JPS6119137B2 - - Google Patents

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JPS6119137B2
JPS6119137B2 JP52145863A JP14586377A JPS6119137B2 JP S6119137 B2 JPS6119137 B2 JP S6119137B2 JP 52145863 A JP52145863 A JP 52145863A JP 14586377 A JP14586377 A JP 14586377A JP S6119137 B2 JPS6119137 B2 JP S6119137B2
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etching
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Hiroyuki Fujii
Joji Shimakawa
Yukio Hara
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Matsushima Kogyo KK
Suwa Seikosha KK
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Matsushima Kogyo KK
Suwa Seikosha KK
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    • H03H9/10—Mounting in enclosures
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は腐食加工により形成した凹部を有する
少くとも１個が透明材料製のケース２個の間に水
晶発振片を挾持してなる超薄型の水晶振動子に関
する。本発明の目的は超薄型の水晶振動子の構造
を強健にし、外力に対する信頼性を高めることで
ある。本発明の他の目的は、超薄型の水晶振動子
を安価に供することである。
腐食加工により形成する凹部を有する透明材料
で形成したケースと、該ケースを用いて構成した
超薄型の水晶振動子の従来例を第１図、第２図に
示す。第１図は凹部と外周部を同時に腐食加工し
て形成したケースを示したもので、Ａは該ケース
の断面図、Ｂ及びＣはＡにおける腐食加工時間の
長短による断面形状の相異を示す断面図である。
１は水晶あるいはガラス等の透明材料を腐食加工
することによつて形成したケースである。１ａは
該ケース１の中央部の片一方の面だけを腐食加工
することによつて形成した凹部であり、１ｂは両
面より腐食加工することによつて抜き落としたケ
ース１の外周部である。２は腐食加工のために形
成した金、クロム等の金属マスクである。１ｃは
凹部１ａを腐食加工することにより除去した後の
ケース面である。ケース厚みｔ、外周部腐食加工
深さt1、凹部腐食加工深さt2、凹部残り厚みt3と
断面形状の関係をＢ，Ｃに示す。Ｂにおいて、ｔ
＝2t1なる腐食加工条件の場合であり、外周部１
ｂには径方向に大きな突起１ｂができる。
t1＝t2；t3 Ｃにおいて、ｔ＜2t1なる腐食加工条件の場合
であり、腐食加工時間を十分長くすることで形成
できる。Ｂに比較して突起１ｄは極めて小さい。
t1＝t2 t3＜t2 第２図において、３は音叉３ａと音叉の基部が
音叉をとり囲むように延長して成る枠部３ｂから
なる水晶発振片、４及び５は水晶あるいはガラス
等の透明材料を腐食加工することによつて形成し
た上下各ケースである。４ａ，５ａは該ケース４
及び５の中央部の片一方の面だけを腐食加工する
ことによつて形成した凹部であり、４ｂ，５ｂは
両面より腐食加工することにより抜き落とした該
ケース４及び５の外周部である。４ｃ，５ｃは凹
部４ａ，５ａを腐食加工することにより除去した
後のケース面である。６は該水晶振動子の周波数
調整のため外部より照射したレーザー光線であ
り、６ａは該レーザー光線６の集束レンズであ
る。t0は水晶振動子総厚である。
以上に述べた従来例のようにケースの外周部と
凹部を同時に加工することによる欠点を以下に列
挙する。
１ 腕時計に用いる時間標準源としての水晶振動
子は、衝撃、振動等の機械的外力の作用に対し
て欠損、破壊等が生じない様に機械的強度を保
持する事が必要である。なぜなら仮に欠損等が
生じた場合、その破片が精密歯車等のわずかな
スキマにはいり込み、動作停止等の故障を生じ
させるためである。
従来例、第１図Ｂで示すような断面形状を有
するケースは、突起１ｄが弱少部分であるため
に、上述した理由によつて、腕時計用水晶振動
子のケースとしては不適である。
一方、第１図Ｃに示す様な断面形状を有する
ケースは、突起１ｄがきわめて小さいために実
用上は問題とならない。しかし凹部残り厚みt3
はt3＜ｔ ２となり薄くなるために、充分な機械的
強度を持たずそれを保持させるためにt3を規制
すればケース厚みｔは、ｔ＞2t3となつて厚く
なり、結果的に水晶振動子の総厚t0を増大させ
るものである。従つて超薄型の水晶振動子のケ
ースとしては不適である。
２ 凹部４ａ，５ａを腐食加工により除去した後
のケース面４ｃ，５ｃは、該腐食加工に用いる
腐食液と水晶あるいはガラス等のケース原料と
の化学反応による生成物の腐食加工面への沈
殿、あるいは原料の粗成、さらには結晶方位に
よる腐食速度の違いによつて、長時間の腐食加
工を施した場合、完全な平滑面とはなりにく
い。従つて該水晶振動子を真空封止した後、外
部よりレーザー光線を照射して、周波数調整を
行う場合、照射したレーザー光線が該ケース面
４ｃ，５ｃにおいて屈折、錯乱し、該水晶発振
片に付着せしめてある金属膜の除去量が一定せ
ず、正確な周波数調整が不可能である。従つて
歩留りが抵化し、コスト高となる。
本発明は以上述べた欠点をすべて解決するもの
である。第３図、第４図に本発明によるケースと
該ケースを用いて構成した超薄型の水晶振動子を
示す。
本発明におけるケースの形成を第３図Ａ→Ｂ→
Ｃ→Ｄの順に工順を追つて説明する。
Ａにおいて、７は水晶あるいはガラス等のケー
ス原料となる厚みt4を有する透明材料である。該
透明材料７の表裏の各面には金属膜８と、さらに
該金属膜８の上にフオトレジスト等の保護膜９が
形成してある。透明材料７を腐食加工することに
よつてＢに示すように、ケース外周部７ｂを形成
する。
次に金属膜８を腐食加工することによつて、Ｃ
に示す様に、凹部を形成する部分の透明材料面を
露出させる。次に再び透明材料７を腐食加工する
ことによつて、Ｄに示す様に、必要にして最小限
の凹部腐食加工深さt5なる凹部７ａを形成する。
７ｃは凹部７ａを腐食加工することによつて除去
した後のケース面である。t6は凹部残り厚みであ
る。
以上の工順によりケースの外周部と凹部とをそ
れぞれ単独で腐食加工するものである。
第４図において１０は音叉１０ａと音叉の基部
が音叉をとり囲む様に延長してなる枠部１０ｂか
ら成る水晶発振片、１１及び１２は水晶あるいは
ガラス等の透明材料を腐食加工することによつて
形成した、上、下各ケースである。１１ａ，１２
ａは該ケース１１及び１２の中央部の片一方の面
だけを腐食加工することによつて形成した凹部で
あり、１１ｂ，１２ｂは両面より腐食加工するこ
とによつて抜き落とした該ケース１１及び１２の
外周部である。１１ｃ，１２ｃは凹部１１ａ，１
２ａを腐食加工することにより除去した後のケー
ス面である。１３は該水晶振動子の周波数調整の
ため、外部より照射したレーザー光線であり、１
３ａは該レーザー光線１３の集束レンズである。
t7は水晶振動子総厚である。
以上、本発明によれば以下に述べる利点が生ず
る。
１ ケースの外周部７ｂには、径方向に突起が生
じない様にする為に、充分な腐食加工を施し、
且つ凹部７ａは必要にして最小限度の腐食加工
深さを得ることが可能であり、機械的外力の作
用に対し、欠損、破壊等が生ずることはなく、
しかも、凹部残り厚みt6に対してケース厚みt4
は必要以上に厚くなることはない。従つて外力
に対して信頼性が高く強健な構造を有する超薄
型の水晶振動子を得ることが可能である。
２ 凹部１１ａ，１２ａを形成するための腐食加
工時間はきわめて短時間で良いために、該凹部
１１ａ，１２ａを除去した後のケース面１１
ｃ，１２ｃはほとんど完全な透明面を得ること
が可能である。従つて該水晶振動子を真空封止
した後、外部よりレーザー光線を照射して周波
数調整を行う場合、照射したレーザー光線が該
ケース面１１ｃ，１２ｃにおいて屈折、錯乱す
ることは極めて少く、該水晶発振片に付着せし
めてある金属膜の除去量は一定となり、正確な
周波数調整が可能である。従つて高歩留りでき
安価に供することが可能である。
【図面の簡単な説明】
第１図Ａは従来の水晶振動子に用いられたケー
スの断面図、第１図Ｂは第１図Ａにおいて腐食加
工時間が短い場合のケース断面図、第１図Ｃは第
１図Ａにおいて腐食加工時間が長い場合のケース
断面図、第２図は第１図に示したケースを用いた
従来の水晶振動子の断面図、第３図Ａ，Ｂ，Ｃ，
Ｄは本発明に用いるケースの製造工程例を示した
ケースの断面図、第４図は本発明による水晶振動
子の実例を示す断面図。 １……ケース、１ａ……凹部、１ｂ……外周
部、１ｃ……ケース面、１ｄ……突起、２……金
属マスク、３……水晶発振片、３ａ……音叉、３
ｂ……枠部、４，５……上、下各ケース、４ａ，
５ａ……凹部、４ｂ，５ｂ……外周部、４ｃ，５
ｃ……ケース面、６……レーザー光線、６ａ……
集束レンズ、７……透明材料、７ａ……凹部、７
ｂ……ケース外周部、８……金属膜、９……保護
膜、１０……水晶発振片、１０ａ……音叉、１０
ｂ……枠部、１１，１２……上、下各ケース、１
１ａ，１２ａ……凹部、１１ｂ，１２ｂ……外周
部、１１ｃ，１２ｃ……ケース面、１３……レー
ザー光線、１３ａ……集束レンズ、ｔ……ケース
厚み、t1……外周部腐食加工深さ、t2……凹部腐
食加工深さ、t3……凹部残り厚み、t0……水晶振
動子の総厚、t4……ケースの原料となる厚み、t5
……凹部腐食加工深さ、t6……凹部残り厚み、t7
……水晶振動子総厚。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 内面に凹部を有してなる平型の２個のケース
    のうち１方を透明材料で形成してなる水晶振動子
    ケースの製造方法において、前記透明材料からな
    る平型ケースが、透明薄板上の両面に保護膜とな
    る金属膜をケース外形状に載置固着し、更に前記
    金属膜上にレジスト膜を塗布するとともに１方の
    金属膜上のレジスト膜は前記凹部の平面形状を除
    いて塗布される第１工程と、前記金属膜以外の部
    分をエツチングにより腐蝕抜きする第２工程と、
    前記レジスト膜が塗布された以外の金属膜を除去
    する第３工程と、前記金属膜が除去された部分を
    エツチング加工し凹部を形成する第４工程と、前
    記金属膜を除去する第５工程によつて形成される
    ことを特徴とする水晶振動子ケース製造方法。
JP14586377A 1977-12-05 1977-12-05 Crystal vibrator Granted JPS5478693A (en)

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