JPS61219527A - 電解砥粒複合研磨方法及び装置 - Google Patents
電解砥粒複合研磨方法及び装置Info
- Publication number
- JPS61219527A JPS61219527A JP6012685A JP6012685A JPS61219527A JP S61219527 A JPS61219527 A JP S61219527A JP 6012685 A JP6012685 A JP 6012685A JP 6012685 A JP6012685 A JP 6012685A JP S61219527 A JPS61219527 A JP S61219527A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- viscoelastic
- polishing
- tool
- electrode tool
- Prior art date
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- Granted
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H5/00—Combined machining
- B23H5/06—Electrochemical machining combined with mechanical working, e.g. grinding or honing
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
し産業上の利用分野コ
本発明は、金属材料からなる部材の自由曲面を鏡面研磨
するための電解砥粒複合研磨方法及び装置に関するもの
である。
するための電解砥粒複合研磨方法及び装置に関するもの
である。
［従来の技術］
従来、電解により被加工物表面に生しる不働態皮膜を砥
粒で除去し、それによって被加工物表面を鏡面研磨する
ようにした電解砥粒複合研磨は、平面や円筒面その他の
回転面を対象とし、任意の自由曲面への適用は考慮され
ていない。従って、その研磨装置は自由曲面の研磨に適
用することかでさないものである。
粒で除去し、それによって被加工物表面を鏡面研磨する
ようにした電解砥粒複合研磨は、平面や円筒面その他の
回転面を対象とし、任意の自由曲面への適用は考慮され
ていない。従って、その研磨装置は自由曲面の研磨に適
用することかでさないものである。
しかるに、例えは金型その他の複雑な凹凸表面を有する
金属部材や、ステンレス鋼板の溶接ビート部等のような
任意自由曲面を、簡易に鏡面研磨できるようにすること
が、各種技術分野において望まれている。
金属部材や、ステンレス鋼板の溶接ビート部等のような
任意自由曲面を、簡易に鏡面研磨できるようにすること
が、各種技術分野において望まれている。
このような自由曲面の鏡面研磨は、従来、パフ研磨や適
宜研磨具を用いた手作業による研磨によって行われてい
るが、熟練を要するばかりでなく、作業環境が非常に悪
くなるという問題がある。
宜研磨具を用いた手作業による研磨によって行われてい
るが、熟練を要するばかりでなく、作業環境が非常に悪
くなるという問題がある。
［発明か解決しようとする問題点］
本発明は、電解により被加工物表面に生じる不働態皮膜
を砥粒で除去し、それによって被加工物表面を鏡面研磨
するようにした電解砥粒複合研磨を、金属部材の自由曲
面の研磨に適用可能にした電解砥粒複合研磨方法及び装
置を提供することを目的とするものである。
を砥粒で除去し、それによって被加工物表面を鏡面研磨
するようにした電解砥粒複合研磨を、金属部材の自由曲
面の研磨に適用可能にした電解砥粒複合研磨方法及び装
置を提供することを目的とするものである。
［問題点を解決するための手段］
上記目的を達成するため、本発明の電解砥粒複合研磨方
法は、回転駆動機によって回転する電極工具を、円板状
の導電性工具基盤の表面に通液性のある粘弾性研磨体を
取付けることによって形成し、上記粘弾性研磨体を被加
工物表面の自由曲面に接触させるに際し、両者の接触面
における凹凸を平均化した平面に対して上記工具の回転
軸を傾斜させた状態で、その粘弾性研磨体の周辺部分の
みを被加工物に接触させ、上記粘弾性研磨体に砥粒を保
持させて、その粘弾性研磨体と被加工物との間に電解液
を供給すると共に、両者間に電解のための電流を流して
被加工物を研磨することを特徴とするものである。
法は、回転駆動機によって回転する電極工具を、円板状
の導電性工具基盤の表面に通液性のある粘弾性研磨体を
取付けることによって形成し、上記粘弾性研磨体を被加
工物表面の自由曲面に接触させるに際し、両者の接触面
における凹凸を平均化した平面に対して上記工具の回転
軸を傾斜させた状態で、その粘弾性研磨体の周辺部分の
みを被加工物に接触させ、上記粘弾性研磨体に砥粒を保
持させて、その粘弾性研磨体と被加工物との間に電解液
を供給すると共に、両者間に電解のための電流を流して
被加工物を研磨することを特徴とするものである。
また、本発明の電解砥粒複合研磨装置は、回転駆動機に
よって回転する電極工具を、円板状の導電性工具基盤の
表面に通液性のある粘弾性研磨体を取付けることによっ
て形成し、その粘弾性研磨体における周辺部分を、砥粒
を保持し且つ液加り物の表面に倣って変形ｉＴ能な加工
面とし、この電極工具の周辺部分に対して電解液を供給
する供給管を設けると共に、−に記電極丁具を被加工物
との間に電解のための電流を流す電源に接続することに
より構成される。
よって回転する電極工具を、円板状の導電性工具基盤の
表面に通液性のある粘弾性研磨体を取付けることによっ
て形成し、その粘弾性研磨体における周辺部分を、砥粒
を保持し且つ液加り物の表面に倣って変形ｉＴ能な加工
面とし、この電極工具の周辺部分に対して電解液を供給
する供給管を設けると共に、−に記電極丁具を被加工物
との間に電解のための電流を流す電源に接続することに
より構成される。
［作 用］
液加１物表面の電解砥粒複合研磨を行うに当っては、電
極り具における粘弾性研磨体の周辺部分を液加二り物表
面の適宜位置に軽く圧接し、電解液供給管を通じて電極
工具に電解液を供給しながら、電極工具と被加工物との
間に電解用の電流を流し、しかも回転駆動機により電極
工具を回転させながらその加工を行う。
極り具における粘弾性研磨体の周辺部分を液加二り物表
面の適宜位置に軽く圧接し、電解液供給管を通じて電極
工具に電解液を供給しながら、電極工具と被加工物との
間に電解用の電流を流し、しかも回転駆動機により電極
工具を回転させながらその加工を行う。
この場合に、電極工具の回転軸を粘弾性研磨体と被加圧
物との接触面における凹凸を平均化した平面に対して傾
斜させた状態で、その粘弾性研磨体の周辺部分のみを被
加工物に接触させて加工を行うことにより、任意の自由
曲面の加工が可能になる。
物との接触面における凹凸を平均化した平面に対して傾
斜させた状態で、その粘弾性研磨体の周辺部分のみを被
加工物に接触させて加工を行うことにより、任意の自由
曲面の加工が可能になる。
また、被加工物表面に多少の凹凸があっても、粘弾性研
磨体の周辺部分がその表面形状に倣って変形し、その表
面にフィツトするため、その鏡面研磨が確実に行われる
。
磨体の周辺部分がその表面形状に倣って変形し、その表
面にフィツトするため、その鏡面研磨が確実に行われる
。
［実施例］
第１図に示す本発明の電解砥粒複合研磨装置ｌＯは、ピ
ストル型をなす装置本体１１内に、モータからなる回転
駆動機１２及びその出力側に設けた減速装置１３とを備
え、それらによって回転する回転軸１４を装置本体１１
から導出して、その先端に電極工具２０を取付けている
。
ストル型をなす装置本体１１内に、モータからなる回転
駆動機１２及びその出力側に設けた減速装置１３とを備
え、それらによって回転する回転軸１４を装置本体１１
から導出して、その先端に電極工具２０を取付けている
。
上記電極工具２０は、第１図及び第２図かられかるよう
に、導電性を有する銅その他の材料により形成した略円
板状の工具基盤２１と、その表面に取付ける粘弾性研磨
体２２とを主体として構成されている。１−記工具基盤
２１は、回転軸１４の先端に取付ける円板状の表面板２
４と、その表面板の背面周囲に液溜め２６を形成する背
板２５とを、周縁において一体的に接合することにより
構成したもので、上記表面板２４には、その中央に回転
軸１４に取付けるためのねし２８の頭部が没入する四部
２９を設けると共に、周縁から若干内側寄りの位置に多
数の電解液流出口３０を開設し、また上記背板２５には
その中心に回転軸１４との間に電解液供給用開口３１を
形成すると共に、その間口３１の周囲に、後述の電解用
電流を供給する給電用摺接子３３を接触させるための摺
接面３２を形成している。
に、導電性を有する銅その他の材料により形成した略円
板状の工具基盤２１と、その表面に取付ける粘弾性研磨
体２２とを主体として構成されている。１−記工具基盤
２１は、回転軸１４の先端に取付ける円板状の表面板２
４と、その表面板の背面周囲に液溜め２６を形成する背
板２５とを、周縁において一体的に接合することにより
構成したもので、上記表面板２４には、その中央に回転
軸１４に取付けるためのねし２８の頭部が没入する四部
２９を設けると共に、周縁から若干内側寄りの位置に多
数の電解液流出口３０を開設し、また上記背板２５には
その中心に回転軸１４との間に電解液供給用開口３１を
形成すると共に、その間口３１の周囲に、後述の電解用
電流を供給する給電用摺接子３３を接触させるための摺
接面３２を形成している。
」−記工具基盤２１の表面に取付ける粘弾性研磨体２２
は、発泡ポリウレタンその他の合成樹脂発泡体等のスポ
ンジ状部材、あるいはナイロン不織布のような、通液性
を有する粘弾性体によって構成し、それを導電性工具基
盤の表面に取付けるようにしたもので、図示したような
スポンジ状部材によって形成した場合には、その内部に
凹所３４を形成してそれを工具基盤２１に被着し、さら
に粘弾性研磨体２２とその中心部に当接した当板３５を
、工具基盤２１と共に回転軸１４にねじ２８で固定する
ことにより、それらを回転軸に取付けることができる。
は、発泡ポリウレタンその他の合成樹脂発泡体等のスポ
ンジ状部材、あるいはナイロン不織布のような、通液性
を有する粘弾性体によって構成し、それを導電性工具基
盤の表面に取付けるようにしたもので、図示したような
スポンジ状部材によって形成した場合には、その内部に
凹所３４を形成してそれを工具基盤２１に被着し、さら
に粘弾性研磨体２２とその中心部に当接した当板３５を
、工具基盤２１と共に回転軸１４にねじ２８で固定する
ことにより、それらを回転軸に取付けることができる。
また、ナイロン不織布のような粘弾性研磨体２２を用い
る場合には、その周辺部分を工具基盤２１の表面に接着
し、あるいは適宜手段で固定し、そのうえで上記当板３
５を当接して回転軸１４にねじ２８で固定すればよい。
る場合には、その周辺部分を工具基盤２１の表面に接着
し、あるいは適宜手段で固定し、そのうえで上記当板３
５を当接して回転軸１４にねじ２８で固定すればよい。
また、上記粘弾性研磨体２２は、その表面または内部全
体に砥粒を分散保持させておくことができ、その場合に
は、アルミナ等の砥粒を混合した合成樹脂ポンドにより
、ナイロン不織布等に砥粒を接着状態に保持させ、ある
いはそのような砥粒の固定を行うことなく、遊離状態の
砥粒を不織布の網目に支持させるようにすることもでき
る。
体に砥粒を分散保持させておくことができ、その場合に
は、アルミナ等の砥粒を混合した合成樹脂ポンドにより
、ナイロン不織布等に砥粒を接着状態に保持させ、ある
いはそのような砥粒の固定を行うことなく、遊離状態の
砥粒を不織布の網目に支持させるようにすることもでき
る。
−１；記表面板２４に開設した多数の電解液流出口３０
は、上記工具基盤２１の周縁から若干内側寄りに設ける
ことにより、電極工具２０の工具基盤２Ｉ内周辺部に電
解液の液溜め２６を形成し、この液溜め２６に電解液を
一詩的に貯えて、多数の電解液流出口３０から電解液を
安定的に供給できるようにするものである。従って、電
極工具２０が回転する間に電解液流出口３０から電解液
か逐次流出し、その電解液が、電極工具の回転に伴う遠
心力で、電極工具２０の周辺における粘弾性研磨体２２
と被加工物との接触部分に供給される。そのため、電解
液を圧送するための設備を殆ど必要とせず、しかも電極
工具２０が電解液の保有性にすぐれるため、水平な自由
曲面ばかりでなく、垂直に近い曲面でも電解液を安定的
に供給して研磨することができる。
は、上記工具基盤２１の周縁から若干内側寄りに設ける
ことにより、電極工具２０の工具基盤２Ｉ内周辺部に電
解液の液溜め２６を形成し、この液溜め２６に電解液を
一詩的に貯えて、多数の電解液流出口３０から電解液を
安定的に供給できるようにするものである。従って、電
極工具２０が回転する間に電解液流出口３０から電解液
か逐次流出し、その電解液が、電極工具の回転に伴う遠
心力で、電極工具２０の周辺における粘弾性研磨体２２
と被加工物との接触部分に供給される。そのため、電解
液を圧送するための設備を殆ど必要とせず、しかも電極
工具２０が電解液の保有性にすぐれるため、水平な自由
曲面ばかりでなく、垂直に近い曲面でも電解液を安定的
に供給して研磨することができる。
電解液供給管３日は、電極工具２０の周辺における研磨
作用部分に対して電解液を供給するためのもので、装置
本体ｊ１の一端に送給口４０を開口させ、また装置本体
内を通じて、上記工具基盤２１の背板２５の中心に設け
た回転軸１４のまわりの電解液供給用開口３１内に、他
端の送出口４１を開口させている。前記粘弾性研磨体２
２に砥粒を保持させる代り、あるいはそれに加えて、こ
の電解液供給管３８を通じて送給する電解液中に砥粒を
混入させることもできる。
作用部分に対して電解液を供給するためのもので、装置
本体ｊ１の一端に送給口４０を開口させ、また装置本体
内を通じて、上記工具基盤２１の背板２５の中心に設け
た回転軸１４のまわりの電解液供給用開口３１内に、他
端の送出口４１を開口させている。前記粘弾性研磨体２
２に砥粒を保持させる代り、あるいはそれに加えて、こ
の電解液供給管３８を通じて送給する電解液中に砥粒を
混入させることもできる。
装置本体１１の一端の給電端子４３は、給電用摺接子３
３及びそれに接触する摺接面３２を通して電極工具２０
に電解用の電流を供給するためのもので、被加工物をプ
ラス極、電極工具２０をマイナス極として、それらを図
示しない電源に接続できるように構成している。
３及びそれに接触する摺接面３２を通して電極工具２０
に電解用の電流を供給するためのもので、被加工物をプ
ラス極、電極工具２０をマイナス極として、それらを図
示しない電源に接続できるように構成している。
なお、図中、４４は回転駆動機１２を回転させるスイッ
チ操作子を示している。
チ操作子を示している。
かかる構成の電解砥粒複合研磨装置は、それを携帯用と
して被加工物表面の適宜位置に手動で軽く圧接し、その
研磨を行うもので、第３図に示すように、被加工物４５
における自由曲面の研磨に際しては、電解液供給管３８
を通じて電極工具２０にＮａＮＯ３またはＫＮＯ３等の
水溶液を供給しながら、電極−Ｔ具２０と被加工物４５
とのｎＦＩに数ホルトないしｌＯ数ボルトの電圧で数ア
ンペアの電流を流し、しかも回転駆動＠１２により電極
工具２０を回転させながら、電極工具２０における粘弾
性研磨体２２の周辺部分を被加工物４５の自由曲面に圧
接しｔこ状態で却下する。
して被加工物表面の適宜位置に手動で軽く圧接し、その
研磨を行うもので、第３図に示すように、被加工物４５
における自由曲面の研磨に際しては、電解液供給管３８
を通じて電極工具２０にＮａＮＯ３またはＫＮＯ３等の
水溶液を供給しながら、電極−Ｔ具２０と被加工物４５
とのｎＦＩに数ホルトないしｌＯ数ボルトの電圧で数ア
ンペアの電流を流し、しかも回転駆動＠１２により電極
工具２０を回転させながら、電極工具２０における粘弾
性研磨体２２の周辺部分を被加工物４５の自由曲面に圧
接しｔこ状態で却下する。
この場合に、電極工Ｊ１．２０の回転軸１４を粘弾性研
磨体２２と液加二［物４５との接触面における凹凸を平
均化した乎面に対して傾斜させた状態で、その粘弾性研
磨体の周辺部分のみを被加工物に接触させて却下を行う
ことになるが、一般的に、上記接触面に対する回転軸の
傾斜角度は、５〜６０°程度の範囲に保つことが必要で
あり、さらに好ましくは、１０〜４５°の範囲に保つこ
とが有効である。
磨体２２と液加二［物４５との接触面における凹凸を平
均化した乎面に対して傾斜させた状態で、その粘弾性研
磨体の周辺部分のみを被加工物に接触させて却下を行う
ことになるが、一般的に、上記接触面に対する回転軸の
傾斜角度は、５〜６０°程度の範囲に保つことが必要で
あり、さらに好ましくは、１０〜４５°の範囲に保つこ
とが有効である。
］−記主電極具２０は、その直径を１２ｃｍ程度にした
場合、回転駆動機１２による数１０Ｏｒｐｍ以下の回転
速度において、多少の凹凸を有する被加工物表面に圧接
しても、その粘弾性研磨体２２の周辺部分が被加工物表
面形状に倣って変形し、その表面にフィツトすることに
より、それを鏡面研磨することができる。この場合、粘
弾性研磨体２２と被加工物４５との接触面における被加
工物表面の凸部に対する電極工具２０の押付は圧は、当
然にその接触面中の四部に対する圧よりも大きく、従っ
てその凸部においては砥粒等による除去量が大きくなる
。
場合、回転駆動機１２による数１０Ｏｒｐｍ以下の回転
速度において、多少の凹凸を有する被加工物表面に圧接
しても、その粘弾性研磨体２２の周辺部分が被加工物表
面形状に倣って変形し、その表面にフィツトすることに
より、それを鏡面研磨することができる。この場合、粘
弾性研磨体２２と被加工物４５との接触面における被加
工物表面の凸部に対する電極工具２０の押付は圧は、当
然にその接触面中の四部に対する圧よりも大きく、従っ
てその凸部においては砥粒等による除去量が大きくなる
。
しかし、表面粗さとしては、比較的大きな四部及び凸部
において両者同程度の仕上りにすることができるので、
形状精度を問題にしない場合に能率的な研磨を行うこと
ができる。
において両者同程度の仕上りにすることができるので、
形状精度を問題にしない場合に能率的な研磨を行うこと
ができる。
また、−Ｆ記電解研磨は、電流密度が非常に低い状態に
おいて、ＮａＮ、０３やＫＮＯ３等の電解液を用いて行
うため、被加工物表面に不働態皮Ｈ費が生じ易い。しか
るに、被加工物表面においては、上記砥粒によって微小
な凸部が機械的に研磨される確率が大きいため、不働態
皮膜が除去されて電気的な活性化が高まり、これによっ
て被加工物の表面粗さが改善される。
おいて、ＮａＮ、０３やＫＮＯ３等の電解液を用いて行
うため、被加工物表面に不働態皮Ｈ費が生じ易い。しか
るに、被加工物表面においては、上記砥粒によって微小
な凸部が機械的に研磨される確率が大きいため、不働態
皮膜が除去されて電気的な活性化が高まり、これによっ
て被加工物の表面粗さが改善される。
このような電解砥粒複合研磨は、各種金属材料製品の自
由曲面の研磨に適用することができ、特にステンレス鋼
等の表面研磨に適したものである。
由曲面の研磨に適用することができ、特にステンレス鋼
等の表面研磨に適したものである。
［発明の効果］
このような構成を有する本発明によれば、電解砥粒複合
研磨を金属部材の自由曲面の研磨に適用することが可能
となり、特に、電極工具における粘弾性研磨体の周辺部
のみを被加工物に接触させて研磨することにより、粘弾
性研磨体の微小部分を被加工物に安定的に接触させて研
磨することができる。さらに、粘弾性研磨体と被加工物
との接触面の全体にわたって両者の相対的な摺動速度が
ほぼ等しくなるため、例えば小径の円板状粘弾性研磨体
を被加工面に全面的に接触させる場合のように、中心部
と周辺部に速度差が生じるようなことがなく、接触面の
均一な研磨を行うことができる。
研磨を金属部材の自由曲面の研磨に適用することが可能
となり、特に、電極工具における粘弾性研磨体の周辺部
のみを被加工物に接触させて研磨することにより、粘弾
性研磨体の微小部分を被加工物に安定的に接触させて研
磨することができる。さらに、粘弾性研磨体と被加工物
との接触面の全体にわたって両者の相対的な摺動速度が
ほぼ等しくなるため、例えば小径の円板状粘弾性研磨体
を被加工面に全面的に接触させる場合のように、中心部
と周辺部に速度差が生じるようなことがなく、接触面の
均一な研磨を行うことができる。
第１図は本発明に係る電解砥粒複合研磨装置の構成図、
第２図は上記研磨装置における電極工具の一部破断正面
図、第３図は」−記研磨装置による研磨の態様を示す要
部断面図である。 １２・・回転駆動機、 １４・・回転軸、２０・・電極
工具、 ２１・・工具基盤、２２・拳粘弾性研磨体、
３８・・供給管。
第２図は上記研磨装置における電極工具の一部破断正面
図、第３図は」−記研磨装置による研磨の態様を示す要
部断面図である。 １２・・回転駆動機、 １４・・回転軸、２０・・電極
工具、 ２１・・工具基盤、２２・拳粘弾性研磨体、
３８・・供給管。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、回転駆動機によって回転する電極工具を、円板状の
導電性工具基盤の表面に通液性のある粘弾性研磨体を取
付けることによって形成し、上記粘弾性研磨体を被加工
物表面の自由曲面に接触させるに際し、両者の接触面に
おける凹凸を平均化した平面に対して上記工具の回転軸
を傾斜させた状態で、その粘弾性研磨体の周辺部分のみ
を被加工物に接触させ、上記粘弾性研磨体に砥粒を保持
させて、その粘弾性研磨体と被加工物との間に電解液を
供給すると共に、両者間に電解のための電流を流して被
加工物を研磨することを特徴とする自由曲面の電解砥粒
複合研磨方法。 ２、回転駆動機によって回転する電極工具を、円板状の
導電性工具基盤の表面に通液性のある粘弾性研磨体を取
付けることによって形成し、その粘弾性研磨体における
周辺部分を、砥粒を保持し且つ被加工物の表面に倣って
変形可能な加工面とし、この電極工具の周辺部分に対し
て電解液を供給する供給管を設けると共に、上記電極工
具を被加工物との間に電解のための電流を流す電源に接
続したことを特徴とする電解砥粒複合研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6012685A JPS61219527A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 電解砥粒複合研磨方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6012685A JPS61219527A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 電解砥粒複合研磨方法及び装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61219527A true JPS61219527A (ja) | 1986-09-29 |
| JPH0420727B2 JPH0420727B2 (ja) | 1992-04-06 |
Family
ID=13133124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6012685A Granted JPS61219527A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 電解砥粒複合研磨方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61219527A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0259216A (ja) * | 1988-08-25 | 1990-02-28 | C Uyemura & Co Ltd | 研摩方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004299030A (ja) * | 2003-04-01 | 2004-10-28 | Misuzu Kogyo:Kk | 電解砥粒研磨用研磨工具 |
| JP2004299029A (ja) * | 2003-04-01 | 2004-10-28 | Misuzu Kogyo:Kk | ３次元自由曲面の電解砥粒研磨装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60127921A (ja) * | 1983-12-12 | 1985-07-08 | Agency Of Ind Science & Technol | 電解砥粒複合研磨装置 |
-
1985
- 1985-03-25 JP JP6012685A patent/JPS61219527A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60127921A (ja) * | 1983-12-12 | 1985-07-08 | Agency Of Ind Science & Technol | 電解砥粒複合研磨装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0259216A (ja) * | 1988-08-25 | 1990-02-28 | C Uyemura & Co Ltd | 研摩方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0420727B2 (ja) | 1992-04-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |