JPS6119752A - 分光反射率可変合金及び記録材料 - Google Patents

分光反射率可変合金及び記録材料

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JPS6119752A
JPS6119752A JP59137218A JP13721884A JPS6119752A JP S6119752 A JPS6119752 A JP S6119752A JP 59137218 A JP59137218 A JP 59137218A JP 13721884 A JP13721884 A JP 13721884A JP S6119752 A JPS6119752 A JP S6119752A
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alloy
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Shigenobu Mori
誉延 森
Hisashi Ando
寿 安藤
Isao Ikuta
生田 勲
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Hitachi Ltd
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    • G11B2007/24308Metals or metalloids transition metal elements of group 11 (Cu, Ag, Au)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は新規な分光反射率可変合金及び記録材料に係シ
、特に光・熱エネルギーが与えられることにより合金の
結晶構造の変化にともなう分光反射率変化を利用した情
報記録、表示、センサ等の媒体に使用可能な合金に関す
る。
〔発明の背景〕
近年、情報記録の高密度化、デジタル化が進むにつれて
種りの情報記録再生方式の開発が進められている。特に
レーザの光エネルギーを情報の記録、消去、再生に利用
した光ディスクは工業レアメタルA80 、1983 
(光ディスクと材料)に記載されているように磁気ディ
スクに比べ、高い記録密度が可能であシ、今後の情報記
録の有力な方式である。このうち、レーザによる再生装
置はコンパクト・ディスク(CD)として実用化されて
いる。一方、記録可能な方式には追記型と書き換え可能
型の大きく2つに分けられる。前者は1回の書き込みの
みが可能でおυ、消去はできない。
後者はくり返しの記録、消去が可能な方式である。
追記型の記録方法はレーザ光により記録部分の媒体を破
壊あるいは成形して凹凸をつけ、再生にはこの凹凸部分
でのレーザ光の干渉による光反射量の変化を利用する。
この記録媒体にはTeやその合金を利用して、その溶解
、昇華による凹凸の成形が一般的に知られている。この
種の媒体では毒性など若干の問題を含んでいる。書き、
換え可能型の記録媒体としては光磁気材料が主流である
。この方法は光エネルギを利用してキュリ一点あるいは
補償点゛温度付近で媒体の局部的な磁気異方性を反転さ
せ記録し、その部分での偏光入射光の磁気ファラデー効
果及び磁気カー効果による偏光面の回転量にて再生する
。この方法は書き換え可能型の最も有望なものとして数
年後の実用化を目指し精力的な研・究開発が進められて
いる。しかし、現在のところ偏光面の回転量の大きな材
料がなく多層膜化などの種々の工夫をしてもS/N、C
/Nなどの出力レベルが小さいという大きな問題がある
。その他の書き換え可能型方式として記録媒体の非晶質
と結晶質の可逆的相変化による反射率変化を利用したも
のがある。例えばNationalTechnical
 Report Vo 129A5 (1983)に記
載TeOxに少量のGe及びSnを添加した合金がある
しかし、この方式は非晶質相の結晶化源が低く、常温に
おける相の不安定さがディスクの信頼性に結びつく大き
な問題点である。
一方、色調変化を利用した合金として、特開昭57−1
40845がある。この合金は(12〜15)wt%A
t−(1〜5 )wt%Ni−残Cuよりなる合金でマ
ルテンサイト変態温度を境にして、赤から黄金色に可逆
的に変化するととを利用したものである。マルテンサイ
ト変態は温度の低下にともなって必然的に生ずる変態の
ため、マルテンサイト変態温度以上に保持した状態で得
られる色調はマルテンサイト変調温度以下にもってくる
ことはできない。また逆にマルテンサイト脅tiB温度
以下で得られる色調のものをマルテンサイト変態温度以
上にすると、変態をおこして別の色調に変化してしまう
。したがって、マルテンサイト変態の上下でおとる2つ
の色調は同一温度で同時に得ることはできない。しだが
ってこの原理では記録材料として適用することはできな
い。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、同一温度で部分的に異なった分光反射
率を保持することのできる分光反射率可変合金及び記録
材料を提供するにある。
〔発明の概要〕
(発明の要旨) 本発明は、銀(Ag)及びカドミウム(Cd )を主成
分とし、cd43〜59重量係を含む合金からなること
を特徴とする分光反射率可変合金にある。
即ち、本発明は、固体状態で室温より高い第1の温度(
高温)及び第1の温度より低い温度(低温)状態で異な
った結晶構造を有する合金において、該合金は前記高温
からの急冷によって前記低温における非急冷による結晶
構造と異なる結晶構造を有するξとを特徴とする分光反
射率可変合金にある。
本発明合金は固相状態での加熱冷却処理により、同一温
度で少なくとも2種の分光反射率を有し、可逆的に分光
反射率を変えることのできるものである。すなわち、本
発明に係る合金は固相状態で少なくとも2つの温度領域
で結晶構造の異なった相を有し、それらの内、高温相を
急冷した状態と相 非急冷の標準状態の低熱跡態とで分光反射率が異なり、
高温相温度領域での加熱急冷と低温相温度領域での加熱
冷却により分光反射率が可逆的に変化するものである。
本発明合金の可逆的反射率の変化についてその原理を第
1図を用いて説明する。図はAg−Cd二元系合金の状
態図であシ、この図を利用して記録材料として必要な信
号2文字9図形、記号等の情報を記録及び消去を行うこ
とができる。図の■組成の合金において、固相状態では
3つの相状態がある。すなわち、β単相、ζ単相及びβ
′単相がある。結晶構造はβ、ζ、β′のそれぞれの単
相状態で異なり、したがってこれらの光学特性も変化す
、る。結晶構造の違いによる光学特性の違いとして分光
反射率について説明する。T、は記録されたものが読み
とれる温度を意味し、室温と考えてもさしつかえない。
T、での平衡状態ではβ′相であるので合金の分光反射
率はβ′のものを示す。これをT4−1で加熱し、急冷
するとζ相がTI に保持される。T1におけるζ相の
分光反射率はβ′相とは異なる。したがって両相を区別
することができる。一般的な色調の特徴を述べると、T
4保持後急冷した場合のT、でのζ相はピンク色でアリ
、β′相は紫色である。すなわち、β′相状態の合金に
例えば数μm径のレーザ光を照射して局部的にT4まで
加熱した後、レーザ照射を止める。照射部は急冷され、
TIではレーザ照射部のみζ相となる。レーザ照射をし
ない部分はβ′相のままであるので、T、において、レ
ーザ照射部をそれ以外の部分とで分光反射率が異なシ両
者を区別することができる。この状態が記録の状態に相
当する。一方T4に加熱後急冷して、T、に保持された
ζ相状態のものをT、  より高いT、に加熱するとζ
相がβ′相に変化しT、の温度に戻してもβ′相のまま
である。したがって、前記のようにレーザ照射で局部的
にζ相にした部分にレーザ光を照射し、Ttの温度に加
熱すると、ζ相がβ′相に変化する。その後T、の温度
に戻してもβ′相の状態が保持される。すなわち、これ
が消去に相当する。なおζ相をβ′相に変化させるには
T、よりも高い温度に加熱すればよいが、上限温度とし
ては、高温に保持した状態でζ度が析出しない温度、第
1図でのT8、すなわち、βり→ζ変態温度である。以
上の過程は繰返し行うことが可能であシ、いわゆる書き
換え可能な記録媒体として適用可能である。
他の記録方法として温度TI でζ相状態の試料を用い
る。これに例えば数μm径のレーザ光を照射して、T、
に加熱すると、レーザ照射部は、β′相に変化する。冷
却してT、の温度でもレーザ照射部はβ′相であシ、レ
ーザ未照射部のζ相と分光反射率が異なシ区別ができる
。したがって記録できることになる。消去するにはレー
ザ照射部をT4に加熱後、急冷することで可能である。
このような処理をすると温度T、で全面がζ相に変化す
るからである。
(合金組成) 本発明合金は、高温及び低温状態で異なった結晶構造を
有するもので、高温からの急冷によってその急冷された
結晶構造が形成されるものでなければならない。更に、
この急冷されて形成された相は所定の温度での加熱によ
って低温状態での結晶構造−変化するものでなければな
らない。高温からの急冷によって過冷相が形成される合
金組成として、Cd43〜59重量係を含む重量台金が
必要であシ、特に43.2〜48.5重量%がよい。
(ノンバルクとその製造法) 本発明合金は反射率の可変性を得るために材料の加熱急
冷によって過冷相を形成できるものが必要である。高速
で情報の製作及び記録させるには材料の急熱急冷効果の
高い熱容量の小さいノンバルクが望ましい。すなわち、
所望の微小面積に対して投入されたエネルギによって実
質的に所望の面積部分だけが深さ全体にわたって基準と
なる結晶構造と異なる結晶構造に変シ得る容積を持つノ
ンバルクであることが望ましい。したがって、所望の微
小面積によって高密度の情報を製作するには、熱容量の
小さいノンバルクである箔、膜、細線あるいは粉末等が
望ましい。記録密度として、20メガビット/cm2以
上となるよう危機小面積での情報の製作には0.01〜
0.2μmの膜厚とするのがよい。一般に金属間化合物
は塑性加工が難しい。したがって、箔、膜、細線あるい
は粉末にする手法として材料を気相あるいは液相から直
接急冷固化させて所定の形状にすることが有効である。
これらの方法にはPVD法(蒸着、スパッタリング法等
)、CVD法、溶湯を高速回転する高熱伝導性を有する
部材からなる、特に金属ロール円周面上に注湯して急冷
凝固させる溶湯急冷法、電気メッキ、化学メッキ法等が
ある。膜あるいは粉末状の材料を利用する場合、基板上
に直接形成するか、塗布して基板上に接着することが効
果的である。塗布する場合、粉末を加熱しても反応など
を起こさないバインダーがよい。また、加熱による材料
の酸化等を防止するため、材料表面、基板上に形成した
膜あるいは塗布層表面をコーティングすることも有効で
ある。
箔又は細線は溶湯急冷法によって形成するのが好ましく
、厚さ又は直径Q、1mm以下が好ましい。
特に0.1μm以下の結晶粒径の箔又は細線を製造する
にはQ、95mm以下の厚さ又は直径が好ましい。
粉末は、溶湯を気体又は液体の冷媒とともに噴霧させて
水中に投入させて急冷するガイアトマイズ法によって形
成させることが好ましい。その粒径はQ、1mm以下が
好ましく、特に粒径1μm以下の超微粉が好ましい。
膜は前述の如く蒸着、スパッタリング、CVD電気メッ
キ、化学メッキ等によって形成できる。
特に、0.1μm以下の膜厚を形成するにはスパッタリ
ングが好ましい。スパッタリングは目標の合全組成のコ
ントロールが容易にできる。
又、基板に形成された膜をエツチングにより記録単位程
度に区切シ、個々の膜の熱容量を低減するのがよい。
(組成) 本発明合金は、高温及び低、温において異なる結晶構造
を有し、高温からの急冷によって高温における結晶構造
を低温で保持される過冷相の組成を有するものでなけれ
ばならない。高温では不規則格子の結晶構造を有するが
、過冷相は一例としてcs−ct型又はDO8型の規則
格子を有する金属間化合物が好ましい。光学的性質を大
きく変化させることのできるものとして本発明合金はこ
の金属間化合物を主に形成する合金が好ましく、特に合
金全体が金属間化合物を形成する組成が好ましい。この
金属間化合物は電子化合物と呼ばれ、特に3/2電子化
合物(平均外殻電子濃度e / aが3/2)の合金組
成付近のものが良好である。
又、本発明合金は同相変態、特に共析変態を有する合金
組成が好ましく、その合金は高温からの急冷と非急冷に
よって分光反射率の差の大きいものが得られる。
本発明合金は超微細結晶粒を有する合金が好ましく、特
に結晶粒径は0.1μm以下が好ましい。
すなわち、結晶粒は可視光領域の波長の値より小さいの
が好ましいが、半導体レーザ光の波長の値より小さいも
のでもよい。
(特性) 本発明の分光反射率可変合金及び記録材料は、可視光領
域における分光反射率を同一温度で少なくとも2種類形
成させることができる。すなわち、高温からの急冷によ
って形成された結晶構造(組織)を有するものの分光反
射率が非急冷によって形成された結晶構造(組織)を有
するものの分光反射率と異なっていることが必要である
又、急冷と非急冷によって得られるものの分光反射率の
差は5俤以上が好ましく、特に101以上有することが
好ましい。分光反射率の差が太きければ、目視による色
の識別が容易であり、後で記載する各種用途において顕
著な効果がある。
分光反射させる光源として、電磁波であれば可視光以外
でも使用可能であシ、赤外線、紫外線なども使用可能で
ある。
本発明合金のその他の特性として、電気抵抗率、光の屈
折率、光の偏光率、光の透過率なども分光反射率と同様
に可逆的に変えることができ、各種情報の記録1表示、
センサー等の再生、検出手段として利用することができ
る。
分光反射率は合金の表面あらさ状態に関係するので、前
述のように少なくとも可視光領域において10チ以上有
するように少なくとも目的とする部分において鏡面にな
っているのが好ましい。
(用途) 本発明合金は、加熱急冷によって部分的又は全体に結晶
構造の変化による電磁波の分光反射率、電気抵抗率、屈
折率、偏光率、透過率等の物理的又は電気的特性を変化
させ、これらの特性の変化を利用して記録1表示、セン
サー等の素子に使用することができる。
情報等の記録の手段と17で、電圧及び電流の形での電
気エネルギ、電磁波(可視光、輻射熱、赤外線、紫外線
、写真用閃光ランプの光、電子ビーム、陽子線、アルゴ
ンレーザ、半導体レーザ等のレーザ光線、熱等)を用い
ることができ、特にその照射による分光反射率の変化を
利用して光ディスクの記録媒体に利用するのが好ましい
。光ディスクには、ディジタルオーディオディスク(D
AD又はコンパクトディスク)、ビデオディスク、メモ
リーディスクなどかあシ、これらに使用可能である。本
発明合金を光ディスクの記録媒体に使用することにより
再生専用型、追加記録型、書換型ディスク装置において
きわめて有効である。
本発明合金を光ディスクの記録媒体に使用した場合の記
録及び再生の原理の例は次の通シである。
先ず、記録媒体を局部的に加熱し該加熱後の急冷によっ
て高温度領域での結晶構造を低温度領域で保持させて所
定の情報を記録し、又は高温相をペースとして、局部的
に加熱して高温相中に局部的に低温相によって記録し、
記録部分に光を照射して加熱部分と非加熱部分の光学的
特性の差を検出して情報を再生することができる。更に
情報として記録された部分を記録時の加熱温度よ如低い
温度又は高い温度で加熱し記録された情報を消去するこ
とができる。光はレーザ光線が好ましく、特に短波長レ
ーザが好ましい。本発明の加熱部分と非加熱部分との反
射率が500℃m又は800℃m付近の波長において大
きいので、このような波長を有するレーザ光を再生に用
いるのが好ましい。記録、再生には同じレーザ源が用い
られ、消去に記録のものよりェネルギ密度を小さくした
他のレーザ光を照射するのが好ましい。
又、本発明合金を記録媒体に用いたディスクは情報が記
録されているか否かが目視で判別できる大きなメリット
がある。
表示として、特に可視光での分光反射率を部分的に変え
ることができるので塗料を使用せずに文字、図形、記号
等を記録することができ、それらの表示は目視によって
識別することができる。又、これらの情報は消去するこ
とができ、記録と消去のくり返し使用のほか、永久保存
も可能である。
その応用例として時計の文字盤、アクセサリ−などがあ
る。
センサニとして、特に可視光での分光反射率の変化を利
用する温度センサーがある。予め高温相に変る温度が分
っている本発明の合金を使用したセンサーを測定しよう
とする温度領域に保持し、ソノ急冷によって適冷相を保
持させることによっておおよその温度検出ができる。
(製造法) 本発明は、固体状態で室温より高い第1の温度と該第1
の温度より低い第2の温度とで異なった結晶構造を有す
る前述した化学組成の合金表面の一部に、前記第1の温
度より急冷して前記第2の温度における結晶構造と異な
る結晶構造を有する領域を形成し、前記急冷されて形成
された結晶構造を有する領域と前記第2の温度での結晶
構造を有する領域とで異なった分光反射率を形成させる
ことを特徴とする分光反射率可変合金の製造法にある。
更に、本発明は固体状態で室温より高い第1の温度と該
第1の温度より低い第2の温度で異なった結晶構造を有
する前述した化学組成の合金表面の全部に、前記第1の
温度から急冷して前記第2の温度における結晶構造と異
なる結晶構造を形成させ、次いで前記合金表面の一部を
前記第2の温度に加熱して前記第2の温度における結晶
構造を有する領域を形成し、前記急冷されて形成された
結晶構造を有する領域と前記第2の温度における結晶構
造を有する領域とで異なった分光反射率を形成させるこ
とを特徴とする分光反射率可変合金の製造法にある。
第1の温度からの冷却速度は102℃/秒以上、より好
ましくは103℃/秒以上が好ましい。
〔発明の実施例〕
(実施例1) Cdの蒸発を防止するためAgとcdを石英管内に真空
封入し、800℃で合金化後、650℃で均質化処理す
ることによ!+Ag−52重量係Cd合金のインゴット
を製造した。インゴットをやすりがけして粉末を採取し
、次に粉氷を酸化防止のため透明石英管内に真空封入し
、これを650℃、350℃及び200℃の各温度に5
分間保持後水冷した時、室温で粉末の色はそれぞれ、灰
色、ピンク色及び紫色を呈した。この結果からβ相。
ζ相及びβl相の各相はそれぞれ室温で灰色、ピンク色
及び紫色の色調を有すると判断した。次に前記インゴッ
トから厚さ1mmの板を切シ出し、板表面を研摩後、石
英管内に真空封入し、これを350℃及び200℃で5
分間保持後、管を割って板を水冷し、両者の分光反射率
を室温で測定した。その結果を第2図に示すが、350
℃で保持した板(ζ相、ピンク色)と200℃で保持し
た板(β′相、紫色)とでは470℃m及び670℃m
の波長領域を除いて、分光反射率が異なム両者の識別が
可能なことがわかる。
(実施例2) スパッタ蒸着法によj5200℃に加熱したガラス基板
上に50nm厚さのAg−52重量%Cd合金膜を作製
し、・千の上に保護膜としてS tO,を200nm厚
さ被覆した。室温での薄膜の色は紫色を呈した。ついで
350℃に1分加熱した後の室温での色はピンク色を呈
した。両者の薄膜について分光反射率を測定したが傾向
は第2図とほぼ同様でおった。全面を紫色にした薄膜試
料にスポット径2μmの半導体レーザ光を出力30mW
で走査させた。光学顕微鏡でレーザ照射部を観察した結
果、紫色の基地に幅2μmのピンク色の線が形成されて
いることを確認した。すなわち情報を記録できることが
分った。次にレーザ光のスポット径を5μmとし、かつ
エネルギ密度を低下させて、前記レーザ照射部上を走査
させた結果、ピンク色の線の部分は紫色に変化し、基地
の色調と同じになった。すなわち情報を消去できること
が分った。以上の記録と消去の操作は何回でも繰返しが
可能であることも確認された。
(実施例3) 実施例2と同じ方法で作製した試料、すなわち室温で紫
色の薄膜試料を350℃で1分加熱して全面ピンク色の
薄膜試料とした。次に半導体レーザの出力を20mW程
度にしてスポット径2μmのレーザ光を走査させた。レ
ーザ照射部は紫色に変化し、基地のピンク色部と識別で
きた。すなわち情報を記録できることが確認された。−
その後半導体レーザ光のスポット径を5μmとし、かつ
エネルギ密度を高めてレーザ光を前記レーザ照射部上を
走査させた結果、紫色の線の部分はピンク色に変化し、
基地の色調と同じになった。
すなわち情報を消去できることが分った。以上の記録と
消去の操作は何回でも繰返しが可能であることも確認さ
れた。
〔発明の効果〕
本発明によれば、光等の熱エネルギにより結晶−結晶間
の相変化にもとづく分光反射率の可変な合金が得られる
【図面の簡単な説明】
第1図はAg−Cd合金の相変態に伴う結晶構造の変化
を示す二元系合金状態図、第2図は記録材料に用いたA
g−Cd合金板の分光反射率特性著1 m ハユ                 (A)   
                 Cd−第2 図 波長Crtm)

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、銀及びカドミウムを主成分とし、カドミウム43〜
    59重量%を含む合金からなることを特徴とする分光反
    射率可変合金。 2、固体状態で室温より高い第1の温度と該第1の温度
    より低い第2の温度で異なつた結晶構造を有する合金表
    面の一部が、前記第1の温度からの急冷によつて前記第
    2の温度における結晶構造と異なつた結晶構造を有し、
    他は前記第2の温度における結晶構造を有し前記急冷さ
    れた結晶構造とは異なつた分光反射率を有する特許請求
    の範囲第1項に記載の分光反射率可変合金。 3、前記合金は金属間化合物を有する特許請求の範囲第
    1項又は第2項に記載の分光反射率可変合金。 4、前記第1の温度は固相変態点より高い温度である特
    許請求の範囲第1項〜第3項のいずれかに記載の分光反
    射率可変合金。 5、前記急冷によつて形成された結晶構造を有するもの
    の分光反射率と非急冷によつて形成された前記低温にお
    ける結晶構造を有するものの分光反射率との差が5%以
    上である特許請求の範囲第1項〜第4項のいずれかに記
    載の分光反射率可変合金。 6、前記合金の分光反射率は波長400〜1000nm
    で10%以上である特許請求の範囲第1項〜第5項のい
    ずれかに記載の分光反射率可変合金。 7、前記合金はノンバルク材である特許請求の範囲第1
    項〜第6項のいずれかに記載の分光反射率可変合金。 8、前記合金は結晶粒径が0.1μm以下である特許請
    求の範囲第1項〜第7項のいずれかに記載の分光反射率
    可変合金。 9、前記合金は薄膜、箔、ストリップ、粉末及び細線の
    いずれかである特許請求の範囲第1項〜第9項のいずれ
    かに記載の分光反射率可変合金。 10、銀及びカドミウムを主成分とし、カドミウム43
    〜59重量%を含む合金からなり、固体状態で室温より
    高い第1の温度と該第1の温度より低い第2の温度とで
    異なつた結晶構造を有する合金表面の一部に、前記第1
    の温度より急冷して前記第2の温度における結晶構造と
    異なる結晶構造を有する領域を形成し、前記急冷されて
    形成された結晶構造を有する領域と前記第2の温度での
    結晶構造を有する領域とで異なつた分光反射率を形成さ
    せることを特徴とする分光反射率可変合金の製造法。 11、銀及びカドミウムを主成分とし、カドミウム43
    〜59重量%を含む合金からなり、固体状態で室温より
    高い第1の温度と該第1の温度より低い第2の温度で異
    なつた結晶構造を有する合金表面の全部に、前記第1の
    温度から急冷して前記第2の温度における結晶構造と異
    なる結晶構造を形成させ、次いで前記合金表面の一部を
    前記第2の温度に加熱して前記第2の温度における結晶
    構造を有する領域を形成し、前記急冷されて形成された
    結晶構造を有する領域と前記第2の温度における結晶構
    造を有する領域とで異なつた分光反射率を形成させるこ
    とを特徴とする分光反射率可変合金の製造法。 12、銀及びカドミウムを主成分とし、カドミウム43
    〜59重量%を含む合金からなることを特徴とする記録
    材料。 13、固体状態で室温より高い第1の温度と該第1の温
    度より低い第2の温度とで異なつた結晶構造を有する合
    金であつて、該合金表面の少なくとも一部が前記第1の
    温度からの急冷によつて前記第2の温度における結晶構
    造と異なつた結晶構造を形成する合金組成を有する特許
    請求の範囲第12項に記載の記録材料。 14、前記合金の溶湯を回転する高熱伝導性部材からな
    るロール円周面上に注湯してなる箔又は細線である特許
    請求の範囲第12項又は第13項に記載の記録材料。 15、前記合金を蒸着又はスパッタリングによつて堆積
    してなる薄膜である特許請求の範囲第12項又は第13
    項に記載の記録材料。 16、前記合金の溶湯を液体又は気体の冷却媒体を用い
    て噴霧してなる粉末である特許請求の範囲第12項又は
    第13項に記載の記録材料。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6330289A (ja) * 1986-07-25 1988-02-08 Hitachi Ltd 光記録媒体
JPH0226971A (ja) * 1988-03-18 1990-01-29 Kimberly Clark Corp 不織水圧もつれ非弾性ウエブ及びその製造方法
JPH0226973A (ja) * 1988-03-18 1990-01-29 Kimberly Clark Corp 水圧撚り不織弾性ウエブ及び該ウエブを形成する方法

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