JPS61180235A - 感光性組成物 - Google Patents
感光性組成物Info
- Publication number
- JPS61180235A JPS61180235A JP60021044A JP2104485A JPS61180235A JP S61180235 A JPS61180235 A JP S61180235A JP 60021044 A JP60021044 A JP 60021044A JP 2104485 A JP2104485 A JP 2104485A JP S61180235 A JPS61180235 A JP S61180235A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- dyed
- sensitizer
- polymer
- dye
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/038—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
- G03F7/0388—Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable with ethylenic or acetylenic bands in the side chains of the photopolymer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、有機カラーフィルターの耐染色性層等として
良好に使用し得る感光性組成物に関する。
良好に使用し得る感光性組成物に関する。
カラーフィルターの搭載方法には大別して次の一つがあ
げられる。
げられる。
■ 例えば、シリコンウェーハー等の上に光検知部等を
設けてなる固体撮像素子上に直接色分解有機カラーフィ
ルターを製造するもの(以下「直付層」と云う)。
設けてなる固体撮像素子上に直接色分解有機カラーフィ
ルターを製造するもの(以下「直付層」と云う)。
■ 固体撮像素子と色分解有機カラーフィルターを夫々
個別に製造しておき、両者を位置合わせしつつ、適当な
接着剤等で貼合せるもの(以下「貼合せ型」と云う)。
個別に製造しておき、両者を位置合わせしつつ、適当な
接着剤等で貼合せるもの(以下「貼合せ型」と云う)。
本発明の感光性組成物はi産性に優れてしると考えらね
る直付型カラーフィルターに適用するのが特に有用であ
る。
る直付型カラーフィルターに適用するのが特に有用であ
る。
直付型カラーフィルターを製造する場合、通常、固体撮
像素子の表面を平坦化し、ひずみのないカラーフィルタ
ーを得るためにポリマ一層(以後「平坦化」1−と呼ぶ
)を遊布する。その後その上に被染色層を形成するだめ
の感光性物質層をもうけ、しかる後に、 ■ 被染色層上にパターニングしたレジストを設け、無
用している被染色I−の部分を染色して染色層を形成後
レジストを剥離し、その後に同様にして次の染色層を形
成する。(単一の被染色層を複数の染色部分に染め分け
る方法。) ■ 被染色層を所定のパターンKN光し、現像した後染
色して染色層を形成し、次いで、透明な耐染色性絶縁層
を被榎後、その上に同様にして次の染色層を形成する。
像素子の表面を平坦化し、ひずみのないカラーフィルタ
ーを得るためにポリマ一層(以後「平坦化」1−と呼ぶ
)を遊布する。その後その上に被染色層を形成するだめ
の感光性物質層をもうけ、しかる後に、 ■ 被染色層上にパターニングしたレジストを設け、無
用している被染色I−の部分を染色して染色層を形成後
レジストを剥離し、その後に同様にして次の染色層を形
成する。(単一の被染色層を複数の染色部分に染め分け
る方法。) ■ 被染色層を所定のパターンKN光し、現像した後染
色して染色層を形成し、次いで、透明な耐染色性絶縁層
を被榎後、その上に同様にして次の染色層を形成する。
上記■の方法は、各染色部分の境界における色のにじみ
等の問題があり、一般には■の方法が広く行われて込る
。
等の問題があり、一般には■の方法が広く行われて込る
。
上記■の方法で得られるカラーフィルターにおいては、
耐染色性絶m層の選択が重懺である。
耐染色性絶m層の選択が重懺である。
耐染色性絶縁層は、第一色目以降の染色の際に、既に染
色された第1色目の染色層の耐染色層としての役割と、
出来上ったカラーフィルターの染色層間の経時的な色の
にじみを防止するという重要な役割を持っている。まだ
、耐染色性絶縁層は、基本的に、耐染色性、基板及び染
色層との接層性、無色透明性、耐現像性、塗膜性が良好
であることが必要とされる。
色された第1色目の染色層の耐染色層としての役割と、
出来上ったカラーフィルターの染色層間の経時的な色の
にじみを防止するという重要な役割を持っている。まだ
、耐染色性絶縁層は、基本的に、耐染色性、基板及び染
色層との接層性、無色透明性、耐現像性、塗膜性が良好
であることが必要とされる。
しかしながら、これらの性質のbずれをも満足するよう
なものの選択は難しい。すなわち、例えば、被染色層と
しては、通常、ゼラチン、カゼイン、グリユー、ポリビ
ニルアルコール等と重クロム酸塩の混合物といった水溶
性の感光性物質が使用され、また、染色は水溶性染料が
使用される。従って、耐染色性絶縁層としては、耐染色
性の観点からは親油性の高いものが要求されるが、染色
層との接着性の観点からFi親水性の高いものが要求さ
れるといった相矛盾した性質が要求されるからである。
なものの選択は難しい。すなわち、例えば、被染色層と
しては、通常、ゼラチン、カゼイン、グリユー、ポリビ
ニルアルコール等と重クロム酸塩の混合物といった水溶
性の感光性物質が使用され、また、染色は水溶性染料が
使用される。従って、耐染色性絶縁層としては、耐染色
性の観点からは親油性の高いものが要求されるが、染色
層との接着性の観点からFi親水性の高いものが要求さ
れるといった相矛盾した性質が要求されるからである。
直付型のカラーフィルターの場合、カラー用向体撮像素
子に直接結合しているものであるから、カラー用向体撮
像素子から電気信号を取り出すためには、耐染色性絶縁
層の一部を取除き、所謂ボンディング・パッド部等を形
成しなければならない。このため直付形のカラーフィル
ターの耐染色性絶縁層としては感光性樹脂を用い所望パ
ターンに露光し、現像することによってボンディング・
パッド部等を形成している。しかしながら、この感光性
樹脂を用すて耐染色性絶縁層を形成する場合、加工する
だめの露光光源として経済性、操作性等の点から可視光
線、近紫外光線を使用しうる感光性樹脂を用いると、可
視光線、近紫外光線を吸収することとなるので、無色透
明で□、可視光線、近紫外光線を出来る限り完全に透過
しなければならな込と云う耐染色性絶縁層本来の役を果
たさなくなると云う欠点を生起する。このため、高価で
、かつ生産性の劣る電子ビーム露光等でしか加工できな
しポリメタクリル酸メチル等が耐染色性絶縁層として用
いられているが、まだ種々の点で満足なものとは云い難
い。
子に直接結合しているものであるから、カラー用向体撮
像素子から電気信号を取り出すためには、耐染色性絶縁
層の一部を取除き、所謂ボンディング・パッド部等を形
成しなければならない。このため直付形のカラーフィル
ターの耐染色性絶縁層としては感光性樹脂を用い所望パ
ターンに露光し、現像することによってボンディング・
パッド部等を形成している。しかしながら、この感光性
樹脂を用すて耐染色性絶縁層を形成する場合、加工する
だめの露光光源として経済性、操作性等の点から可視光
線、近紫外光線を使用しうる感光性樹脂を用いると、可
視光線、近紫外光線を吸収することとなるので、無色透
明で□、可視光線、近紫外光線を出来る限り完全に透過
しなければならな込と云う耐染色性絶縁層本来の役を果
たさなくなると云う欠点を生起する。このため、高価で
、かつ生産性の劣る電子ビーム露光等でしか加工できな
しポリメタクリル酸メチル等が耐染色性絶縁層として用
いられているが、まだ種々の点で満足なものとは云い難
い。
本発明者等は上述したような従来の耐染色性絶縁層の欠
点を解消すべく、種々検討の結果、特定の重合体を組合
せることにより耐染色性、基板及び染色層との接着性、
可視、近紫外光線に対する無色透明性等に優れ、しかも
可視光線、近紫外光線を用いて加工可能な感光性樹脂を
見出し、本発明を完成した。
点を解消すべく、種々検討の結果、特定の重合体を組合
せることにより耐染色性、基板及び染色層との接着性、
可視、近紫外光線に対する無色透明性等に優れ、しかも
可視光線、近紫外光線を用いて加工可能な感光性樹脂を
見出し、本発明を完成した。
すなわち、本発明の要旨は少くとも、下記式(1)およ
び(I)で表される繰返し単位を有するポリマーと増感
剤を含む感光性組成物に存する。
び(I)で表される繰返し単位を有するポリマーと増感
剤を含む感光性組成物に存する。
RI R2(式中
、R1およびR2は水素原子又はメチル基を表し、Hs
は水素原子又けフェニル基を表し、R′は水素原子、フ
ェニル基又はシアノ基を表し、RIおよびR6は水素原
子、ハロゲン原子、ニトロ基又はメトキシ基を衆す。) 本発明の感光性組成物は、前記式(1)及び式(1)で
示される繰返し単位を有するポリマー及び増感剤を含む
。
、R1およびR2は水素原子又はメチル基を表し、Hs
は水素原子又けフェニル基を表し、R′は水素原子、フ
ェニル基又はシアノ基を表し、RIおよびR6は水素原
子、ハロゲン原子、ニトロ基又はメトキシ基を衆す。) 本発明の感光性組成物は、前記式(1)及び式(1)で
示される繰返し単位を有するポリマー及び増感剤を含む
。
繰返し単位(I)は密層性性にすぐれかつ透明度の高い
良好な塗膜を与えるのに不可欠の要素であp1繰返し単
位(If)はポリマーに感光性を与えるために不可欠の
要素である。
良好な塗膜を与えるのに不可欠の要素であp1繰返し単
位(If)はポリマーに感光性を与えるために不可欠の
要素である。
繰返し単位(I)Fi通常、97〜30モルチ、好まし
くけ?3〜.tOモルチ、繰返し単位(If)は、通常
、3〜70モルチ、好ましくは7〜jθモルチの範囲で
使用される。この範囲をあまシはずれると前にのべた各
単位の役*t+ 、bが充分に発揮出来ない。
くけ?3〜.tOモルチ、繰返し単位(If)は、通常
、3〜70モルチ、好ましくは7〜jθモルチの範囲で
使用される。この範囲をあまシはずれると前にのべた各
単位の役*t+ 、bが充分に発揮出来ない。
本発明のポリマーは、式(I)を与えるモノマー、即ち
アクリル酸のグリシジルエステル又はメタクリル酸のグ
リシジルエステル及び式(n)を与えるモノマー、即ち
、コーヒドロキシエチルアクリレート又はコーヒドロキ
シエチルメタクリレートと桂皮酸クロライド又はその誘
導体との反応物をアゾビスイソブチロニトリル、過酸化
ベンゾイル等のラジカル開始剤を使用し、公知の方法に
従いラジカル共重合することによって容易に得ることが
できる。
アクリル酸のグリシジルエステル又はメタクリル酸のグ
リシジルエステル及び式(n)を与えるモノマー、即ち
、コーヒドロキシエチルアクリレート又はコーヒドロキ
シエチルメタクリレートと桂皮酸クロライド又はその誘
導体との反応物をアゾビスイソブチロニトリル、過酸化
ベンゾイル等のラジカル開始剤を使用し、公知の方法に
従いラジカル共重合することによって容易に得ることが
できる。
本発明のポリマーは、テトラヒドロフラン(THF)中
、30℃での固有粘度が通常、θ、θj〜jdll?、
好ましくけ、θ、/〜コ、θa/f、特に好ましくは、
0.2− / 、j di / tの範囲のものが好適
である。増感剤としては、公知の種々のものが使用でき
る。例えは、アントロン、ベンゾフェノン、フェナント
レン、iヒラ−ケトン、コーニトロフルオレン、j−ニ
トロアセナフテン、クリセン、p−ニトロアニリン、−
一ペンゾイルメチレンー3−メチルナフトチアゾリン、
ノージペンゾイルメチレン−3−メチルナフトチアゾリ
ン、ベンジル、N−アセチル−グーニトロ−/−ナフチ
ルアミン、アントラキノンなどのいわゆる三重項増感剤
が好適に用いられる。増感剤の量としては、ポリマーに
対して0.7〜20重量%、好ましくは、0.1〜70
重量%が用いられる。
、30℃での固有粘度が通常、θ、θj〜jdll?、
好ましくけ、θ、/〜コ、θa/f、特に好ましくは、
0.2− / 、j di / tの範囲のものが好適
である。増感剤としては、公知の種々のものが使用でき
る。例えは、アントロン、ベンゾフェノン、フェナント
レン、iヒラ−ケトン、コーニトロフルオレン、j−ニ
トロアセナフテン、クリセン、p−ニトロアニリン、−
一ペンゾイルメチレンー3−メチルナフトチアゾリン、
ノージペンゾイルメチレン−3−メチルナフトチアゾリ
ン、ベンジル、N−アセチル−グーニトロ−/−ナフチ
ルアミン、アントラキノンなどのいわゆる三重項増感剤
が好適に用いられる。増感剤の量としては、ポリマーに
対して0.7〜20重量%、好ましくは、0.1〜70
重量%が用いられる。
通常は上記ポリマー及び増感剤双方を溶かすような溶媒
、例えは、エチルセロンルプ、メチルセロソルブ等のセ
ロソルブ系溶媒、ブチルアセテートなどのエステル系溶
媒、もしくけ、ジメチルホルムアミド(DMF)、ジメ
チルスルホキシド(DMEIO)、N−メチルピロリド
ンなどの溶媒に溶解して感光液として供せられる。
、例えは、エチルセロンルプ、メチルセロソルブ等のセ
ロソルブ系溶媒、ブチルアセテートなどのエステル系溶
媒、もしくけ、ジメチルホルムアミド(DMF)、ジメ
チルスルホキシド(DMEIO)、N−メチルピロリド
ンなどの溶媒に溶解して感光液として供せられる。
感光液そのものは、通常含有される増感、剤のために黄
色を呈していることが多−が、スピンコーティング、キ
ャスティング、ディップ法などで基板上に薄膜を作9、
可視光・近紫外光等で露光後。現像すれは、増感剤は容
易に洗い出されて無色透明のポリマ一層を得ることが出
来る。
色を呈していることが多−が、スピンコーティング、キ
ャスティング、ディップ法などで基板上に薄膜を作9、
可視光・近紫外光等で露光後。現像すれは、増感剤は容
易に洗い出されて無色透明のポリマ一層を得ることが出
来る。
以下本発明の感光性組成物を用いたカラーフィルターの
一例につき図面を用いて更に詳細に説明する。
一例につき図面を用いて更に詳細に説明する。
第1図(a)〜(j)は直付屋カラーフィルターの製造
工程の一例を示す説明図である。
工程の一例を示す説明図である。
図中/はシリコンウェハー、−は光検知部、3は保瞳展
、ダは平坦化層、!は被染色層、6はマスク、7は耐染
色性絶縁層、lはボンディング・パッド、りは被染色層
、/θけ表面層、をそれぞれ示す。
、ダは平坦化層、!は被染色層、6はマスク、7は耐染
色性絶縁層、lはボンディング・パッド、りは被染色層
、/θけ表面層、をそれぞれ示す。
直付型カラーフィルターの場合は固体撮像素子面上に直
接カラーフィルターが設けられるものであり、その基体
となる固体撮像素子は例えば第1図(a)に示すような
シリコンウェハー/に光検知部−が設けられ、その上面
にリンガラス、石英等の保護膜3が設けられた構造とさ
nている。固体撮像素子にはその他、走査線、遮光膜等
が設けられて匹るが、図面には省略した。
接カラーフィルターが設けられるものであり、その基体
となる固体撮像素子は例えば第1図(a)に示すような
シリコンウェハー/に光検知部−が設けられ、その上面
にリンガラス、石英等の保護膜3が設けられた構造とさ
nている。固体撮像素子にはその他、走査線、遮光膜等
が設けられて匹るが、図面には省略した。
本発明のカラーフィルターは上述のような固体撮像素子
の上面に形成するものであシその工程順に説明する。
の上面に形成するものであシその工程順に説明する。
まず固体撮像素子の保護膜3の上に0.2〜認、θμ程
度の厚さに平坦化層Zを被覆する。この平坦化層は後述
する耐染色性llj!3縁層2と同じものを使用するの
が良い。この層によって光検知部の表面が平坦化され、
被染色層j、耐染色性絶縁層2等の形成が容易となpl
また被染色層オの厚みむら等に基づく色のヒズミ等が軽
減される。次いでこの平坦化層ダ上に所定のボンゲイン
グパツド?等を加工する(第1図(b))。
度の厚さに平坦化層Zを被覆する。この平坦化層は後述
する耐染色性llj!3縁層2と同じものを使用するの
が良い。この層によって光検知部の表面が平坦化され、
被染色層j、耐染色性絶縁層2等の形成が容易となpl
また被染色層オの厚みむら等に基づく色のヒズミ等が軽
減される。次いでこの平坦化層ダ上に所定のボンゲイン
グパツド?等を加工する(第1図(b))。
この平坦化層ダの材質、ポンディングパッドlの加工方
法については後に耐染色性絶縁層2の説明と合せて詳細
に述べる。
法については後に耐染色性絶縁層2の説明と合せて詳細
に述べる。
次いで平坦化層Z上にゼラチン、カゼイン、グリユー、
アルブミン等、或すは、ポリビニルアルコール等の合成
ポリマー等の水溶性ポリマーと重クロム酸アンモニウム
等の重クロム酸塩との混合物を塗布して被染色層!を構
成するだめの感光性物質層を形成する(第7図(C))
。
アルブミン等、或すは、ポリビニルアルコール等の合成
ポリマー等の水溶性ポリマーと重クロム酸アンモニウム
等の重クロム酸塩との混合物を塗布して被染色層!を構
成するだめの感光性物質層を形成する(第7図(C))
。
被染色層jを構成するための感光性物質層は、通常、θ
、/〜コμとなるように設ける。
、/〜コμとなるように設ける。
次りで、被染色層オを構成するだめの感光性物質層上に
所定のパターンを有するマスクぶを通して露光する(第
1図(d))。被染色層!を構成するための感光性物質
には、通常、フタθ〜3?θnm K感光性をもたせる
ようにするので、かかる領域の波長を有する高圧水銀燈
等を光源として露光する。
所定のパターンを有するマスクぶを通して露光する(第
1図(d))。被染色層!を構成するための感光性物質
には、通常、フタθ〜3?θnm K感光性をもたせる
ようにするので、かかる領域の波長を有する高圧水銀燈
等を光源として露光する。
次いで、水て現像して所定のパターンの被染色層jf構
成する部分を形成しく第7図(θ))、所定の分光特性
を有する第1色目の染料で公知の方法に従い染色して被
染色層!を形成する。
成する部分を形成しく第7図(θ))、所定の分光特性
を有する第1色目の染料で公知の方法に従い染色して被
染色層!を形成する。
次すで、耐染色性絶縁層2を形成するための感光性樹脂
組成物を被覆する(第1図(f))。本発明においては
、耐染色性絶縁層2の形成には、本発明においては前記
式(I)、(I)及び(III)で表わされる単位を有
する共重合体と増感剤との組成物を被染色層!を形成し
た上に塗布し1/図(f) ) 、所定のパターン、す
なわち、ボンディング・パッド部全形成する部分等が光
不透過性とされたパターン等を有するマスクごを用いて
露光する(第1図(g))。無光に肖っては増感剤が吸
収を持つ波長の高圧水銀燈等を用しれば良い。露光され
た上記組成物中では増感剤により吸収されたエネルギー
はポリマー中のシンナモイル基に移動され、励起状態と
なったシンナモイル基が一分子でシクロブタン環を形成
して架橋が進行し不溶化される。
組成物を被覆する(第1図(f))。本発明においては
、耐染色性絶縁層2の形成には、本発明においては前記
式(I)、(I)及び(III)で表わされる単位を有
する共重合体と増感剤との組成物を被染色層!を形成し
た上に塗布し1/図(f) ) 、所定のパターン、す
なわち、ボンディング・パッド部全形成する部分等が光
不透過性とされたパターン等を有するマスクごを用いて
露光する(第1図(g))。無光に肖っては増感剤が吸
収を持つ波長の高圧水銀燈等を用しれば良い。露光され
た上記組成物中では増感剤により吸収されたエネルギー
はポリマー中のシンナモイル基に移動され、励起状態と
なったシンナモイル基が一分子でシクロブタン環を形成
して架橋が進行し不溶化される。
次t、−tで、エチルセロソルブやメチルエチルケトン
、或いは、これらにベンジルアルコールやN−メチルピ
ロリドンを混合したもの等適尚な現像液で現像すればボ
ンディング・パッド部分などに和尚する無光されなかっ
た部分が溶出されることによシ加工され、しかも耐染色
性絶縁層Z(フィルタ一部分)は現像によって増感剤が
溶出し、無色透明となった耐染色性絶縁層2が得られる
(第7図(h))。平坦化層ダに本感光性組成物を使用
した場合も同様の操作でボンディング・パッド1等の加
工がなされた透明な平坦化層ヌを得ることが出来る。
、或いは、これらにベンジルアルコールやN−メチルピ
ロリドンを混合したもの等適尚な現像液で現像すればボ
ンディング・パッド部分などに和尚する無光されなかっ
た部分が溶出されることによシ加工され、しかも耐染色
性絶縁層Z(フィルタ一部分)は現像によって増感剤が
溶出し、無色透明となった耐染色性絶縁層2が得られる
(第7図(h))。平坦化層ダに本感光性組成物を使用
した場合も同様の操作でボンディング・パッド1等の加
工がなされた透明な平坦化層ヌを得ることが出来る。
次いで、該耐染色性絶縁層z上に、前述と同様にして被
染色層を構成するための感光性物質を設け、露光、現像
して所定のパターンの被染色層部分を形成する。そして
、所定の分光特性を有するgλ色目の染料で染色して第
一の被染色層?を形成する(第1図(1))。
染色層を構成するための感光性物質を設け、露光、現像
して所定のパターンの被染色層部分を形成する。そして
、所定の分光特性を有するgλ色目の染料で染色して第
一の被染色層?を形成する(第1図(1))。
かかる操作を繰返し、耐染色性絶縁層を介して更に他の
被染色層を形成してもよい。
被染色層を形成してもよい。
被染色層としては、赤、緑、宵の三原色系の3橡を用い
ることもあれば、シアン、緑、黄の補色系の3橡を用り
ることもある。その際、例えば、第1のシアンの被染色
層に、第一の黄の被染色層を一部重なるように形成して
、その重な多部分でm3色目の緑色を得るようにしても
よい。
ることもあれば、シアン、緑、黄の補色系の3橡を用り
ることもある。その際、例えば、第1のシアンの被染色
層に、第一の黄の被染色層を一部重なるように形成して
、その重な多部分でm3色目の緑色を得るようにしても
よい。
通常、最上部の被染色層上に、表面の平滑化、或いは染
色層の保論のために表面層IOを設ける。
色層の保論のために表面層IOを設ける。
表面層/θとしては、強度、透明性、中間層及び染色層
との密着性及びポンチインク・パッド部などの加工性が
要求され、その要求を満たしたものならなんでもよいが
、前述の感光性組成物を使用し゛ても良い。
との密着性及びポンチインク・パッド部などの加工性が
要求され、その要求を満たしたものならなんでもよいが
、前述の感光性組成物を使用し゛ても良い。
表面)−ioは通常θ、/〜λμの膜厚となるように設
けさらに露光現像して所定のボンディング・ズツドなど
の加工を行なう(第7図(j))。 □以上のように
して、本発明のカラーフィルターを得ることが出来るが
、本発明のカラーフィルターの平坦化層もしくは耐染色
性絶縁層は耐染色性が完全であシ、基板成因は染色層と
の接着性が良好であり従って鮮明な画像を得ることが出
来るのである。
けさらに露光現像して所定のボンディング・ズツドなど
の加工を行なう(第7図(j))。 □以上のように
して、本発明のカラーフィルターを得ることが出来るが
、本発明のカラーフィルターの平坦化層もしくは耐染色
性絶縁層は耐染色性が完全であシ、基板成因は染色層と
の接着性が良好であり従って鮮明な画像を得ることが出
来るのである。
本発明においては平坦化層および/または耐染色性絶縁
層として上記した特殊の感光性組成物を用いるものであ
るが、本発明においては上記感光性組成物からなる層を
少なくとも一層設け、他は他の樹脂層等とすることもで
き、用途に応じ適宜選択決定すれに良い。但し上記感光
性組成物の物性上、平坦化層よりも耐染色性絶縁層とし
て用いるのが好ましい。他の感光性樹脂としてはポリグ
リシジルメタクリレート、ポリメチルメタクリレート、
ポリメチルイソプロペニルケトン、メチルメタクリルア
ミド、ポリへキサフロロブチルメタクリレート、ポリブ
テン−/−スルホン等柚々のものが用い得る。
層として上記した特殊の感光性組成物を用いるものであ
るが、本発明においては上記感光性組成物からなる層を
少なくとも一層設け、他は他の樹脂層等とすることもで
き、用途に応じ適宜選択決定すれに良い。但し上記感光
性組成物の物性上、平坦化層よりも耐染色性絶縁層とし
て用いるのが好ましい。他の感光性樹脂としてはポリグ
リシジルメタクリレート、ポリメチルメタクリレート、
ポリメチルイソプロペニルケトン、メチルメタクリルア
ミド、ポリへキサフロロブチルメタクリレート、ポリブ
テン−/−スルホン等柚々のものが用い得る。
以下実施例によシ本発明を更に具体的に説明する。
合成例/
グリシジルメタクリレート/6.θ2、シンナモイルオ
キシエチルメタクリレ−)7.7ffl)−ジオキサン
/グθ1に溶解し30分窒素でバブリングする。ついて
窒素雰囲気を保ったままル ぶ0℃に加熱し、アゾビスイソブチロニトリν0.31
Fを加えに0℃で6時間反応させる。反応終了後反応
混合物を4110耐のn−へキサンに滴下しポリマーを
析出させ、析出したポリマーをp別後9グーのアセトン
に溶解し300tdのメタノール中に滴下して再沈し、
P別後減圧下に乾燥する。
キシエチルメタクリレ−)7.7ffl)−ジオキサン
/グθ1に溶解し30分窒素でバブリングする。ついて
窒素雰囲気を保ったままル ぶ0℃に加熱し、アゾビスイソブチロニトリν0.31
Fを加えに0℃で6時間反応させる。反応終了後反応
混合物を4110耐のn−へキサンに滴下しポリマーを
析出させ、析出したポリマーをp別後9グーのアセトン
に溶解し300tdのメタノール中に滴下して再沈し、
P別後減圧下に乾燥する。
収i/J’、jl(7/チ) ηBp10 = 0.3
!(THIF中30℃ 0讐0.20fl/di)実
施例/ 合成例/で合成したポリマー/、4t9に増感剤として
ノージベンゾイルメチレン−3−メチルナフトチアゾリ
ン&、2qを加えシクロヘキサノンに溶解して全体を/
θtとし、Ol−μのミリポアフィルタ−でい遇して感
光液を得た。この感光液をコインチロ酸化膜(S10□
roooh)付シリコンウェーハー上にスピンコーテン
グ法(,2!θOrpm )で/、0μの厚さに塗布し
、感度、解像力、接着性につbてそハそれ以下にのべる
ような方法で評価を行った。なお耐染色性、透明性につ
いてはシリコンウェーハーのかわシにo、rvs厚テン
パックス製ガラス基板上にシリコンウェーハーの場合と
同様に塗布したもので評価を行った。
!(THIF中30℃ 0讐0.20fl/di)実
施例/ 合成例/で合成したポリマー/、4t9に増感剤として
ノージベンゾイルメチレン−3−メチルナフトチアゾリ
ン&、2qを加えシクロヘキサノンに溶解して全体を/
θtとし、Ol−μのミリポアフィルタ−でい遇して感
光液を得た。この感光液をコインチロ酸化膜(S10□
roooh)付シリコンウェーハー上にスピンコーテン
グ法(,2!θOrpm )で/、0μの厚さに塗布し
、感度、解像力、接着性につbてそハそれ以下にのべる
ような方法で評価を行った。なお耐染色性、透明性につ
いてはシリコンウェーハーのかわシにo、rvs厚テン
パックス製ガラス基板上にシリコンウェーハーの場合と
同様に塗布したもので評価を行った。
(1)感度・・・・・・イーストマン・コダック■製屋
コステップタブレットを用い、ミカサ■製マスクアライ
ナ−MA−/θを用いてh光径メチルイソブチルケトン
とイソプロピルアルコールの7 : / (vol /
vol )混合溶媒で1分間スプレー現像を行い、さ
らにメチルイソブチルケトンで7分間リンスを行った。
コステップタブレットを用い、ミカサ■製マスクアライ
ナ−MA−/θを用いてh光径メチルイソブチルケトン
とイソプロピルアルコールの7 : / (vol /
vol )混合溶媒で1分間スプレー現像を行い、さ
らにメチルイソブチルケトンで7分間リンスを行った。
得られた各ステップの膜厚をテンコール■製膜厚計α−
ステップで測定し感度曲線を作製し、残膜率?θチを与
える照射エネルギー量を本って感度とした。
ステップで測定し感度曲線を作製し、残膜率?θチを与
える照射エネルギー量を本って感度とした。
(2)解像力 ・・・トツバン■製解像力テストチャー
トを用いミカサ■製マスクアライナ−MA−70を用い
て感度評価の場合と同じように露光現像後得られたgj
Rを光学顕微鏡(x too )で観察し、解像してい
る最小のラインアンドスペースの巾をもって解像力とし
た。
トを用いミカサ■製マスクアライナ−MA−70を用い
て感度評価の場合と同じように露光現像後得られたgj
Rを光学顕微鏡(x too )で観察し、解像してい
る最小のラインアンドスペースの巾をもって解像力とし
た。
(3)透明性・・・・・ミカt■製マヌクアライナーM
A−10を用すて全面側光、現像後日立@製分光光度計
22/を用すて3!0〜715″θnmの分光透過率を
求めた。
A−10を用すて全面側光、現像後日立@製分光光度計
22/を用すて3!0〜715″θnmの分光透過率を
求めた。
(4)耐染色性・・・透明性をWf1dtlシたと同様
の基板を後にのべるカラーフィルターの染色条件と同じ
条件で黄色又はシアンに染色しリンス後透明性を評価し
たと同じように分光透過率を求めた。
の基板を後にのべるカラーフィルターの染色条件と同じ
条件で黄色又はシアンに染色しリンス後透明性を評価し
たと同じように分光透過率を求めた。
(5)密着性・・・・・粘着テープ0(セロ・・ンテー
プ)を指圧によりよく接層し、これを剥離することによ
シガラスとの接層性を評価した。また平坦化層の上面に
実施例と同様にしてゼラチンの被染色層を形成し、上記
と同様粘着テープで接着強度を評価した。評価基準は欠
配の通シである。
プ)を指圧によりよく接層し、これを剥離することによ
シガラスとの接層性を評価した。また平坦化層の上面に
実施例と同様にしてゼラチンの被染色層を形成し、上記
と同様粘着テープで接着強度を評価した。評価基準は欠
配の通シである。
○;全く剥離しな込もの
X;一部でも剥離の見られるもの
実施例コ
多数の光検知部とこれらt駆動する部製回路とからなる
固体撮像素子基板上に、実施例/と同様に作成した感光
性組成物を膜厚が一μとなるようにスピンコーティング
塗布゛して、平坦化層を形成するための樹脂層を形成し
た。塗布した樹脂層は黄色みを帯びていた。この平坦化
層を形成する樹脂層にボンディング・パッド等の所定ツ
バターンを有するマスクを通して、高圧水鍋焼が装備さ
れたマスクアライナ−MAI0型(ミカサ■製)を用1
h300ミリジユール/−のエネルギー量で露光した後
20℃のメチルイソブチルケトンとイングロビルアルコ
ールの7 二/ (VOI/VO’l )混合溶媒で7
分間スプレー現像した。さらにメチルイソブチルケトン
で1分間リンスを行った。得られたボンディング・パッ
ド部などの加工がなされた平坦化層は、黄色みが消え透
明な層であった。
固体撮像素子基板上に、実施例/と同様に作成した感光
性組成物を膜厚が一μとなるようにスピンコーティング
塗布゛して、平坦化層を形成するための樹脂層を形成し
た。塗布した樹脂層は黄色みを帯びていた。この平坦化
層を形成する樹脂層にボンディング・パッド等の所定ツ
バターンを有するマスクを通して、高圧水鍋焼が装備さ
れたマスクアライナ−MAI0型(ミカサ■製)を用1
h300ミリジユール/−のエネルギー量で露光した後
20℃のメチルイソブチルケトンとイングロビルアルコ
ールの7 二/ (VOI/VO’l )混合溶媒で7
分間スプレー現像した。さらにメチルイソブチルケトン
で1分間リンスを行った。得られたボンディング・パッ
ド部などの加工がなされた平坦化層は、黄色みが消え透
明な層であった。
ついで/、10℃で7!分間ボストベークを行い熱キユ
アした。
アした。
次いでこの平坦化層上にゼラチン−重クロム酸アンモニ
ウム(10二/、重量比)の水溶液を膜厚が/μとなる
ようにスピンコーティングによ)塗布して被染色層を形
成する感光性物質層を形成した。この被染色層を形成す
る感光性物質層に、所定のパターンを有するマスクを通
して前記と同じ装置を用1.−a 200ミリジュール
/−のエネルギー量で無光した後、り1℃の水で7分間
現像した。次いで120℃て71分加熱してゼラチン膜
を硬化させた。
ウム(10二/、重量比)の水溶液を膜厚が/μとなる
ようにスピンコーティングによ)塗布して被染色層を形
成する感光性物質層を形成した。この被染色層を形成す
る感光性物質層に、所定のパターンを有するマスクを通
して前記と同じ装置を用1.−a 200ミリジュール
/−のエネルギー量で無光した後、り1℃の水で7分間
現像した。次いで120℃て71分加熱してゼラチン膜
を硬化させた。
酢酸でpHをダに調整した1カヤノールイエo−NjG
’(日本化薬■製)(カヤノールは日本化薬■の商品名
)の約o、i @水溶液中に7j℃、7分間浸漬し染色
処理して被染色層を形成した。
’(日本化薬■製)(カヤノールは日本化薬■の商品名
)の約o、i @水溶液中に7j℃、7分間浸漬し染色
処理して被染色層を形成した。
次いで平坦化層と同じ組成の感光性組成物を膜厚がθ、
!μとなるようにスピンコーティング塗布し、平坦化層
の場合と同様に1光、現像、熱キユアして透明でかつボ
ンディング・パッド部などの加工がなされた耐染色性絶
縁層を形成した。
!μとなるようにスピンコーティング塗布し、平坦化層
の場合と同様に1光、現像、熱キユアして透明でかつボ
ンディング・パッド部などの加工がなされた耐染色性絶
縁層を形成した。
次いで、この耐染色性絶縁層上に、前述と同様にしてゼ
ラチン−重クロム酸アンモニウム層を形成し、前述と同
様に露光、現像した後、酢酸でI)Hをりに調整した“
ダイアクロンターキスフルー〇FI(三菱化成工業■#
り(グイアクロンは三菱化成工業■の登録商標)の約0
.Jチ水浴液で7j℃、/分間染色処理して被染色層を
形成した。
ラチン−重クロム酸アンモニウム層を形成し、前述と同
様に露光、現像した後、酢酸でI)Hをりに調整した“
ダイアクロンターキスフルー〇FI(三菱化成工業■#
り(グイアクロンは三菱化成工業■の登録商標)の約0
.Jチ水浴液で7j℃、/分間染色処理して被染色層を
形成した。
次いで、保護層として平坦化層と同じ感光性組成物を膜
厚O,Sμとなるようにスピンコーティングにより塗布
して前記と同様の条件にて露光、現像してボンディング
・パッド部等の加工のなされた透明な表面層を形成しカ
ラーフィルターが直付された固体カラー撮像素子を得た
。
厚O,Sμとなるようにスピンコーティングにより塗布
して前記と同様の条件にて露光、現像してボンディング
・パッド部等の加工のなされた透明な表面層を形成しカ
ラーフィルターが直付された固体カラー撮像素子を得た
。
このように本発明の組成物によね#−i劇染色性に優れ
、基板及び染色層との接着性、可視、近紫外線に対する
無色透明性等が良好で、しかも可視光線、近紫外光線を
用いて加工可能な耐染色性絶縁層を形成することができ
る。
、基板及び染色層との接着性、可視、近紫外線に対する
無色透明性等が良好で、しかも可視光線、近紫外光線を
用いて加工可能な耐染色性絶縁層を形成することができ
る。
第1図(a)〜(j)は直付型カラーフィルターの製造
工程の一例を示す説明図である。 図中/はシリコンウェハー、コは光検知部、3は保−換
、グは平坦化層、Jは被染色層、6はマスク、7は耐染
色性絶縁層、/Fiボンディング・パッド、?け被染色
層、10Fi衣面層を表す。 第1図 (’E−cyr 1)
工程の一例を示す説明図である。 図中/はシリコンウェハー、コは光検知部、3は保−換
、グは平坦化層、Jは被染色層、6はマスク、7は耐染
色性絶縁層、/Fiボンディング・パッド、?け被染色
層、10Fi衣面層を表す。 第1図 (’E−cyr 1)
Claims (2)
- (1)少くとも、下記式( I )及び(II)で表わされ
る繰返し単位を有するポリマーと増感剤を含む感光性組
成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼( I ) ▲数式、
化学式、表等があります▼(II) (式中、R^1及びR^2は水素原子又はメチル基を表
し、R^3は水素原子又はフェニル基を表し、R^4は
水素原子、フェニル基又はシアノ基を表し、R^5およ
びR^6は水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基又はメト
キシ基を表す。) - (2)繰返し単位( I )を97〜30モル%、繰返し
単位(II)を3〜70モル%含むポリマーを使用するこ
とを特徴とする特許請求の範囲第(1)項に記載の感光
性組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60021044A JPS61180235A (ja) | 1985-02-06 | 1985-02-06 | 感光性組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60021044A JPS61180235A (ja) | 1985-02-06 | 1985-02-06 | 感光性組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61180235A true JPS61180235A (ja) | 1986-08-12 |
JPH0535422B2 JPH0535422B2 (ja) | 1993-05-26 |
Family
ID=12043930
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60021044A Granted JPS61180235A (ja) | 1985-02-06 | 1985-02-06 | 感光性組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61180235A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS626254A (ja) * | 1985-07-02 | 1987-01-13 | Mitsubishi Chem Ind Ltd | 感光性組成物 |
JPS63295614A (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-02 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | カラーフィルター形成用有機ガラス組成物およびカラーフィルター形成用有機ガラス層を形成する方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55156941A (en) * | 1979-05-24 | 1980-12-06 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | Micropattern forming method |
JPS5764229A (en) * | 1980-10-06 | 1982-04-19 | Tatatomi Nishikubo | Self-sensitizig type photosensitive material |
-
1985
- 1985-02-06 JP JP60021044A patent/JPS61180235A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55156941A (en) * | 1979-05-24 | 1980-12-06 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | Micropattern forming method |
JPS5764229A (en) * | 1980-10-06 | 1982-04-19 | Tatatomi Nishikubo | Self-sensitizig type photosensitive material |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS626254A (ja) * | 1985-07-02 | 1987-01-13 | Mitsubishi Chem Ind Ltd | 感光性組成物 |
JPS63295614A (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-02 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | カラーフィルター形成用有機ガラス組成物およびカラーフィルター形成用有機ガラス層を形成する方法 |
DE3818101A1 (de) * | 1987-05-28 | 1988-12-15 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | Gegen anfaerbung resistenter isolierfilm hoher qualitaet zur herstellung eines farbfilters fuer ein festkoerper-bildaufnahmeelement sowie eine loesung zur herstellung des isolierfilms und ein diesen isolierfilm enthaltender farbfilter |
US4983020A (en) * | 1987-05-28 | 1991-01-08 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Dyeing resistant insulation film of high quality for a color filter for use in a solid-state image pickup element |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0535422B2 (ja) | 1993-05-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH06224399A (ja) | 固体撮像装置およびその製造方法 | |
JPH01134306A (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
JPH05288913A (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
JP2001004823A (ja) | カラーフィルター | |
JP3309514B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法及び固体撮像装置の製造方法 | |
JP2019095686A (ja) | 感光性組成物 | |
JPS61180235A (ja) | 感光性組成物 | |
JP3065154B2 (ja) | カラーフィルター及びその製造方法並びにそのカラーフィルターを備えた表示装置及びピックアップ装置 | |
JPH03100502A (ja) | カラーフィルター | |
JPH1039501A (ja) | 着色感光性樹脂組成物及びカラーフィルタ | |
JPS6127536A (ja) | 感光性組成物 | |
JPS6332542A (ja) | 染色可能な感光性組成物 | |
JPS6014203A (ja) | カラ−フイルタ− | |
JPH0760265B2 (ja) | 感光性組成物 | |
JP2001075124A (ja) | 液晶表示装置用電極基板の製造方法及び液晶表示装置 | |
JPH01188189A (ja) | 固体カラー撮像素子 | |
JP3867179B2 (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
JPH071324B2 (ja) | カラ−フイルタ−の製造方法 | |
JPS59155412A (ja) | 染色用感光性樹脂 | |
KR101973241B1 (ko) | 비스벤조퓨라논 유도체 및 이를 포함하는 흑색 감광성 수지 조성물 | |
US4983020A (en) | Dyeing resistant insulation film of high quality for a color filter for use in a solid-state image pickup element | |
JPH0418281B2 (ja) | ||
JP2528306B2 (ja) | カラ−フイルタ− | |
JP2631473B2 (ja) | カラーフイルター | |
JP2000031448A (ja) | 固体撮像装置の表面地形の平坦化方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |