体用スタンパー原盤作製
時に用いる２Ｐ樹脂を硬化するとき、有効エリア領域か
ら外周部の領域の方向へ、放射状に紫外線照射光量を順
次低下させて、紫外線の強度を変えて照射して２Ｐ樹脂
を硬化させることにより、有効エリア領域内で生じる歪
みの進行を抑止でき、平坦度の高い２Ｐ樹脂レプリカが
形成されたスタンパー原盤を得ることができる。
る。本発明によれば、光記録媒体用スタンパー原盤作製
時に用いる２Ｐ樹脂を硬化するとき、有効エリア領域か
ら外周部の領域の方向へ、放射状に紫外線照射光量を順
次低下させて、紫外線の強度を変えて照射して２Ｐ樹脂
を硬化させることにより、有効エリア領域内で生じる歪
みの進行を抑止でき、平坦度の高い２Ｐ樹脂レプリカが
形成されたスタンパー原盤を得ることができる。
【００１４】以下、本発明の第一の発明を図面に基づい
て詳細に説明する。図１は本発明の光記録媒体用スタン
パー原盤の製造方法に用いるセルの形状の一例を示す概
略図であり、図１（ａ）はセルの平面図、図１（ｂ）は
ＡＡ線断面図である。図１に示すように、ピット、グル
ープなどの凹凸パターン１ａを有するオリジナル型１
と、平坦な表面を有するガラス基板２を対向し、外周縁
部に所定の厚みのスぺーサー材３を介してセル４を形成
する。
て詳細に説明する。図１は本発明の光記録媒体用スタン
パー原盤の製造方法に用いるセルの形状の一例を示す概
略図であり、図１（ａ）はセルの平面図、図１（ｂ）は
ＡＡ線断面図である。図１に示すように、ピット、グル
ープなどの凹凸パターン１ａを有するオリジナル型１
と、平坦な表面を有するガラス基板２を対向し、外周縁
部に所定の厚みのスぺーサー材３を介してセル４を形成
する。
【００１５】注入口５の形成は、オリジナル型１の有効
エリア領域６以外の位置に貫通口を設け、その貫通口を
２Ｐ樹脂の注入口５とする。前記注入口５は図１に示す
様にガラス基板２に設けることも可能である。
エリア領域６以外の位置に貫通口を設け、その貫通口を
２Ｐ樹脂の注入口５とする。前記注入口５は図１に示す
様にガラス基板２に設けることも可能である。
【００１６】２Ｐ樹脂の注入方法は、セル４の内部圧力
と外部圧力の差圧（内部圧力＜外部圧力）を利用する方
法や、２Ｐ樹脂の自重を利用して注入する方法等が可能
である。
と外部圧力の差圧（内部圧力＜外部圧力）を利用する方
法や、２Ｐ樹脂の自重を利用して注入する方法等が可能
である。
【００１７】セル４内への２Ｐ樹脂８の注入を完了した
後、紫外線を照射する。図２は本発明の紫外線の照射面
を各領域に区分した状態を表わす説明図である。同図２
に示す様に、紫外線を遮光するフィルム等で外周エリア
領域ａ１２及び外周エリア領域ｂ１３をマスクし、ＵＶ
光を照射して有効エリア領域６を光硬化させた後、外周
エリア領域ａ１２のマスクフィルムを取除いて強度を変
えたＵＶ光を照射して外周エリア領域ａ１２を光硬化さ
せる。その後、最後に外周エリア領域ｂ１３のマスクフ
ィルムを取り除いてさらに強度を変えたＵＶ光を照射し
て２Ｐ樹脂全面を光硬化させる。そして、オリジナル型
１とガラス基板２を剥離分離することによって、ガラス
基板２の上に、少なくとも有効エリア領域内には歪みの
ない平坦度の高い２Ｐ樹脂レプリカが形成されたスタン
パー原盤が得られる。
後、紫外線を照射する。図２は本発明の紫外線の照射面
を各領域に区分した状態を表わす説明図である。同図２
に示す様に、紫外線を遮光するフィルム等で外周エリア
領域ａ１２及び外周エリア領域ｂ１３をマスクし、ＵＶ
光を照射して有効エリア領域６を光硬化させた後、外周
エリア領域ａ１２のマスクフィルムを取除いて強度を変
えたＵＶ光を照射して外周エリア領域ａ１２を光硬化さ
せる。その後、最後に外周エリア領域ｂ１３のマスクフ
ィルムを取り除いてさらに強度を変えたＵＶ光を照射し
て２Ｐ樹脂全面を光硬化させる。そして、オリジナル型
１とガラス基板２を剥離分離することによって、ガラス
基板２の上に、少なくとも有効エリア領域内には歪みの
ない平坦度の高い２Ｐ樹脂レプリカが形成されたスタン
パー原盤が得られる。
【００１８】有効エリア領域およびその他の領域に照射
するＵＶ光は、その強度を領域毎に変えて照射するが、
中央部の有効エリア領域から外周部の領域の方向へ、紫
外線照射光量を順次低下させて照射するのが好ましい。
また、少なくとも中央部の有効エリア領域の紫外線照射
光量を２ｍＷ／ｃｍ2以下とするのが好ましい。
するＵＶ光は、その強度を領域毎に変えて照射するが、
中央部の有効エリア領域から外周部の領域の方向へ、紫
外線照射光量を順次低下させて照射するのが好ましい。
また、少なくとも中央部の有効エリア領域の紫外線照射
光量を２ｍＷ／ｃｍ2以下とするのが好ましい。
【００１９】次に、本発明の第二の発明を詳細に説明す
る。本発明の第二の発明は、プリフォーマットを有する
オリジナル型を用いて成型したセルに紫外線硬化樹脂を
注入し、該紫外線硬化樹脂を硬化してスタンパー原盤を
製造する方法において、紫外線を照射する領域を区分
し、各々の領域に紫外線を段階的に照射して紫外線硬化
樹脂を硬化させる光記録媒体用スタンパー原盤の製造方
法である。
る。本発明の第二の発明は、プリフォーマットを有する
オリジナル型を用いて成型したセルに紫外線硬化樹脂を
注入し、該紫外線硬化樹脂を硬化してスタンパー原盤を
製造する方法において、紫外線を照射する領域を区分
し、各々の領域に紫外線を段階的に照射して紫外線硬化
樹脂を硬化させる光記録媒体用スタンパー原盤の製造方
法である。
【００２０】本発明によれば、光記録媒体用スタンパー
原盤作製時に用いる２Ｐ樹脂を硬化するとき、ＵＶ光の
被照射面を少なくとも３領域以上に区分し、例えば中央
部の有効エリア領域と２つ以上のその外周領域とに区分
し、まず最初に有効エリア領域の２Ｐ樹脂を硬化した後
に、順次その外周部方向の外周領域の２Ｐ樹脂を硬化さ
せることにより、有効エリア領域内で生じる歪みの進行
を抑止でき、平坦度の高い２Ｐ樹脂レプリカが形成され
たスタンパー原盤を得ることができる。
原盤作製時に用いる２Ｐ樹脂を硬化するとき、ＵＶ光の
被照射面を少なくとも３領域以上に区分し、例えば中央
部の有効エリア領域と２つ以上のその外周領域とに区分
し、まず最初に有効エリア領域の２Ｐ樹脂を硬化した後
に、順次その外周部方向の外周領域の２Ｐ樹脂を硬化さ
せることにより、有効エリア領域内で生じる歪みの進行
を抑止でき、平坦度の高い２Ｐ樹脂レプリカが形成され
たスタンパー原盤を得ることができる。
【００２１】以下、本発明の第二の発明を図面に基づい
て詳細に説明する。図１は本発明の光記録媒体用スタン
パー原盤の製造方法に用いるセルの形状の一例を示す概
略図であり、図１（ａ）はセルの平面図、図１（ｂ）は
ＡＡ線断面図である。図１に示すように、ピット、グル
ープなどの凹凸パターン１ａを有するオリジナル型１
と、平坦な表面を有するガラス基板２を対向し、外周縁
部に所定の厚みのスぺーサー材３を介してセル４を形成
する。
て詳細に説明する。図１は本発明の光記録媒体用スタン
パー原盤の製造方法に用いるセルの形状の一例を示す概
略図であり、図１（ａ）はセルの平面図、図１（ｂ）は
ＡＡ線断面図である。図１に示すように、ピット、グル
ープなどの凹凸パターン１ａを有するオリジナル型１
と、平坦な表面を有するガラス基板２を対向し、外周縁
部に所定の厚みのスぺーサー材３を介してセル４を形成
する。
【００２２】注入口５の形成は、オリジナル型１の有効
エリア領域６以外の位置に貫通口を設け、その貫通口を
２Ｐ樹脂の注入口５とする。前記注入口５は図１に示す
様にガラス基板２に設けることも可能である。
エリア領域６以外の位置に貫通口を設け、その貫通口を
２Ｐ樹脂の注入口５とする。前記注入口５は図１に示す
様にガラス基板２に設けることも可能である。
【００２３】２Ｐ樹脂の注入方法は、セル４の内部圧力
と外部圧力の差圧（内部圧力＜外部圧力）を利用する方
法や、２Ｐ樹脂の自重を利用して注入する方法等が可能
である。
と外部圧力の差圧（内部圧力＜外部圧力）を利用する方
法や、２Ｐ樹脂の自重を利用して注入する方法等が可能
である。
【００２４】セル４内への２Ｐ樹脂８の注入を完了した
後、紫外線を照射する。図３は本発明の紫外線の照射面
を各領域に区分した状態を表わす説明図である。同図３
に示す様に、紫外線を遮光するフィルム等で外周エリア
領域ａ２２及び外周エリア領域ｂ２３をマスクし、ＵＶ
光を照射して有効エリア領域２６を光硬化させた後、外
周エリア領域ａ２２のマスクフィルムを取除いてＵＶ光
を照射して外周エリア領域ａ２２を光硬化させる。その
後、最後に外周エリア領域ｂ２３のマスクフィルムを取
り除いてさらにＵＶ光を照射して２Ｐ樹脂全面を光硬化
させる。そして、オリジナル型１とガラス基板２を剥離
分離することによって、ガラス基板２の上に、少なくと
も有効エリア領域内には歪みのない平坦度の高い２Ｐ樹
脂レプリカが形成されたスタンパー原盤が得られる。
後、紫外線を照射する。図３は本発明の紫外線の照射面
を各領域に区分した状態を表わす説明図である。同図３
に示す様に、紫外線を遮光するフィルム等で外周エリア
領域ａ２２及び外周エリア領域ｂ２３をマスクし、ＵＶ
光を照射して有効エリア領域２６を光硬化させた後、外
周エリア領域ａ２２のマスクフィルムを取除いてＵＶ光
を照射して外周エリア領域ａ２２を光硬化させる。その
後、最後に外周エリア領域ｂ２３のマスクフィルムを取
り除いてさらにＵＶ光を照射して２Ｐ樹脂全面を光硬化
させる。そして、オリジナル型１とガラス基板２を剥離
分離することによって、ガラス基板２の上に、少なくと
も有効エリア領域内には歪みのない平坦度の高い２Ｐ樹
脂レプリカが形成されたスタンパー原盤が得られる。
【００２５】また、少なくとも中央部の有効エリア領域
の紫外線照射光量を２ｍＷ／ｃｍ2以下とするのが好ま
しい。また、紫外線の強さは、各領域とも同じでも異な
っていてもよく、異なっている場合には外周へいくほど
弱くする方が効果的である。
の紫外線照射光量を２ｍＷ／ｃｍ2以下とするのが好ま
しい。また、紫外線の強さは、各領域とも同じでも異な
っていてもよく、異なっている場合には外周へいくほど
弱くする方が効果的である。
【００２６】本発明の第一の発明および第二の発明によ
り製造されたスタンパー原盤は、その２Ｐ樹脂レプリカ
上に通常の方法により導電化膜を形成し、さらに電鋳に
より電鋳膜を形成し、該導電化膜と電鋳膜を一体として
剥離することによりスタンパーを得ることができる。
り製造されたスタンパー原盤は、その２Ｐ樹脂レプリカ
上に通常の方法により導電化膜を形成し、さらに電鋳に
より電鋳膜を形成し、該導電化膜と電鋳膜を一体として
剥離することによりスタンパーを得ることができる。
【００２７】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明
する。
する。
【００２８】実施例１ パターンエリアが２００×２００ｍｍである３００×３
００ｍｍの平面度５μｍのオリジナル型と、有効パター
ンエリア領域外に注入口を有する３４０×３４０ｍｍの
ガラス基板を、幅５ｍｍ、厚さ６０μｍのスペーサ材
（ポリエチレンテレフタレート）をオリジナル型の外周
縁部に配設してセルを作成した。
００ｍｍの平面度５μｍのオリジナル型と、有効パター
ンエリア領域外に注入口を有する３４０×３４０ｍｍの
ガラス基板を、幅５ｍｍ、厚さ６０μｍのスペーサ材
（ポリエチレンテレフタレート）をオリジナル型の外周
縁部に配設してセルを作成した。
【００２９】このセル内部に２Ｐ樹脂の自重を利用して
注入口より２Ｐ樹脂（日本化薬社製、ＩＮＣ１１８）を
注入した。注入完了後、ガラス基板側から紫外線を照射
する際、図２に示す様に、有効エリア領域に２ｍＷ／ｃ
ｍ2 、外周エリア領域ａに１ｍＷ／ｃｍ2 、外周エリア
領域ｂに０．４ｍＷ／ｃｍ2 のＵＶ光を１０分間照射し
て２Ｐ樹脂を硬化させた。
注入口より２Ｐ樹脂（日本化薬社製、ＩＮＣ１１８）を
注入した。注入完了後、ガラス基板側から紫外線を照射
する際、図２に示す様に、有効エリア領域に２ｍＷ／ｃ
ｍ2 、外周エリア領域ａに１ｍＷ／ｃｍ2 、外周エリア
領域ｂに０．４ｍＷ／ｃｍ2 のＵＶ光を１０分間照射し
て２Ｐ樹脂を硬化させた。
【００３０】オリジナル型とガラス基板を剥離し、スペ
ーサ材を除去して２Ｐ樹脂レプリカが形成されたスタン
パー原盤を得た。２Ｐ樹脂レプリカ表面の有効エリア内
の平面度をザイゴ干渉計により測定したところ、５μｍ
であり、オリジナル型に対して歪みはなかった。
ーサ材を除去して２Ｐ樹脂レプリカが形成されたスタン
パー原盤を得た。２Ｐ樹脂レプリカ表面の有効エリア内
の平面度をザイゴ干渉計により測定したところ、５μｍ
であり、オリジナル型に対して歪みはなかった。
【００３１】このスタンパー原盤を用いて電鋳法により
スタンパーを作製したところ、平面性の高い高精度なス
タンパーを、生産性よく作製できた。
スタンパーを作製したところ、平面性の高い高精度なス
タンパーを、生産性よく作製できた。
【００３２】実施例２ パターンエリアが２００×２００ｍｍである３００×３
００ｍｍの平面度５μｍのオリジナル型と、有効パター
ンエリア領域外に注入口を有する３４０×３４０ｍｍの
ガラス基板を、幅５ｍｍ、厚さ６０μｍのスペーサ材
（ポリエチレンテレフタレート）をオリジナル型の外周
縁部に配設してセルを作成した。このセル内部に２Ｐ樹
脂の自重を利用して注入口より２Ｐ樹脂（日本化薬社
製、ＩＮＣ１１８）を注入した。
００ｍｍの平面度５μｍのオリジナル型と、有効パター
ンエリア領域外に注入口を有する３４０×３４０ｍｍの
ガラス基板を、幅５ｍｍ、厚さ６０μｍのスペーサ材
（ポリエチレンテレフタレート）をオリジナル型の外周
縁部に配設してセルを作成した。このセル内部に２Ｐ樹
脂の自重を利用して注入口より２Ｐ樹脂（日本化薬社
製、ＩＮＣ１１８）を注入した。
【００３３】注入完了後、ガラス基板側から紫外線を照
射する際、図３に示す様に、有効エリア領域、外周エリ
ア領域ａ，ｂの３領域に区分し、まず最初に外周エリア
領域ａ，ｂを５０μｍ厚のポリイミドフィルムで遮光し
て２ｍＷ／ｃｍ2 のＵＶ光を１０分間照射して有効エリ
ア領域を光硬化させた。次に外周エリア領域ａの遮光フ
ィルムを除いて外周エリア領域ａを同様にＵＶ光を照射
して光硬化させた。最後に外周エリア領域ｂの遮光フィ
ルムを除いて同様にＵＶ光を照射して全面の２Ｐ樹脂を
光硬化させた。
射する際、図３に示す様に、有効エリア領域、外周エリ
ア領域ａ，ｂの３領域に区分し、まず最初に外周エリア
領域ａ，ｂを５０μｍ厚のポリイミドフィルムで遮光し
て２ｍＷ／ｃｍ2 のＵＶ光を１０分間照射して有効エリ
ア領域を光硬化させた。次に外周エリア領域ａの遮光フ
ィルムを除いて外周エリア領域ａを同様にＵＶ光を照射
して光硬化させた。最後に外周エリア領域ｂの遮光フィ
ルムを除いて同様にＵＶ光を照射して全面の２Ｐ樹脂を
光硬化させた。
【００３４】オリジナル型とガラス基板を剥離し、スペ
ーサ材を除去して２Ｐ樹脂レプリカが形成されたスタン
パー原盤を得た。２Ｐ樹脂レプリカ表面の有効エリア内
の平面度をザイゴ干渉計により測定したところ、５μｍ
であり、オリジナル型に対して歪みはなかった。
ーサ材を除去して２Ｐ樹脂レプリカが形成されたスタン
パー原盤を得た。２Ｐ樹脂レプリカ表面の有効エリア内
の平面度をザイゴ干渉計により測定したところ、５μｍ
であり、オリジナル型に対して歪みはなかった。
【００３５】このスタンパー原盤を用いて電鋳法により
スタンパーを作製したところ、平面性の高い高精度なス
タンパーを、生産性よく作製できた。
スタンパーを作製したところ、平面性の高い高精度なス
タンパーを、生産性よく作製できた。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
２Ｐ樹脂レプリカを２Ｐ樹脂を光硬化させて作製すると
き、有効エリア領域から外周部領域の方向へ放射状に紫
外線の照射光量を順次低下させて２Ｐ樹脂を硬化させる
ことにより、２Ｐ樹脂硬化時に発生する歪みを、少なく
とも有効エリア領域内では抑止した、高精度なスタンパ
ーを作成できる光記録媒体用スタンパー原盤を得ること
ができる効果がある。
２Ｐ樹脂レプリカを２Ｐ樹脂を光硬化させて作製すると
き、有効エリア領域から外周部領域の方向へ放射状に紫
外線の照射光量を順次低下させて２Ｐ樹脂を硬化させる
ことにより、２Ｐ樹脂硬化時に発生する歪みを、少なく
とも有効エリア領域内では抑止した、高精度なスタンパ
ーを作成できる光記録媒体用スタンパー原盤を得ること
ができる効果がある。
【００３７】また、本発明によれば、２Ｐ樹脂レプリカ
を２Ｐ樹脂を光硬化させて作製するとき、有効エリア領
域から外周部領域の方向へ順次段階的に紫外線を照射さ
せて２Ｐ樹脂を硬化させることにより、２Ｐ樹脂硬化時
に発生する歪みを、少なくとも有効エリア領域内では抑
止した、高精度なスタンパーを作成できる光記録媒体用
スタンパー原盤を得ることができる効果がある。
を２Ｐ樹脂を光硬化させて作製するとき、有効エリア領
域から外周部領域の方向へ順次段階的に紫外線を照射さ
せて２Ｐ樹脂を硬化させることにより、２Ｐ樹脂硬化時
に発生する歪みを、少なくとも有効エリア領域内では抑
止した、高精度なスタンパーを作成できる光記録媒体用
スタンパー原盤を得ることができる効果がある。
【図１】本発明の光記録媒体用スタンパー原盤の製造方
法に用いるセルの形状の一例を示す概略図である。
法に用いるセルの形状の一例を示す概略図である。
【図２】本発明の第一の発明の紫外線の照射面を各領域
に区分した状態を表わす説明図である。
に区分した状態を表わす説明図である。
【図３】本発明の第二の発明の紫外線の照射面を各領域
に区分した状態を表わす説明図である。
に区分した状態を表わす説明図である。
【図４】従来のディスペンススプレッド法による２Ｐ樹
脂レプリカを形成したスタンパー用原盤の製造方法を示
す工程図である。
脂レプリカを形成したスタンパー用原盤の製造方法を示
す工程図である。
１ オリジナル型 １ａ 凹凸パターン ２ ガラス基板 ３ スペーサー材 ４ セル ５ 注入口 ６ 有効エリア領域 ８ ２Ｐ樹脂 ９ ＵＶ光 １０ ２Ｐ樹脂レプリカ １０′ 突起 １１ 固定板 １２，２２ 外周エリア領域ａ １３，２３ 外周エリア領域ｂ ２６ 有効エリア領域
Claims (7)
- 【請求項１】 プリフォーマットを有するオリジナル型
を用いて成型したセルに紫外線硬化樹脂を注入し、該紫
外線硬化樹脂を硬化してスタンパー原盤を製造する方法
において、紫外線を照射する領域を区分し、各領域に紫
外線を強度を変えて照射して紫外線硬化樹脂を硬化させ
ることを特徴とする光記録媒体用スタンパー原盤の製造
方法。 - 【請求項２】 中央部の有効エリア領域から外周部の領
域の方向へ、紫外線照射光量を順次低下させて照射して
紫外線硬化樹脂を硬化させる請求項１記載の光記録媒体
用スタンパー原盤の製造方法。 - 【請求項３】 少なくとも中央部の有効エリア領域の紫
外線照射光量を２ｍＷ／ｃｍ2以下とする請求項１また
は２記載の光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法。 - 【請求項４】 プリフォーマットを有するオリジナル型
を用いて成型したセルに紫外線硬化樹脂を注入し、該紫
外線硬化樹脂を硬化してスタンパー原盤を製造する方法
において、紫外線を照射する領域を区分し、各領域に紫
外線を段階的に照射して紫外線硬化樹脂を硬化させるこ
とを特徴とする光記録媒体用スタンパー原盤の製造方
法。 - 【請求項５】 前記領域が３領域以上である請求項４記
載の光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法。 - 【請求項６】 前記領域のうち、中央部の有効エリア領
域を最初に硬化し、その後順次外周部方向の領域を硬化
する請求項４または５記載の光記録媒体用スタンパー原
盤の製造方法。 - 【請求項７】 少なくとも中央部の有効エリア領域の紫
外線照射光量を２ｍＷ／ｃｍ2以下とする請求項４乃至
６のいずれかの項に記載の光記録媒体用スタンパー原盤
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33535594A JPH08180473A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33535594A JPH08180473A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08180473A true JPH08180473A (ja) | 1996-07-12 |
Family
ID=18287610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33535594A Pending JPH08180473A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 光記録媒体用スタンパー原盤の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08180473A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2020202897A1 (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 |
-
1994
- 1994-12-22 JP JP33535594A patent/JPH08180473A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2020202897A1 (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | ||
| WO2020202897A1 (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 富士フイルム株式会社 | 光照射装置、光照射方法、光照射装置の動作方法、及びプログラム |
| CN113490584A (zh) * | 2019-03-29 | 2021-10-08 | 富士胶片株式会社 | 光照射装置、光照射方法、光照射装置的动作方法及程序 |
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