JPS61195013A - 零温度係数をもつ弾性表面波材料 - Google Patents
零温度係数をもつ弾性表面波材料Info
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- JPS61195013A JPS61195013A JP60035880A JP3588085A JPS61195013A JP S61195013 A JPS61195013 A JP S61195013A JP 60035880 A JP60035880 A JP 60035880A JP 3588085 A JP3588085 A JP 3588085A JP S61195013 A JPS61195013 A JP S61195013A
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- Japan
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- surface acoustic
- acoustic wave
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- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 15
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 17
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 8
- PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N tantalum pentoxide Inorganic materials O=[Ta](=O)O[Ta](=O)=O PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 claims description 8
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 7
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 6
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 6
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000011160 research Methods 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）産業上の利用分野
本発明は、零温度係数をもつ弾性表面波材料に関する。
（２）従来の技術
本発明は遅延時間の零温度係数をもつ弾性表面派材料に
係るものである。尚、ここで温度係数とは、１℃の温度
変化に対する弾性表面波の遅延時間の変化の割合を言う
。
係るものである。尚、ここで温度係数とは、１℃の温度
変化に対する弾性表面波の遅延時間の変化の割合を言う
。
従来この種の温度係数零をもつ材料としては、水晶板（
ＳＴ板）や溶融石英ガラス板上にＺｎＯ薄膜を設けた基
板が知られている。しかし、水晶板は電気機械結合係数
が小さく、またＺｎＯ薄膜を用いる方法はＺｎＯ薄膜の
化学的安定度が悪く、その改良が望まれている。
ＳＴ板）や溶融石英ガラス板上にＺｎＯ薄膜を設けた基
板が知られている。しかし、水晶板は電気機械結合係数
が小さく、またＺｎＯ薄膜を用いる方法はＺｎＯ薄膜の
化学的安定度が悪く、その改良が望まれている。
（３）本発明が解決しようとする問題点本発明はこのよ
うな点を考慮して、符号の異なる温度係数をもつ２つの
材料を組み合せて弾性表面波の遅延時間の温度係数を補
償することによって、温度係数を零にし、さらに化学的
に安定な弾性表面派材料を得ることを目的とする。
うな点を考慮して、符号の異なる温度係数をもつ２つの
材料を組み合せて弾性表面波の遅延時間の温度係数を補
償することによって、温度係数を零にし、さらに化学的
に安定な弾性表面派材料を得ることを目的とする。
（４）問題点を解決するための手段
本発明は、溶融石英ガラス板上に電気機械結合係数が大
きく、また化学的に安定な五酸化タンタル薄膜を設けて
温度係数を零にすることにある。
きく、また化学的に安定な五酸化タンタル薄膜を設けて
温度係数を零にすることにある。
（５）作用
本発明は上記の手段によって、零温度係数をもち、しか
も化学的に安定な弾性表面波材料を実現でき、弾性表面
波素子に応用することができる。
も化学的に安定な弾性表面波材料を実現でき、弾性表面
波素子に応用することができる。
（６）実施例
本発明を図１の実施例について説明すると、１は基板と
なる溶融石英ガラス板で、この基板１の上に膜厚りなる
五酸化タンタル薄膜２を設け、さらにその上に弾性表面
波励振用電極３をホトエツチング法を用いて作製したも
のである。
なる溶融石英ガラス板で、この基板１の上に膜厚りなる
五酸化タンタル薄膜２を設け、さらにその上に弾性表面
波励振用電極３をホトエツチング法を用いて作製したも
のである。
ここで、溶融石英ガラス板１は温度係数が負であり、五
酸化タンタル薄膜は温度係数が正である。
酸化タンタル薄膜は温度係数が正である。
本発明では反応性直流二極スパッタリング方式を用いて
、五酸化タンタル薄膜を設けたものである。
、五酸化タンタル薄膜を設けたものである。
五酸化タンタル薄膜は大きな圧電性を有し、しかも化学
的に安定である。このような二層構造基板の温度係数と
しては、五酸化タンタル薄膜２の膜厚を薄くするほど下
の溶融石英ガラス板１の影響を受けるようになり、反対
に膜厚を厚くするほど五酸化タンタル薄膜の影響が大き
くなる。したがって、五酸化タンタル薄膜２の膜厚があ
る適当な値であれば２５°Ｃでの温度係数は零になる。
的に安定である。このような二層構造基板の温度係数と
しては、五酸化タンタル薄膜２の膜厚を薄くするほど下
の溶融石英ガラス板１の影響を受けるようになり、反対
に膜厚を厚くするほど五酸化タンタル薄膜の影響が大き
くなる。したがって、五酸化タンタル薄膜２の膜厚があ
る適当な値であれば２５°Ｃでの温度係数は零になる。
この関係を第２図に示す。第２図は規格化膜厚ｈｋ＝（
２πｈ）／λ （ｈは膜厚、λは弾性表面波波長、ｋは
波数）に対する温度係数の変化を示したものである。縦
軸に温度係数（１／τ）（ｄτ／ｄＴ） （但しτは
周波数、Ｔは温度）を、横軸に規格化膜厚ｈｋをとるも
のとすると、ｈｋ＝１．８ 付近で温度係数が零を示し
ている。
２πｈ）／λ （ｈは膜厚、λは弾性表面波波長、ｋは
波数）に対する温度係数の変化を示したものである。縦
軸に温度係数（１／τ）（ｄτ／ｄＴ） （但しτは
周波数、Ｔは温度）を、横軸に規格化膜厚ｈｋをとるも
のとすると、ｈｋ＝１．８ 付近で温度係数が零を示し
ている。
弾性表面波材料の評価量として、電気機械結合係数 Ｋ
２ がある。実施例の第１図において、Ｋ２を求めた
ところ、 Ｋ２＝０．６９６ を得ている。このＫ
の値は現在、最も大きな電気機械結合係数を持つ圧電性
薄膜として知られているＺｎＯ圧電性薄膜に対するに２
の値の約８０％と大きな値である。
２ がある。実施例の第１図において、Ｋ２を求めた
ところ、 Ｋ２＝０．６９６ を得ている。このＫ
の値は現在、最も大きな電気機械結合係数を持つ圧電性
薄膜として知られているＺｎＯ圧電性薄膜に対するに２
の値の約８０％と大きな値である。
現在、弾性表面波を通信素子に応用するための研究が各
方面でなされており、特に弾性表面波フィルタに関する
研究が最も進んでいる。ここで弾性表面波フィルタの設
計理論はほぼ完成しているものと思われるが、実用のた
めには材料が零温度、係数を持つこと、化学的に安定で
あることなどが問題として残されている。
方面でなされており、特に弾性表面波フィルタに関する
研究が最も進んでいる。ここで弾性表面波フィルタの設
計理論はほぼ完成しているものと思われるが、実用のた
めには材料が零温度、係数を持つこと、化学的に安定で
あることなどが問題として残されている。
本発表人も種々研究を重ねた結果１．前述の作成方法に
よって、零温度係数を持ち、しかも化学的に安定である
弾性表面波材料を得ることができ、所記の目的を達成で
きた。
よって、零温度係数を持ち、しかも化学的に安定である
弾性表面波材料を得ることができ、所記の目的を達成で
きた。
（７）発明の効果
この発明は以上説明したように、電気機械結合係数が大
きく、五酸化タンタル薄膜の膜厚を適当値にもたらすこ
とにより温度係数を零にすることができ、さらに化学的
に安定で耐久性のある弾性表面波材料を実現することが
できる等、従来から希望されている効用を満足するもの
が得られ、通信機産業の発達に大いに寄与しつるもので
ある。
きく、五酸化タンタル薄膜の膜厚を適当値にもたらすこ
とにより温度係数を零にすることができ、さらに化学的
に安定で耐久性のある弾性表面波材料を実現することが
できる等、従来から希望されている効用を満足するもの
が得られ、通信機産業の発達に大いに寄与しつるもので
ある。
図面は本発明の一実施例を説明したもので、第１図ａ、
ｂは実施例弾性表面波材料の構成側面図、上面図、第２
図は規格化膜厚に対する温度係数の変化を示す曲線図で
ある。 図で１は溶融石英ガラス板、２は五酸化タンタルＭ喧
Ｑｌ＋隙板実石油扁坦田蕾妬 第 １ 図
ｂは実施例弾性表面波材料の構成側面図、上面図、第２
図は規格化膜厚に対する温度係数の変化を示す曲線図で
ある。 図で１は溶融石英ガラス板、２は五酸化タンタルＭ喧
Ｑｌ＋隙板実石油扁坦田蕾妬 第 １ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 負なる温度係数をもつ溶融石英ガラス板を 基板として、これに正なる温度係数をもつ五酸化タンタ
ル薄膜を被着せしめることにより弾性表面波の遅延時間
の温度係数を零にするようにしたことを特徴とする弾性
表面波材料
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60035880A JPS61195013A (ja) | 1985-02-25 | 1985-02-25 | 零温度係数をもつ弾性表面波材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60035880A JPS61195013A (ja) | 1985-02-25 | 1985-02-25 | 零温度係数をもつ弾性表面波材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61195013A true JPS61195013A (ja) | 1986-08-29 |
Family
ID=12454312
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60035880A Pending JPS61195013A (ja) | 1985-02-25 | 1985-02-25 | 零温度係数をもつ弾性表面波材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61195013A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0762640A1 (en) * | 1995-09-01 | 1997-03-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
| EP0860943A2 (en) * | 1997-02-20 | 1998-08-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
| EP0936733A2 (fr) * | 1998-02-16 | 1999-08-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Dispositif à ondes acoustiques de surface |
| JP2019124699A (ja) * | 2011-11-04 | 2019-07-25 | ザ・スウォッチ・グループ・リサーチ・アンド・ディベロップメント・リミテッド | セラミック温度補償型共振器 |
-
1985
- 1985-02-25 JP JP60035880A patent/JPS61195013A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0762640A1 (en) * | 1995-09-01 | 1997-03-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
| US5719538A (en) * | 1995-09-01 | 1998-02-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device having negative temperature coefficient of decay |
| SG93801A1 (en) * | 1995-09-01 | 2003-01-21 | Murata Manufacturing Co | Surface acoustic wave device |
| EP0860943A2 (en) * | 1997-02-20 | 1998-08-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
| EP0860943A3 (en) * | 1997-02-20 | 2000-01-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
| EP0936733A2 (fr) * | 1998-02-16 | 1999-08-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Dispositif à ondes acoustiques de surface |
| EP0936733A3 (en) * | 1998-02-16 | 2001-01-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device |
| JP2019124699A (ja) * | 2011-11-04 | 2019-07-25 | ザ・スウォッチ・グループ・リサーチ・アンド・ディベロップメント・リミテッド | セラミック温度補償型共振器 |
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