JPH08304457A - 高周波プローブの構造 - Google Patents
高周波プローブの構造Info
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- JPH08304457A JPH08304457A JP10972095A JP10972095A JPH08304457A JP H08304457 A JPH08304457 A JP H08304457A JP 10972095 A JP10972095 A JP 10972095A JP 10972095 A JP10972095 A JP 10972095A JP H08304457 A JPH08304457 A JP H08304457A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は、簡単な構成で高周波プローブの
先端部の平行度の調整工程を省くと共に、両者の平行度
を保って確実に測定用端子を試料に接触させて常時正確
な測定データを求めることができ、しかも均一な接触圧
で接点を接触させて故障の無い長寿命な高周波プローブ
の構造をを実現することを目的とする。 【構成】 この発明は、先端部を突出させて取付部を支
持手段に片持ち梁形に取付けて、先端部に設けられたグ
ランド端子を含む複数の測定用端子を試料に接触させて
取付部に設けられた高周波コネクタから高周波電流を供
給して、試料の電気的な特性を測定する高周波プローブ
において、測定用端子を試料の接触面の傾斜に追随して
変位させる追随手段を設けた高周波プローブの構造構成
した。
先端部の平行度の調整工程を省くと共に、両者の平行度
を保って確実に測定用端子を試料に接触させて常時正確
な測定データを求めることができ、しかも均一な接触圧
で接点を接触させて故障の無い長寿命な高周波プローブ
の構造をを実現することを目的とする。 【構成】 この発明は、先端部を突出させて取付部を支
持手段に片持ち梁形に取付けて、先端部に設けられたグ
ランド端子を含む複数の測定用端子を試料に接触させて
取付部に設けられた高周波コネクタから高周波電流を供
給して、試料の電気的な特性を測定する高周波プローブ
において、測定用端子を試料の接触面の傾斜に追随して
変位させる追随手段を設けた高周波プローブの構造構成
した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は高周波測定用プローブ
の構造に関するものである。
の構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図６は従来の高周波測定用プローブの構
成を示す側面図、図７は従来の取付アームの構成を示す
側面図、図８は従来装置の動作を示す正面図である。図
６において、１は高周波コネクタ、２は取付ブロック、
３はマイクロ波吸収体、４はアルミナ基板である。５は
測定用端子、６は取付孔、７は高周波コネクタ１とアル
ミナ基板４の接続部である。
成を示す側面図、図７は従来の取付アームの構成を示す
側面図、図８は従来装置の動作を示す正面図である。図
６において、１は高周波コネクタ、２は取付ブロック、
３はマイクロ波吸収体、４はアルミナ基板である。５は
測定用端子、６は取付孔、７は高周波コネクタ１とアル
ミナ基板４の接続部である。
【０００３】図７において、８は取付アーム、９は傾き
調整部、９ａ，９ｂは傾き調整ブロック、１２は水平軸
からなるブロック支持部、１３はスプリング、１４はブ
ロック支持部１２に保持された固定ブロックである。固
定ブロック１４には、直角方向に取付ブロック２が固定
される。また、プローブの先端部は斜め下方に突出し
て、スプリング１３により支持部１２を中心に反時計方
向の回転力が加えられている。図８の１０は試料であ
る。
調整部、９ａ，９ｂは傾き調整ブロック、１２は水平軸
からなるブロック支持部、１３はスプリング、１４はブ
ロック支持部１２に保持された固定ブロックである。固
定ブロック１４には、直角方向に取付ブロック２が固定
される。また、プローブの先端部は斜め下方に突出し
て、スプリング１３により支持部１２を中心に反時計方
向の回転力が加えられている。図８の１０は試料であ
る。
【０００４】図７の傾き調整部９のツマミをマニュアル
で回転して上下動させると、この上下動が傾き調整ブロ
ック９ａ，９ｂを経てスプリング１３のバネ圧が加えら
れた固定ブロック１４に伝えられる。この結果、固定ブ
ロック１４は、ブロック支持部１２の水平軸を中心に回
転して傾きが変えられて一定の傾きに固定される。そし
て、測定用端子５を試料１０に圧着させて、高周波コネ
クタ１により外部から高周波信号を供給することができ
る。
で回転して上下動させると、この上下動が傾き調整ブロ
ック９ａ，９ｂを経てスプリング１３のバネ圧が加えら
れた固定ブロック１４に伝えられる。この結果、固定ブ
ロック１４は、ブロック支持部１２の水平軸を中心に回
転して傾きが変えられて一定の傾きに固定される。そし
て、測定用端子５を試料１０に圧着させて、高周波コネ
クタ１により外部から高周波信号を供給することができ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来の高
周波プローブのアルミナ基板４は、取付ブロック２を介
して固定ブロック１４により一定の傾きに固定されて斜
め下方に突出している。したがって、試料１０に傾きが
有ったり反りがあると、図８で示すように高周波プロー
ブの先端部と試料１０との傾きにズレが生じる。このた
め、プローブの先端部の測定用端子５と試料１０との間
に、接触不良が生じて正しい測定データを得ることが困
難であった。また、高周波プローブの先端部を試料１０
に平行にするためには、測定開始前に予め基板等を操作
して平行度を調整するための調整作業が必要になる。ま
た、試料１０に反りがあると先端部の測定用端子５の接
触圧が位置によって変化するため、上記の調整作業を試
料１０の接触点毎に行なわなければならず操作が面倒で
あった。
周波プローブのアルミナ基板４は、取付ブロック２を介
して固定ブロック１４により一定の傾きに固定されて斜
め下方に突出している。したがって、試料１０に傾きが
有ったり反りがあると、図８で示すように高周波プロー
ブの先端部と試料１０との傾きにズレが生じる。このた
め、プローブの先端部の測定用端子５と試料１０との間
に、接触不良が生じて正しい測定データを得ることが困
難であった。また、高周波プローブの先端部を試料１０
に平行にするためには、測定開始前に予め基板等を操作
して平行度を調整するための調整作業が必要になる。ま
た、試料１０に反りがあると先端部の測定用端子５の接
触圧が位置によって変化するため、上記の調整作業を試
料１０の接触点毎に行なわなければならず操作が面倒で
あった。
【０００６】また、上記の調整作業を省いて測定を行な
うと、高周波プローブの先端部と試料１０の平行度のズ
レによって測定用端子５に部分的な過大な押圧力が加え
られることになる。このため、測定用端子５の試料１０
への圧着回数が多くなって工数が掛かるばかりか、高周
波プローブに無理な力が加わって寿命を短くする等の問
題点があった。
うと、高周波プローブの先端部と試料１０の平行度のズ
レによって測定用端子５に部分的な過大な押圧力が加え
られることになる。このため、測定用端子５の試料１０
への圧着回数が多くなって工数が掛かるばかりか、高周
波プローブに無理な力が加わって寿命を短くする等の問
題点があった。
【０００７】この発明は、簡単な構成で高周波プローブ
の先端部の平行度の調整工程を省くと共に、両者の平行
度を保って確実に測定用端子を試料に接触させて常時正
確な測定データを求めることができ、しかも均一な接触
圧で接点を接触させて故障の無い長寿命な高周波プロー
ブを提供することを目的とするものである。
の先端部の平行度の調整工程を省くと共に、両者の平行
度を保って確実に測定用端子を試料に接触させて常時正
確な測定データを求めることができ、しかも均一な接触
圧で接点を接触させて故障の無い長寿命な高周波プロー
ブを提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明は、先端部を突
出させて取付部を支持手段に片持ち梁形に取付けて、先
端部に設けられたグランド端子を含む複数の測定用端子
を試料に接触させて取付部に設けられた高周波コネクタ
から高周波電流を供給して、試料の電気的な特性を測定
する高周波プローブにおいて、測定用端子を試料の接触
面の傾斜に追随して変位させる追随手段を設けた高周波
プローブの構造を構成したものである。
出させて取付部を支持手段に片持ち梁形に取付けて、先
端部に設けられたグランド端子を含む複数の測定用端子
を試料に接触させて取付部に設けられた高周波コネクタ
から高周波電流を供給して、試料の電気的な特性を測定
する高周波プローブにおいて、測定用端子を試料の接触
面の傾斜に追随して変位させる追随手段を設けた高周波
プローブの構造を構成したものである。
【０００９】また、追随手段として高周波プローブの先
端部と取付部との連結部に回転軸を設けた高周波プロー
ブの構造を構成したものである。さらに、追随手段とし
て高周波プローブの取付部と支持手段の連結部に回転軸
を設けた高周波プローブの構造を構成したものである。
端部と取付部との連結部に回転軸を設けた高周波プロー
ブの構造を構成したものである。さらに、追随手段とし
て高周波プローブの取付部と支持手段の連結部に回転軸
を設けた高周波プローブの構造を構成したものである。
【００１０】
【作用】実施例１の高周波プローブは取付部側に対し
て、先端部側が回転軸とスプリングによって回転軸を中
心にして自由に回転するようになっている。特に、先端
部側のアルミナ基板上の高周波測定用端子は、可撓性の
ＦＰＣで高周波コネクタに接続されている。したがっ
て、高周波プローブの先端部に設けられた複数の測定用
端子は、回転軸とスプリングにより摩擦無く変位しなが
ら試料の傾斜に追随して各測定点に接触することができ
る。また、実施例２では回転軸とスプリングが、高周波
プローブを取付けた固定ブロックとの連結部に設けられ
ている。そして、実施例１と同様に高周波プローブの先
端部の複数の測定用端子が、回転軸とスプリングにより
固定ブロックと一体になって傾斜した試料に追随して変
位することになる。
て、先端部側が回転軸とスプリングによって回転軸を中
心にして自由に回転するようになっている。特に、先端
部側のアルミナ基板上の高周波測定用端子は、可撓性の
ＦＰＣで高周波コネクタに接続されている。したがっ
て、高周波プローブの先端部に設けられた複数の測定用
端子は、回転軸とスプリングにより摩擦無く変位しなが
ら試料の傾斜に追随して各測定点に接触することができ
る。また、実施例２では回転軸とスプリングが、高周波
プローブを取付けた固定ブロックとの連結部に設けられ
ている。そして、実施例１と同様に高周波プローブの先
端部の複数の測定用端子が、回転軸とスプリングにより
固定ブロックと一体になって傾斜した試料に追随して変
位することになる。
【００１１】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面を用いて説明
する。 実施例１．図１は本発明の実施例１の構成を示す側面
図、図２は実施例１の動作を示す正面図である。本発明
の実施例で従来装置に相当する部分に同一符号を付し一
部説明が重複するが、異なる構成部分もあるので少し詳
しく説明する。
する。 実施例１．図１は本発明の実施例１の構成を示す側面
図、図２は実施例１の動作を示す正面図である。本発明
の実施例で従来装置に相当する部分に同一符号を付し一
部説明が重複するが、異なる構成部分もあるので少し詳
しく説明する。
【００１２】図１において、Ｐは高周波プローブであ
る。高周波プローブＰは、取付部Ｐ1と先端部Ｐ2 の２
部分で構成されている。取付部Ｐ1 側には従来装置と同
じ符号が付された取付ブロック２に高周波コネクタ１が
設けられ、基部には取付孔６が穿設されている。また、
先端部Ｐ2 側にも、従来と同一の符号を付けたアルミナ
基板４や測定用端子５等が設けられている。
る。高周波プローブＰは、取付部Ｐ1と先端部Ｐ2 の２
部分で構成されている。取付部Ｐ1 側には従来装置と同
じ符号が付された取付ブロック２に高周波コネクタ１が
設けられ、基部には取付孔６が穿設されている。また、
先端部Ｐ2 側にも、従来と同一の符号を付けたアルミナ
基板４や測定用端子５等が設けられている。
【００１３】高周波コネクタ１には、外部から高周波信
号を供給するケーブルが接続される。また、アルミナ基
板４はテーパ状に作られて、基から先端に向かって高周
波コネクタ１に供給された高周波信号を伝送するための
平行な帯状の伝送ラインが形成されている。そして、先
細りに形成されたアルミナ基板４の先端部５には、グラ
ンド端子を含む複数の高周波測定用端子５が先端部Ｐ2
の底面に集結されている。高周波信号伝送時に発生する
マイクロ波ノイズを吸収するために、アルミナ基板４の
周囲にマイクロ波吸収体３が設けられている。
号を供給するケーブルが接続される。また、アルミナ基
板４はテーパ状に作られて、基から先端に向かって高周
波コネクタ１に供給された高周波信号を伝送するための
平行な帯状の伝送ラインが形成されている。そして、先
細りに形成されたアルミナ基板４の先端部５には、グラ
ンド端子を含む複数の高周波測定用端子５が先端部Ｐ2
の底面に集結されている。高周波信号伝送時に発生する
マイクロ波ノイズを吸収するために、アルミナ基板４の
周囲にマイクロ波吸収体３が設けられている。
【００１４】１５は先端部Ｐ2 と取付部Ｐ1 との連結部
に設けられた回転軸、１６は回転軸１５の両側に配置さ
れたスプリング、１７は可撓性の配線（以下、ＦＰＣ）
である。回転軸１５は図１に示されているように高周波
プローブＰの突出方向の中心を通るＸ−Ｘ線上に設けら
れ、一端は取付部Ｐ1 に圧入されて他端は先端部Ｐ2に
遊嵌されている。両側のスプリング１５は先端部Ｐ2 側
を、図２の時計方向と反時計方向のいずれにも遊びが無
く追随して回転できるように回転軸１５上に保持してい
る。
に設けられた回転軸、１６は回転軸１５の両側に配置さ
れたスプリング、１７は可撓性の配線（以下、ＦＰＣ）
である。回転軸１５は図１に示されているように高周波
プローブＰの突出方向の中心を通るＸ−Ｘ線上に設けら
れ、一端は取付部Ｐ1 に圧入されて他端は先端部Ｐ2に
遊嵌されている。両側のスプリング１５は先端部Ｐ2 側
を、図２の時計方向と反時計方向のいずれにも遊びが無
く追随して回転できるように回転軸１５上に保持してい
る。
【００１５】ＦＰＣ１７は高周波コネクタ１とアルミナ
基板４との間に設けられ、一端側が複数の高周波測定用
端子５に接続されている。また、ＦＰＣ１７の途中は先
端部Ｐ2 側の回転に抵抗を与えないように余裕のある長
さで張られて、他端は接続部７で高周波コネクタ１に接
続されている。そして、取付部Ｐ1 側の２個の取付孔６
に取付ネジが挿入されて、先端部Ｐ2 が図７の固定ブロ
ック１２から突出して直角方向に片持ち梁状に固定され
ている。
基板４との間に設けられ、一端側が複数の高周波測定用
端子５に接続されている。また、ＦＰＣ１７の途中は先
端部Ｐ2 側の回転に抵抗を与えないように余裕のある長
さで張られて、他端は接続部７で高周波コネクタ１に接
続されている。そして、取付部Ｐ1 側の２個の取付孔６
に取付ネジが挿入されて、先端部Ｐ2 が図７の固定ブロ
ック１２から突出して直角方向に片持ち梁状に固定され
ている。
【００１６】このような構造の高周波プローブＰを用い
て、例えば次のような測定装置が構成される。平行に設
けられたプローブステーション上に一対の高周波プロー
ブＰが設置されて、測定用テーブル上にセットされたウ
エハ基板よりなる試料１０にそれぞれ高周波測定用端子
５を対向させる。
て、例えば次のような測定装置が構成される。平行に設
けられたプローブステーション上に一対の高周波プロー
ブＰが設置されて、測定用テーブル上にセットされたウ
エハ基板よりなる試料１０にそれぞれ高周波測定用端子
５を対向させる。
【００１７】設置された一対の高周波プローブＰの高周
波コネクタ１にはケーブルプラグが嵌め合わされて、信
号発生器や波形表示器等の測定用の機器に接続される。
そして、高周波コネクタ１を介して測定用の高周波信号
が供給された高周波測定用端子５を、順次試料１０の測
定点に接触させて試料１０の信号伝送特性が自動的に測
定・評価されるようになっている。
波コネクタ１にはケーブルプラグが嵌め合わされて、信
号発生器や波形表示器等の測定用の機器に接続される。
そして、高周波コネクタ１を介して測定用の高周波信号
が供給された高周波測定用端子５を、順次試料１０の測
定点に接触させて試料１０の信号伝送特性が自動的に測
定・評価されるようになっている。
【００１８】この場合、実施例１の高周波プローブＰは
取付部Ｐ1 側に対して、先端部Ｐ2側が回転軸１５とス
プリング１６によって回転軸１５を中心にして自由に回
転するようになっている。特に、先端部Ｐ2 側のアルミ
ナ基板４上の高周波測定用端子は、インピーダンスコン
トロールされたフラットな可撓性のＦＰＣ１７で高周波
コネクタ１に接続されている。したがって、図２に示さ
れたように高周波プローブＰの先端部Ｐ2 に設けられた
複数の測定用端子５は、回転軸１５とスプリング１６に
より摩擦無く変位しながら試料１０の傾斜に追随して各
測定点に接触することができる。
取付部Ｐ1 側に対して、先端部Ｐ2側が回転軸１５とス
プリング１６によって回転軸１５を中心にして自由に回
転するようになっている。特に、先端部Ｐ2 側のアルミ
ナ基板４上の高周波測定用端子は、インピーダンスコン
トロールされたフラットな可撓性のＦＰＣ１７で高周波
コネクタ１に接続されている。したがって、図２に示さ
れたように高周波プローブＰの先端部Ｐ2 に設けられた
複数の測定用端子５は、回転軸１５とスプリング１６に
より摩擦無く変位しながら試料１０の傾斜に追随して各
測定点に接触することができる。
【００１９】実施例２．図３はこの発明の実施例２の取
付アームの要部の構成を示す側面図、図４は実施例２の
取付アームの概略的な構成を示す正面図、図５は実施例
２のプローブの動作を示す正面図である。図３におい
て、１８は固定ブロック１４に設けられた円柱状のガイ
ドである。図示されていないがガイド１８に対応して、
取付部Ｐ1 の２つの取付孔６を結ぶ線上のほぼ中心にガ
イド孔が設けられている。そして、ガイド１８はガイド
孔に嵌合して、高周波プローブＰの取付位置をガイドす
る。１５と１６は実施例１と同じ機能の回転軸とスプリ
ングである。固定ブロック１４の取付アーム８への取付
状態の概略図が、図４に示されている。
付アームの要部の構成を示す側面図、図４は実施例２の
取付アームの概略的な構成を示す正面図、図５は実施例
２のプローブの動作を示す正面図である。図３におい
て、１８は固定ブロック１４に設けられた円柱状のガイ
ドである。図示されていないがガイド１８に対応して、
取付部Ｐ1 の２つの取付孔６を結ぶ線上のほぼ中心にガ
イド孔が設けられている。そして、ガイド１８はガイド
孔に嵌合して、高周波プローブＰの取付位置をガイドす
る。１５と１６は実施例１と同じ機能の回転軸とスプリ
ングである。固定ブロック１４の取付アーム８への取付
状態の概略図が、図４に示されている。
【００２０】実施例２では実施例１と異なり、図示のよ
うに回転軸１５とスプリング１６が、高周波プローブＰ
を取付けた固定ブロック１４との連結部に設けられてい
る。そして、実施例２においても、実施例１と同様に高
周波プローブＰの先端部の複数の測定用端子５が、回転
軸１５とスプリング１６により固定ブロック１４と一体
になって傾斜した試料１０に追随して変位することにな
る。また、実施例２では測定時のプローブ先端部と試料
１０の平行条件出しを回転軸１５によって行うため、Ｆ
ＰＣ１７を用いない高周波プローブを使用して測定を行
なうことで第１の実施例よりも測定条件の向上が期待で
きる。また、図７に示されたような傾き調整部９を備え
た傾き調整機構を、省略することも可能になる。
うに回転軸１５とスプリング１６が、高周波プローブＰ
を取付けた固定ブロック１４との連結部に設けられてい
る。そして、実施例２においても、実施例１と同様に高
周波プローブＰの先端部の複数の測定用端子５が、回転
軸１５とスプリング１６により固定ブロック１４と一体
になって傾斜した試料１０に追随して変位することにな
る。また、実施例２では測定時のプローブ先端部と試料
１０の平行条件出しを回転軸１５によって行うため、Ｆ
ＰＣ１７を用いない高周波プローブを使用して測定を行
なうことで第１の実施例よりも測定条件の向上が期待で
きる。また、図７に示されたような傾き調整部９を備え
た傾き調整機構を、省略することも可能になる。
【００２１】なお、第１の実施例ではウエハープローブ
に適用した例を説明したが、高周波コネクタとアルミナ
基板の接続部（ＦＰＣ部）に回転部を設けることで、モ
ジュールプローブにも適用可能である。また、第２の実
施例ではウエハープローブを取り付けてウエハーの高周
波測定を行なった例を説明したが、モジュールプローブ
や同軸プローブを取り付けてテスターおよび測定器と接
続し、モジュールの動作評価にも適用することが可能で
ある。さらに、上述の実施例では、試料が高周波プロー
ブの突出方向と直角な方向に傾斜した場合を例示して説
明したが、高周波プローブの先端部を、二次元的及び三
次元的に変位させて試料の接触面に追随させるようにし
てもよい。
に適用した例を説明したが、高周波コネクタとアルミナ
基板の接続部（ＦＰＣ部）に回転部を設けることで、モ
ジュールプローブにも適用可能である。また、第２の実
施例ではウエハープローブを取り付けてウエハーの高周
波測定を行なった例を説明したが、モジュールプローブ
や同軸プローブを取り付けてテスターおよび測定器と接
続し、モジュールの動作評価にも適用することが可能で
ある。さらに、上述の実施例では、試料が高周波プロー
ブの突出方向と直角な方向に傾斜した場合を例示して説
明したが、高周波プローブの先端部を、二次元的及び三
次元的に変位させて試料の接触面に追随させるようにし
てもよい。
【００２２】
【発明の効果】この発明は、先端部を突出させて取付部
を支持手段に片持ち梁形に取付けて、先端部に設けられ
たグランド端子を含む複数の測定用端子を試料に接触さ
せて取付部に設けられた高周波コネクタから高周波電流
を供給して、試料の電気的な特性を測定する高周波プロ
ーブにおいて、測定用端子を試料の接触面の傾斜に追随
して変位させる追随手段を設けた高周波プローブの構造
を構成した。
を支持手段に片持ち梁形に取付けて、先端部に設けられ
たグランド端子を含む複数の測定用端子を試料に接触さ
せて取付部に設けられた高周波コネクタから高周波電流
を供給して、試料の電気的な特性を測定する高周波プロ
ーブにおいて、測定用端子を試料の接触面の傾斜に追随
して変位させる追随手段を設けた高周波プローブの構造
を構成した。
【００２３】また、追随手段として高周波プローブの先
端部と取付部との連結部に回転軸を設けた高周波プロー
ブの構造を構成した。さらに、追随手段として高周波プ
ローブの取付部と支持手段の連結部に回転軸を設けた高
周波プローブの構造を構成した。
端部と取付部との連結部に回転軸を設けた高周波プロー
ブの構造を構成した。さらに、追随手段として高周波プ
ローブの取付部と支持手段の連結部に回転軸を設けた高
周波プローブの構造を構成した。
【００２４】この結果、第１の実施例によればプローブ
先端部と試料の表面を常に平行に保つことができ、高周
波測定用端子と試料の安定した圧着により測定データの
信頼性が向上する。さらに、プローブ先端部が試料の表
面に追随して回転するために、プローブ先端部と試料の
水平度調整工程が省ける。したがって、高周波測定用端
子と試料の圧着回数が減少するために、測定時間の短縮
とプローブの長寿命が期待できる。なお、第１の実施例
ではＦＰＣを用いた高周波プローブ（パッケージプロー
ブ）でも、２０ＧＨｚまでは測定が可能である。また、
第２の実施例によれば、固定ブロックの回転をプローブ
先端部と試料の圧着により行ない、プローブ先端部の傾
斜を変えることで測定時のプローブ先端部と試料の表面
を常に水平にすることができる。これによって、第１の
実施例と同様の効果が期待できる。
先端部と試料の表面を常に平行に保つことができ、高周
波測定用端子と試料の安定した圧着により測定データの
信頼性が向上する。さらに、プローブ先端部が試料の表
面に追随して回転するために、プローブ先端部と試料の
水平度調整工程が省ける。したがって、高周波測定用端
子と試料の圧着回数が減少するために、測定時間の短縮
とプローブの長寿命が期待できる。なお、第１の実施例
ではＦＰＣを用いた高周波プローブ（パッケージプロー
ブ）でも、２０ＧＨｚまでは測定が可能である。また、
第２の実施例によれば、固定ブロックの回転をプローブ
先端部と試料の圧着により行ない、プローブ先端部の傾
斜を変えることで測定時のプローブ先端部と試料の表面
を常に水平にすることができる。これによって、第１の
実施例と同様の効果が期待できる。
【００２５】よって、本発明によれば、簡単な構成で高
周波プローブの先端部の平行度の調整工程を省くと共
に、両者の平行度を保って確実に測定用端子を試料に接
触させて常時正確な測定データを求めることができ、し
かも均一な接触圧で接点を接触させて故障の無い長寿命
な高周波プローブの構造を提供することができる。
周波プローブの先端部の平行度の調整工程を省くと共
に、両者の平行度を保って確実に測定用端子を試料に接
触させて常時正確な測定データを求めることができ、し
かも均一な接触圧で接点を接触させて故障の無い長寿命
な高周波プローブの構造を提供することができる。
【００】
【図１】この発明の実施例１のプローブの構成を示す側
面図である。
面図である。
【図２】この発明の実施例１のプローブの動作を示す正
面図である。
面図である。
【図３】この発明の実施例２の取付アームの要部の構成
を示す側面図である。
を示す側面図である。
【図４】この発明の実施例２の取付アームの概略構成を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図５】この発明の実施例２のプローブの動作を示す正
面図である。
面図である。
【図６】従来装置のプローブの構成を示す側面図であ
る。
る。
【図７】従来装置の取付アームの構成を示す正面図であ
る。
る。
【図８】従来装置の動作を示す正面図である。
１ 高周波コネクタ ２ 取付ブロック ３ マイクロ波吸収体 ４ アルミナ基板 ５ 測定用端子 ６ 取付孔 ７ 接続部 ８ 取付アーム（取付手段） ９ 傾き調整部 ９ａ 傾き調整ブロック ９ｂ 傾き調整ブロック １０ 試料 １２ ブロック支持部 １３ スプリング １４ 固定ブロック １５ 回転軸（追随手段） １６ スプリング １７ ＦＰＣ １８ ガイド Ｐ 高周波プローブ Ｐ1 取付部 Ｐ2 先端部
Claims (3)
- 【請求項１】 先端部を突出させて取付部を支持手段に
片持ち梁形に取付けて、前記先端部に設けられたグラン
ド端子を含む複数の測定用端子を試料に接触させて取付
部に設けられた高周波コネクタから高周波電流を供給し
て、前記試料の電気的な特性を測定する高周波プローブ
において、 前記測定用端子を試料の接触面の傾斜に追随して変位さ
せる追随手段を設けたことを特徴とする高周波プローブ
の構造。 - 【請求項２】 前記追随手段として高周波プローブの先
端部と取付部との連結部に回転軸を設けたことを特徴と
する請求項１記載の高周波プローブの構造。 - 【請求項３】 前記追随手段として高周波プローブの取
付部と支持手段の連結部に回転軸を設けたことを特徴と
する請求項１記載の高周波プローブの構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10972095A JPH08304457A (ja) | 1995-05-08 | 1995-05-08 | 高周波プローブの構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10972095A JPH08304457A (ja) | 1995-05-08 | 1995-05-08 | 高周波プローブの構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08304457A true JPH08304457A (ja) | 1996-11-22 |
Family
ID=14517521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10972095A Pending JPH08304457A (ja) | 1995-05-08 | 1995-05-08 | 高周波プローブの構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08304457A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6310483B1 (en) | 1997-10-31 | 2001-10-30 | Nec Corporation | Longitudinal type high frequency probe for narrow pitched electrodes |
| JP2010505131A (ja) * | 2006-09-29 | 2010-02-18 | フォームファクター， インコーポレイテッド | 間接型平坦化の方法及び装置 |
| JP2012132777A (ja) * | 2010-12-21 | 2012-07-12 | Fujitsu Ltd | プローブ装置及びプローブ測定方法 |
-
1995
- 1995-05-08 JP JP10972095A patent/JPH08304457A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6310483B1 (en) | 1997-10-31 | 2001-10-30 | Nec Corporation | Longitudinal type high frequency probe for narrow pitched electrodes |
| JP2010505131A (ja) * | 2006-09-29 | 2010-02-18 | フォームファクター， インコーポレイテッド | 間接型平坦化の方法及び装置 |
| JP2012132777A (ja) * | 2010-12-21 | 2012-07-12 | Fujitsu Ltd | プローブ装置及びプローブ測定方法 |
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