JP2003071344A - ロールコーター装置 - Google Patents

ロールコーター装置

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JP2003071344A
JP2003071344A JP2001267323A JP2001267323A JP2003071344A JP 2003071344 A JP2003071344 A JP 2003071344A JP 2001267323 A JP2001267323 A JP 2001267323A JP 2001267323 A JP2001267323 A JP 2001267323A JP 2003071344 A JP2003071344 A JP 2003071344A
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Hiroyuki Nakajima
博之 中島
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Nippon Electric Kagoshima Ltd
NEC Kagoshima Ltd
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Nippon Electric Kagoshima Ltd
NEC Kagoshima Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】コーティングロール製作費用の低減とコーティ
ングロール交換作業時間の短縮を図る。 【解決手段】コンマロール1、アプリケーターロール
2、コーティングロール3を備えたロールコーター装置
において、アプリケーターロール2からコーティングロ
ール3へペーストを転写させる以前にアプリケーターロ
ール2にペースト除去用ロール4を接触させてアプリケ
ーターロール2上から接触幅分のペーストを除去し、そ
の結果、アプリケーターロール2からペーストが転写さ
れるコーティングロール3上には、ペーストが転写され
た領域とされない領域が形成され、このコーティングロ
ール3によって被塗工基板5上に帯状に塗工エリアと非
塗工エリアが形成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ロールを用いてペ
ーストを被塗工基板面上に塗布するためのロールコータ
ー装置に関するもので、特に、被塗工基板面上にペース
トの塗工エリアと非塗工エリアを区分して塗布パターン
を形成するのに適したロールコーター装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、ガラス基板やセラミック基板など
の平面上にペーストを均一に塗布する際に、ペーストを
転写させたロールを介して基板上にペーストを塗布する
ロールコーター装置が用いられている。一般に従来のロ
ールコーター装置は、コンマロールとアプリケーターロ
ールとコーティングロールの3本のロールを有し(例え
ば実用新案登録第2541643号公報)、特に、被塗
工基板面上にペーストの塗工エリアと非塗工エリアを区
分して塗布パターンを形成する場合には、コーティング
ロールのロール表面に段差溝を形成した段差付コーティ
ングロールが用いられている。
【0003】この従来のロールコーター装置の主要部に
ついて、図5の部分断面図及び図6の部分平面図を用い
て説明する。コンマロール1とアプリケーターロール2
との間にペースト供給部6からペーストを供給し、供給
されたペーストをコンマロール1とアプリケーターロー
ル2との間の隙間でスリッティングして膜厚調整した上
でアプリケーターロール2から段差付コーティングロー
ル3aへ転写し、さらに、段差付コーティングロール3
aの下部に塗工前の被塗工基板5を搬送して段差付コー
ティングロール3aからペーストを転写塗布し、所望パ
ターンが塗布された塗工済の被塗工基板(以下、塗工済
基板5aと称する)を得る構成となっている。
【0004】このような構成を有する従来のロールコー
ター装置において、図6に示すように、被塗工基板5上
に塗工方向(矢印Aで示す被塗工基板5の搬送方向)と
平行な方向に帯状に塗工エリア7と非塗工エリア8を有
する塗工済基板5aを作成する場合、段差付コーティン
グロール3aの非塗工エリア8に対応する領域が凹部9
になるように段差溝加工を施し、アプリケーターロール
2に段差付コーティングロール3aの非塗工領域が接触
しないようにしている。また、段差付コーティングロー
ル3aの凹部9以外の部分は凸部10としてアプリケー
ターロール2に接触し、塗工エリア7を作成する領域と
なっている。
【0005】そして、この従来のロールコーター装置を
用いて、被塗工基板5上に塗工エリア7と非塗工エリア
8を有する塗工済基板5aを作成する場合には、塗工エ
リア7と非塗工エリア8に対応した段差溝加工が施され
た段差付コーティングロール3aの凸部10で塗工エリ
ア7を作成し、凹部9で非塗工エリア8を作成してい
た。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来のロール
コーター装置は、次のような不具合が発生していた。ま
ず、被塗工基板上の塗工エリアと非塗工エリアとから形
成される塗工パターンごとに、それぞれ異なる段差溝加
工を施した段差付コーティングロールを新たに製作する
必要があり、機種ごとに1本数百万円もする高額のロー
ル製作費用が発生していた。
【0007】また、塗工パターンの異なる被塗工基板の
切替えごとに、それぞれの塗工パターンに合わせて段差
溝加工が施された段差付コーティングロールに交換する
作業が必要となり、交換の際には、アプリケーターロー
ル及び被塗工基板との平衡・間隔調整の必要上、5時間
前後の交換時間を必要としていた。
【0008】本発明は、上記の問題点を解決するために
なされたもので、コーティングロール製作費用の低減と
コーティングロール交換作業時間の短縮を可能としたロ
ールコーター装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明のロールコーター
装置は、コンマロール、アプリケーターロール、コーテ
ィングロールを備え、コンマロールとアプリケーターロ
ールとの間に供給したペーストをコンマロールとアプリ
ケーターロール間の隙間でスリッティングして膜厚を調
整し、アプリケーターロールからコーティングロール
へ、さらにコーティングロールの下に搬送される被塗工
基板へと順次転写するロールコーター装置において、前
記アプリケーターロール表面に接触し得る位置にペース
ト除去用ロールを設け、アプリケーターロール上に転写
されたペーストのうちペースト除去用ロール幅に相当す
る分だけペーストを除去する構成となっている。
【0010】また、本発明は、前記アプリケーターロー
ルからコーティングロールへペーストを転写する以前
に、アプリケーターロールにペースト除去用ロールを接
触させる構成とし、さらに、このペースト除去用ロール
には、アプリケーターロールから転写されたペーストを
除去するペースト掻き取り機構が設置され、このペース
ト掻き取り機構は、ペースト除去用ロールからペースト
を掻き取るためのブレードと掻き取ったペーストを受け
るためのペースト受けにより構成されている。
【0011】また、本発明は、前記アプリケーターロー
ル上のペースト除去用ロールと接触した部分にはペース
トの転写されない領域が形成され、さらに、アプリケー
ターロールからペーストが転写されるコーティングロー
ル上には、ペーストの転写された領域と転写されない領
域が形成され、このコーティングロールによって被塗工
基板上にこの被塗工基板の搬送方向と平行な方向に帯状
の塗工エリア及び非塗工エリアを形成する構成となって
いる。
【0012】また、本発明は、前記ペースト除去用ロー
ルの幅は被塗工基板上に形成される非塗工エリア幅に対
応させて設定され、また、ペースト除去用ロールの設置
位置は被塗工基板上の非塗工エリア位置に対応させて設
置する構成となっている。
【0013】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。図1は、本発明の第1の
実施の形態を説明するロールコーター装置の部分断面図
である。また、図2は、同じく第1の実施の形態を説明
するロールコーター装置の部分平面図である。なお、以
下の説明において、従来構造の説明と同じ部分は同じ符
号を用いて説明する。
【0014】本発明の特徴は、図1及び図2に示すよう
に、コンマロール1、アプリケーターロール2、コーテ
ィングロール3を備えたロールコーター装置において、
アプリケーターロール2の表面に接触し得る位置に、ペ
ースト掻き取り機構11を備えたペースト除去用ロール
4を設けたことにある。
【0015】すなわち、本発明のロールコーター装置に
おいては、ペースト除去用ロール4を設けたことによっ
て、コーティングロール3の非塗工エリアに対応する領
域に段差加工を施すことなく、被塗工基板5の塗工方向
(被塗工基板5の搬送方向A)と平行な方向に帯状に塗
工エリア7と非塗工エリア8を作成することができると
いう役目を果たしている。
【0016】これをもう少し具体的に説明すると、アプ
リケーターロール2からコーティングロール3へペース
トを転写する以前に、アプリケーターロール2にペース
ト除去用ロール4を接触させ、その接触部分のアプリケ
ーターロール2上のペーストをペースト除去用ロール4
に転写させる。さらに、そのペースト除去用ロール4に
備えられているペースト掻き取り機構11でペースト除
去用ロール4に付着したペーストを取り除く。これによ
り、アプリケーターロール2上にペーストの転写されて
いない領域を作ることが可能となり、その後、アプリケ
ーターロール2と接触するコーティングロール3上にも
ペーストの転写されていない領域ができる。これによ
り、従来構造のようにコーティングロール3を塗工部分
と非塗工部分で段差加工する必要がなくなり、被塗工基
板5上に塗工方向(被塗工基板5の搬送方向A)と平行
な方向に塗工エリア7と非塗工エリア8を作成すること
を可能としている。
【0017】例えば、図2に示すように、1枚の被塗工
基板5に塗工パターン(塗工エリア7及び非塗工エリア
8から成る)を2面付けする場合には、その面付けパタ
ーン間または基板端の非塗工部分(非塗工エリア8)に
のみ対応したペースト除去用ロール4を設ければよく、
コーティングロール3自体に塗工・非塗工のパターンに
応じた段差加工を施す必要はなくなる。
【0018】次に、本発明における第1の実施の形態の
動作について説明する。図1及び図2に示すように、本
発明のロールコーター装置は、コーティングロール3に
ペーストを転写するアプリケーターロール2と、アプリ
ケーターロール2との間に一定の間隔を作ることでアプ
リケーターロール2へのペーストのコート量を調整する
コンマロール1と、アプリケーターロール2とコンマロ
ール1との間にペーストを供給するペースト供給部6が
設けられており、さらに、被塗工基板5の非塗工パター
ン幅に応じたロール幅を有するペースト除去用ロール4
をアプリケーターロール2に接触できる位置に設けてい
る。また、ペースト除去用ロール4には、このロール上
のペーストを掻き取るためのブレードと掻き取ったペー
ストを受けるペースト受けからなるペースト掻き取り機
構11を設けている。
【0019】かかる構成において、ペースト供給部6よ
りアプリケーターロール2とコンマロール1の間に供給
されたペーストが、この両ロールの間隔によって所望の
コート量にスリッティングされ、アプリケーターロール
2からコーティングロール3へ転写される。この転写過
程の中で、ペーストをコーティングロール3に転写する
以前に、非塗工パターン幅に応じたロール幅を有するペ
ースト除去用ロール4がアプリケーターロール2に先に
接触してこのペースト除去用ロール4上にペーストを転
写し、ペースト掻き取り機構11でペースト除去用ロー
ル4に付着したペーストを取り除くことによって、コー
ティングロール3への転写及び被塗工基板5の非塗工エ
リア8となる部分への転写塗布を防ぐことが可能とな
る。
【0020】したがって、コーティングロール3に塗工
部分と非塗工部分で段差加工を施さなくても、被塗工基
板5上に塗工方向(被塗工基板5の搬送方向A)と平行
な方向に帯状に塗工エリア7と非塗工エリア8を作成す
ることが可能となる。
【0021】次に、具体例として、42型カラープラズ
マディスプレイパネル用データ基板(1210mm×1
030mm、2面付け)の隔壁層形成プロセスにおい
て、本発明のロールコーター装置を使用する場合につい
て説明する。ここで、各ロールは次の表に示す直径、材
質のものを使用する。
【0022】なお、ペースト除去用ロール4の直径は、
コンマロール1、アプリケーターロール2、コーティン
グロール3の各直径及び位置関係を考慮して設定する。
【0023】前記カラープラズマディスプレイパネル用
データ基板の2面付けパターンより生じる塗工エリア7
及び非塗工エリア8の作成は、コーティングロール3に
段差加工を施すことなく、ペースト除去用ロール4の幅
を2面付けパターンの非塗工エリア8(被塗工基板5の
両サイド及びセンター部)の幅に合わせて作成し、この
ペースト除去用ロール4をアプリケーターロール2に接
触する位置に設置することによって可能となる。
【0024】なお、ペースト除去用ロール4に転写した
ペーストの掻き取りには、ペースト除去用ロール4に接
触してもそのロール表面を荒らすことが少なく(転写効
率の劣化しない)、かつ、掻き取り性の良い形状、材質
のものを使用すればよく、ここでは、ドクターブレード
状の樹脂板と掻き取ったペーストを受けるペースト受け
によってペースト掻き取り機構11を構成し、ペースト
除去用ロール4に設置している。
【0025】上記構成によるロールコーター装置を前記
プラズマディスプレイパネル用データ基板に使用する場
合には、まず、ペースト供給部6へ鉛硼珪酸ガラス混合
物から成る隔壁形成ペーストを投入する。このペースト
供給部6よりアプリケーターロール2とコンマロール3
の間に供給された隔壁形成ペーストは、両ロールの間隔
で所望のコート量(300〜400μm厚)にスリッテ
ィングされ、アプリケーターロール2からコーティング
ロール3へ転写される。この転写過程の中で、非塗工エ
リア8となる部分は、隔壁形成ペーストをコーティング
ロール3へ転写する以前に、非塗工パターン幅に対応し
て作成されたロール幅を有するペースト除去用ロール4
がアプリケーターロール2に先に接触してペースト除去
用ロール4上に隔壁形成ペーストを転写し、ペースト掻
き取り機構11でペースト除去用ロール4に付着した隔
壁形成ペーストを取り除く。その結果、コーティングロ
ール3への転写及び被塗工基板5中の非塗工エリア8へ
の転写塗布が行われず、2面付けのパターンに対応した
隔壁形成ペーストの塗工が可能となる。
【0026】これにより、コーティングロール3を塗工
部分と非塗工部分で段差加工することなく、被塗工基板
5上に塗工方向(被塗工基板5の搬送方向)と平行な方
向に塗工エリア7と非塗工エリア8を形成できるので、
2面付けパターンなどの作成を可能としている。さら
に、被塗工基板5のパターンごとに、コーティングロー
ル3の製作及び交換作業を行うことなく被塗工基板5の
切替え作業を可能としている。
【0027】次に、本発明の第2の実施の形態について
図面を参照して説明する。図3は、本発明の第2の実施
の形態を説明するロールコーター装置の部分断面図であ
る。また、図4は、同じく第2の実施の形態を説明する
ロールコーター装置の部分平面図である。
【0028】上述した第1の実施の形態では、本発明の
ロールコーター装置を42型カラープラズマディスプレ
イパネル用データ基板(1210mm×1030mm、
2面付け)の隔壁層形成プロセスに適用したが、第2の
実施の形態として、50型カラープラズマディスプレイ
パネル用データ基板(1210mm×1030mm、1
面付け)の隔壁層形成プロセスにおいても同様に適用す
ることができる。
【0029】具体的には、図3及び図4に示すように、
コンマロール1、アプリケーターロール2、コーティン
グロール3が第1の実施の形態と同じ構造を有するロー
ルコーター装置を使用し、ペースト除去用ロール4aの
みを、50型カラープラズマディスプレイパネル用デー
タ基板(1210mm×1030mm、1面付け)の隔
壁形成ペーストの非塗工エリアとなる部分、すなわち、
1面付けパターン両サイドの非塗工エリア8のサイズに
合わせて製作し、アプリケーターロール2に接触する位
置に設置する。
【0030】これにより、50型カラープラズマディス
プレイパネル用データ基板における1面取りパターンの
塗工エリア7及び非塗工エリア8に合致した段差加工を
施した50型データ基板専用のコーティングロール3を
製作することなく、ペースト除去用ロール4a及びペー
スト掻き取り機構11aのみを製作し取り付けることに
よって、50型カラープラズマディスプレイパネル用デ
ータ基板の隔壁ペースト塗工が可能となる。
【0031】したがって、本発明によると、塗工エリア
の異なる42型、50型等のカラープラズマディスプレ
イパネル用データ基板への隔壁ペースト塗工が、その塗
工部分と非塗工部分で段差加工を施した専用のコーティ
ングロールを製作することなく、ペースト除去用ロール
及びペースト掻き取り機構のみの製作、取り付けで可能
となる。
【0032】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のロールコー
ター装置によれば、被塗工基板上に塗工方向(被塗工基
板の搬送方向)と平行な方向に塗工エリアと非塗工エリ
アを作成する場合、例えば、第1の実施の形態で示した
ように1枚の被塗工基板にパターンを2面付けする場
合、その面付けパターン間及び両サイドの非塗工部分に
応じた位置にペースト除去用ロールのみを設けることに
より、コーティングロール自体に塗工、非塗工のパター
ンに応じた段差加工を施す必要がない。
【0033】これにより、次の効果が得られる。まず、
被塗工基板のパターンごとにペースト除去用ロールの製
作が必要とはなるが、高価なコーティングロール自体を
製作する必要がないため、被塗工基板ごとのロール製作
費を従来の1/5以下にすることができる。また、時間
を要するコーティングロールの交換作業を必要としなく
なり、ペースト除去用ロールの交換、取り付け作業のみ
で被塗工基板の切替えが可能となる。これにより、平衡
・間隔調整などの段取り替えに要する時間を従来の1/
2以下に短縮可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示すロールコータ
ー装置の部分断面図である。
【図2】図1で示すロールコーター装置の部分平面図で
ある。
【図3】本発明の第2の実施の形態を示すロールコータ
ー装置の部分断面図である。
【図4】図3で示すロールコーター装置の部分平面図で
ある。
【図5】従来のロールコーター装置の部分断面図であ
る。
【図6】図5で示すロールコーター装置の部分平面図で
ある。
【符号の説明】
1 コンマロール 2 アプリケーターロール 3 コーティングロール 3a 段差付コーティングロール 4、4a ペースト除去用ロール 5 被塗工基板 5a 塗工済基板 6 ペースト供給部 7 塗工エリア 8 非塗工エリア 9 凹部 10 凸部 11、11a ペースト掻き取り機構

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 コンマロール、アプリケーターロール、
    コーティングロールを備え、コンマロールとアプリケー
    ターロールとの間に供給したペーストをコンマロールと
    アプリケーターロール間の隙間でスリッティングして膜
    厚を調整し、アプリケーターロールからコーティングロ
    ールへ、さらにコーティングロールの下に搬送される被
    塗工基板へと順次転写するロールコーター装置におい
    て、前記アプリケーターロール表面に接触し得る位置に
    ペースト除去用ロールを設け、アプリケーターロール上
    に転写されたペーストのうちペースト除去用ロール幅に
    相当する分だけペーストを除去することを特徴とするロ
    ールコーター装置。
  2. 【請求項2】 前記アプリケーターロールからコーティ
    ングロールへペーストを転写する以前に、アプリケータ
    ーロールにペースト除去用ロールを接触させることを特
    徴とする請求項1記載のロールコーター装置。
  3. 【請求項3】 前記ペースト除去用ロールには、アプリ
    ケーターロールから転写されたペーストを除去するペー
    スト掻き取り機構が設置されていることを特徴とする請
    求項1記載のロールコーター装置。
  4. 【請求項4】 前記ペースト掻き取り機構は、ペースト
    除去用ロール上からペーストを掻き取るためのブレード
    と掻き取ったペーストを受けるためのペースト受けによ
    り構成されていることを特徴とする請求項3記載のロー
    ルコーター装置。
  5. 【請求項5】 前記アプリケーターロール上のペースト
    除去用ロールと接触した部分には、ペーストの転写され
    ない領域が形成されることを特徴とする請求項1記載の
    ロールコーター装置。
  6. 【請求項6】 前記アプリケーターロールからペースト
    が転写されるコーティングロール上には、ペーストの転
    写された領域と転写されない領域が形成されることを特
    徴とする請求項1記載のロールコーター装置。
  7. 【請求項7】 前記コーティングロールによって被塗工
    基板上にこの被塗工基板の搬送方向と平行な方向に帯状
    の塗工エリア及び非塗工エリアを形成することを特徴と
    する請求項1記載のロールコーター装置。
  8. 【請求項8】 前記ペースト除去用ロールの幅は、被塗
    工基板上に形成される非塗工エリア幅に合わせて設定さ
    れることを特徴とする請求項1記載のロールコーター装
    置。
  9. 【請求項9】 前記ペースト除去用ロールの設置位置
    は、被塗工基板上の非塗工エリア位置に対応させて設置
    することを特徴とする請求項1記載のロールコーター装
    置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1714727A2 (de) * 2005-04-20 2006-10-25 Behr GmbH & Co. KG Verfahren zum Aufbringen von Lot und Vorrichtung hierfür
KR100808178B1 (ko) 2005-07-18 2008-02-29 엘지전자 주식회사 라미네이션 장치, 이를 이용하여 제조된 플라즈마디스플레이 패널의 상부 기판 및 그 형성방법
DE102006013268B4 (de) 2005-04-20 2018-12-06 Mahle International Gmbh Verfahren zum Aufbringen von Lot

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1714727A2 (de) * 2005-04-20 2006-10-25 Behr GmbH & Co. KG Verfahren zum Aufbringen von Lot und Vorrichtung hierfür
EP1714727A3 (de) * 2005-04-20 2006-12-27 Behr GmbH & Co. KG Verfahren zum Aufbringen von Lot und Vorrichtung hierfür
DE102006013268B4 (de) 2005-04-20 2018-12-06 Mahle International Gmbh Verfahren zum Aufbringen von Lot
KR100808178B1 (ko) 2005-07-18 2008-02-29 엘지전자 주식회사 라미네이션 장치, 이를 이용하여 제조된 플라즈마디스플레이 패널의 상부 기판 및 그 형성방법

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