JPS61221360A - 硬質表面フレクシブルフイルム及びその製造方法 - Google Patents
硬質表面フレクシブルフイルム及びその製造方法Info
- Publication number
- JPS61221360A JPS61221360A JP6113585A JP6113585A JPS61221360A JP S61221360 A JPS61221360 A JP S61221360A JP 6113585 A JP6113585 A JP 6113585A JP 6113585 A JP6113585 A JP 6113585A JP S61221360 A JPS61221360 A JP S61221360A
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- flexible film
- film
- hard
- flexible
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、耐摩耗、耐環境、耐薬品性などにすぐれた安
定な表面を有するフレクシブルフィルムとその製造方法
に関する。
定な表面を有するフレクシブルフィルムとその製造方法
に関する。
従来の技術
従来、フレクシブルフィルムの表面強化には、有機薄膜
等が用いられているが、その耐摩耗、耐環境、耐薬品性
等についてすべてを十分に満足させるものはなく、十分
に安定な表面を有するフレクシブルフィルムを得ること
は困難であった。
等が用いられているが、その耐摩耗、耐環境、耐薬品性
等についてすべてを十分に満足させるものはなく、十分
に安定な表面を有するフレクシブルフィルムを得ること
は困難であった。
発明が解決しようとする問題点
本発明は、耐摩耗、耐環境、耐薬品性等すべてにすぐれ
た硬質表面を有し、形成の容易なフレクシブルフィルム
を実現することを目的とするものである。
た硬質表面を有し、形成の容易なフレクシブルフィルム
を実現することを目的とするものである。
問題点を解決するための手段
本発明者等は、フレクシブルフィルムの表面に硬質炭素
薄膜全形成することにより、フレクシブルフィルムの表
面の耐摩耗、耐環境、耐薬品性等が向上し、フレクシプ
ル性を有したまま安定な表面を有するフレクシブルフィ
ルムが得られることを確認し、これを利用して、本発明
の硬質表面フレクシブルフィルム及びその製造方法を発
明した。
薄膜全形成することにより、フレクシブルフィルムの表
面の耐摩耗、耐環境、耐薬品性等が向上し、フレクシプ
ル性を有したまま安定な表面を有するフレクシブルフィ
ルムが得られることを確認し、これを利用して、本発明
の硬質表面フレクシブルフィルム及びその製造方法を発
明した。
ここで１表面膜のフレクシプル性のために、膜厚が１ｏ
ＯｏÅ以下の硬質炭素薄膜をフレクシブルフィルム表面
に形成することが有効であることも確認した。また、こ
の硬質炭素薄膜は、基体であるフレクシブルフィルム表
面に、高速粒子を照射しつつ炭素を供給して形成できる
ことも確認した。
ＯｏÅ以下の硬質炭素薄膜をフレクシブルフィルム表面
に形成することが有効であることも確認した。また、こ
の硬質炭素薄膜は、基体であるフレクシブルフィルム表
面に、高速粒子を照射しつつ炭素を供給して形成できる
ことも確認した。
この場合、仁のフレクシブルフィルム表面に照射される
高速粒子の運動方向が、フレクシブルフィルム表面に対
してほぼ平行である場合に特に有効で、この高速粒子が
不活性ガス又は炭素を含む場合さらに有効である。また
、高速粒子が、水素またはフッ素を含む場合は硬質炭素
薄膜の透明性が増し非常に有効である。これらの形成方
法はアルゴンイオンビームを用い、グラファイト板をタ
ーゲットとしたイオンビームスパッタ装置を用いること
により有効に実現できる。
高速粒子の運動方向が、フレクシブルフィルム表面に対
してほぼ平行である場合に特に有効で、この高速粒子が
不活性ガス又は炭素を含む場合さらに有効である。また
、高速粒子が、水素またはフッ素を含む場合は硬質炭素
薄膜の透明性が増し非常に有効である。これらの形成方
法はアルゴンイオンビームを用い、グラファイト板をタ
ーゲットとしたイオンビームスパッタ装置を用いること
により有効に実現できる。
作用
硬質炭素薄膜をプラスチックフィルム等の有機フレクシ
ブルフィルム等の表面に形成すると、耐摩耗性等フィル
ムの安定性が非常に良好となる。
ブルフィルム等の表面に形成すると、耐摩耗性等フィル
ムの安定性が非常に良好となる。
硬質炭素薄膜は安定であるが、フレクシブルフィルムで
あるため、膜厚が厚くなるともろく割れやすい膜となる
っこのため、１０００Å以下の膜厚の硬質炭素薄膜が有
効である。この硬質炭素薄膜は、基体であるフレクシブ
ルフィルム表面に、高速粒子？照射しつつ炭素？供給す
ると形成される。
あるため、膜厚が厚くなるともろく割れやすい膜となる
っこのため、１０００Å以下の膜厚の硬質炭素薄膜が有
効である。この硬質炭素薄膜は、基体であるフレクシブ
ルフィルム表面に、高速粒子？照射しつつ炭素？供給す
ると形成される。
フィルム表面に炭素が飛来し蒸着して膜が形成されるが
、この時、高速粒子の衝突により極所的に高温高圧領域
が実現され、この領域で、炭素がダイヤモンドに近い構
造に変化し、膜として硬質の膜となると考えられる。高
速粒子は、不活性ガスや炭素のイオンビームが最適であ
り、供給される炭素は、グラファイトや炭素をスパッタ
したり、炭化水素ガスをプラズマや熱や光で分解したり
、熱やレーザーによって炭素を蒸発させたり、すること
によって得られる。さらに、高速粒子照射下での炭素薄
膜の形成において、水素が存在すると。
、この時、高速粒子の衝突により極所的に高温高圧領域
が実現され、この領域で、炭素がダイヤモンドに近い構
造に変化し、膜として硬質の膜となると考えられる。高
速粒子は、不活性ガスや炭素のイオンビームが最適であ
り、供給される炭素は、グラファイトや炭素をスパッタ
したり、炭化水素ガスをプラズマや熱や光で分解したり
、熱やレーザーによって炭素を蒸発させたり、すること
によって得られる。さらに、高速粒子照射下での炭素薄
膜の形成において、水素が存在すると。
さらに硬質で透明な硬質炭素膜となり、この水素と同じ
効果はフッ素によっても得られる。これらの水素やフッ
素の効果は不明であるが、炭車が凝縮して膜を形成する
場合に、硬質で透明なダイヤモンドに近い構造をとった
部分以外の部分を、膜形成過程で仁の水素やフッ素が反
応して取り去ってしまう効果を有すると考えられる。
効果はフッ素によっても得られる。これらの水素やフッ
素の効果は不明であるが、炭車が凝縮して膜を形成する
場合に、硬質で透明なダイヤモンドに近い構造をとった
部分以外の部分を、膜形成過程で仁の水素やフッ素が反
応して取り去ってしまう効果を有すると考えられる。
実施例
本発明の硬質表面フレクシブルフィルムの構成を第１図
に示す。プラスチックのフレクシブルフィルム１の表面
２に硬質炭素薄膜３が形成されている。この硬質表面フ
レクシブルフィルムの摩耗特性金、フレクシブルフィル
ム（従来のスクラッチレスフィルム）と比較して第２図
に示す。従来の表面処理によるスクラッチレスフィルム
て比べて非常に良好な摩耗特性を有する安定な表面のフ
レクシブルフィルムとなっている。また、この硬質表面
フレクシブルフィルムは、耐環境、耐薬品性にもすぐれ
ており、ガスや薬品に対しても安定である。フィルムを
曲げても表面の硬質炭素薄膜に変化はなく、良好なフレ
クシプル性を有している。この硬質表面フレクシブルフ
ィルムは第３図に示す形成装置によって形成される。こ
の装置はイオンビームスパッタと呼ばれるもので、グラ
ファイトターゲット４をイオンビーム６がスパッタＬフ
レクシブルフィルム１上に炭素を供給し硬質炭素＠全形
成する。このとき、フレクシブルフィルム６は図のよう
にイオンビーム５の方向とほぼ平行になるようにおかれ
ており、イオンビーム５の１部がフレクシブルフィルム
１の表面に照射されつつ膜形成される。イオンビーム５
はアルゴンイオンビームを用い、チャンバー内圧力は６
×１ｏ”Ｔｏｒｒとし、１０００Å以下の硬質炭素薄膜
全形成すると、この薄膜はフレクシプル性を有しており
、前述のようなすぐれた耐摩耗性を有していた。上記ア
ルゴンイオンビームに水素またはフッ素を混合すると膜
の透明度及び安定度が増した。ここでは、イオンビーム
スパッタについてだけ述べたが、イオンビーム等の高速
粒子がフレクシブルフィルム表面に照射されつつ炭素が
供給され膜が形成されるような装置、（例えばイオンビ
ーム金基板に照射して、ＣＶＣ，プラズマＣＶＤ・熱蒸
発、電子ビーム蒸発等で炭素を供給するもの、炭素のイ
オンビーム全そのまま基板に照射するもの等）でも良い
っまたフレクシブルフィルムはプラスチックでなくとも
、例えば金属フィルム等、室温で安定なものなら有効で
ある。
に示す。プラスチックのフレクシブルフィルム１の表面
２に硬質炭素薄膜３が形成されている。この硬質表面フ
レクシブルフィルムの摩耗特性金、フレクシブルフィル
ム（従来のスクラッチレスフィルム）と比較して第２図
に示す。従来の表面処理によるスクラッチレスフィルム
て比べて非常に良好な摩耗特性を有する安定な表面のフ
レクシブルフィルムとなっている。また、この硬質表面
フレクシブルフィルムは、耐環境、耐薬品性にもすぐれ
ており、ガスや薬品に対しても安定である。フィルムを
曲げても表面の硬質炭素薄膜に変化はなく、良好なフレ
クシプル性を有している。この硬質表面フレクシブルフ
ィルムは第３図に示す形成装置によって形成される。こ
の装置はイオンビームスパッタと呼ばれるもので、グラ
ファイトターゲット４をイオンビーム６がスパッタＬフ
レクシブルフィルム１上に炭素を供給し硬質炭素＠全形
成する。このとき、フレクシブルフィルム６は図のよう
にイオンビーム５の方向とほぼ平行になるようにおかれ
ており、イオンビーム５の１部がフレクシブルフィルム
１の表面に照射されつつ膜形成される。イオンビーム５
はアルゴンイオンビームを用い、チャンバー内圧力は６
×１ｏ”Ｔｏｒｒとし、１０００Å以下の硬質炭素薄膜
全形成すると、この薄膜はフレクシプル性を有しており
、前述のようなすぐれた耐摩耗性を有していた。上記ア
ルゴンイオンビームに水素またはフッ素を混合すると膜
の透明度及び安定度が増した。ここでは、イオンビーム
スパッタについてだけ述べたが、イオンビーム等の高速
粒子がフレクシブルフィルム表面に照射されつつ炭素が
供給され膜が形成されるような装置、（例えばイオンビ
ーム金基板に照射して、ＣＶＣ，プラズマＣＶＤ・熱蒸
発、電子ビーム蒸発等で炭素を供給するもの、炭素のイ
オンビーム全そのまま基板に照射するもの等）でも良い
っまたフレクシブルフィルムはプラスチックでなくとも
、例えば金属フィルム等、室温で安定なものなら有効で
ある。
発明の効果
本発明の硬質表面フレクンプルフィルム及びその製造方
法は、ダイヤモンドのごとく硬く安定な表面を有するフ
レクシブルフィルムを提供するものであり、あらゆる物
質の表面コート材として、その工業的価値はきわめて高
い。
法は、ダイヤモンドのごとく硬く安定な表面を有するフ
レクシブルフィルムを提供するものであり、あらゆる物
質の表面コート材として、その工業的価値はきわめて高
い。
第１図は本発明の一実施例の硬質表面フレクシブルフィ
ルムの断面構成図、第２図は本発明の硬質表面フレクシ
ブルフィルムと従来のスクラッチレスフィルムの摩耗特
性を示す図、第３図は本発明の硬質表面フレクシブルフ
ィルムの製造方法に用いた装置の一例を示す図である。 １・・・・・・フレクシブルフィルム、２・・・・・・
表面、３・・・・・・硬質炭素薄膜、４・・・・・・グ
ラファイトターゲット、５・・・・・・イオンビーム、
６・・・・・・フレクシブルフィルム。
ルムの断面構成図、第２図は本発明の硬質表面フレクシ
ブルフィルムと従来のスクラッチレスフィルムの摩耗特
性を示す図、第３図は本発明の硬質表面フレクシブルフ
ィルムの製造方法に用いた装置の一例を示す図である。 １・・・・・・フレクシブルフィルム、２・・・・・・
表面、３・・・・・・硬質炭素薄膜、４・・・・・・グ
ラファイトターゲット、５・・・・・・イオンビーム、
６・・・・・・フレクシブルフィルム。
Claims (8)
- （１）表面に硬質炭素薄膜を形成したことを特徴とする
硬質表面フレクシブルフィルム。 - （２）硬質炭素薄膜の膜厚が１０００Å以下であること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の硬質表面フレ
クシブルフィルム。 - （３）基体であるフレクシブルフィルム表面に、高速粒
子を照射しつつ炭素を供給し、硬質炭素薄膜を形成する
ことを特徴とする硬質表面フレクシブルフィルムの製造
方法。 - （４）基体であるフレクシブルフィルム表面に照射され
る高速粒子の運動方向が、上記フレクシブルフィルム表
面に対してほぼ平行であることを特徴とする特許請求の
範囲第３項記載の硬質表面フレクシブルフィルムの製造
方法。 - （５）基体であるフレクシブルフィルム表面に照射され
る高速粒子が少なくとも不活性ガス又は炭素を含むこと
を特徴とする特許請求の範囲第３項記載の硬質表面フレ
クシブルフィルムの製造方法。 - （６）基体であるフレクシブルフィルム表面に照射され
る高速粒子が水素を含むことを特徴とする特許請求の範
囲第５項記載の硬質表面フレクシブルフィルムの製造方
法。 - （７）基体であるフレクシブルフィルム表面に照射され
る高速粒子がフッ素を含むことを特徴とする特許請求の
範囲第５項記載の硬質表面フレクシブルフィルムの製造
方法。 - （８）高速粒子としてアルゴンイオンビームを用い、グ
ラファイト板をターゲットとしたイオンビームスパッタ
装置により、フレクシブルフィルム表面に硬質炭素薄膜
を形成することを特徴とする特許請求の範囲第３項記載
の硬質表面フレクシブルフィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6113585A JPS61221360A (ja) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | 硬質表面フレクシブルフイルム及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6113585A JPS61221360A (ja) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | 硬質表面フレクシブルフイルム及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61221360A true JPS61221360A (ja) | 1986-10-01 |
Family
ID=13162333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6113585A Pending JPS61221360A (ja) | 1985-03-26 | 1985-03-26 | 硬質表面フレクシブルフイルム及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61221360A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3832907A1 (de) * | 1987-09-28 | 1989-04-20 | Hoya Corp | Verfahren zur herstellung einer gussform fuer glas |
| JPH04173961A (ja) * | 1990-11-06 | 1992-06-22 | Japan Steel Works Ltd:The | 複合イオンビームによるダイナミックミキシング方法 |
-
1985
- 1985-03-26 JP JP6113585A patent/JPS61221360A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3832907A1 (de) * | 1987-09-28 | 1989-04-20 | Hoya Corp | Verfahren zur herstellung einer gussform fuer glas |
| DE3832907C2 (de) * | 1987-09-28 | 1994-11-24 | Hoya Corp | Verfahren zur Herstellung einer Preßform für Glas |
| JPH04173961A (ja) * | 1990-11-06 | 1992-06-22 | Japan Steel Works Ltd:The | 複合イオンビームによるダイナミックミキシング方法 |
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