JP3065154B2 - カラーフィルター及びその製造方法並びにそのカラーフィルターを備えた表示装置及びピックアップ装置 - Google Patents
カラーフィルター及びその製造方法並びにそのカラーフィルターを備えた表示装置及びピックアップ装置Info
- Publication number
- JP3065154B2 JP3065154B2 JP669292A JP669292A JP3065154B2 JP 3065154 B2 JP3065154 B2 JP 3065154B2 JP 669292 A JP669292 A JP 669292A JP 669292 A JP669292 A JP 669292A JP 3065154 B2 JP3065154 B2 JP 3065154B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- color
- manufacturing
- filter according
- display device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/40—Treatment after imagewise removal, e.g. baking
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はカラーフィルターの製造
方法に関し、少なくとも１つのカラーパターンがパター
ン化樹脂層に形成され、その後でこの層が固定化され
る。また、本発明は前記方法により製造されたカラーフ
ィルターに関し、そして、このようなカラーフィルター
を備えた表示装置及びピックアップ装置に関する。
方法に関し、少なくとも１つのカラーパターンがパター
ン化樹脂層に形成され、その後でこの層が固定化され
る。また、本発明は前記方法により製造されたカラーフ
ィルターに関し、そして、このようなカラーフィルター
を備えた表示装置及びピックアップ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】上記のタイプの方法は特開昭５８−２０
７０１０号公報に記載されている。この中に記載されて
いる方法では、光硬化樹脂溶液（例えば、ゼラチンジク
ロメイト（qelatin dichromate))は、ガラス基板上に供
され、その後この溶液はパターンを介して露光され硬化
部分を形成する。この硬化部分はストライプ状あるいは
モザイク状である。非硬化部分が適当な溶媒により除去
された後、パターン化された硬化部分が、赤、青、緑、
黄、青緑あるいは赤紫の染料の１つに着色される。その
後、着色された部分はタンニン酸及び酒石酸カリウムア
ンチモン中で連続的に固定される。
７０１０号公報に記載されている。この中に記載されて
いる方法では、光硬化樹脂溶液（例えば、ゼラチンジク
ロメイト（qelatin dichromate))は、ガラス基板上に供
され、その後この溶液はパターンを介して露光され硬化
部分を形成する。この硬化部分はストライプ状あるいは
モザイク状である。非硬化部分が適当な溶媒により除去
された後、パターン化された硬化部分が、赤、青、緑、
黄、青緑あるいは赤紫の染料の１つに着色される。その
後、着色された部分はタンニン酸及び酒石酸カリウムア
ンチモン中で連続的に固定される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】カラーフィルターが数
種の色を有する場合は、この一連の処理を言及していな
い中間の洗浄段階を含めて数回繰り返さなければいけな
い。前記方法の別の欠点は前記酒石酸カリウムアンチモ
ンのような有毒な化学物質を使用することである。更
に、使用される化学物質は固定化する性質が急速に悪化
するために貯蔵寿命が限定される。
種の色を有する場合は、この一連の処理を言及していな
い中間の洗浄段階を含めて数回繰り返さなければいけな
い。前記方法の別の欠点は前記酒石酸カリウムアンチモ
ンのような有毒な化学物質を使用することである。更
に、使用される化学物質は固定化する性質が急速に悪化
するために貯蔵寿命が限定される。
【０００４】本発明は特に、より簡便なカラーフィルタ
ーの製造方法を提供することを目的とする。また、有毒
な化学物質を使用することのない方法を提供することを
目的とする。
ーの製造方法を提供することを目的とする。また、有毒
な化学物質を使用することのない方法を提供することを
目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そのために、本発明の方
法は、オゾン雰囲気中で紫外線により固定化を行うこと
を特徴とする。
法は、オゾン雰囲気中で紫外線により固定化を行うこと
を特徴とする。
【０００６】使用される放射線（波長、強度）及び露光
期間は固定される層厚に依存し、こうして樹脂層の良好
な固定化を図ることができる。固定化及び洗浄の操作は
部分的に一致するので、本方法は既知の方法よりかなり
少ない段階で済む。更に、ここにおいて、完全にカラー
フィルターは乾燥−化学的工程により製造され、タンニ
ン酸及び酒石酸カリウムアンチモンの使用はもはや必要
とされず、これは論理的に有利である。
期間は固定される層厚に依存し、こうして樹脂層の良好
な固定化を図ることができる。固定化及び洗浄の操作は
部分的に一致するので、本方法は既知の方法よりかなり
少ない段階で済む。更に、ここにおいて、完全にカラー
フィルターは乾燥−化学的工程により製造され、タンニ
ン酸及び酒石酸カリウムアンチモンの使用はもはや必要
とされず、これは論理的に有利である。
【０００７】種々のカラーパターンを製造する場合は、
複数のカラーパターンが種々のパターン化樹脂層に形成
され、各カラーパターンはカラーパターンが形成された
後固定される。
複数のカラーパターンが種々のパターン化樹脂層に形成
され、各カラーパターンはカラーパターンが形成された
後固定される。
【０００８】固定化は好ましくは１〜20分間なされる。
紫外線は好ましくは150 〜300nm の間の波長及び基板か
ら１〜５cm離れたところで５〜20mW／cm2 の間の強度を
有する。
紫外線は好ましくは150 〜300nm の間の波長及び基板か
ら１〜５cm離れたところで５〜20mW／cm2 の間の強度を
有する。
【０００９】例えば、カラーフィルターが、液晶表示装
置のような電子−光学表示装置に使用される場合、例え
ば、ガラスあるいは石英が基板として使用される。また
反射液晶表示装置またはＣＣＤ、ＢＢＤあるいは他のセ
ンサのようなピックアップ装置の場合には、この基板
に、例えばケイ素あるいは別の半導体材料を選択するこ
とが可能である。また、カラーフィルターはカメラチュ
ーブのカラー感受部分に供され得る。
置のような電子−光学表示装置に使用される場合、例え
ば、ガラスあるいは石英が基板として使用される。また
反射液晶表示装置またはＣＣＤ、ＢＢＤあるいは他のセ
ンサのようなピックアップ装置の場合には、この基板
に、例えばケイ素あるいは別の半導体材料を選択するこ
とが可能である。また、カラーフィルターはカメラチュ
ーブのカラー感受部分に供され得る。
【００１０】ここで、本発明のこれらのそして他の見方
を幾つかの具体例を参照しつつより詳細に記述する。
を幾つかの具体例を参照しつつより詳細に記述する。
【００１１】
【実施例】液晶表示装置のカラーフィルターはガラス板
から出発して製造される。複数のフィルターはこの板上
に同時に作製され得る。また、出発物質は例えば石英で
ある。ガラス板は発煙硝酸中で洗浄された後、この具体
例では最初にクロムの薄層を蒸着させることにより黒の
マトリクスを最初に形成し、そしてフォトリソグラフィ
工程により所望のパターンを形成する。
から出発して製造される。複数のフィルターはこの板上
に同時に作製され得る。また、出発物質は例えば石英で
ある。ガラス板は発煙硝酸中で洗浄された後、この具体
例では最初にクロムの薄層を蒸着させることにより黒の
マトリクスを最初に形成し、そしてフォトリソグラフィ
工程により所望のパターンを形成する。
【００１２】黒のマトリクスを備えたガラス板は、続い
てオゾン雰囲気中で２分間処理することにより洗浄さ
れ、同時に紫外線を照射される。本実施例においては、
150 〜300nm の間の波長の実質的に平行なビームの光源
（185 と254nm に主な電子遷移を有する低圧水銀灯）が
使用された。強度は、254nm の波長で、ガラス板上2.5c
mの距離の箇所で10mW／cm2 であった。更に一般的に
は、全露光期間はガラス板と光源との間の距離のみなら
ず使用された強度とＵＶ源のスペクトル組成とオゾン割
合に依存する。
てオゾン雰囲気中で２分間処理することにより洗浄さ
れ、同時に紫外線を照射される。本実施例においては、
150 〜300nm の間の波長の実質的に平行なビームの光源
（185 と254nm に主な電子遷移を有する低圧水銀灯）が
使用された。強度は、254nm の波長で、ガラス板上2.5c
mの距離の箇所で10mW／cm2 であった。更に一般的に
は、全露光期間はガラス板と光源との間の距離のみなら
ず使用された強度とＵＶ源のスペクトル組成とオゾン割
合に依存する。
【００１３】続いて、ガラス板は、必要であれば少し加
熱された後、例えば蒸留水中で洗浄される。
熱された後、例えば蒸留水中で洗浄される。
【００１４】続いて、その積層体は着色できるアクリレ
ートラッカー、例えばメチルグリコール中の共重合体の
10％溶液あるいはゼラチン（ジ）クロメイト（qelatin
(di)chromate) または他の適当な着色できる樹脂層で被
覆される。前記層は例えばスピンコートにより形成さ
れ、またスピンコートの速度は形成されるべき色の所望
の色密度に依存する。続いてこのようにして形成された
層はフォトリゾグラフィ的にパターン化される。
ートラッカー、例えばメチルグリコール中の共重合体の
10％溶液あるいはゼラチン（ジ）クロメイト（qelatin
(di)chromate) または他の適当な着色できる樹脂層で被
覆される。前記層は例えばスピンコートにより形成さ
れ、またスピンコートの速度は形成されるべき色の所望
の色密度に依存する。続いてこのようにして形成された
層はフォトリゾグラフィ的にパターン化される。
【００１５】続いてパターン化樹脂層は適当な染料を添
加することにより最初のカラーパターンを形成する。一
般に、既知の染料（酸性染料、直接染料、反応性染料）
がこの目的のために使用され得る。前記最初のパターン
に対して、例えば日本化薬社製の赤色染料Ｒ−２４Ｐあ
るいはチバガイギ社製の「赤色ＧＲＬ」が選択される。
加することにより最初のカラーパターンを形成する。一
般に、既知の染料（酸性染料、直接染料、反応性染料）
がこの目的のために使用され得る。前記最初のパターン
に対して、例えば日本化薬社製の赤色染料Ｒ−２４Ｐあ
るいはチバガイギ社製の「赤色ＧＲＬ」が選択される。
【００１６】続いてこのようにして得られた赤のカラー
パターンを有するガラス板はオゾン雰囲気中で７〜８分
間の処理に再び付される。この処理で、カラーパターン
の固定化及び次のカラーパターンを形成するための基板
の洗浄が達成される。架橋結合が紫外線の影響下で樹脂
層中に起こり、同時にオゾンの存在により酸素イオンあ
るいは酸素原子が取り込まれるという説明ができる。上
記の最初の洗浄処理のように、この処理の期間は使用さ
れた波長、エネルギー密度、距離等に応じておよそ１〜
20分の間で再び変えることができる。
パターンを有するガラス板はオゾン雰囲気中で７〜８分
間の処理に再び付される。この処理で、カラーパターン
の固定化及び次のカラーパターンを形成するための基板
の洗浄が達成される。架橋結合が紫外線の影響下で樹脂
層中に起こり、同時にオゾンの存在により酸素イオンあ
るいは酸素原子が取り込まれるという説明ができる。上
記の最初の洗浄処理のように、この処理の期間は使用さ
れた波長、エネルギー密度、距離等に応じておよそ１〜
20分の間で再び変えることができる。
【００１７】続いて、この積層体は着色できるアクリレ
ートラッカーで再び被覆され、前記のようにパターン化
される。その後、パターン化樹脂層は例えば緑の第２の
カラーパターンを形成される。例えば、日本化薬社製の
Ｇ−１Ｐあるいはチバガイギ社製の「緑色３ＧＳ」が緑
色染料として使用される。
ートラッカーで再び被覆され、前記のようにパターン化
される。その後、パターン化樹脂層は例えば緑の第２の
カラーパターンを形成される。例えば、日本化薬社製の
Ｇ−１Ｐあるいはチバガイギ社製の「緑色３ＧＳ」が緑
色染料として使用される。
【００１８】このようにして得られたガラス板は緑のカ
ラーパターンを形成後、前記のように固定化及び洗浄処
理に再び付される。その後、この積層体は着色できるア
クリレートラッカーで再び被覆される。例えば青の第３
のカラーパターンを形成されたパターン化樹脂層が再び
得られる。例えば日本化薬社製のＢ−５Ｐあるいはチバ
ガイギ社製の「青色８Ｇ」が青色染料として使用され
る。
ラーパターンを形成後、前記のように固定化及び洗浄処
理に再び付される。その後、この積層体は着色できるア
クリレートラッカーで再び被覆される。例えば青の第３
のカラーパターンを形成されたパターン化樹脂層が再び
得られる。例えば日本化薬社製のＢ−５Ｐあるいはチバ
ガイギ社製の「青色８Ｇ」が青色染料として使用され
る。
【００１９】また、青のパターンが同時に固定化及び洗
浄された後、このようにして得られたカラーパターンを
形成された樹脂層はトップコートで被覆されるが、液晶
表示装置の場合、このトップコートは赤−緑−青のカラ
ーパターンを機械的に（スペーサーの影響に抗して）の
みならず化学的に（液晶材料の影響に抗して）保護す
る。
浄された後、このようにして得られたカラーパターンを
形成された樹脂層はトップコートで被覆されるが、液晶
表示装置の場合、このトップコートは赤−緑−青のカラ
ーパターンを機械的に（スペーサーの影響に抗して）の
みならず化学的に（液晶材料の影響に抗して）保護す
る。
【００２０】本発明はもちろん記載例に限定されずＣＣ
ＤあるいはＢＢＤのような感光性センサが組み込まれる
例えばケイ素基板のような他の基板も選択でき、一方、
例えばカメラチューブのカラーフィルターも考えられ
る。他の組成の色を選ぶこともでき、それは例えば青
緑、黄、赤紫であるが黒のマスクは必要であれば省かれ
る。
ＤあるいはＢＢＤのような感光性センサが組み込まれる
例えばケイ素基板のような他の基板も選択でき、一方、
例えばカメラチューブのカラーフィルターも考えられ
る。他の組成の色を選ぶこともでき、それは例えば青
緑、黄、赤紫であるが黒のマスクは必要であれば省かれ
る。
【００２１】
【発明の効果】上記のように、固定化は洗浄処理の間に
実行されるので、即ち特開昭５８−２０７０１０号公報
中に記載された方法と完全に相違しているので、有毒な
酒石酸カリウムアンチモンを使用せずに済む。また、タ
ンニン酸ももはや使用しないのでこれらの化学物質の貯
蔵の必要はない。工程がより短くなったことに加えて、
本発明の方法はこのように論理的な利点もある。後者の
点は、全く重要である、というのは前記化学物質は貯蔵
寿命が限定されており、定期的に使用性能をテストしな
ければいけないからである。
実行されるので、即ち特開昭５８−２０７０１０号公報
中に記載された方法と完全に相違しているので、有毒な
酒石酸カリウムアンチモンを使用せずに済む。また、タ
ンニン酸ももはや使用しないのでこれらの化学物質の貯
蔵の必要はない。工程がより短くなったことに加えて、
本発明の方法はこのように論理的な利点もある。後者の
点は、全く重要である、というのは前記化学物質は貯蔵
寿命が限定されており、定期的に使用性能をテストしな
ければいけないからである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (73)特許権者 590000248 Ｇｒｏｅｎｅｗｏｕｄｓｅｗｅｇ １, 5621 ＢＡ Ｅｉｎｄｈｏｖｅｎ， Ｔ ｈｅ Ｎｅｔｈｅｒｌａｎｄｓ (56)参考文献 特開 昭63−298242（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−201402（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 5/20 101
Claims (9)
- 【請求項１】 少なくとも１つのカラーパターンをパタ
ーン化樹脂層に形成した後、前記層を固定化するカラー
フィルターの製造方法において、固定化をオゾン雰囲気
中で紫外線を用いて行なうことを特徴とするカラーフィ
ルターの製造方法。 - 【請求項２】 複数のカラーパターンを種々のパターン
化樹脂層中に形成し、且つ各カラーパターンを形成した
後固定化することを特徴とする請求項１記載のカラーフ
ィルターの製造方法。 - 【請求項３】 固定化を１〜20分間行なうことを特徴と
する請求項１または２記載のカラーフィルターの製造方
法。 - 【請求項４】 紫外線が150 〜300nm の間の波長を有す
ることを特徴とする請求項３記載のカラーフィルターの
製造方法。 - 【請求項５】 樹脂層がアクリレートを含むことを特徴
とする請求項１〜４のうちいずれか１つの項に記載のカ
ラーフィルターの製造方法。 - 【請求項６】 カラーパターンをガラス、石英、半導体
材料の基板上に形成することを特徴とする請求項１〜５
のうちいずれか１つの項に記載のカラーフィルターの製
造方法。 - 【請求項７】 請求項１〜６のうちいずれか１つの項に
記載のカラーフィルターの製造方法により製造されるこ
とを特徴とするカラーフィルター。 - 【請求項８】 ２つの基板の間に電子−光学媒体を備え
た表示装置において、一方の基板が請求項７記載のカラ
ーフィルターを備えたことを特徴とする表示装置。 - 【請求項９】 請求項７記載のカラーフィルターを備え
たことを特徴とするピックアップ装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL9100095 | 1991-01-21 | ||
| NL9100095A NL9100095A (nl) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | Werkwijze voor het vervaardigen van een kleurenfilter. |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05210007A JPH05210007A (ja) | 1993-08-20 |
| JP3065154B2 true JP3065154B2 (ja) | 2000-07-12 |
Family
ID=19858751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP669292A Expired - Lifetime JP3065154B2 (ja) | 1991-01-21 | 1992-01-17 | カラーフィルター及びその製造方法並びにそのカラーフィルターを備えた表示装置及びピックアップ装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5279913A (ja) |
| EP (1) | EP0496442B1 (ja) |
| JP (1) | JP3065154B2 (ja) |
| DE (1) | DE69225816T2 (ja) |
| NL (1) | NL9100095A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5482803A (en) * | 1992-02-07 | 1996-01-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for preparing filter |
| DE19504433A1 (de) * | 1995-02-10 | 1996-08-14 | Siemens Ag | Verfahren zur Herstellung oder Verbesserung berandeter Fotolackschichten |
| US5578404A (en) * | 1995-03-27 | 1996-11-26 | Polaroid Corporation | Process for the production of liquid crystal display |
| US5667920A (en) * | 1996-03-11 | 1997-09-16 | Polaroid Corporation | Process for preparing a color filter |
| KR100285617B1 (ko) * | 1997-12-03 | 2001-04-02 | 구본준 | 칼라필터기판 제조방법 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL8001561A (nl) * | 1980-03-17 | 1981-10-16 | Philips Nv | Werkwijze voor het vervaardigen van een inrichting met behulp van een maskerpatroon. |
| JPS6034085B2 (ja) * | 1981-04-20 | 1985-08-07 | 松下電器産業株式会社 | カラ−フイルタの製造方法 |
| JPS58207010A (ja) * | 1982-05-28 | 1983-12-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | マイクロカラ−フイルタ−着色樹脂膜の表面改質方法 |
| JP2806928B2 (ja) * | 1987-05-29 | 1998-09-30 | 大日本印刷株式会社 | 感光性樹脂層の形成法 |
| EP0371398B1 (en) * | 1988-11-26 | 1995-05-03 | Toppan Printing Co., Ltd. | Color filter for multi-color liquid-crystal display panel |
| JPH02294602A (ja) * | 1989-05-10 | 1990-12-05 | Seiko Epson Corp | カラーフィルター製造方法 |
-
1991
- 1991-01-21 NL NL9100095A patent/NL9100095A/nl not_active Application Discontinuation
-
1992
- 1992-01-02 US US07/816,202 patent/US5279913A/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-01-13 EP EP92200070A patent/EP0496442B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-01-13 DE DE69225816T patent/DE69225816T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-01-17 JP JP669292A patent/JP3065154B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05210007A (ja) | 1993-08-20 |
| DE69225816D1 (de) | 1998-07-16 |
| DE69225816T2 (de) | 1999-01-14 |
| EP0496442B1 (en) | 1998-06-10 |
| EP0496442A1 (en) | 1992-07-29 |
| US5279913A (en) | 1994-01-18 |
| NL9100095A (nl) | 1992-08-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3651854B2 (ja) | アンスラキノン化合物及びそれを用いたカラーフィルター | |
| JP3065154B2 (ja) | カラーフィルター及びその製造方法並びにそのカラーフィルターを備えた表示装置及びピックアップ装置 | |
| US3623794A (en) | Spectral zonal encoder | |
| US3619041A (en) | Spectral zonal encoder employing a silver halide emulsion layer | |
| JPH0343701A (ja) | カラーフィルタの剥離方法 | |
| JPS6078401A (ja) | 色フイルタおよびその製造方法 | |
| JP2668782B2 (ja) | 着色パターンの製法 | |
| JPH03219201A (ja) | カラーフィルター | |
| JPS60114807A (ja) | 微細色フイルタ−作製法 | |
| KR940004298B1 (ko) | 컬러필터층 형성방법 | |
| JPH06235813A (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JPS61180235A (ja) | 感光性組成物 | |
| JPH04218001A (ja) | カラーフィルター | |
| JP2000031448A (ja) | 固体撮像装置の表面地形の平坦化方法 | |
| JPS59182408A (ja) | 光学フィルタ−の製造方法 | |
| JP2971589B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPH01221584A (ja) | 樹脂の染色方法 | |
| JPS58204042A (ja) | 感光性組成物 | |
| JPS63307402A (ja) | カラ−フイルタ− | |
| JPH01142606A (ja) | 固体撮像素子用カラーフィルタの製造方法 | |
| JPS62211601A (ja) | 着色フイルタ、その製造法およびこの方法を実施するのに有用な溶液 | |
| JPH09133808A (ja) | カラーフィルターの製法 | |
| JPH0580213A (ja) | カラーフイルター | |
| JPH0378702A (ja) | カラーフィルター | |
| JPH02245704A (ja) | カラーフィルタの製造方法 |