JPS61219125A - 積層セラミツク電子部品の製造方法および製造装置 - Google Patents
積層セラミツク電子部品の製造方法および製造装置Info
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- JPS61219125A JPS61219125A JP60061423A JP6142385A JPS61219125A JP S61219125 A JPS61219125 A JP S61219125A JP 60061423 A JP60061423 A JP 60061423A JP 6142385 A JP6142385 A JP 6142385A JP S61219125 A JPS61219125 A JP S61219125A
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- ceramic electronic
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
この発明は積層圧電素子、積層セラミックコンデンサ、
積層バリスタなどの積層セラミック電子部品の製造方法
および製造装置に関する。
積層バリスタなどの積層セラミック電子部品の製造方法
および製造装置に関する。
［発明の技術的背景とその間第点］
従来、たとえば積層セラミックコンデンサは、チタン酸
バリウムなどのセラミック粉末、バインダ、溶剤などか
らなる泥漿を作り、これをドクターブレード法などによ
り薄膜に成形しグリーンシートとし、次いでこれを切断
機により所定大きさに打抜く。打抜いたグリーンシート
表面にスクリーン印刷機でＰｄまたはＡｇ−Ｐｄ合金よ
りなる導電性ペーストを印刷−乾燥して内部電極を形成
するが、第４図に示すようにグリーンシート（１）には
多数の内部電極（２）が形成されたものとなる。
バリウムなどのセラミック粉末、バインダ、溶剤などか
らなる泥漿を作り、これをドクターブレード法などによ
り薄膜に成形しグリーンシートとし、次いでこれを切断
機により所定大きさに打抜く。打抜いたグリーンシート
表面にスクリーン印刷機でＰｄまたはＡｇ−Ｐｄ合金よ
りなる導電性ペーストを印刷−乾燥して内部電極を形成
するが、第４図に示すようにグリーンシート（１）には
多数の内部電極（２）が形成されたものとなる。
このグリーンシー１−（１）を１枚毎に１８０度回転し
て交互に８Ｉ層するが、これを詳細に述べれば第５図に
示すフレーム（３）のガイド穴（４）を使用してスクリ
ーン印刷機に固定したのちグリーンシート（１）を載置
し、これに内部電極（２）を印刷する。
て交互に８Ｉ層するが、これを詳細に述べれば第５図に
示すフレーム（３）のガイド穴（４）を使用してスクリ
ーン印刷機に固定したのちグリーンシート（１）を載置
し、これに内部電極（２）を印刷する。
次いで印刷された内部電極（２）を乾燥させフレーム（
３）を切断金型にガイド穴（４）を使用して位置決めし
たのち打抜くが、打抜かれたグリーンシート（１）は切
断金型の雌型上に残る。次に内部電極（２）の方向を１
８０度回転させて変位した方向で前記と同様にしてグリ
ーンシート（１）を打抜き、前記雌型上に重ねていきこ
れを繰返して交互に積層したグリーンシート（１）を得
る。所定枚数を積層したグリーンシート（１）をプレス
し、内部電極（２）に接続した外部電極（図示せず）を
形成し、該外部電極をのぞいて外装して積層セラミック
コンデンサとしていた。しかしながら、このような製造
方法では各工程が連続してぃず、かつそれぞれ高精度を
要するため手作業に頼らざるを得ないので、凹座性に乏
しく、誤差が積みかさなって内部電極（２）の位置ずれ
が生じ、品質低下の原因となっていた。これは積層セラ
ミックコンデンサだけでなく、他の積層セラミック電子
部品でも同様である。
３）を切断金型にガイド穴（４）を使用して位置決めし
たのち打抜くが、打抜かれたグリーンシート（１）は切
断金型の雌型上に残る。次に内部電極（２）の方向を１
８０度回転させて変位した方向で前記と同様にしてグリ
ーンシート（１）を打抜き、前記雌型上に重ねていきこ
れを繰返して交互に積層したグリーンシート（１）を得
る。所定枚数を積層したグリーンシート（１）をプレス
し、内部電極（２）に接続した外部電極（図示せず）を
形成し、該外部電極をのぞいて外装して積層セラミック
コンデンサとしていた。しかしながら、このような製造
方法では各工程が連続してぃず、かつそれぞれ高精度を
要するため手作業に頼らざるを得ないので、凹座性に乏
しく、誤差が積みかさなって内部電極（２）の位置ずれ
が生じ、品質低下の原因となっていた。これは積層セラ
ミックコンデンサだけでなく、他の積層セラミック電子
部品でも同様である。
［発明の目的］
この発明は積層セラミック電子部品における内部電極の
ずれをなくして高精度の積層セラミック電子部品を高能
率に製造する方法および製造装置を提供することを目的
としたものである。
ずれをなくして高精度の積層セラミック電子部品を高能
率に製造する方法および製造装置を提供することを目的
としたものである。
［発明の概要］
この発明はセラミックのグリーンシートに所定パターン
の内部電極群と位置マークを印刷し乾燥する工程と、該
グリーンシートを位置センサを設置した打抜金型に載置
し前記位置マークを検出したのち打抜く工程と、打抜か
れたグリーンシートを所定枚数積層する工程と、該積層
したグリーンシートをプレスしたのち切断し焼成して部
品素子を得る工程と、該部品素子の内部電極に外部電極
を接続する工程とを具備し、前記所定パターンの内部電
極群を１枚ずつ交互に１８０度変位して印刷するか、ま
たは打抜かれたグリーンシートを１枚ずつ交互に１８０
度変位させて積層する積層セラミック電子部品の製造方
法 および 帯状のグリーンシートに内部電極群と位置
マークを印刷する印刷機と、該グリーンシートを乾燥す
る乾燥炉と、グリーンシートを打抜く打抜き金型と、グ
リーンシートの送りを制御する送りローラーおよび駆動
制御部を具備し、前記打抜き金型が前記位置マークを検
知する位置センサ、該位置センサの発する信号により金
型全体をｘ−ｙ方向に移動させるｘ−Ｙ駆動制御部、前
記グリーンシートを打抜く雄型および雌型を有すること
を特徴とする積層セラミック電子部品の製造装置である
。
の内部電極群と位置マークを印刷し乾燥する工程と、該
グリーンシートを位置センサを設置した打抜金型に載置
し前記位置マークを検出したのち打抜く工程と、打抜か
れたグリーンシートを所定枚数積層する工程と、該積層
したグリーンシートをプレスしたのち切断し焼成して部
品素子を得る工程と、該部品素子の内部電極に外部電極
を接続する工程とを具備し、前記所定パターンの内部電
極群を１枚ずつ交互に１８０度変位して印刷するか、ま
たは打抜かれたグリーンシートを１枚ずつ交互に１８０
度変位させて積層する積層セラミック電子部品の製造方
法 および 帯状のグリーンシートに内部電極群と位置
マークを印刷する印刷機と、該グリーンシートを乾燥す
る乾燥炉と、グリーンシートを打抜く打抜き金型と、グ
リーンシートの送りを制御する送りローラーおよび駆動
制御部を具備し、前記打抜き金型が前記位置マークを検
知する位置センサ、該位置センサの発する信号により金
型全体をｘ−ｙ方向に移動させるｘ−Ｙ駆動制御部、前
記グリーンシートを打抜く雄型および雌型を有すること
を特徴とする積層セラミック電子部品の製造装置である
。
［発明の実施例］
積層セラミックコンデンサを実施例として述べると、チ
タン酸バリウムを主組成とする粉末にアクリル樹脂から
なるバインダ、アセトン、可塑剤を加えて泥漿を作り、
これをドクターブレード法により厚さ５０μｍ×幅１５
０ｍの帯状のグリーンシートを作製する。第１図に示す
ように該グリ−ンシート（１１）を巻回してロールとし
、これをスプール（１２）に掛け、後述する送りローラ
ーの働きによって印刷機（１３）に送られる。該印刷機
（１３）はたとえばスクリーン印刷機であり、グリーン
シート（１１）は第２図に示すようなパターンの内部電
極（１４）群と、位置マーク（１５）をＡｇ−Ｐｄペー
ストなどの導電材料により１０μｍの厚さに印刷された
のち、乾燥炉（１６）中で５０℃ １０分間乾燥される
。グリーンシート（１１）はピンチローラ−（１７）と
ドライブローラー（１８）からなる送りローラーに挟み
込まれ、該送りローラーを制御する駆動制御部（１９）
により前記印刷工程や後述する打抜き金型などの動作を
考慮して間欠運動をするよう制御される。このような送
りローラーによって間欠的に送られたグリーンシート（
１１）は打抜き金型（２０）の中に移動し停止する。打
抜き金型（２０）には前述の位置マーク（１５）を検出
する位置センサ（２１）、グリーンシート（１１）を打
抜くための雄型（２２）、 １ｉ型（２３）、前記雄
型（２２）に設置された吸着ノズル（２４）、前記位置
センサ（２１）の発する信号により雄型（２２）をｘ−
ｙ方向に移動さＶるｘ−ｙ駆動制御部（２５）、雄型（
２２）または雌型（２３）を１８０度変泣きせる変位制
御部（２６）を具備している。グリーンシー ト（１１
）は位置センサ（２１）によって位置ン−り（１５）を
確認されたら、位置センサ（２１）の発する信号を受け
たｘ−ｙ駆動制御部（２５）によって打抜き金型（２０
）全体を設定された位置に移動したのち、金型の作動に
より打抜かれ雌型（２３）の中に落ちる。
タン酸バリウムを主組成とする粉末にアクリル樹脂から
なるバインダ、アセトン、可塑剤を加えて泥漿を作り、
これをドクターブレード法により厚さ５０μｍ×幅１５
０ｍの帯状のグリーンシートを作製する。第１図に示す
ように該グリ−ンシート（１１）を巻回してロールとし
、これをスプール（１２）に掛け、後述する送りローラ
ーの働きによって印刷機（１３）に送られる。該印刷機
（１３）はたとえばスクリーン印刷機であり、グリーン
シート（１１）は第２図に示すようなパターンの内部電
極（１４）群と、位置マーク（１５）をＡｇ−Ｐｄペー
ストなどの導電材料により１０μｍの厚さに印刷された
のち、乾燥炉（１６）中で５０℃ １０分間乾燥される
。グリーンシート（１１）はピンチローラ−（１７）と
ドライブローラー（１８）からなる送りローラーに挟み
込まれ、該送りローラーを制御する駆動制御部（１９）
により前記印刷工程や後述する打抜き金型などの動作を
考慮して間欠運動をするよう制御される。このような送
りローラーによって間欠的に送られたグリーンシート（
１１）は打抜き金型（２０）の中に移動し停止する。打
抜き金型（２０）には前述の位置マーク（１５）を検出
する位置センサ（２１）、グリーンシート（１１）を打
抜くための雄型（２２）、 １ｉ型（２３）、前記雄
型（２２）に設置された吸着ノズル（２４）、前記位置
センサ（２１）の発する信号により雄型（２２）をｘ−
ｙ方向に移動さＶるｘ−ｙ駆動制御部（２５）、雄型（
２２）または雌型（２３）を１８０度変泣きせる変位制
御部（２６）を具備している。グリーンシー ト（１１
）は位置センサ（２１）によって位置ン−り（１５）を
確認されたら、位置センサ（２１）の発する信号を受け
たｘ−ｙ駆動制御部（２５）によって打抜き金型（２０
）全体を設定された位置に移動したのち、金型の作動に
より打抜かれ雌型（２３）の中に落ちる。
この時グリーンシート（１１）は乾燥炉（１６）で乾燥
された状態にあるから、打抜き金型（２０）の移動によ
っても位置が変ることはない。打抜かれたグリーンシー
ト（１１）は前述の如く、雌型（２３）の中に落ちるが
、従来例でも述べたように打抜かれたグリーンシート（
１１）は１枚ずつ交互に１８０度変位させて積層しなけ
ればならないから、前記のように雌型（２３）の中に落
ちたものの次に打抜いたグリーンシート（１１）の場合
は雄型（２２）の先端面に設けた吸着ノズル（２４）が
グリーンシート（１１）に密着し吸着したのち打抜かれ
るが、吸着状態はそのまま維持されるから打抜かれたグ
リーンシート（１１）は前記吸着ノズル（２４）に吸着
されたまま雌型（２３）を離れ上昇する。上昇が停止し
たところで雄型（２２）は変位制御部（２６）の作動に
より１８０度回転して変位したのち再度下降して雌型（
２３）と合致したところで前記吸着ノズル（２４）から
解放されるので、前のグリーンシート（１１）とは１８
０度変位して積層される。 このようにして打抜かれた
グリーンシート（１１）は１枚毎交互に１８０度変位し
て積層され、積層所定枚数に達すると取り出してプレス
するが、２０枚積層したものにおいて４００ Ｋ’Ｊ
／ ｃｉの圧力を加えたのち、内部電極（１４）を両側
から引出す位置で切断され、第３図に示すコンデンサ素
子（２７）とし、これを１２００℃で４ｈ焼成したのち
、素子端面の内部電極（１４）をＡｑ−Ｐｄペーストに
浸漬し７００℃ １ｈの焼付けを行って外部電極（２８
）を形成する。このようにして作製した積層セラミック
コンデンサに必要によりエポキシ樹脂の外装を施したら
前記外部電極（２８）に端子などを接続してもよい。
された状態にあるから、打抜き金型（２０）の移動によ
っても位置が変ることはない。打抜かれたグリーンシー
ト（１１）は前述の如く、雌型（２３）の中に落ちるが
、従来例でも述べたように打抜かれたグリーンシート（
１１）は１枚ずつ交互に１８０度変位させて積層しなけ
ればならないから、前記のように雌型（２３）の中に落
ちたものの次に打抜いたグリーンシート（１１）の場合
は雄型（２２）の先端面に設けた吸着ノズル（２４）が
グリーンシート（１１）に密着し吸着したのち打抜かれ
るが、吸着状態はそのまま維持されるから打抜かれたグ
リーンシート（１１）は前記吸着ノズル（２４）に吸着
されたまま雌型（２３）を離れ上昇する。上昇が停止し
たところで雄型（２２）は変位制御部（２６）の作動に
より１８０度回転して変位したのち再度下降して雌型（
２３）と合致したところで前記吸着ノズル（２４）から
解放されるので、前のグリーンシート（１１）とは１８
０度変位して積層される。 このようにして打抜かれた
グリーンシート（１１）は１枚毎交互に１８０度変位し
て積層され、積層所定枚数に達すると取り出してプレス
するが、２０枚積層したものにおいて４００ Ｋ’Ｊ
／ ｃｉの圧力を加えたのち、内部電極（１４）を両側
から引出す位置で切断され、第３図に示すコンデンサ素
子（２７）とし、これを１２００℃で４ｈ焼成したのち
、素子端面の内部電極（１４）をＡｑ−Ｐｄペーストに
浸漬し７００℃ １ｈの焼付けを行って外部電極（２８
）を形成する。このようにして作製した積層セラミック
コンデンサに必要によりエポキシ樹脂の外装を施したら
前記外部電極（２８）に端子などを接続してもよい。
このようにして作製した積層セラミックコンデンサと、
前述した従来の方法により作製した積層セラミックコン
デンサについて、その特性を比較したところ、本発明に
よる場合は短絡、容量率ヱまたは容伍抜けの合計が５％
なのに対し、従来の場合は２０％の発生をみた。これは
グリーンシートを積層するときの位置ずれに起因するも
ので、個々のコンデンサ素子として切断するときの切断
箇所と内部電極との関係により発生するものである。
なお、上記実施例ではグリーンシート（１１）に所定パ
ターンの内部電極群を印刷し、打抜き金型（２０）の雌
型（２２）を１８０度変位させて積層する方法および装
置について述べたが、打抜き金型（２０）の雌型（２３
）を変位させてもよいし、また雄型（２２）や雌型（２
３）とは別個の積層容器を用いてグリーンシートを吸着
した吸着ノズルを変位させても、あるいは積層容器を変
位させても同効である。
前述した従来の方法により作製した積層セラミックコン
デンサについて、その特性を比較したところ、本発明に
よる場合は短絡、容量率ヱまたは容伍抜けの合計が５％
なのに対し、従来の場合は２０％の発生をみた。これは
グリーンシートを積層するときの位置ずれに起因するも
ので、個々のコンデンサ素子として切断するときの切断
箇所と内部電極との関係により発生するものである。
なお、上記実施例ではグリーンシート（１１）に所定パ
ターンの内部電極群を印刷し、打抜き金型（２０）の雌
型（２２）を１８０度変位させて積層する方法および装
置について述べたが、打抜き金型（２０）の雌型（２３
）を変位させてもよいし、また雄型（２２）や雌型（２
３）とは別個の積層容器を用いてグリーンシートを吸着
した吸着ノズルを変位させても、あるいは積層容器を変
位させても同効である。
また、印刷機に内部電極が１８０度変泣きたものを２面
設け、交互に使用することによって、またはワクリーン
印刷機自体を１８０度変泣きせることによっても全く同
様の効果を得ることができる。
設け、交互に使用することによって、またはワクリーン
印刷機自体を１８０度変泣きせることによっても全く同
様の効果を得ることができる。
［発明の効果１
この発明によれば、グリーンシートへ内部電極群ととも
に位置マークを印刷し、該位置マークを位置センサで検
出して打抜き、積層するために積層時の内部電極群の位
置ずれが小さくなり、従来より短絡、容量抜け、容置不
足などの不良を大幅に減少させることができる。
に位置マークを印刷し、該位置マークを位置センサで検
出して打抜き、積層するために積層時の内部電極群の位
置ずれが小さくなり、従来より短絡、容量抜け、容置不
足などの不良を大幅に減少させることができる。
第１図は本発明になる積層セラミック電子部品の製造装
置の一実施例を示す工程構成図、第２図は本発明の製造
方法によりグリーンシートに内部電極および位置マーク
を印刷した状態を示す平面図、第３図は積層セラミック
電子部品を示す正断面図、第４図は従来のグリーンシー
トに内部電極を印刷した平面図、第５図は従来例に用い
るフレームを示す斜視図である。 以 下 余 白 （１１）・・・・・・グリーンシート （１２）・・
・・・・スプール（１３）・・・・・・印刷機 （
１４）・・・・・・内部電極（１５）・・・・・・位置
マーク （１６）・・・・・・乾燥炉（１１）・・
・・・・ピンチローラ− （１８）・・・・・・ドライブローラー（１９）・・・
・・・駆動制御部 （２０）・・・・・・打抜き金
型（２１）・・・・・・位置センサ （２２）・・
・・・・雄型（２３）・・・・・・雌型 （２４）
・・・・・・吸着ノズル（２５）・・・・・・ｘ−ｙ駆
動制御部（２６）・・・・・・変位制御部 （２７）・・・・・・コンデンサ素子 （２８）・・・・・・外部電極
置の一実施例を示す工程構成図、第２図は本発明の製造
方法によりグリーンシートに内部電極および位置マーク
を印刷した状態を示す平面図、第３図は積層セラミック
電子部品を示す正断面図、第４図は従来のグリーンシー
トに内部電極を印刷した平面図、第５図は従来例に用い
るフレームを示す斜視図である。 以 下 余 白 （１１）・・・・・・グリーンシート （１２）・・
・・・・スプール（１３）・・・・・・印刷機 （
１４）・・・・・・内部電極（１５）・・・・・・位置
マーク （１６）・・・・・・乾燥炉（１１）・・
・・・・ピンチローラ− （１８）・・・・・・ドライブローラー（１９）・・・
・・・駆動制御部 （２０）・・・・・・打抜き金
型（２１）・・・・・・位置センサ （２２）・・
・・・・雄型（２３）・・・・・・雌型 （２４）
・・・・・・吸着ノズル（２５）・・・・・・ｘ−ｙ駆
動制御部（２６）・・・・・・変位制御部 （２７）・・・・・・コンデンサ素子 （２８）・・・・・・外部電極
Claims (5)
- （１）セラミックのグリーンシートに所定パターンの内
部電極群と位置マークを印刷し乾燥する工程と、該グリ
ーンシートを位置センサを設置した打抜き金型に載置し
前記位置マークを検出したのち打抜く工程と、打抜かれ
たグリーンシートを所定枚数積層する工程と、該積層し
たグリーンシートをプレスしたのち切断し焼成して部品
素子を得る工程と、該部品素子の内部電極に外部電極を
接続する工程とを具備し、前記所定パターンの内部電極
群を１枚ずつ交互に１８０度変位して印刷するか、また
は打抜かれたグリーンシートを１枚ずつ交互に１８０度
変位させて積層する積層セラミック電子部品の製造方法
。 - （２）帯状のグリーンシートに内部電極群と位置マーク
を印刷する印刷機と、該グリーンシートを乾燥する乾燥
炉と、グリーンシートを打抜く打抜き金型と、グリーン
シートの送りを制御する送りローラーおよび駆動制御部
を具備し、前記打抜き金型が前記位置マークを検知する
位置センサ、該位置センサの発する信号により金型全体
をＸ−Ｙ方向に移動させるＸ−Ｙ駆動制御部、前記グリ
ーンシートを打抜く雄型および雌型を有することを特徴
とする積層セラミック電子部品の製造装置。 - （３）印刷機が内部電極群と位置マークを１枚ずつ交互
に１８０度変位させるものであることを特徴とする特許
請求の範囲第（２）項記載の積層セラミック電子部品の
製造装置。 - （４）印刷機が内部電極群と位置マークを印刷する２台
または２面を有しそれぞれが１８０度変位したものから
なり、交互に作動することを特徴とする特許請求の範囲
第（２）項記載の積層セラミック電子部品の製造装置。 - （５）雄型がグリーンシートとの接触面に吸着ノズルを
有し、該雄型または雌型あるいはグリーンシートを収容
する積層容器が１８０度変位するものからなることを特
徴とする特許請求の範囲第（２）項記載の積層セラミッ
ク電子部品の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60061423A JPS61219125A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 積層セラミツク電子部品の製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60061423A JPS61219125A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 積層セラミツク電子部品の製造方法および製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61219125A true JPS61219125A (ja) | 1986-09-29 |
Family
ID=13170659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60061423A Pending JPS61219125A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 積層セラミツク電子部品の製造方法および製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61219125A (ja) |
Cited By (7)
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|---|---|---|---|---|
| JPS63102216A (ja) * | 1986-10-17 | 1988-05-07 | 株式会社村田製作所 | 積層コンデンサ用生シ−トの加工方法 |
| JPH01128802A (ja) * | 1987-11-13 | 1989-05-22 | Ngk Insulators Ltd | グリーンシートの供給方法及び供給装置 |
| JPH03123010A (ja) * | 1989-10-05 | 1991-05-24 | Murata Mfg Co Ltd | 積層電子部品の製造方法 |
| JPH0472709A (ja) * | 1990-07-13 | 1992-03-06 | Murata Mfg Co Ltd | セラミック積層体の製造方法および装置 |
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| JPH04206912A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-28 | Murata Mfg Co Ltd | セラミック積層電子部品の製造方法 |
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-
1985
- 1985-03-25 JP JP60061423A patent/JPS61219125A/ja active Pending
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