JPS61212808A - 光部品実装方法 - Google Patents
光部品実装方法Info
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- JPS61212808A JPS61212808A JP5219585A JP5219585A JPS61212808A JP S61212808 A JPS61212808 A JP S61212808A JP 5219585 A JP5219585 A JP 5219585A JP 5219585 A JP5219585 A JP 5219585A JP S61212808 A JPS61212808 A JP S61212808A
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- Japan
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- optical
- optical fiber
- adhesive
- ultraviolet
- light
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は光部品の実装方法に関する。
光部品として光分岐導波路を含む光伝送結合装置を例に
掲げて従来技術による光信号入出力部の実装方法につい
て述べる。
掲げて従来技術による光信号入出力部の実装方法につい
て述べる。
第４図、第５図に従来技術により実装された光伝送結合
装置の実施例を示す。第４図の光分岐導波路は例えばＬ
ｉＮｂ０．基板（３）上に所望の分岐パターンに則して
Ｔｉ元素を部分的に熱拡散させて周囲の基板より屈折率
の若干高い光導波路（２）を形成する。上記の拡散型光
導波路基板の端面に露呈した導波路断面に対し第４図の
如く入出力光ファイバ（１）を接着する。この際各光フ
ァイバ３軸微動装置に取り付けて上記導波路と光軸合せ
を行ない、両者の中心軸が一致した時点で両者の間に介
在しせしめた光硬化型接着剤に硬化光として超高田水銀
ランプの紫外線を極く短時間照射して硬化する実装方法
が実施されている。
装置の実施例を示す。第４図の光分岐導波路は例えばＬ
ｉＮｂ０．基板（３）上に所望の分岐パターンに則して
Ｔｉ元素を部分的に熱拡散させて周囲の基板より屈折率
の若干高い光導波路（２）を形成する。上記の拡散型光
導波路基板の端面に露呈した導波路断面に対し第４図の
如く入出力光ファイバ（１）を接着する。この際各光フ
ァイバ３軸微動装置に取り付けて上記導波路と光軸合せ
を行ない、両者の中心軸が一致した時点で両者の間に介
在しせしめた光硬化型接着剤に硬化光として超高田水銀
ランプの紫外線を極く短時間照射して硬化する実装方法
が実施されている。
また第５図はリッジ型光導波路基板に関する実装の従来
例であり、第５図の光分岐導波路（２）は例えばＳｉ基
板（３）上の全面にわたり５１０２膜を形成し、更にコ
ーニングｉ％７０５９ガラスの様な屈折率の高い酸化物
ガラスやカルコゲナイドガラス等の導波層を形成し、所
望の分岐パターン形状の導波層のみを残して他の導波層
は全てエツチング法等にて除去して形成したリッチ型光
分岐導波路である。
例であり、第５図の光分岐導波路（２）は例えばＳｉ基
板（３）上の全面にわたり５１０２膜を形成し、更にコ
ーニングｉ％７０５９ガラスの様な屈折率の高い酸化物
ガラスやカルコゲナイドガラス等の導波層を形成し、所
望の分岐パターン形状の導波層のみを残して他の導波層
は全てエツチング法等にて除去して形成したリッチ型光
分岐導波路である。
導波路端面ば第４図の如く処理しても良いが、第５図の
如＜ （１００）面を主面とするＳｉ基板を使い光力
性化学エツチングにより同一基板内で光導波路入出力部
に１Ｍ６を形成する組が可能である。
如＜ （１００）面を主面とするＳｉ基板を使い光力
性化学エツチングにより同一基板内で光導波路入出力部
に１Ｍ６を形成する組が可能である。
■溝内壁及び導波路端面に光硬化型接着剤を塗布して、
ｖ溝ｙ面に密着させて、入出力光ファイバｌを挿入し、
短時間紫外線を照射して硬化する実装方法を講じる事が
できる。
ｖ溝ｙ面に密着させて、入出力光ファイバｌを挿入し、
短時間紫外線を照射して硬化する実装方法を講じる事が
できる。
」二連の如く光硬化型接着剤を用いた硬化方法では第４
図、第５図の光導波路基板（３）に対して通常はほぼ真
上の方向より紫外線を照射するため光導波路端面と光フ
アイバ先端の接着面（５）に対しては極端に斜め方向か
ら照射する事になるため紫外線強度が著しく低下し十分
な接着強度を得るためには長い照射時間を必要とする。
図、第５図の光導波路基板（３）に対して通常はほぼ真
上の方向より紫外線を照射するため光導波路端面と光フ
アイバ先端の接着面（５）に対しては極端に斜め方向か
ら照射する事になるため紫外線強度が著しく低下し十分
な接着強度を得るためには長い照射時間を必要とする。
更に第６図に於いて上記紫外線照射時の光ファイバ断ｍ
ｉ内を通過する紫外線の光路な示す。光ファイバの側面
より光ファイバ（１）内へ入射した紫外線（９）は該光
フアイバ表面で屈折して第６図に示す如く紫′外線強度
むらを発生する。即ち、光ファイバがＶ溝壁面と接鯨す
る点近傍の接着剤に対する紫外線強度は低下し、反対に
光ファイバと■溝側壁面で囲まれた空間′内に存在する
接着剤に対する紫外線強度は増大する。
ｉ内を通過する紫外線の光路な示す。光ファイバの側面
より光ファイバ（１）内へ入射した紫外線（９）は該光
フアイバ表面で屈折して第６図に示す如く紫′外線強度
むらを発生する。即ち、光ファイバがＶ溝壁面と接鯨す
る点近傍の接着剤に対する紫外線強度は低下し、反対に
光ファイバと■溝側壁面で囲まれた空間′内に存在する
接着剤に対する紫外線強度は増大する。
これら上記接着面（５）も含めて光フアイバ周囲に於け
る紫外線強度の不均一性は各場所での接着剤硬化速度に
影響を与え光フアイバ周囲の硬化時体積収縮率等も異な
り応力歪を発生する原因となる。
る紫外線強度の不均一性は各場所での接着剤硬化速度に
影響を与え光フアイバ周囲の硬化時体積収縮率等も異な
り応力歪を発生する原因となる。
更に上述の如く照射時間が長になるにつれて超高圧水銀
ランプに含まれる赤外線の影響で接着部の温度が著しく
上昇し一層大きな歪が発生する。
ランプに含まれる赤外線の影響で接着部の温度が著しく
上昇し一層大きな歪が発生する。
従って従来の実装方法では硬化中または硬化後に上記歪
のため光ファイバ（１）の光軸が若干移動して光結合効
率が低下する場合があり、特に入出力光ファイバとして
単一モード光ファイバを用いる場合はコア径が数μｍと
細＜０．２μｍ程度光軸が移動しても０．１ｄＢ程度の
無視する事ができない指失増加を生じる。第４図の実装
方法でも光導波路端面と光フアイバ先端の接着面におけ
る紫外線強度の低下や強度の不均一が発生し、これらは
長期的な温度変動に対して接着面もしくは接着部の強度
劣化の原因となる。
のため光ファイバ（１）の光軸が若干移動して光結合効
率が低下する場合があり、特に入出力光ファイバとして
単一モード光ファイバを用いる場合はコア径が数μｍと
細＜０．２μｍ程度光軸が移動しても０．１ｄＢ程度の
無視する事ができない指失増加を生じる。第４図の実装
方法でも光導波路端面と光フアイバ先端の接着面におけ
る紫外線強度の低下や強度の不均一が発生し、これらは
長期的な温度変動に対して接着面もしくは接着部の強度
劣化の原因となる。
本発明は上述の如き欠点を改良するためになされたもの
で、光硬化型接着剤の硬化光を反射または散乱させる光
字機構を設けて信頼性の高い光部品が得られる実装方法
を提供する事を目的とする。
で、光硬化型接着剤の硬化光を反射または散乱させる光
字機構を設けて信頼性の高い光部品が得られる実装方法
を提供する事を目的とする。
本発明は光部品即ち光分岐、光結合器、光合分波器、光
変調器、光スイツチ等光回路部品の光信号入出力部例え
ば光導波路端面、プリズム側面、レンズ面等光学部品の
端面に光ファイバを光硬化型接着剤を用いて接合する実
装技術に係わる。
変調器、光スイツチ等光回路部品の光信号入出力部例え
ば光導波路端面、プリズム側面、レンズ面等光学部品の
端面に光ファイバを光硬化型接着剤を用いて接合する実
装技術に係わる。
紫外線用蛍光灼、超高田水銀ランプ等の波長３００〜４
ＱＱｎｍ程度の紫外線を硬化光として短時間照射して上
記接着剤を硬化して接続する際に光学部品の端面と接続
すべき光フアイバ先端から成る接着部に対してはは同−
面方向より硬化光を照射するものとして上記接着面内の
紫外線強度の増大と均一化を計るために上記接着部近傍
に紫外線を反射または散乱させる光学機構を設ける。即
ち紫外線光源からの直射光を反射するかまたは上記光学
部品や光ファイバの透過光を再び反射して上記接着面を
照射するための紫外線反射ミラー、全反射ミラー等を設
ける。これら光学機構は上記光学部品内に設けても良い
し、また光学部品と光ファイバを実装するための実装基
板内に設けても良いものとする６ 〔発明の効果〕 本発明の実装方法によれば光部品と光ファイバの接着面
に介在する光硬化型接着剤に対する紫外線強度が増大し
、紫外線照射時間が短縮され、また光源の熱的１誉も軽
減される。更に接着面に対して均一な紫外線強度が得ら
れるため硬化時の応力歪が緩和されて安定かつ接着力の
強い接続が谷筋に実現できるので光部品全体の信頼性が
向上するＯ 〔発明の実施例〕 第】Ｉ￥Ｉは本発明の実装方法による光来積面ｌ１ｉｖ
部品の一層）ｉｈ例の構成を示す斜禎図である。第２し
１は第】図実装部品の表面を保Ｊ℃（するためにモール
ド剤を充填した移の［す１面図である。
ＱＱｎｍ程度の紫外線を硬化光として短時間照射して上
記接着剤を硬化して接続する際に光学部品の端面と接続
すべき光フアイバ先端から成る接着部に対してはは同−
面方向より硬化光を照射するものとして上記接着面内の
紫外線強度の増大と均一化を計るために上記接着部近傍
に紫外線を反射または散乱させる光学機構を設ける。即
ち紫外線光源からの直射光を反射するかまたは上記光学
部品や光ファイバの透過光を再び反射して上記接着面を
照射するための紫外線反射ミラー、全反射ミラー等を設
ける。これら光学機構は上記光学部品内に設けても良い
し、また光学部品と光ファイバを実装するための実装基
板内に設けても良いものとする６ 〔発明の効果〕 本発明の実装方法によれば光部品と光ファイバの接着面
に介在する光硬化型接着剤に対する紫外線強度が増大し
、紫外線照射時間が短縮され、また光源の熱的１誉も軽
減される。更に接着面に対して均一な紫外線強度が得ら
れるため硬化時の応力歪が緩和されて安定かつ接着力の
強い接続が谷筋に実現できるので光部品全体の信頼性が
向上するＯ 〔発明の実施例〕 第】Ｉ￥Ｉは本発明の実装方法による光来積面ｌ１ｉｖ
部品の一層）ｉｈ例の構成を示す斜禎図である。第２し
１は第】図実装部品の表面を保Ｊ℃（するためにモール
ド剤を充填した移の［す１面図である。
第１１グに於いて光集積回路（２）は光分岐ｅ、Ｉ、Ｉ
波路であって其の基板（３）は例えばＬｉＮｂＯ３賦板
である。
波路であって其の基板（３）は例えばＬｉＮｂＯ３賦板
である。
其の表偵１にフォトエツチング法等で７字型にＴＩ元Ｘ
ｆｆ＋、・を形成し陣拡散法で基板内部へ拡散し若干
ｊ）１１秒〒婢５を高めてｎ＝さ３μｍ５ｌ１％１５μ
ｍ程度の章−モード光導波路を形成し光分岐導波路の３
つの入出力端は其の整板を切断後、研磨する事で基板の
側面に露呈させる。
ｆｆ＋、・を形成し陣拡散法で基板内部へ拡散し若干
ｊ）１１秒〒婢５を高めてｎ＝さ３μｍ５ｌ１％１５μ
ｍ程度の章−モード光導波路を形成し光分岐導波路の３
つの入出力端は其の整板を切断後、研磨する事で基板の
側面に露呈させる。
本発明の実装方法によれば金株１、カラス、セラミック
ス等の材Ｙ１を加工した実装〃−板（４）を設けてｌ！
ｊＩｌ側に入出力光ファイバの（、ｆｆ、 ｆｉｔ決め
ガイド用Ｖ ｔｌｊ （７）が形成されて中央剖、所望
の位置に上記九殉波Ｖ６基板を接着する、しかる移入出
力光ファイバ（１）を■崩（７）に沿って楢いて其の先
端に一滴の光硬化型接着剤を塗布して上記先導波路の各
端面に後合さぜる。光軸か一致して十分な光結合が実」
、されている事を確認した移、基板のほぼ真上から例え
ば超高圧水銀ランプを光ボ１とする紫外線照射装置のシ
ャッターを極く短ｌ１間１０秒〜１分間程度開いて接着
面（５）を照射して接宥剤全光硬化し光分岐導波路と其
の入出力光ファイバを接続する。この際本発明に従って
接着面のほぼ真下の実装基板内に紫外線反射ミラー（６
）か予め形成されていて上記光源がらの直射光また（」
光ファイバからの透過光を接着面（５）を照す様に反射
せしめて接着面に於ける紫外線強度を増大させる。接着
面（５）と紫外線反Ｉ」ミラー（６１の距離が近い場合
ミラー面は平面度の高い１面でなくとも上記効果は十分
に得られる。従ってミラー面は実装厚板月利が鉄、アル
ミニウム等の金ｋｉ’ａ材料の場合は単なる切削面で良
く、または其の上にメッキを施しても良い。ガラス、セ
ラミックス相打の場合は仙磨仕」こした後アルミニウム
、クロム、ニッケル等の金属蒸漬を施す。
ス等の材Ｙ１を加工した実装〃−板（４）を設けてｌ！
ｊＩｌ側に入出力光ファイバの（、ｆｆ、 ｆｉｔ決め
ガイド用Ｖ ｔｌｊ （７）が形成されて中央剖、所望
の位置に上記九殉波Ｖ６基板を接着する、しかる移入出
力光ファイバ（１）を■崩（７）に沿って楢いて其の先
端に一滴の光硬化型接着剤を塗布して上記先導波路の各
端面に後合さぜる。光軸か一致して十分な光結合が実」
、されている事を確認した移、基板のほぼ真上から例え
ば超高圧水銀ランプを光ボ１とする紫外線照射装置のシ
ャッターを極く短ｌ１間１０秒〜１分間程度開いて接着
面（５）を照射して接宥剤全光硬化し光分岐導波路と其
の入出力光ファイバを接続する。この際本発明に従って
接着面のほぼ真下の実装基板内に紫外線反射ミラー（６
）か予め形成されていて上記光源がらの直射光また（」
光ファイバからの透過光を接着面（５）を照す様に反射
せしめて接着面に於ける紫外線強度を増大させる。接着
面（５）と紫外線反Ｉ」ミラー（６１の距離が近い場合
ミラー面は平面度の高い１面でなくとも上記効果は十分
に得られる。従ってミラー面は実装厚板月利が鉄、アル
ミニウム等の金ｋｉ’ａ材料の場合は単なる切削面で良
く、または其の上にメッキを施しても良い。ガラス、セ
ラミックス相打の場合は仙磨仕」こした後アルミニウム
、クロム、ニッケル等の金属蒸漬を施す。
本実Ｍ！’を例に於いて実装基板内に設けられた紫外線
反則ミラー（６）は必ずしも上記の如き形状である必要
はなく第６図に示す如く例えばＶＮ（７）の先端に該■
溝方向と廁いた配別に別のＶ字形をし７た小さい反射面
（６）を設けても良い。
反則ミラー（６）は必ずしも上記の如き形状である必要
はなく第６図に示す如く例えばＶＮ（７）の先端に該■
溝方向と廁いた配別に別のＶ字形をし７た小さい反射面
（６）を設けても良い。
更に実装基板内に設けられたＶ溝（７１＋、Ｊ光ファイ
バ１の年なるガイドまたは支持であり本発明の実施にお
いて必ずしも存在する必要はない。
バ１の年なるガイドまたは支持であり本発明の実施にお
いて必ずしも存在する必要はない。
上記の如く接着面を接着硬化した後、各入出力光ファイ
バ（１）、光導波路（２）及び接着面（５）全体または
其の一部を保護するためにシリコーン仙腸、ウレタン樹
脂・ポリエチレン樹Ｍｋｉ ”Ｄの高分子材料をモール
ド剤として充填し十分に各部を固定した後３本の光ファ
イバの他端部に光コネクタを設」って所望の框体に格納
し光結合装置とする。なお上記モールド剤として接着面
を固定した光硬化型接着剤と同一の樹脂を用いる場合は
第２図の如く基板上にモールド剤（８）を充填して一度
の紫夕＋ｌ照躬により接着面、モールド剤を同時に硬化
させる事がｉ」能である。この場合でも第２図のＹ９＋
線光宋（９）は不発明による紫外線反射ミラー（６）に
より接着１１１１に於ける紫外線強ｊすとモールド剤に
於ける紫外脈仙ルーの差を緩和する牛ができて一４’＞
？な硬化条件を実現している。
バ（１）、光導波路（２）及び接着面（５）全体または
其の一部を保護するためにシリコーン仙腸、ウレタン樹
脂・ポリエチレン樹Ｍｋｉ ”Ｄの高分子材料をモール
ド剤として充填し十分に各部を固定した後３本の光ファ
イバの他端部に光コネクタを設」って所望の框体に格納
し光結合装置とする。なお上記モールド剤として接着面
を固定した光硬化型接着剤と同一の樹脂を用いる場合は
第２図の如く基板上にモールド剤（８）を充填して一度
の紫夕＋ｌ照躬により接着面、モールド剤を同時に硬化
させる事がｉ」能である。この場合でも第２図のＹ９＋
線光宋（９）は不発明による紫外線反射ミラー（６）に
より接着１１１１に於ける紫外線強ｊすとモールド剤に
於ける紫外脈仙ルーの差を緩和する牛ができて一４’＞
？な硬化条件を実現している。
上述の如く本発明による光釦楯回路実装方法によれば接
着面の光硬化型接着剤の硬化時ｉｊｌは短縮し温度上昇
を明止し硬化時の応力歪の発生が軽減する。更に接着面
はｑ方向からの反射光、散乱光を受けて紫外線強度分布
が均一化されて硬化条件が安定し一層応力歪が軽減され
る。
着面の光硬化型接着剤の硬化時ｉｊｌは短縮し温度上昇
を明止し硬化時の応力歪の発生が軽減する。更に接着面
はｑ方向からの反射光、散乱光を受けて紫外線強度分布
が均一化されて硬化条件が安定し一層応力歪が軽減され
る。
従って本発明による実装方法はυＩ゛来Ｎｉ術と片軸し
て接着面が強硬であり、長期的な扉境変化、特に温度変
動に対して接着面に介在もしくゎ近傍の接着剤の劣化に
より生じる接着面のずれ、剥１ｉｆｉ［等の故障が発生
する割合が減少し信頼性の高い光集積■１路部品を提供
できる。
て接着面が強硬であり、長期的な扉境変化、特に温度変
動に対して接着面に介在もしくゎ近傍の接着剤の劣化に
より生じる接着面のずれ、剥１ｉｆｉ［等の故障が発生
する割合が減少し信頼性の高い光集積■１路部品を提供
できる。
更に本発明による実装方法は光集積回路基板に光ファイ
バを接続する場合に限らず、光集積回路基板に他の光導
波路、ロンドレンズや球レンズ等の微少プリズム、光学
フィルター、ＹＩＧ結晶の如き・ファラデー素子等の微
少な光学部品を光硬化型接着剤を用いて実装しても良い
、更に上記微少光学部品より桿を成され、マイクロオプ
ティックス化された光学部品の実装する場合にも有効的
に実房ハする事が＋ｉＪ倉Ｐである。
バを接続する場合に限らず、光集積回路基板に他の光導
波路、ロンドレンズや球レンズ等の微少プリズム、光学
フィルター、ＹＩＧ結晶の如き・ファラデー素子等の微
少な光学部品を光硬化型接着剤を用いて実装しても良い
、更に上記微少光学部品より桿を成され、マイクロオプ
ティックス化された光学部品の実装する場合にも有効的
に実房ハする事が＋ｉＪ倉Ｐである。
第１・図は本発明の実装方法によりｔｊ１造された元結
合装置行の代表実ＭＱ例を示す斜視図、第２図は第１図
の基板表面をモールドした内１面図、第３図本発明によ
る光学機構の池の形態を示す斜視図、第４図及び第５図
は従来例を示す斜視図、第６図は従来の実装技術を説明
するための図である。 １・・・光ファイバ ２・・・光導波路３・・・光尋
波路基板 ４・・・実装草根５・・・接着面 ６
・・・紫外線反射ミラー７・・・■＠ ８・・
・モールド剤９・・・紫外線光束 代１１１人 弁理士 ｔａ 近 憲 佑 外１名第４
図 Ｉ 第５図 く名く＼＼ ７′ 、 特開日ＵＧＩ−２１２８０８（５） 第６図
合装置行の代表実ＭＱ例を示す斜視図、第２図は第１図
の基板表面をモールドした内１面図、第３図本発明によ
る光学機構の池の形態を示す斜視図、第４図及び第５図
は従来例を示す斜視図、第６図は従来の実装技術を説明
するための図である。 １・・・光ファイバ ２・・・光導波路３・・・光尋
波路基板 ４・・・実装草根５・・・接着面 ６
・・・紫外線反射ミラー７・・・■＠ ８・・
・モールド剤９・・・紫外線光束 代１１１人 弁理士 ｔａ 近 憲 佑 外１名第４
図 Ｉ 第５図 く名く＼＼ ７′ 、 特開日ＵＧＩ−２１２８０８（５） 第６図
Claims (3)
- （１）光部品と該光部品に光信号を入射若しくは出射す
る光ファイバとを光硬化型接着剤を用いて接続する際に
、光学機構により前記接着剤近傍に硬化光を反射または
散乱させることを特徴とする光部品実装方法。 - （２）前記光部品の全体もしくは接着部近傍を高分子材
料から成るモールド剤で覆うことを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の光部品実装方法。 - （３）前記光ファイバの他端部に光コネクタを設けるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光部品実装
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5219585A JPS61212808A (ja) | 1985-03-18 | 1985-03-18 | 光部品実装方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5219585A JPS61212808A (ja) | 1985-03-18 | 1985-03-18 | 光部品実装方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61212808A true JPS61212808A (ja) | 1986-09-20 |
Family
ID=12908010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5219585A Pending JPS61212808A (ja) | 1985-03-18 | 1985-03-18 | 光部品実装方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61212808A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6273208A (ja) * | 1985-09-26 | 1987-04-03 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 導波路装置 |
| KR100584115B1 (ko) | 2003-12-24 | 2006-05-30 | 전자부품연구원 | 광 스플리터 및 그의 제조방법 |
-
1985
- 1985-03-18 JP JP5219585A patent/JPS61212808A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6273208A (ja) * | 1985-09-26 | 1987-04-03 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 導波路装置 |
| KR100584115B1 (ko) | 2003-12-24 | 2006-05-30 | 전자부품연구원 | 광 스플리터 및 그의 제조방법 |
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