JPS61189544A - 液状レジスト塗布ロ−ラ - Google Patents
液状レジスト塗布ロ−ラInfo
- Publication number
- JPS61189544A JPS61189544A JP3188385A JP3188385A JPS61189544A JP S61189544 A JPS61189544 A JP S61189544A JP 3188385 A JP3188385 A JP 3188385A JP 3188385 A JP3188385 A JP 3188385A JP S61189544 A JPS61189544 A JP S61189544A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist
- roller
- coating
- partition wall
- coating roller
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
本発明はプリント基板に液状レジストを塗布するレジス
ト塗布ローラの改良に係り、特に該塗布ローラの外周面
に設けられたロール溝を仕切る隔壁の断面形状を三角形
に形成することによってレジストとプリント基板面との
馴染み性を向上させ、該レジストが基板面にムラ無（付
着するようにしたものである。
ト塗布ローラの改良に係り、特に該塗布ローラの外周面
に設けられたロール溝を仕切る隔壁の断面形状を三角形
に形成することによってレジストとプリント基板面との
馴染み性を向上させ、該レジストが基板面にムラ無（付
着するようにしたものである。
最近のプリント基板は部品実装量の向上ニーズを反映し
て益々大型化される傾向にある。このため配線パターン
精度の向上要求に伴って、プリント基板へのレジスト塗
布工程におけるレジスト塗布厚さの均等化技術は特に重
要であり、もしもレジスト塗布後の工程−行中にレジス
ト塗布ムラに起因する事故、特にレジストの剥離事故等
が発生すると修復に移しい時間と特殊修理技術とを必要
とし、時には高価なプリント基板が修理不能のため廃却
されるような事態さえ生じる。
て益々大型化される傾向にある。このため配線パターン
精度の向上要求に伴って、プリント基板へのレジスト塗
布工程におけるレジスト塗布厚さの均等化技術は特に重
要であり、もしもレジスト塗布後の工程−行中にレジス
ト塗布ムラに起因する事故、特にレジストの剥離事故等
が発生すると修復に移しい時間と特殊修理技術とを必要
とし、時には高価なプリント基板が修理不能のため廃却
されるような事態さえ生じる。
本発明はレジスト塗布工程における品質向上のキメテと
なるレジスト塗布ローラのロール溝形状を改良して、レ
ジストが均等且つ平坦にプリント基板に塗布されるよう
にしたものである。
なるレジスト塗布ローラのロール溝形状を改良して、レ
ジストが均等且つ平坦にプリント基板に塗布されるよう
にしたものである。
第２図は液状レジスト塗布部の構造例を示す斜視図であ
る。
る。
同図に示す如くレジスト塗布部は矢印Ａ方向に回動して
プリント基板２を矢印Ｂ方向へ搬送する基板搬送ローラ
１と、搬送されるプリント基板２に圧接して矢印Ａ°力
方向回動しながら該基板２に液状レジスト５を塗布する
レジスト塗布ローラ３と、レジスト５を前記塗布ローラ
３と従動ローラ７との間に供給する供給ノズル６とによ
って構成されている。なおレジスト塗布ローラ３の外周
面には円周方向に所定の幅と深さを存する複数条のロー
ル溝４が形成されている。
プリント基板２を矢印Ｂ方向へ搬送する基板搬送ローラ
１と、搬送されるプリント基板２に圧接して矢印Ａ°力
方向回動しながら該基板２に液状レジスト５を塗布する
レジスト塗布ローラ３と、レジスト５を前記塗布ローラ
３と従動ローラ７との間に供給する供給ノズル６とによ
って構成されている。なおレジスト塗布ローラ３の外周
面には円周方向に所定の幅と深さを存する複数条のロー
ル溝４が形成されている。
従動ローラ７はレジスト塗布ローラ３の外周面と接触し
ており、該ローラ３に従動して回転しながら前記液状レ
ジスト５を均等な厚さに圧延して塗布ローラ３の外周面
へ付着させる。
ており、該ローラ３に従動して回転しながら前記液状レ
ジスト５を均等な厚さに圧延して塗布ローラ３の外周面
へ付着させる。
そしてレジスト塗布ローラ３は上記手段によって自らの
外周面に付着したレジスト５をプリント基板２と圧接す
ることによって該基板５に転写塗布する。
外周面に付着したレジスト５をプリント基板２と圧接す
ることによって該基板５に転写塗布する。
第３図は従来の塗布ローラの要部断面図である。
同図に示す如〈従来のロール溝は台形隔壁型ロール溝４
と呼ばれ、レジスト塗布ローラ３の軸中心に沿って等間
隔に形成されたロール溝４ｂを仕切る隔壁が、台形断面
型隔壁４ａによって形成されているためにこの呼び名が
ある。
と呼ばれ、レジスト塗布ローラ３の軸中心に沿って等間
隔に形成されたロール溝４ｂを仕切る隔壁が、台形断面
型隔壁４ａによって形成されているためにこの呼び名が
ある。
なお上記レジスト塗布ローラ３の外周面は弾力性を有し
且つレジスト５に良く馴染む材料、例えばブチルゴム材
等で製作される。
且つレジスト５に良く馴染む材料、例えばブチルゴム材
等で製作される。
然しなから上記従来のレジスト塗布ローラ３のロール溝
４は、プリント基板２と圧接する外周面に前記台形断面
型隔壁４ａが形成されているため、該隔壁４ａの台形上
面４ａ”に押圧された部分のレジスト５の塗布膜は極端
に薄くなり、縞模様の塗りムラ８ （第２図参照）を生
じ、時にはレジスト５の塗布膜が破れて全くレジスト５
が付着していない領域が生じるといった事故が発生して
いた。
４は、プリント基板２と圧接する外周面に前記台形断面
型隔壁４ａが形成されているため、該隔壁４ａの台形上
面４ａ”に押圧された部分のレジスト５の塗布膜は極端
に薄くなり、縞模様の塗りムラ８ （第２図参照）を生
じ、時にはレジスト５の塗布膜が破れて全くレジスト５
が付着していない領域が生じるといった事故が発生して
いた。
またロール溝４ｂの底部は従動ローラ７とは接触しない
ため隔壁頂部４ａ’ に比ベレジスト５との馴染みが悪
く、レジスト５がロール溝４ｂ内に入り込み難い部分も
あり塗布ムラを生じていた。
ため隔壁頂部４ａ’ に比ベレジスト５との馴染みが悪
く、レジスト５がロール溝４ｂ内に入り込み難い部分も
あり塗布ムラを生じていた。
このため従来からドクターロール圧調整と呼ばれる方法
があった。これは従動ローラ７とレジスト塗布ローラ３
間の接触圧力を変化させてロール溝４ｂの底部とレジス
ト５の馴染みを良くする方法であるが、この方法によっ
ても容易に前記レジスト塗布ムラを防止することができ
なかった。
があった。これは従動ローラ７とレジスト塗布ローラ３
間の接触圧力を変化させてロール溝４ｂの底部とレジス
ト５の馴染みを良くする方法であるが、この方法によっ
ても容易に前記レジスト塗布ムラを防止することができ
なかった。
本発明はレジスト塗布時における最大の問題点である上
記塗りムラ現象を回避するためになされたものである。
記塗りムラ現象を回避するためになされたものである。
上記問題点はレジスト塗布ローラの外周面に形成された
ロール溝を仕切る隔壁の断面形状が、該塗布ローラの最
外周面を頂点とする三角形型に形成されてなる本発明の
液状レジスト塗布ローラの提供によって解決される。
ロール溝を仕切る隔壁の断面形状が、該塗布ローラの最
外周面を頂点とする三角形型に形成されてなる本発明の
液状レジスト塗布ローラの提供によって解決される。
本発明はレジスト塗布ローラの外周面に形成されたロー
ル溝隔壁の断面形状を従来の台形型から三角形型に改良
することによって該塗布ローラに対するレジストの付着
性を向上させると共に、該塗布ローラに一旦付着した前
記レジストがプリント基板に転写塗布される場合の容易
性を向上させ、塗布ムラを解消させた点に特徴を存する
。
ル溝隔壁の断面形状を従来の台形型から三角形型に改良
することによって該塗布ローラに対するレジストの付着
性を向上させると共に、該塗布ローラに一旦付着した前
記レジストがプリント基板に転写塗布される場合の容易
性を向上させ、塗布ムラを解消させた点に特徴を存する
。
以下本発明の実施例を図面によって詳述する。
第１図は本発明による液状レジスト塗布ローラの一実施
例を示す要部断面図である。
例を示す要部断面図である。
但し全図を通じて同一符号は同一対象物を示すものとす
る。
る。
同図に示す如く本発明の液状レジスト塗布ローラは、ロ
ール溝４ｂが三角形型隔壁１４ａによって仕切られた三
角形隔壁型ロール４＃１４で構成されている。
ール溝４ｂが三角形型隔壁１４ａによって仕切られた三
角形隔壁型ロール４＃１４で構成されている。
該三角形型隔壁１４ａは頂部１４ａ°が鋭角であるため
従動ローラフの圧力を調整することによりレジスト５が
塗布ローラ３のロール溝４ｂの底部に付着する場合の馴
染み性が良好となり適正量を容易にロール溝４ｂ内に含
有させることができる。
従動ローラフの圧力を調整することによりレジスト５が
塗布ローラ３のロール溝４ｂの底部に付着する場合の馴
染み性が良好となり適正量を容易にロール溝４ｂ内に含
有させることができる。
また−互譲塗布ローラ３に付着したレジスト５をプリン
ト基板２側へ転写塗布する際にも基板２と隔壁頂部１４
ａ゛との接触面積が小さいため、該隔壁頂部１４ａ′に
押圧されて薄くなったレジスト５の塗膜は表面張力によ
り容易に周囲の膜厚と均一化されるので塗すムラ８の無
い平坦なレジスト膜が得られる。
ト基板２側へ転写塗布する際にも基板２と隔壁頂部１４
ａ゛との接触面積が小さいため、該隔壁頂部１４ａ′に
押圧されて薄くなったレジスト５の塗膜は表面張力によ
り容易に周囲の膜厚と均一化されるので塗すムラ８の無
い平坦なレジスト膜が得られる。
なお前記三角形型隔壁１４ａの形成間隔Ｐ、隔壁の高さ
Ｈ５頂部角度θ等はプリント基板の製造工程上の諸条件
に応じて適宜決定される。
Ｈ５頂部角度θ等はプリント基板の製造工程上の諸条件
に応じて適宜決定される。
以上詳細に説明したように本発明の液状レジスト塗布ロ
ーラは、レジスト塗布ローラの外周面に形成されるロー
ル溝の断面形状を改良することによって液状レジストの
塗布膜が均一となり、塗布信頼性を著しく向上し得ると
いった効果大なるものである。
ーラは、レジスト塗布ローラの外周面に形成されるロー
ル溝の断面形状を改良することによって液状レジストの
塗布膜が均一となり、塗布信頼性を著しく向上し得ると
いった効果大なるものである。
第１図は本発明による液状レジスト塗布ローラの一実施
例を示す要部断面図、 第２図は液状レジスト塗布部の構造例を示す斜視図、 第３図は従来の塗布ローラの要部断面図である。 図中、２はプリント基板、３はレジスト塗布ローラ、４
ｂはロール溝、５は液状レジスト、８は塗すムラ、１４
は三角形隔壁型ロール溝、１４ａは三角形型隔壁、１４
ａ”は三角形型隔壁の頂部、Ｐは三角形型隔壁の形成間
隔、Ｈは同じく高さ、θは同じく頂部の角度をそれぞれ
示す。 第４９判／ｌ替０−ラＩ）ギ１予泊賀動図第１囚 １
２８８ 聾し７ｔ１°しシ”ス１−４【才巨音ｐの看舞ｊｉｂ列
１１食千ｎｔ図第２図 ム 衾−表、６０−フめ零部おガシ回 １１３Ｆ！！Ｊ
例を示す要部断面図、 第２図は液状レジスト塗布部の構造例を示す斜視図、 第３図は従来の塗布ローラの要部断面図である。 図中、２はプリント基板、３はレジスト塗布ローラ、４
ｂはロール溝、５は液状レジスト、８は塗すムラ、１４
は三角形隔壁型ロール溝、１４ａは三角形型隔壁、１４
ａ”は三角形型隔壁の頂部、Ｐは三角形型隔壁の形成間
隔、Ｈは同じく高さ、θは同じく頂部の角度をそれぞれ
示す。 第４９判／ｌ替０−ラＩ）ギ１予泊賀動図第１囚 １
２８８ 聾し７ｔ１°しシ”ス１−４【才巨音ｐの看舞ｊｉｂ列
１１食千ｎｔ図第２図 ム 衾−表、６０−フめ零部おガシ回 １１３Ｆ！！Ｊ
Claims (1)
- レジスト塗布ローラをプリント基板に圧接させて、液状
レジストを前記プリント基板側へ転写塗布するレジスト
塗布ローラであって、該塗布ローラの外周面に形成され
たロール溝を仕切る隔壁の断面形状が、前記塗布ローラ
の外周面を頂点とする三角形型に形成されてなることを
特徴とする液状レジスト塗布ローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3188385A JPS61189544A (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 | 液状レジスト塗布ロ−ラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3188385A JPS61189544A (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 | 液状レジスト塗布ロ−ラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61189544A true JPS61189544A (ja) | 1986-08-23 |
Family
ID=12343431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3188385A Pending JPS61189544A (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 | 液状レジスト塗布ロ−ラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61189544A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6341159U (ja) * | 1986-09-03 | 1988-03-17 | ||
| JPH01258760A (ja) * | 1987-12-10 | 1989-10-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | ロールコータ |
-
1985
- 1985-02-19 JP JP3188385A patent/JPS61189544A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6341159U (ja) * | 1986-09-03 | 1988-03-17 | ||
| JPH01258760A (ja) * | 1987-12-10 | 1989-10-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | ロールコータ |
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