JPS59182408A - 光学フィルタ−の製造方法 - Google Patents
光学フィルタ−の製造方法Info
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- JPS59182408A JPS59182408A JP58058106A JP5810683A JPS59182408A JP S59182408 A JPS59182408 A JP S59182408A JP 58058106 A JP58058106 A JP 58058106A JP 5810683 A JP5810683 A JP 5810683A JP S59182408 A JPS59182408 A JP S59182408A
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- Japan
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- coloring
- light
- pattern
- film
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/233—Manufacture of photoelectric screens or charge-storage screens
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は光学フィルターの製造方法に関する。
従来例の構成とその問題点
従来、たとえばテレビカメラ用のカラーフィルターを作
成する場合、必要な分光特性を示す色を５×１０μｍ程
度、の領域の微小面積に選択的に染色パターンを形成す
る必要がある。この染色による３色カラーフィルターの
従来の製造方法として第１図、第２図に示す方法がある
。
成する場合、必要な分光特性を示す色を５×１０μｍ程
度、の領域の微小面積に選択的に染色パターンを形成す
る必要がある。この染色による３色カラーフィルターの
従来の製造方法として第１図、第２図に示す方法がある
。
第１図に示す方法は、透明ガラス基板１上に、染色可能
なゼラチンにクロム酸アンモニウムを加えてネガ形の感
光特性を与えた感光膜２を形成しく２Ｌ）、マスク３を
用いて光４を膜２に選択的に照射し、膜２０光照射部分
のみを残して他を除去し、残された部分を染色してカラ
ーフィルターの１色となる染色パターン５を得る（ｂ）
。
なゼラチンにクロム酸アンモニウムを加えてネガ形の感
光特性を与えた感光膜２を形成しく２Ｌ）、マスク３を
用いて光４を膜２に選択的に照射し、膜２０光照射部分
のみを残して他を除去し、残された部分を染色してカラ
ーフィルターの１色となる染色パターン５を得る（ｂ）
。
そして、パターン６を次の染色から保護する中間膜６を
形成したのち（Ｃ）、前述の感光膜形成、マスク露光を
再びくり返し、中間膜６を介してパタ−７５と隣接する
色の異なる染色パターン７を形、成する。さらに、同様
な工程を再度くり返し中間膜８を介してパターン５，７
と色の異なる染色パターン９を形成する（ｄ）。こうし
て、赤、緑、青などの染色パターンを順次積み重ねてカ
ラーフィルターを作成する。
形成したのち（Ｃ）、前述の感光膜形成、マスク露光を
再びくり返し、中間膜６を介してパタ−７５と隣接する
色の異なる染色パターン７を形、成する。さらに、同様
な工程を再度くり返し中間膜８を介してパターン５，７
と色の異なる染色パターン９を形成する（ｄ）。こうし
て、赤、緑、青などの染色パターンを順次積み重ねてカ
ラーフィルターを作成する。
この第１図の方法では、３回のゼラチン塗布と３回の染
色形状加工および２回の中間膜形成工程が、染色工程以
外に余分に必要であり、微細なカラーフィルターの製造
には極めて不利である。
色形状加工および２回の中間膜形成工程が、染色工程以
外に余分に必要であり、微細なカラーフィルターの製造
には極めて不利である。
第２図の方法は、透明ガラス基板１上の染色用膜１１上
にポジ型フォトレジスト１２を塗布してマスク１３にて
光１４を選択露光しく荀、染色部分上のレジスト１２を
窓あけしてその部分の染色用膜１１を染色して染色パタ
ーン１５を形成する（ｂ）。
にポジ型フォトレジスト１２を塗布してマスク１３にて
光１４を選択露光しく荀、染色部分上のレジスト１２を
窓あけしてその部分の染色用膜１１を染色して染色パタ
ーン１５を形成する（ｂ）。
しかるのち、レジストパターン１２を除去し、前述の工
程をくり返す。すなわち新たなレジストパターン１６を
形成し、マスク１７を介して光１８を照射し染色してパ
ターン１５と色の異なる染色パターン１９を形成する（
Ｃ）。そして、再び新たな°光２２を照射し同様に染色
パターン２３を形成する（ｄ）。
程をくり返す。すなわち新たなレジストパターン１６を
形成し、マスク１７を介して光１８を照射し染色してパ
ターン１５と色の異なる染色パターン１９を形成する（
Ｃ）。そして、再び新たな°光２２を照射し同様に染色
パターン２３を形成する（ｄ）。
第２図の方法においても、レンスト塗布と窓あけ加工の
工程が多く必要となり、また、染色時に染料がレジスト
の窓あけ面漬より大きく拡散して染色され、微細な色パ
ターンの形成にとって不利である。
工程が多く必要となり、また、染色時に染料がレジスト
の窓あけ面漬より大きく拡散して染色され、微細な色パ
ターンの形成にとって不利である。
発明の目的
本発明は、カラーテレビカメラ用の撮像管あるいは撮像
板等に必要なカラーフィルター（数種類の色のモザイク
画像）を平板上に容易かつ高精度に作成する方法を提供
することを目的とする。
板等に必要なカラーフィルター（数種類の色のモザイク
画像）を平板上に容易かつ高精度に作成する方法を提供
することを目的とする。
発明の構成
Ｃ＝＝Ｑ
２
（ただし、ＲｏはＨまたはＯＨ，、ＸはＯまだはで表さ
れる化合物、例えばフェニルメタクリレート、フェニル
メチルメタクリレートの重合体、または前記化合物とス
チレン、メチルメタクリレートなどとの共重合体を感光
性着色用材料とし、この材料の被膜を透明基板上に形成
し、前記被膜の着色しようとする部分に光照射して、染
料によシ着色することを％徴とする。
れる化合物、例えばフェニルメタクリレート、フェニル
メチルメタクリレートの重合体、または前記化合物とス
チレン、メチルメタクリレートなどとの共重合体を感光
性着色用材料とし、この材料の被膜を透明基板上に形成
し、前記被膜の着色しようとする部分に光照射して、染
料によシ着色することを％徴とする。
本発明で用いる感光性着色用材料の着色原理をポリフェ
ニルメタクリレートを例にして説明する。
ニルメタクリレートを例にして説明する。
まず、この重合体に３５０ｎｍよシ短波長の紫外線を照
射すると、次のように転位を起こす。
射すると、次のように転位を起こす。
上記の光反応で生成したフェノール基は、アルカリまだ
は塩基の存在下で次のようにアニオン座席をつくり、カ
チオン染料Ｄｙｅ■×ｅを吸着する。
は塩基の存在下で次のようにアニオン座席をつくり、カ
チオン染料Ｄｙｅ■×ｅを吸着する。
上記のように、本発明は、感光性着色用材料よりなる被
膜の光照射部に妄染料を固定できる官能基を生成させ、
有色物とこの官能基を幼反応させて光照射部分のみを着
色させる方法を用いて光学フィルターを製造するもので
あって、たとえば複数色のモザイク状カラーフィルター
の製造に際し、次のような効果が得られる。（１）高解
像度（ミクロン領域）の画像形成ができる。（（２）フ
ォトマスクを用いた紫外線露光のみで平板上に画像形成
ができ、工程が簡単である。（３）染料による着色法に
おいて、着色濃度を感光性着色材料基材に対する光照射
量で制御し、容易に再現性ある着色を行うととが可能と
なる。
膜の光照射部に妄染料を固定できる官能基を生成させ、
有色物とこの官能基を幼反応させて光照射部分のみを着
色させる方法を用いて光学フィルターを製造するもので
あって、たとえば複数色のモザイク状カラーフィルター
の製造に際し、次のような効果が得られる。（１）高解
像度（ミクロン領域）の画像形成ができる。（（２）フ
ォトマスクを用いた紫外線露光のみで平板上に画像形成
ができ、工程が簡単である。（３）染料による着色法に
おいて、着色濃度を感光性着色材料基材に対する光照射
量で制御し、容易に再現性ある着色を行うととが可能と
なる。
すなわち、本発明では、紫外光とフォトマスクとの組合
せによる高精度露光を行うとミクロン領域の微細な部分
着色が可能である。
せによる高精度露光を行うとミクロン領域の微細な部分
着色が可能である。
実施例の説明
まず、本発明に用いる感光性着色用材料の染色例を説明
する。
する。
例１
フェニルメタクリレート２０重量部とメチルメタクリレ
ート８０重量部をアゾイソブチロニトリルを開始剤とす
るラジカル共重合により共重合体を得た。得られた共重
合体の７重９％のベンゼン溶液からスライドガラス上に
厚さ約５０μｍのフィルムを作る。この共重合体は無色
透明なフィルムを形成する。そしてこのフィルムに１０
０Ｗ高圧水銀ランプ（ウシオ製ＵＭＩＯ２）を用い、０
ｃｍの距離から光照射を行なう。
ート８０重量部をアゾイソブチロニトリルを開始剤とす
るラジカル共重合により共重合体を得た。得られた共重
合体の７重９％のベンゼン溶液からスライドガラス上に
厚さ約５０μｍのフィルムを作る。この共重合体は無色
透明なフィルムを形成する。そしてこのフィルムに１０
０Ｗ高圧水銀ランプ（ウシオ製ＵＭＩＯ２）を用い、０
ｃｍの距離から光照射を行なう。
次に、染料（アズールＡ）０・６重量係とトリエチルア
ミン０．２重量係をメタノールとジオキサンレヒ との重量５：１の混合溶媒に溶解し、この溶液に上記の
光照射したフィルムを１分間浸漬した後に、メタノール
で表面を洗い乾燥すると、光照射した部分のみ、アズー
ルＡにより着色された。
ミン０．２重量係をメタノールとジオキサンレヒ との重量５：１の混合溶媒に溶解し、この溶液に上記の
光照射したフィルムを１分間浸漬した後に、メタノール
で表面を洗い乾燥すると、光照射した部分のみ、アズー
ルＡにより着色された。
照射時間と着色量を表す吸光度との関係は、第３図のよ
うになった。この結果から、照射時間と着色量は比例し
ていることがわかる。そのことから照射時間により着色
量を制御することができる。
うになった。この結果から、照射時間と着色量は比例し
ていることがわかる。そのことから照射時間により着色
量を制御することができる。
例２
フェニルメタクリレート２０重量部とスチレン８０重量
部をアゾイソブチロニトリルを開始剤とするラジカル共
重合により共重合体を得た。得られた共重合体を着色例
１と同様に着色して照射時間と着色量の関係を測定した
。それを第４図に示す。この結果から照射時間と着色量
は比例していることがわかる。このことから、例１の共
重合体と同様に照射時間により着色量を制御することが
できる。
部をアゾイソブチロニトリルを開始剤とするラジカル共
重合により共重合体を得た。得られた共重合体を着色例
１と同様に着色して照射時間と着色量の関係を測定した
。それを第４図に示す。この結果から照射時間と着色量
は比例していることがわかる。このことから、例１の共
重合体と同様に照射時間により着色量を制御することが
できる。
上記の例では染料にアズールＡを用いだが、ツクシンや
メチレンブルーを用いることもできる。
メチレンブルーを用いることもできる。
以上の着色法を用いてテレビカメラ用のカラーフィルタ
ーを作成する本発明の一実施例の方法を第６図とともに
説明する。
ーを作成する本発明の一実施例の方法を第６図とともに
説明する。
まず、透明基体となるガラス基板３０上に共重合体の感
光性着色用基材材料３１よジなる約２μｍ厚の無色透明
なフィルムを塗布しくＩＬ）、不透明部（斜縁部）を有
するフォトマスク３２を用いて紫外光３３を選択的に照
射しく１））、光照射部に前述した反応を生じさせたの
ち、染料の入った前述した染浴に□基板３０を浸漬して
材料３１の光照射部のみ染色して、たとえば１０μｍ口
の赤の染色パターン３４を形成する（Ｃ）。
光性着色用基材材料３１よジなる約２μｍ厚の無色透明
なフィルムを塗布しくＩＬ）、不透明部（斜縁部）を有
するフォトマスク３２を用いて紫外光３３を選択的に照
射しく１））、光照射部に前述した反応を生じさせたの
ち、染料の入った前述した染浴に□基板３０を浸漬して
材料３１の光照射部のみ染色して、たとえば１０μｍ口
の赤の染色パターン３４を形成する（Ｃ）。
次に、別のフォトマスク３４を用いて材料３１のパター
ン３４形成部とは別の部分に紫外光３６を選択的に照射
しくｄ）、前述の反応を生じさせたのち、前記パターン
３４とは別の色の染浴により別の色を染める。こうして
パターン３４とは異なる別のたとえば青の染色パターン
３７全形成する（ｅ）。
ン３４形成部とは別の部分に紫外光３６を選択的に照射
しくｄ）、前述の反応を生じさせたのち、前記パターン
３４とは別の色の染浴により別の色を染める。こうして
パターン３４とは異なる別のたとえば青の染色パターン
３７全形成する（ｅ）。
そして、同様にパターン３４ｔ ３７とは別の部分（
マスク３Ｂを用いて選択的に紫外光３９を照射したのち
（ｆ）、パターン３４．３７とは異なる色の染浴によジ
紫外光３９の照射部のみを染色してたとえば緑の染色パ
ター７４０を形成する（ｇ）。
マスク３Ｂを用いて選択的に紫外光３９を照射したのち
（ｆ）、パターン３４．３７とは異なる色の染浴によジ
紫外光３９の照射部のみを染色してたとえば緑の染色パ
ター７４０を形成する（ｇ）。
こうして、たとえばそれぞれ赤、青、緑からなるカラー
フィルター用の染色パターン３４．３７゜４０を有する
カラーフィルターが製造される。
フィルター用の染色パターン３４．３７゜４０を有する
カラーフィルターが製造される。
第５図の方法によれば、感光性着色基材材料に光の選択
照射を行い、光照射部のみを着色可能とし、光照射部に
着色パターンを形成するため、単に基材材料への選択露
光、染色の工程を用いるのみで、フィルターの着色パタ
ーンを形成することができる。しだがって、複数色の着
色パターンを有するカラーフィルターの製造に際し、複
数回の染色用膜の塗布、加工、あるいは複数回のレジス
ト塗布・現像９、レジスト除去等の工程を必要とせず、
数少ない工程で高精度なカラーフィルターを容易に製造
することができる。
照射を行い、光照射部のみを着色可能とし、光照射部に
着色パターンを形成するため、単に基材材料への選択露
光、染色の工程を用いるのみで、フィルターの着色パタ
ーンを形成することができる。しだがって、複数色の着
色パターンを有するカラーフィルターの製造に際し、複
数回の染色用膜の塗布、加工、あるいは複数回のレジス
ト塗布・現像９、レジスト除去等の工程を必要とせず、
数少ない工程で高精度なカラーフィルターを容易に製造
することができる。
なお、以上はカラーフィルターについて述べたが、本発
明はその他の光学フィルターについても適用できるとと
もに、シアン、マゼンタ、イエロー等の他の着色パター
ンも同様に形成することができる。
明はその他の光学フィルターについても適用できるとと
もに、シアン、マゼンタ、イエロー等の他の着色パター
ンも同様に形成することができる。
以上のように、本発明の方法によれば、フォトマスクを
用いた紫外線照射と染色操作により直接的に感光性基材
にモザイク状のカラーフィルターを作成することができ
、従来に比ベニ程を少なくできる。また、本発明では、
単層の感光性着色用基材に直接染色するだめ、高精度の
光照射装置を用いるこ−とにより、高解像度（ミクロン
単位）の微細画像を形成できる。また、無色透明な基材
が得られるとともに、感光性着色用基材に対する光照射
量を調整することにより、着色濃度を制御できるので、
再現性のある着色を容易に行なうことができ、高精度な
微細パターンを有する光学フィルターの製造に大きく寄
与するものである。
用いた紫外線照射と染色操作により直接的に感光性基材
にモザイク状のカラーフィルターを作成することができ
、従来に比ベニ程を少なくできる。また、本発明では、
単層の感光性着色用基材に直接染色するだめ、高精度の
光照射装置を用いるこ−とにより、高解像度（ミクロン
単位）の微細画像を形成できる。また、無色透明な基材
が得られるとともに、感光性着色用基材に対する光照射
量を調整することにより、着色濃度を制御できるので、
再現性のある着色を容易に行なうことができ、高精度な
微細パターンを有する光学フィルターの製造に大きく寄
与するものである。
第１図及び第２図は従来のカラーフィルターの製造工程
を示す図、第３図はフェニルメタクリレートとメチルメ
タクリレートとの共重合体についての紫外光の照射時間
と着色濃度との関係を示す図、第４図はフェニルメタク
リレートとスチンンとの共重合体についての光照射時間
と着色濃度との関係を示す図、第５図は本発明の一実施
例のカラーフィルターの製造工程を示す図である。 ３０・・・・・・ガラス基板、３１・・・・・・感光性
着色用基材材料、３２，３５，３８・・・・・・フォト
マスク、３３．３６．３９・・・・・・紫外光、３４
＋ ３７ ｔ ４０・・・・・・染色パターン。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名−あ 第１図 第３図 照計１キ開Ｃ今） 第４図 Ｍ、 ？を特開（今） 第５図 第５図 Ｊ Ｊ Ｊ ｊ”
を示す図、第３図はフェニルメタクリレートとメチルメ
タクリレートとの共重合体についての紫外光の照射時間
と着色濃度との関係を示す図、第４図はフェニルメタク
リレートとスチンンとの共重合体についての光照射時間
と着色濃度との関係を示す図、第５図は本発明の一実施
例のカラーフィルターの製造工程を示す図である。 ３０・・・・・・ガラス基板、３１・・・・・・感光性
着色用基材材料、３２，３５，３８・・・・・・フォト
マスク、３３．３６．３９・・・・・・紫外光、３４
＋ ３７ ｔ ４０・・・・・・染色パターン。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名−あ 第１図 第３図 照計１キ開Ｃ今） 第４図 Ｍ、 ？を特開（今） 第５図 第５図 Ｊ Ｊ Ｊ ｊ”
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 弐 Ｒ１ ２ で表される化合物を重合成少とする重合体もしくは共重
合体よりなる被膜を透明基板上に形成する工程と、前記
被、膜の着色しようとする部分に光を照射する工程と、
染料によって前記被膜の光照射部を着色する工程とを有
する光学フィルターの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58058106A JPS59182408A (ja) | 1983-04-01 | 1983-04-01 | 光学フィルタ−の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58058106A JPS59182408A (ja) | 1983-04-01 | 1983-04-01 | 光学フィルタ−の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59182408A true JPS59182408A (ja) | 1984-10-17 |
| JPH045162B2 JPH045162B2 (ja) | 1992-01-30 |
Family
ID=13074709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58058106A Granted JPS59182408A (ja) | 1983-04-01 | 1983-04-01 | 光学フィルタ−の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59182408A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61293211A (ja) * | 1985-06-07 | 1986-12-24 | Sumitomo Chem Co Ltd | メタクリル系樹脂製の光学情報記録用基板 |
| US5391442A (en) * | 1992-01-14 | 1995-02-21 | Nippon Paint Co., Ltd. | Method of forming color pattern on a polysilane layer |
| US20190106837A1 (en) * | 2016-03-29 | 2019-04-11 | Covestro Deutschland Ag | Method for the partial coloring of plastic parts |
-
1983
- 1983-04-01 JP JP58058106A patent/JPS59182408A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61293211A (ja) * | 1985-06-07 | 1986-12-24 | Sumitomo Chem Co Ltd | メタクリル系樹脂製の光学情報記録用基板 |
| US5391442A (en) * | 1992-01-14 | 1995-02-21 | Nippon Paint Co., Ltd. | Method of forming color pattern on a polysilane layer |
| US20190106837A1 (en) * | 2016-03-29 | 2019-04-11 | Covestro Deutschland Ag | Method for the partial coloring of plastic parts |
| US10662581B2 (en) * | 2016-03-29 | 2020-05-26 | Covestro Deutschland Ag | Method for the partial coloring of plastic parts |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH045162B2 (ja) | 1992-01-30 |
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