JPS58199326A - 液晶表示素子のギヤツプ用スペ−サ形成法 - Google Patents
液晶表示素子のギヤツプ用スペ−サ形成法Info
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- JPS58199326A JPS58199326A JP8279282A JP8279282A JPS58199326A JP S58199326 A JPS58199326 A JP S58199326A JP 8279282 A JP8279282 A JP 8279282A JP 8279282 A JP8279282 A JP 8279282A JP S58199326 A JPS58199326 A JP S58199326A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は液晶表示素子を構成する。２枚のガラス基板間
に微小ギャップを形成するための液晶表示素子のギャッ
プ用スペーサ形成法（二関するものである。
に微小ギャップを形成するための液晶表示素子のギャッ
プ用スペーサ形成法（二関するものである。
技術の背景
表面にそれぞれ透明電極、配向膜を順次形成した２枚の
ガラス基板を所定のギャップを介し対向させ、それぞれ
対向面周囲を熱硬化性有ｆｉ６等により接着して上記ギ
ャップ内（二液晶を封入してなる液晶表示素子が液晶表
示装置用として近時広く使用されている。この場合のギ
ャップは、視覚特性を向上させるため通常１０μ風以下
（＝設定されている。
ガラス基板を所定のギャップを介し対向させ、それぞれ
対向面周囲を熱硬化性有ｆｉ６等により接着して上記ギ
ャップ内（二液晶を封入してなる液晶表示素子が液晶表
示装置用として近時広く使用されている。この場合のギ
ャップは、視覚特性を向上させるため通常１０μ風以下
（＝設定されている。
従来技術と問題点
従来、この種の液晶表示素子のギャップ形成（；際して
は、微小径のグラスファイバ、アルミナ等の絶縁物・を
１００μ＃１以下の長さに切断してこれをアルコール等
の懸濁液中直二混ぜ、ガラス基板上シー滴下して該ガラ
ス基板を回転させることにより該ガラス基板上に散布し
、これをスペーサとして両ガラス基板を接着している。
は、微小径のグラスファイバ、アルミナ等の絶縁物・を
１００μ＃１以下の長さに切断してこれをアルコール等
の懸濁液中直二混ぜ、ガラス基板上シー滴下して該ガラ
ス基板を回転させることにより該ガラス基板上に散布し
、これをスペーサとして両ガラス基板を接着している。
この場合両ガラス基板接着時に該両ガラス基板間にはほ
ぼ絶縁物の径に等しいギャップが形成される。
ぼ絶縁物の径に等しいギャップが形成される。
しかしながら、このような従来の方法でギャップを形成
する場合、現在のグラスファイバは技術的に４μ屏の直
径が限界であり、それ以下のギャップ形成は困雌であっ
た。
する場合、現在のグラスファイバは技術的に４μ屏の直
径が限界であり、それ以下のギャップ形成は困雌であっ
た。
一方、ディスプレイ装置の中で液晶表示装置は応答性が
遅いという欠点があり、この応答性０向上を図ることが
重要な課題となっている。液晶表示装置の場合、応答性
は液晶表示素子の厚さの二乗に比例しており素子の厚さ
を薄くすることにより応答性を速くすることができる。
遅いという欠点があり、この応答性０向上を図ることが
重要な課題となっている。液晶表示装置の場合、応答性
は液晶表示素子の厚さの二乗に比例しており素子の厚さ
を薄くすることにより応答性を速くすることができる。
すなわち、両ガラス基板間のギャップを小さくすること
が応答性向上のため必ｌＬＬになるが、上述のように、
従来の方法でギャップを形成する場合、ギャップを４μ
肩以下砿ニすることは困難であり、その改善渠がｇ！望
されている。
が応答性向上のため必ｌＬＬになるが、上述のように、
従来の方法でギャップを形成する場合、ギャップを４μ
肩以下砿ニすることは困難であり、その改善渠がｇ！望
されている。
発明の目的
本発明は上述の要望を実現するためのもので、両ガラス
基板間のギャップを微小化して応答性の向上を図ること
のできる液晶表示素子のギヤツブ用スペー夛形成法を提
供することを目的としている。
基板間のギャップを微小化して応答性の向上を図ること
のできる液晶表示素子のギヤツブ用スペー夛形成法を提
供することを目的としている。
発明の構成
本発明では、上述の目的を達成するため、一方のガラス
基板の配向膜の表面に絶縁膜を形成し、該絶縁膜なエツ
チングすることにより所定の形状のバターニングを行っ
てギャップ用スペーサな形成している。
基板の配向膜の表面に絶縁膜を形成し、該絶縁膜なエツ
チングすることにより所定の形状のバターニングを行っ
てギャップ用スペーサな形成している。
発明の実施例
以下、図面に関連して本発明の詳細な説明する。
第１図４；おいて、１は一方のガラス基板で、該ガラス
基板１の表面には透明電極２および液晶分子配向制御用
の配向膜６が順次形成されている。
基板１の表面には透明電極２および液晶分子配向制御用
の配向膜６が順次形成されている。
本発明では、次の手順によりこのガラス基板１の配向膜
３上にスペーサを形成する。
３上にスペーサを形成する。
まず、第２図（ｇ） ｉ二示すよう（；、配向膜６の上
に３６０、 、 Ａ１１０．等の絶縁膜４を３μ罵以下
の膜厚に形成する。具体的な成膜法としては例えば低温
コーティングが６１能であるマグネトロンスパッタを用
いるが、その他に蒸着、ケミカル々−）くデポジＶ′５
ン、イオンブレーティング等の方法によっても成膜可能
であり、何れの場合も６μ風以下の微小膜厚を実現でき
る。
に３６０、 、 Ａ１１０．等の絶縁膜４を３μ罵以下
の膜厚に形成する。具体的な成膜法としては例えば低温
コーティングが６１能であるマグネトロンスパッタを用
いるが、その他に蒸着、ケミカル々−）くデポジＶ′５
ン、イオンブレーティング等の方法によっても成膜可能
であり、何れの場合も６μ風以下の微小膜厚を実現でき
る。
次に、第２図＜ｈ＞に示すよう（二、絶縁膜４上に幅５
μ＋Ｓに長さ４０μ罵程度の複数のレジストノぐターン
５を所定の配置で形成し、ケミカルエツチング、イオン
エツチング等の方法により絶縁膜４のバターニングを行
って第２図（Ｄ）に示すようにスペーサ６を形成する。
μ＋Ｓに長さ４０μ罵程度の複数のレジストノぐターン
５を所定の配置で形成し、ケミカルエツチング、イオン
エツチング等の方法により絶縁膜４のバターニングを行
って第２図（Ｄ）に示すようにスペーサ６を形成する。
この場合スペーサ６はレジストパターン５と同一パター
ンで形成される。
ンで形成される。
次に、第３図に示すようＣ二、ガラス基板１にスペーサ
６を介し他方のガラス基板７を対向させ、両ガラス基板
を図示しない熱硬化性有機物により接着した後１両ガラ
ス基板間の密閉空間内に液晶を封入して液晶表示素子が
構成される。この場合、両ガラス基板間のギャップは、
スペーサ６の存在により５μｍ以下砿：保たれる。
６を介し他方のガラス基板７を対向させ、両ガラス基板
を図示しない熱硬化性有機物により接着した後１両ガラ
ス基板間の密閉空間内に液晶を封入して液晶表示素子が
構成される。この場合、両ガラス基板間のギャップは、
スペーサ６の存在により５μｍ以下砿：保たれる。
発明の効果
以上述べたように、本発明によれば、両ガラス基板間の
ギャップは絶縁膜をバターニングして得られるスペーサ
により確保されるよう４ニなっており、絶縁膜は３μ講
以下の微小膜厚鳴：形成ｊＪＪ能であるため、ギャップ
を微小化して応答性の向上を図ることが可能である。
ギャップは絶縁膜をバターニングして得られるスペーサ
により確保されるよう４ニなっており、絶縁膜は３μ講
以下の微小膜厚鳴：形成ｊＪＪ能であるため、ギャップ
を微小化して応答性の向上を図ることが可能である。
図面は本発明に係る液晶表示素子のギャップ用スペーサ
形成法の実施例を示すもので、１ｇ１図は一方のガラ
ス基板の透明電極、配向膜形成賛頭図、第２図（αｌ
、 （Ａ） 、 （Ｃ）は一方のガラス基板上にスペー
サを形成する工程図、第３図は両ガラス基板接着費鎮図
である。 図中、１は一方のガラス基板、２は透明−極、６は配向
膜、４は絶縁膜、５はレジストパターン、６はスペーサ
、７は他方のガラス基板である。 特許出願人 富士通株式会社 代理人 弁理士 玉蟲久五部（外６名〕第１図 第２図 苑３図
形成法の実施例を示すもので、１ｇ１図は一方のガラ
ス基板の透明電極、配向膜形成賛頭図、第２図（αｌ
、 （Ａ） 、 （Ｃ）は一方のガラス基板上にスペー
サを形成する工程図、第３図は両ガラス基板接着費鎮図
である。 図中、１は一方のガラス基板、２は透明−極、６は配向
膜、４は絶縁膜、５はレジストパターン、６はスペーサ
、７は他方のガラス基板である。 特許出願人 富士通株式会社 代理人 弁理士 玉蟲久五部（外６名〕第１図 第２図 苑３図
Claims (1)
- 縁膜を形成し、該絶縁膜をエツチングすることにより所
定の形状のパターニングを行うことを特徴とする液晶表
示素子のギャップ用スペーサ形成法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8279282A JPS58199326A (ja) | 1982-05-17 | 1982-05-17 | 液晶表示素子のギヤツプ用スペ−サ形成法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8279282A JPS58199326A (ja) | 1982-05-17 | 1982-05-17 | 液晶表示素子のギヤツプ用スペ−サ形成法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58199326A true JPS58199326A (ja) | 1983-11-19 |
Family
ID=13784250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8279282A Pending JPS58199326A (ja) | 1982-05-17 | 1982-05-17 | 液晶表示素子のギヤツプ用スペ−サ形成法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58199326A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4775225A (en) * | 1985-05-16 | 1988-10-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid crystal device having pillar spacers with small base periphery width in direction perpendicular to orientation treatment |
| US4867543A (en) * | 1986-05-28 | 1989-09-19 | Plessey Overseas Limited | Spatial light modulator |
| US5959710A (en) * | 1996-08-26 | 1999-09-28 | Si Diamond Technology, Inc. | Display device with spacers made of carbon, graphite or diamond and method of making same |
-
1982
- 1982-05-17 JP JP8279282A patent/JPS58199326A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4775225A (en) * | 1985-05-16 | 1988-10-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid crystal device having pillar spacers with small base periphery width in direction perpendicular to orientation treatment |
| US4867543A (en) * | 1986-05-28 | 1989-09-19 | Plessey Overseas Limited | Spatial light modulator |
| US5959710A (en) * | 1996-08-26 | 1999-09-28 | Si Diamond Technology, Inc. | Display device with spacers made of carbon, graphite or diamond and method of making same |
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