JPS61196782A - 直流サ−ボモ−タの駆動装置 - Google Patents
直流サ−ボモ−タの駆動装置Info
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- JPS61196782A JPS61196782A JP60033938A JP3393885A JPS61196782A JP S61196782 A JPS61196782 A JP S61196782A JP 60033938 A JP60033938 A JP 60033938A JP 3393885 A JP3393885 A JP 3393885A JP S61196782 A JPS61196782 A JP S61196782A
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- servo motor
- speed
- drive device
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P5/00—Arrangements specially adapted for regulating or controlling the speed or torque of two or more electric motors
- H02P5/46—Arrangements specially adapted for regulating or controlling the speed or torque of two or more electric motors for speed regulation of two or more dynamo-electric motors in relation to one another
- H02P5/50—Arrangements specially adapted for regulating or controlling the speed or torque of two or more electric motors for speed regulation of two or more dynamo-electric motors in relation to one another by comparing electrical values representing the speeds
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Control Of Multiple Motors (AREA)
- Control Of Direct Current Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、産業用ロボッ１〜等に使用される直流サーボ
モータの駆動装置の改良に関する。
モータの駆動装置の改良に関する。
産業用ロボットに使用される直流（１）、Ｃ）ザーボモ
−タは、指令に対して高速応答でかつ高精度に駆動する
ことが要求される。第２図は産業用ロボットのアーム等
を移動させるための直流サーボモータの駆動装置の構成
を示している。１ＸはＸ軸用ＤＣサーボモータ、１ｙは
Ｙ軸用ＤＣサーボモータ、１ｚはＺ軸用サーボモータで
ある。メイン制御部２から各軸の移動量指令が発せられ
ると、これら移動量は各軸のカウンタ３Ｘ１３ｙ１３Ｚ
にプリセットされＤ／Ａコンバータ４Ｘ１４ｙ１４ｚを
介して各駆動部５ｘ、！５Ｖ、５Ｚに送られる。これに
より直流サーボモータ１Ｘ１１ｙ、１Ｚは指令された移
動量に従って駆動するが、その回転位置がロータリーエ
ンコーダ６ａ、５ｂ、６Ｇにより検出されてディジタル
位置検出信号としてカウンタ３Ｘ、３Ｖ、、３Ｚにそれ
ぞれ位置フイードバックされるとともに回転速度がタコ
ジェネレータ７ａ、７ｂ、７ｃにより検出されて各駆動
部５ｘ、５ｙ、５ｚの入力側に設けられた加算器８ａ、
８ｂ、８ｃに速度フィードバックされる。
−タは、指令に対して高速応答でかつ高精度に駆動する
ことが要求される。第２図は産業用ロボットのアーム等
を移動させるための直流サーボモータの駆動装置の構成
を示している。１ＸはＸ軸用ＤＣサーボモータ、１ｙは
Ｙ軸用ＤＣサーボモータ、１ｚはＺ軸用サーボモータで
ある。メイン制御部２から各軸の移動量指令が発せられ
ると、これら移動量は各軸のカウンタ３Ｘ１３ｙ１３Ｚ
にプリセットされＤ／Ａコンバータ４Ｘ１４ｙ１４ｚを
介して各駆動部５ｘ、！５Ｖ、５Ｚに送られる。これに
より直流サーボモータ１Ｘ１１ｙ、１Ｚは指令された移
動量に従って駆動するが、その回転位置がロータリーエ
ンコーダ６ａ、５ｂ、６Ｇにより検出されてディジタル
位置検出信号としてカウンタ３Ｘ、３Ｖ、、３Ｚにそれ
ぞれ位置フイードバックされるとともに回転速度がタコ
ジェネレータ７ａ、７ｂ、７ｃにより検出されて各駆動
部５ｘ、５ｙ、５ｚの入力側に設けられた加算器８ａ、
８ｂ、８ｃに速度フィードバックされる。
これにより各直流サーボモータ１×、ＩＶ、１２は指令
移動量に正確に制御される。なお、速度フィードバック
の方法には、エンコーダの出力をＦ／Ｖ （周波数−電
圧）コンバータを介して施すものと、エンコーダの出力
（正弦波）を微分して施すものとがある。
移動量に正確に制御される。なお、速度フィードバック
の方法には、エンコーダの出力をＦ／Ｖ （周波数−電
圧）コンバータを介して施すものと、エンコーダの出力
（正弦波）を微分して施すものとがある。
しかしながら、上記前者の構成の駆動装置では、直流サ
ーボモータ１Ｘ、ｌｙ、１ｚにタコジェネレータ７ａ、
７ｂ、７ｃをそれぞれ付設しなければならず、装置の小
形化を図る上に支障を生じてしまう。また、後者の速度
フィードバックにあってＦ／Ｖコンバータまたはエンコ
ーダの出力を微分する方法では直流サーボモータの高速
応答化する上に問題がある。すなわち、Ｆ／Ｖコンバー
タを用いる方法では、応答周波数に限界があり特に低周
波数の直線性が悪い。一方、エンコーダの出力を微分す
る方法では、エンコーダの検出精度に限界があってこれ
によって制御精度が影響され、また正弦波出力するもの
に限定されてしまいコスト高となってしまう。
ーボモータ１Ｘ、ｌｙ、１ｚにタコジェネレータ７ａ、
７ｂ、７ｃをそれぞれ付設しなければならず、装置の小
形化を図る上に支障を生じてしまう。また、後者の速度
フィードバックにあってＦ／Ｖコンバータまたはエンコ
ーダの出力を微分する方法では直流サーボモータの高速
応答化する上に問題がある。すなわち、Ｆ／Ｖコンバー
タを用いる方法では、応答周波数に限界があり特に低周
波数の直線性が悪い。一方、エンコーダの出力を微分す
る方法では、エンコーダの検出精度に限界があってこれ
によって制御精度が影響され、また正弦波出力するもの
に限定されてしまいコスト高となってしまう。
さらに、メイン制御部２により位置制御と速度制御とを
並行して実行する構成なので速度制御するための一定サ
ンプリング時間（１）が遅くなり速度フィードバックに
遅れを生じるという問題がある。
並行して実行する構成なので速度制御するための一定サ
ンプリング時間（１）が遅くなり速度フィードバックに
遅れを生じるという問題がある。
本発明は上記実情に基づいてなされたもので、その目的
とするところは、速度フィードバックの遅れをなくして
直流サーボモータの高速応答化できる高精度の直流サー
ボモータの駆動装置を提供することにある。
とするところは、速度フィードバックの遅れをなくして
直流サーボモータの高速応答化できる高精度の直流サー
ボモータの駆動装置を提供することにある。
本発明は、直流サーボモータの■ンコーダ出力をフィー
ドバックして位置制御および速度制御するに際し、速度
成分は予め定めた期間におけるパルス数をカウントして
算出することにより直流サーボモータの高速応答化した
直流サーボモータの駆動装置を得るものである。
ドバックして位置制御および速度制御するに際し、速度
成分は予め定めた期間におけるパルス数をカウントして
算出することにより直流サーボモータの高速応答化した
直流サーボモータの駆動装置を得るものである。
以下、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。第１図は直流サーボモータの駆動装置の構成図であ
る。この装置は産業用ロボットのアームを移動させる場
合に適用される直流サーボモータを駆動制御するもので
、１０ｘはＸ軸用のＤＣサーボモータ、１０ｙはＹ軸用
のＤＣサーボモータ、１’ＯＺ＆、ｔＺ軸用のＤＣサー
ボモータである。さて、この装置は位置制御系２０と、
この発明で特に設けた速度制御系３０とが設けられてい
る。位置制御系２０はＤＣサーボモータ１０ｘ。
る。第１図は直流サーボモータの駆動装置の構成図であ
る。この装置は産業用ロボットのアームを移動させる場
合に適用される直流サーボモータを駆動制御するもので
、１０ｘはＸ軸用のＤＣサーボモータ、１０ｙはＹ軸用
のＤＣサーボモータ、１’ＯＺ＆、ｔＺ軸用のＤＣサー
ボモータである。さて、この装置は位置制御系２０と、
この発明で特に設けた速度制御系３０とが設けられてい
る。位置制御系２０はＤＣサーボモータ１０ｘ。
１０ｙ、１０ｚの位置制御を実行するもので、メイン制
御部２１から発せられる位置指令が各軸のカウンタ２２
ａ１２２ｂ、２２−ｃに送出されるようになっている。
御部２１から発せられる位置指令が各軸のカウンタ２２
ａ１２２ｂ、２２−ｃに送出されるようになっている。
そして、各カウンタ２２ａ１２２ｂ、２２ｃにプリセッ
トされた位置指令はＤ／ＡＤンバータ２３ａ、２３ｂ、
２３Ｃを介して各駆動部２４ａ、２４ｂ、２４ｃに送ら
れるようになっている。また、各ＤＣサーボモータ１０
Ｘ１１０Ｖ、１ｏｚには矩形波出力のロータリーエンコ
ーダ２５ａ、２５ｂ、２５ｃが付設されてディジタル位
置検出信号が各カウンタ２２ａ、２２ｂ１２２Ｃに位置
フィードバックされている。ここで、ディジタル位置検
出信号はＤＣサーボモータ１０ｘ、１０ｙ、１０ｚが回
転モータの場合回転位置であり、リニアモータの場合直
線位置である。
トされた位置指令はＤ／ＡＤンバータ２３ａ、２３ｂ、
２３Ｃを介して各駆動部２４ａ、２４ｂ、２４ｃに送ら
れるようになっている。また、各ＤＣサーボモータ１０
Ｘ１１０Ｖ、１ｏｚには矩形波出力のロータリーエンコ
ーダ２５ａ、２５ｂ、２５ｃが付設されてディジタル位
置検出信号が各カウンタ２２ａ、２２ｂ１２２Ｃに位置
フィードバックされている。ここで、ディジタル位置検
出信号はＤＣサーボモータ１０ｘ、１０ｙ、１０ｚが回
転モータの場合回転位置であり、リニアモータの場合直
線位置である。
一方、速度制御系３０は速度制御を実行するもので、サ
ブ制御部３１から発せられる速度指令が各軸の各カウン
タ３２ａ、３２ｂ、３２ｃに送出されるものとなってい
る。これら各カウンタ３２ａ、３２ｂ、３２ｃには上記
各ロータリーエンコーダ２５ａ１２５ｂ１２５Ｃから出
力されるディジタル信号（パルス信号）がフィードバッ
クされており、サブ制御部３１の制御によりカウンタ（
３２）は予め定めた期間即ち一定サンプリング時間（１
）で゛のパルス数をカウントして速度成分を算出する。
ブ制御部３１から発せられる速度指令が各軸の各カウン
タ３２ａ、３２ｂ、３２ｃに送出されるものとなってい
る。これら各カウンタ３２ａ、３２ｂ、３２ｃには上記
各ロータリーエンコーダ２５ａ１２５ｂ１２５Ｃから出
力されるディジタル信号（パルス信号）がフィードバッ
クされており、サブ制御部３１の制御によりカウンタ（
３２）は予め定めた期間即ち一定サンプリング時間（１
）で゛のパルス数をカウントして速度成分を算出する。
換言すれば各カウンタ３２ａ１３２ｂ、３２ｃでサンプ
リングしてモータの移動量（Ｓ）をディジタルで読み出
して速度Ｖ−８／ｌを求める。これをＤ／Ａコンバータ
３３ａ１３３ｂ、３３ｃに送る構成となっている。そう
して各Ｄ／Ａコンバータ３３ａ、３３ｂ、３３Ｇの出力
が加算器３４ａ、３４ｂ、３４ｃを介して駆動部２４ａ
、２４ｂ、２４ｃに供給する構成となっている。
リングしてモータの移動量（Ｓ）をディジタルで読み出
して速度Ｖ−８／ｌを求める。これをＤ／Ａコンバータ
３３ａ１３３ｂ、３３ｃに送る構成となっている。そう
して各Ｄ／Ａコンバータ３３ａ、３３ｂ、３３Ｇの出力
が加算器３４ａ、３４ｂ、３４ｃを介して駆動部２４ａ
、２４ｂ、２４ｃに供給する構成となっている。
次に上記の如く構成された装置の動作について説明する
。メイン制御部２１が各軸に対する位置指令を発すると
、これと同時にサブ制御部３１は各軸の位置指令に関連
する速度指令を発する。位置指令は各カウンタ２２ａ、
２２ｂ１２２ｃにプリセットされＤ／Ａコンバータ２３
ａ、２３ｂ。
。メイン制御部２１が各軸に対する位置指令を発すると
、これと同時にサブ制御部３１は各軸の位置指令に関連
する速度指令を発する。位置指令は各カウンタ２２ａ、
２２ｂ１２２ｃにプリセットされＤ／Ａコンバータ２３
ａ、２３ｂ。
２３ｃによりアナログ信号に変換されて各駆動部２４ａ
、２４ｂ、２４ｃに送出する。一方、速度指令は各カウ
ンタ３２ａ、３２ｂ、３２ｃをプリセットしてから各Ｄ
／Ａコンバータ３３ａ、３３ｂ、３３ｃを介して各駆動
部２４ａ、２４ｂ、２４Ｃに送出する。これにより各Ｄ
Ｃサーボモータ１０Ｘ、１０Ｖ、１０ｚが位置指令およ
び速度指令に従って駆動する。このとき、ロータリーエ
ンコーダ２５ａ、２５ｂ、２５０Ｇ；１１転位置（リニ
アモータは直線位置）を検出してそのディジタル位置検
出信号を出力する。このディジタル位置検出信号はカウ
ンタ２２ａ、２２ｂ、２２ｃに位置フィードバックして
位置制御する。上記エンコーダ２５ａ、２５ｂ、２５Ｃ
出力はさらに速度制御系３０のカウンタ３２ａ、３２ｂ
、３２ｃにもフィードバックして速度制御する。これに
より位置指令とディジタル位置検出信号との偏差が零と
なるような信号を各駆動部２４ａ、２４ｂ、２４ｃに送
出するとともに、速度指令とディジタル位置検出信号か
ら得られた速度との偏差が零となるような信号を各駆動
部２４ａ、２４ｂ、２４ｃに送出する。したがって、位
置のフィードバック制御と速度のフィードバック制御と
を別系統の制御系で行うことになる。
、２４ｂ、２４ｃに送出する。一方、速度指令は各カウ
ンタ３２ａ、３２ｂ、３２ｃをプリセットしてから各Ｄ
／Ａコンバータ３３ａ、３３ｂ、３３ｃを介して各駆動
部２４ａ、２４ｂ、２４Ｃに送出する。これにより各Ｄ
Ｃサーボモータ１０Ｘ、１０Ｖ、１０ｚが位置指令およ
び速度指令に従って駆動する。このとき、ロータリーエ
ンコーダ２５ａ、２５ｂ、２５０Ｇ；１１転位置（リニ
アモータは直線位置）を検出してそのディジタル位置検
出信号を出力する。このディジタル位置検出信号はカウ
ンタ２２ａ、２２ｂ、２２ｃに位置フィードバックして
位置制御する。上記エンコーダ２５ａ、２５ｂ、２５Ｃ
出力はさらに速度制御系３０のカウンタ３２ａ、３２ｂ
、３２ｃにもフィードバックして速度制御する。これに
より位置指令とディジタル位置検出信号との偏差が零と
なるような信号を各駆動部２４ａ、２４ｂ、２４ｃに送
出するとともに、速度指令とディジタル位置検出信号か
ら得られた速度との偏差が零となるような信号を各駆動
部２４ａ、２４ｂ、２４ｃに送出する。したがって、位
置のフィードバック制御と速度のフィードバック制御と
を別系統の制御系で行うことになる。
このように上記一実施例においては、メイン制御部２１
から発せられる位置指令を受けてＤＣサーボモータＩＯ
Ｘ、１０Ｖ１，１０ｚを駆動してその回転位置を検出し
、これを位置フィードバックさせて位置制御を行う位置
制御系２ｏと、この制御系２０とは別にサブ制御部３１
がら発せられる速度指令により各ＤＣサーボモータ１０
Ｘ、１０ｙ、１０ｚを駆動してその速度を検出して速度
フィードバックさせて速度制御を実行するようにしたの
で、速度を求めるためのサンプリング時間（１）を短縮
することができて速度フィードバックを位置フィードバ
ックと関連させて速くすることができる。この結果、Ｄ
Ｃサーボモータ１０ｘ１１０ｙ、１０ｚが高速に応答し
て指令された位置に指令された速度でもって駆動する。
から発せられる位置指令を受けてＤＣサーボモータＩＯ
Ｘ、１０Ｖ１，１０ｚを駆動してその回転位置を検出し
、これを位置フィードバックさせて位置制御を行う位置
制御系２ｏと、この制御系２０とは別にサブ制御部３１
がら発せられる速度指令により各ＤＣサーボモータ１０
Ｘ、１０ｙ、１０ｚを駆動してその速度を検出して速度
フィードバックさせて速度制御を実行するようにしたの
で、速度を求めるためのサンプリング時間（１）を短縮
することができて速度フィードバックを位置フィードバ
ックと関連させて速くすることができる。この結果、Ｄ
Ｃサーボモータ１０ｘ１１０ｙ、１０ｚが高速に応答し
て指令された位置に指令された速度でもって駆動する。
これ、によりアームが高速で、かつなめらかに所定の位
置に移動する。また、矩形波出力のエンコーダ２５ａ１
２５ｂ、２５ｃを用いたのでコストを低下でき、さらに
Ｄ／Ａコンバータの使用により速度フィードバック量の
ゲインを変更して速度制御を最良の状態に出来る。従来
のタコジェネレータはなくしてもよく、小形化に寄与す
る。このモータはワイヤボンダのボンディングアームの
Ｘ、Ｙ、Ｚ軸駆動やワークのＸＹ駆動用として高速化に
大きく寄与する。
置に移動する。また、矩形波出力のエンコーダ２５ａ１
２５ｂ、２５ｃを用いたのでコストを低下でき、さらに
Ｄ／Ａコンバータの使用により速度フィードバック量の
ゲインを変更して速度制御を最良の状態に出来る。従来
のタコジェネレータはなくしてもよく、小形化に寄与す
る。このモータはワイヤボンダのボンディングアームの
Ｘ、Ｙ、Ｚ軸駆動やワークのＸＹ駆動用として高速化に
大きく寄与する。
なお、本発明は上記一実施例に限定されるものではない
。例えば、別途Ｄ／Ａコンバータを設けてカウンタ２２
ａ、２２ｂ、２２ｃの内容を絶対値に換算し、これをＤ
／Ａコンバータ２．３ａ、２３ｂ、２３ｃにＤＣサーボ
モータ１０ｘ、１０ｙ。
。例えば、別途Ｄ／Ａコンバータを設けてカウンタ２２
ａ、２２ｂ、２２ｃの内容を絶対値に換算し、これをＤ
／Ａコンバータ２．３ａ、２３ｂ、２３ｃにＤＣサーボ
モータ１０ｘ、１０ｙ。
１０２の変位として出力させることができる。また、Ｄ
Ｃサーボモータ１０ｘ、１０ｙ、１０ｚの変位によりツ
レレイド・リレー等のタイミングを高精度に設定するこ
とができる。
Ｃサーボモータ１０ｘ、１０ｙ、１０ｚの変位によりツ
レレイド・リレー等のタイミングを高精度に設定するこ
とができる。
本発明によれば、直流サーボモータのエンコーダ出力か
ら位置制御と速度制御とをするものにおいて、速度成分
を単位時間当りのパルス数をカウントして取り出すこと
により直流サーボモータを高速応答化できる高精度の直
流サーボモータの駆動装置を提供できる。
ら位置制御と速度制御とをするものにおいて、速度成分
を単位時間当りのパルス数をカウントして取り出すこと
により直流サーボモータを高速応答化できる高精度の直
流サーボモータの駆動装置を提供できる。
第１図は本発明に係わる直流サーボモータの駆動装置の
一実施例の構成図、第２図は従来の直流サーボモータの
駆動装置の構成図である。 １０ｘ、１０ｙ、１０ ｚ −・・−・−Ｄ Ｃサーボ
モータ、２０・・・位置制御系、２１・・・・・・メイ
ン制御部、２２ａ、２２ｂ、２２ｃ・−・−カウンタ、
２３ａ。 ２３ｂ、２３ｃ・＝・Ｄ／Ａコンバータ、２４ａ。 ２．４ ｂ、 ２４ ｃ・・−・・駆動部、２５ａ、２
５ｂ。 ２５ｃ・・・・・・ロータリーエンコーダ、３０・・・
・・・速度制御部、３１・・・・・・ザブ制御部、３２
ａ、３２ｂ。 ３２ ｃ−−・・・−カウンタ、３３ａ、３３ｂ、３３
ｃ・・・・・・Ｄ／Ａコンバータ。
一実施例の構成図、第２図は従来の直流サーボモータの
駆動装置の構成図である。 １０ｘ、１０ｙ、１０ ｚ −・・−・−Ｄ Ｃサーボ
モータ、２０・・・位置制御系、２１・・・・・・メイ
ン制御部、２２ａ、２２ｂ、２２ｃ・−・−カウンタ、
２３ａ。 ２３ｂ、２３ｃ・＝・Ｄ／Ａコンバータ、２４ａ。 ２．４ ｂ、 ２４ ｃ・・−・・駆動部、２５ａ、２
５ｂ。 ２５ｃ・・・・・・ロータリーエンコーダ、３０・・・
・・・速度制御部、３１・・・・・・ザブ制御部、３２
ａ、３２ｂ。 ３２ ｃ−−・・・−カウンタ、３３ａ、３３ｂ、３３
ｃ・・・・・・Ｄ／Ａコンバータ。
Claims (3)
- （１）直流サーボモータの回転出力をデイジタル信号に
変換するエンコーダ出力をフィードバックして位置制御
するとともに速度制御する駆動装置において、上記エン
コーダ出力から速度成分を予め定めた期間における上記
エンコーダ出力パルス数をカウントして算出することを
特徴とする直流サーボモータの駆動装置。 - （２）直流サーボモータの位置制御および速度制御はエ
ンコーダ出力を第１および第２の各駆動回路系に設けら
れた第１および第２のカウンタにフィードバックする特
許請求の範囲第（１）項記載の直流サーボモータの駆動
装置。 - （３）直流サーボモータは、回転モータおよびリニアモ
ータである特許請求の範囲第（１）項または第（２）項
のいずれか一方に記載の直流サーボモータの駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60033938A JPS61196782A (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 直流サ−ボモ−タの駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60033938A JPS61196782A (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 直流サ−ボモ−タの駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61196782A true JPS61196782A (ja) | 1986-08-30 |
Family
ID=12400447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60033938A Pending JPS61196782A (ja) | 1985-02-22 | 1985-02-22 | 直流サ−ボモ−タの駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61196782A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57160378A (en) * | 1981-03-27 | 1982-10-02 | Hitachi Ltd | Position controlling method and device for motor |
| JPS5913044A (ja) * | 1982-07-15 | 1984-01-23 | Inoue Japax Res Inc | 放電による被覆電極材 |
-
1985
- 1985-02-22 JP JP60033938A patent/JPS61196782A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57160378A (en) * | 1981-03-27 | 1982-10-02 | Hitachi Ltd | Position controlling method and device for motor |
| JPS5913044A (ja) * | 1982-07-15 | 1984-01-23 | Inoue Japax Res Inc | 放電による被覆電極材 |
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