JPS61199036U - - Google Patents

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JPS61199036U
JPS61199036U JP8305285U JP8305285U JPS61199036U JP S61199036 U JPS61199036 U JP S61199036U JP 8305285 U JP8305285 U JP 8305285U JP 8305285 U JP8305285 U JP 8305285U JP S61199036 U JPS61199036 U JP S61199036U
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boat
core tube
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loader
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の半導体製造装置の一実施例を
示す側断面図である。第２図及び第３図は従来の
半導体製造装置（半導体ウエーハ熱処理装置）の
二例を説明するための側断面図である。 １……炉芯管、３……ボート出入口、４……加
熱体、５……半導体ウエーハ、６……ボート、７
……ボートローダ、１０……遮蔽板。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 加熱体を備える炉体内に挿入された炉芯管内に
    半導体ウエーハを載置したボートを棒状のボート
    ローダで押し入れ及び炉心管より引き出す装置に
    おいて、 前記ボートローダの中途部に、ボート押し入れ
    時に炉芯管のボート出入口に入つて該ボート出入
    口を若干の隙間をもつて塞ぐ遮蔽板を、ボート出
    入口側からみて下部が手前側にくる所定の傾斜角
    でもつて固定したことを特徴とする半導体製造装
    置。
JP8305285U 1985-05-31 1985-05-31 Expired JPH02909Y2 (ja)

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JP8305285U JPH02909Y2 (ja) 1985-05-31 1985-05-31

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JPS61199036U true JPS61199036U (ja) 1986-12-12
JPH02909Y2 JPH02909Y2 (ja) 1990-01-10

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ID=30631328

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JP8305285U Expired JPH02909Y2 (ja) 1985-05-31 1985-05-31

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JPH02909Y2 (ja) 1990-01-10

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