JPS61180148A - オ−トプロ−ブ装置 - Google Patents
オ−トプロ−ブ装置Info
- Publication number
- JPS61180148A JPS61180148A JP60021309A JP2130985A JPS61180148A JP S61180148 A JPS61180148 A JP S61180148A JP 60021309 A JP60021309 A JP 60021309A JP 2130985 A JP2130985 A JP 2130985A JP S61180148 A JPS61180148 A JP S61180148A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- arms
- axial
- independently
- arm
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- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は電気特性測定用のオートプローブ装置に関し、
特に厚膜あるいは薄膜基板上に形成された抵抗膜やコン
デンサ膜の電気的特性を自動測定するオートプローブの
駆動機構に関する。
特に厚膜あるいは薄膜基板上に形成された抵抗膜やコン
デンサ膜の電気的特性を自動測定するオートプローブの
駆動機構に関する。
（従来技術）
第１図に示すように、混成集積回路装置に用いる厚膜あ
るいは薄膜の回路基板２は、定尺セラミツク基板１１Ｃ
多数個形成されているのが普通であって、各回路基板２
がそれぞＡ１つの回路を構成している。この回路基板２
は、第２図に拡大して示すように、抵抗膜３と導体膜４
とから構成されている。このような回路基板２の抵抗膜
３部分の抵抗値を測定するては、従来抵抗膜３の両端の
導体膜４に測定プローブを接触させてテスター等で測定
を行っているが、その作業には多くの時間および労力を
要する。
るいは薄膜の回路基板２は、定尺セラミツク基板１１Ｃ
多数個形成されているのが普通であって、各回路基板２
がそれぞＡ１つの回路を構成している。この回路基板２
は、第２図に拡大して示すように、抵抗膜３と導体膜４
とから構成されている。このような回路基板２の抵抗膜
３部分の抵抗値を測定するては、従来抵抗膜３の両端の
導体膜４に測定プローブを接触させてテスター等で測定
を行っているが、その作業には多くの時間および労力を
要する。
（発明が解決しようとする問題点）
このような２本の電極で１組の素子を構成している電気
素子の特性測定を自動化する装置として、従来からオー
トプローブ装置が知られているが、この従来の装置では
、測定プローブが回路基板２の抵抗膜３の近辺の導体膜
４に位置するよう、プローブを１回路基板分配列させた
プローブ配列プレートを設け、１回路基板ピッチづつセ
ラミック基板１またはプローブ配列プレートを移動させ
て測定しなければならなかった。このため回路基板２の
変更のつど、前記プレート配列プローブを交換し、１回
路基板ピッチの長さ分セラミック基板１またはプローブ
配列プレートを移動させねばならず、多品種少量生産の
形態には適さなかった。
素子の特性測定を自動化する装置として、従来からオー
トプローブ装置が知られているが、この従来の装置では
、測定プローブが回路基板２の抵抗膜３の近辺の導体膜
４に位置するよう、プローブを１回路基板分配列させた
プローブ配列プレートを設け、１回路基板ピッチづつセ
ラミック基板１またはプローブ配列プレートを移動させ
て測定しなければならなかった。このため回路基板２の
変更のつど、前記プレート配列プローブを交換し、１回
路基板ピッチの長さ分セラミック基板１またはプローブ
配列プレートを移動させねばならず、多品種少量生産の
形態には適さなかった。
本発明は、上述した従来の欠点を解決するため、２本の
測定プローブを独立に動作するようにし、２つの電極し
かもたない電気素子（例えば抵抗膜。
測定プローブを独立に動作するようにし、２つの電極し
かもたない電気素子（例えば抵抗膜。
コンデンサ膜）の形状に左右されることなく自由に測定
することのできる安価かつ小形のオートプローブ装置を
提供することを目的とする。
することのできる安価かつ小形のオートプローブ装置を
提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明に係るオートプローブ装置は、平行な２本のＸ軸
ガイド上を各々独立してＸ軸方向に移動する一対の平行
なＸ軸アームと、前記Ｘ軸アーム上に搭載されかつ該Ｘ
軸アーム上を各々独立してＸ軸方向に移動する一対のＹ
軸アームと、前記Ｙ軸アームにプローブホルダを介して
互いに向き合うように取り付けられた測定プローブとを
有し、前記一対のＹ軸アームは前記Ｘ軸アームに沿って
のびるＹ軸ガイドに各々独立して所定角度回動可能に軸
支されており、さらに前記Ｘ軸アームのＸ軸方向駆動機
構と、前記Ｙ軸アームのＹ軸方向駆動機構と、前記Ｙ軸
アームのＹ軸ガイドまわりの回動駆動機構とを有し、２
本の電極で１組を構成する電気素子を自動測定するよう
ｌ／Ｃ２本の測定プローブの間隔およびこれらを結ぶ方
向を自由に制御し得るようにしたものである。
ガイド上を各々独立してＸ軸方向に移動する一対の平行
なＸ軸アームと、前記Ｘ軸アーム上に搭載されかつ該Ｘ
軸アーム上を各々独立してＸ軸方向に移動する一対のＹ
軸アームと、前記Ｙ軸アームにプローブホルダを介して
互いに向き合うように取り付けられた測定プローブとを
有し、前記一対のＹ軸アームは前記Ｘ軸アームに沿って
のびるＹ軸ガイドに各々独立して所定角度回動可能に軸
支されており、さらに前記Ｘ軸アームのＸ軸方向駆動機
構と、前記Ｙ軸アームのＹ軸方向駆動機構と、前記Ｙ軸
アームのＹ軸ガイドまわりの回動駆動機構とを有し、２
本の電極で１組を構成する電気素子を自動測定するよう
ｌ／Ｃ２本の測定プローブの間隔およびこれらを結ぶ方
向を自由に制御し得るようにしたものである。
（発明の好適な実施形態）
次に、本発明を図面を参照しながら実施例について説明
する。
する。
第３図は本発明の実施例に係るオートプローブ装置の平
面図、第４図は第３図の矢視Ｆ方向からみた正面図であ
る。また第５図は本発明に係る装置のＸ軸アームおよび
Ｙ軸アームの駆動機構を一部分破断して示した斜視図で
ある。第３図および第４図を参照すれば、筐体１１内で
ペース１８上′／ｃＸ 、 Ｙ 、θステージ１７が設
置され、このステージ１７上に、被測定物であるセラミ
ック基板１９を担持したテーブル１４が取り付けられて
いる。筐体１１上部には、第３図によく示されるように
、２本の平行なＸ軸アーム１２が設けられ、この各Ｘ軸
アーム１２′ＩＣそれぞれＹ軸アーム１３が搭載されて
いる。各Ｙ軸アーム１３には互い【向き合うようにプロ
ーブホルダ１５が固定され、さらに該プローブホルダに
は第４図のような測定プローブ１６が取り付けられてい
る。
面図、第４図は第３図の矢視Ｆ方向からみた正面図であ
る。また第５図は本発明に係る装置のＸ軸アームおよび
Ｙ軸アームの駆動機構を一部分破断して示した斜視図で
ある。第３図および第４図を参照すれば、筐体１１内で
ペース１８上′／ｃＸ 、 Ｙ 、θステージ１７が設
置され、このステージ１７上に、被測定物であるセラミ
ック基板１９を担持したテーブル１４が取り付けられて
いる。筐体１１上部には、第３図によく示されるように
、２本の平行なＸ軸アーム１２が設けられ、この各Ｘ軸
アーム１２′ＩＣそれぞれＹ軸アーム１３が搭載されて
いる。各Ｙ軸アーム１３には互い【向き合うようにプロ
ーブホルダ１５が固定され、さらに該プローブホルダに
は第４図のような測定プローブ１６が取り付けられてい
る。
次に第５図を参照して前述したＸ軸アーム１２゜Ｙ軸ア
ーム１３の駆動機構を説明する。まず一対のＸ軸アーム
１２は一対の平行なＸ軸ガイドレール２３にその各両端
部が軸支されている。各ガイドレール２３０両端に位置
するプーリにはチェイン２５が巻き掛けられており、一
方のＸ軸アーム１２の一端部が一方のチェイン２５に結
合され、この一方のＸ軸アームの反対側（他端側）で他
方のＸ軸アームの一端部が他方のチェイン（結合されて
いる。各Ｘ軸ガイドレール２３の片端のプーリはＤＣサ
ーボモータ２４の回転軸に軸支されている。両側のＤＣ
サーボモータ２４は互いて独立して駆動され、このサー
ボモータの駆動によりＸ軸アーム１２はチェイン２５を
介してＸ軸ガイドレール２３に沿って移動する。このよ
うな構成になる各Ｘ軸アーム１２の駆動機構は完全く同
一機構であって、取り付は方向が装置中心に対して互い
に１８０°ずれているだけである。Ｙ軸アーム１３はそ
の基端がＸ軸アーム１２に沿ってのびるＹ軸ガイドレー
ル２６に軸支されておシ、またＸ軸アーム１２ＶＣ設け
た蓋状の回動レバー２１にかぶさるようにＹ軸アーム先
端がのび、その先端部にプローブホルダ１５を介して測
定プローブ１６が固着されている。回動レバー２１はン
レノイド２２のオン、オフにより一定角度回転可能であ
り、回動レバー２１が上方へ回動することによりＹ軸ア
ーム１３が該レバーに押し上げられ、これによって該ア
ーム１３先端の測定プローブ１６が上下動するようにな
っている。このＹ軸アーム１３の回動動作も互いに独立
して動作する。Ｘ軸アーム１２Ｖｃはま念Ｙ軸アーム駆
動用のＤＣサーボモータ２８が取り付けられ、このＤＣ
サーボモータ２８の作動によりチェイン７を介してＹ軸
アーム１３はＸ軸アーム上をＹ軸ガイドレール２６に沿
って移動する。このようなＹ軸アーム１３のＹ軸方向移
動も互いに独立して動作する。結局Ｘ軸アーム１２のＸ
軸方向移動、Ｙ軸アーム１３のＹ軸方向移動および該ア
ーム先端の上下動即ちＺ軸方向移動により、しかもこれ
らの互いに独立した動作により、２本の測定プローブ１
６はｘ、ｙ、ｚの各方向に互いに独立して移動する。
ーム１３の駆動機構を説明する。まず一対のＸ軸アーム
１２は一対の平行なＸ軸ガイドレール２３にその各両端
部が軸支されている。各ガイドレール２３０両端に位置
するプーリにはチェイン２５が巻き掛けられており、一
方のＸ軸アーム１２の一端部が一方のチェイン２５に結
合され、この一方のＸ軸アームの反対側（他端側）で他
方のＸ軸アームの一端部が他方のチェイン（結合されて
いる。各Ｘ軸ガイドレール２３の片端のプーリはＤＣサ
ーボモータ２４の回転軸に軸支されている。両側のＤＣ
サーボモータ２４は互いて独立して駆動され、このサー
ボモータの駆動によりＸ軸アーム１２はチェイン２５を
介してＸ軸ガイドレール２３に沿って移動する。このよ
うな構成になる各Ｘ軸アーム１２の駆動機構は完全く同
一機構であって、取り付は方向が装置中心に対して互い
に１８０°ずれているだけである。Ｙ軸アーム１３はそ
の基端がＸ軸アーム１２に沿ってのびるＹ軸ガイドレー
ル２６に軸支されておシ、またＸ軸アーム１２ＶＣ設け
た蓋状の回動レバー２１にかぶさるようにＹ軸アーム先
端がのび、その先端部にプローブホルダ１５を介して測
定プローブ１６が固着されている。回動レバー２１はン
レノイド２２のオン、オフにより一定角度回転可能であ
り、回動レバー２１が上方へ回動することによりＹ軸ア
ーム１３が該レバーに押し上げられ、これによって該ア
ーム１３先端の測定プローブ１６が上下動するようにな
っている。このＹ軸アーム１３の回動動作も互いに独立
して動作する。Ｘ軸アーム１２Ｖｃはま念Ｙ軸アーム駆
動用のＤＣサーボモータ２８が取り付けられ、このＤＣ
サーボモータ２８の作動によりチェイン７を介してＹ軸
アーム１３はＸ軸アーム上をＹ軸ガイドレール２６に沿
って移動する。このようなＹ軸アーム１３のＹ軸方向移
動も互いに独立して動作する。結局Ｘ軸アーム１２のＸ
軸方向移動、Ｙ軸アーム１３のＹ軸方向移動および該ア
ーム先端の上下動即ちＺ軸方向移動により、しかもこれ
らの互いに独立した動作により、２本の測定プローブ１
６はｘ、ｙ、ｚの各方向に互いに独立して移動する。
（発明の効果）
以上説明したように本発明のオートプローブ装置は、２
本の測定プローブが互いに独立して動作するため、回路
基板上の送気素子の２個の電極に対して右側に位置する
ものは右側アームが、左側に位置するものは左側アーム
が接触するよって２組の直交座標駆動系を制御するだけ
で、回路基板上のいかなる電極配列に対（〜でも対応で
きる。なお、基板上の電極がＸ軸座標同一の場合は左右
アームの移動はどちらでもよい。また上述の構造（よシ
小形、軽量の装置となり、しかも安価で精度的にも充分
実用に適合し得るものである。
本の測定プローブが互いに独立して動作するため、回路
基板上の送気素子の２個の電極に対して右側に位置する
ものは右側アームが、左側に位置するものは左側アーム
が接触するよって２組の直交座標駆動系を制御するだけ
で、回路基板上のいかなる電極配列に対（〜でも対応で
きる。なお、基板上の電極がＸ軸座標同一の場合は左右
アームの移動はどちらでもよい。また上述の構造（よシ
小形、軽量の装置となり、しかも安価で精度的にも充分
実用に適合し得るものである。
第１図は定尺セラミック基板の平面図、第２図はセラミ
ック基板上の１回路基板の平面図、第３図は本発明の実
施例に係るオートプローブ装置の平面図、第４図は第３
図の矢視Ｆからみた正面図、第５図は本発明て係るＸ、
Ｙ軸アームの駆動機構の斜視図である。 １・・・セラミック基板、 ２・・・回路基板、１２
・・・Ｘ軸アーム、 １３・・・Ｙ軸アーム、１４
・・・テーブル、 １５・・・プローブホルダ、
１６・・・測定プローブ、 １７・・・ｘ、ｙ、θステージ、 １９・・・セラミック基板、 ２１・・・回動レバー、
２２・・・ンレイノイド、 ２３．２６・・・ガイドレール、 ２４．２８・・・ＤＣサーボモータ、 ２５．２７・・・チェイン。
ック基板上の１回路基板の平面図、第３図は本発明の実
施例に係るオートプローブ装置の平面図、第４図は第３
図の矢視Ｆからみた正面図、第５図は本発明て係るＸ、
Ｙ軸アームの駆動機構の斜視図である。 １・・・セラミック基板、 ２・・・回路基板、１２
・・・Ｘ軸アーム、 １３・・・Ｙ軸アーム、１４
・・・テーブル、 １５・・・プローブホルダ、
１６・・・測定プローブ、 １７・・・ｘ、ｙ、θステージ、 １９・・・セラミック基板、 ２１・・・回動レバー、
２２・・・ンレイノイド、 ２３．２６・・・ガイドレール、 ２４．２８・・・ＤＣサーボモータ、 ２５．２７・・・チェイン。
Claims (1)
- 平行な２本のＸ軸ガイド上を各々独立してＸ軸方向に移
動する一対の平行なＸ軸アームと、前記Ｘ軸アーム上に
搭載されかつ該Ｘ軸アーム上を各々独立してＹ軸方向に
移動する一対のＹ軸アームと、前記Ｙ軸アームにプロー
ブホルダを介して互いに向き合うように取り付けられた
測定プローブとを有し、前記一対のＹ軸アームは前記Ｘ
軸アームに沿ってのびるＹ軸ガイドに各々独立して所定
角度回動可能に軸支されており、さらに前記Ｘ軸アーム
のＸ軸方向駆動機構と、前記Ｙ軸アームのＹ軸方向駆動
機構と、前記Ｙ軸アームのＹ軸ガイドまわりの回動駆動
機構とを有し、２本の電極で１組を構成する電気素子を
自動測定するように２本の測定プローブの間隔およびこ
れらを結ぶ方向を自由に制御し得るようにしたことを特
徴とするオートプローブ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60021309A JPS61180148A (ja) | 1985-02-06 | 1985-02-06 | オ−トプロ−ブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60021309A JPS61180148A (ja) | 1985-02-06 | 1985-02-06 | オ−トプロ−ブ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61180148A true JPS61180148A (ja) | 1986-08-12 |
Family
ID=12051544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60021309A Pending JPS61180148A (ja) | 1985-02-06 | 1985-02-06 | オ−トプロ−ブ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61180148A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01143983A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-06 | Teru Kyushu Kk | プローブ装置 |
| CN105372499A (zh) * | 2015-11-25 | 2016-03-02 | 亿和精密工业（苏州）有限公司 | 一种微电阻测量设备及测量方法 |
-
1985
- 1985-02-06 JP JP60021309A patent/JPS61180148A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01143983A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-06 | Teru Kyushu Kk | プローブ装置 |
| CN105372499A (zh) * | 2015-11-25 | 2016-03-02 | 亿和精密工业（苏州）有限公司 | 一种微电阻测量设备及测量方法 |
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