JPH1031051A - 半導体装置測定用クランプ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は半導体装置のリード２５およびフラン
ジ２６を基台２２側に押し付ける半導体装置測定用のク
ランプ装置に関し、フランジ２６の歪みやフランジ２６
とリード２５との段差にばらつきがあっても一様の押圧
力で押えるようにする。 【解決手段】フランジ２６の面に倣うように鋼球４を介
してフランジ２６の並ぶ方向に旋回し得るエコライザ７
とスプリング５の反発力でリード２５を押さえるプロー
ブ６とをホルダ１に取付け、ホルダ１を下降させるだけ
でフランジ２６とリード２５を押えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、外郭体の両側面よ
り板状のフランジが突出しこのフランジと直交する方向
にパッケージ体から導出される信号入・出力用のリード
をもつ半導体装置の電気特性を測定するために前記リー
ドと前記フランジをストリップラインとアース導体に押
圧接触させる半導体装置測定用クランプ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図４は従来の半導体装置測定用クランプ
装置の一例を説明するための斜視図である。従来、この
種の半導体装置用クランプ装置は、例えば、図４に示す
ように、半導体装置２７のフランジ２６が入り込む上面
の溝２１ｃの両側にストリップライン基板２１ａ，２１
ｂが貼り付けられる導電性の基台２２と、基台２２に載
置された半導体装置２７のフランジ２６を溝底に押し付
けるフランジ押え部２３ｂとストリップライン２４ａ，
２４ｂにリード２５を押し付けるリード押え部２３ａを
有する押え板２３とを備えている。

【０００３】ストリップライン基板は誘電体であり、こ
の誘電体の表面に形成される導電性のストリップライン
２４ａ，２４ｂは定められたインピーダンスを有してい
る。また、押え板２３は、ばね性のある板部材から製作
され、基台２２にネジ止めすることにより、フランジ２
６を溝２１ｃの底面に押し付けるけると同時に撓んだ押
え板２３の反発力でリード２５をストリップライン２４
ａに押し付けて半導体装置２７の電気特性を測定してい
た。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の半導体
装置測定用クランプ装置では、半導体装置のフランジを
基台の溝底であるアース導体にネジ止めにより強固に固
定しアース強化及び放熱性は満足しているものの、リー
ドとフランジとの段差寸法のばらつきが大きくしかもフ
ランジ面とリード面とは平行とは限らず切らずある程度
の傾きがある。このため、押し付けるときに片当りした
りし接触圧が一様でないことが多々ある。また、リード
とフランジとの段差寸法が押え板の撓む範囲より狭くな
ると、リードとストリップラインとの接触が片当りのと
きと同じように悪くなる。そして、これら接触不良はイ
ンピーダンスの不整合を引き起し信号の反射が発生し測
定の結果、特性不良となる。また、逆に、押え板の撓む
範囲を超えると、リードとストリップラインとの接触圧
が過剰となり、ストリップラインの劣化を早めると同時
に特性測定の繰り返し再現性不良となる。さらに、この
押え板の中心であるリード押え部に荷重集中しやがては
押え板が疲労破壊してしまう。

【０００５】一方、この種の半導体装置は現状では少量
生産であるので、このような簡易なもので済むものの、
かかるクランプ装置では、入出力端子への測定子への接
触させるのに測定毎に取付ネジの取付け・取り外しを行
なわなければならず、作業性が悪いという欠点がある。
また、ネジ止め式のものは自動化対応に向いていないと
いう問題がある。

【０００６】従って、本発明の目的は、半導体装置の入
出力端子およびフランジのそれぞれを一定のインピーダ
ンスをもつストリップラインおよびアース導体に同時に
一様な接触圧て接触できるとともに自動化対応ができる
半導体装置測定用クランプ装置を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、半導体
装置の外郭体より導出される入出力端子をインピーダン
スの一定のストリップラインに押圧接触させる第１の押
圧部材と、前記入出力端子の伸びる方向と垂直に互に前
記半導体装置の外郭体から外方に延在する一対のフラン
ジをアース導体に押圧接触させる第２の押圧部材とを備
える半導体装置測定用クランプ装置において、前記入出
力端子および前記フランジに向けて上下動するホルダ
と、このホルダの穴に摺動する前記第１の押圧部材に反
発力を与えるスプリングと、前記フランジの並ぶ方向の
平面内を旋回自在に前記第２の押圧部材を前記ホルダに
連結する連結機構とを備える半導体装置測定用クランプ
装置である。

【０００８】また、前記連結機構が溝に嵌合する鋼球を
備えるか、あるいは前記第２の押圧部材の後端部の両側
の傾斜面と接触する一対の回転自在ピンを備えるか、も
しくは前記第２の押圧部材の中心を貫通し回転自在に前
記ホルダに取り付けられる軸を備えるかである。

【０００９】

【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。

【００１０】図１（ａ）〜（ｃ）は本発明の一実施の形
態における半導体装置測定用クランプ装置を説明するた
めの分解斜視図および断面図である。この半導体装置測
定用クランプ装置は、図１に示すように、基台２２に載
置される半導体装置２７のリード２５およびフランジ２
６に向けて上下動するとともに上部にカバー３と片側面
に側板２が取付けられるホルダ１と、このホルダ１の垂
直の方向の二つの穴８に摺動しホルダ１の下降に伴なっ
てリード２５をストリップライン２４ａ，２４ｂにスプ
リング５の反発力で押え込むプローブ６と、フランジ２
６の並ぶ方向の平面内を矢印に示すように自在に旋回し
得るように互のＶ溝９ａ，９ｂに嵌合される鋼球４を介
してホルダ１に連結されるとともにホルダ１の下降に伴
なって両端の突出部ａ，１０ｂで一対のフランジ２６を
基台２２の溝２１ｃの底面に押し付けるエコライザ７と
を備えている。

【００１１】半導体装置２７は基台２２であるアース導
体に加工された溝２１ｃにフランジ２６が入り込み載置
される。そして、この基台２２の上部に被着されたスト
リップライン基板２１ａ，２１ｂにはリード２５と接触
するストリップライン２４ａ，２４ｂが設けられてい
る。このストリップライン２４ａ，２４ｂにリード２５
を押し付けるプローブ６は、ホルダ１の穴８内を円滑に
摺動するように外形がシリンダ状の部分とその下はやや
平板状で先端がストリップライン２４ａと２４ｂとに十
分接触面積が得られるように形成されている。

【００１２】一方、フランジ２６を溝２１ｃの底に押し
付けるエコライザ７は、鋼球４を介してホルダ１に連結
され、すなわち、ピボット軸受のようにフランンジ２６
が並ぶ方向に旋回し得るようにかつこれと直角方向はホ
ルダ１の内壁と滑合するようにホルダ１のカバー３に連
結されている。従って、二つのフランジ２６の面が傾む
きにばらつきが有っても、このエコライザ７がフランジ
２６の面に倣って押え込むので、従来のように片当りの
ようなことが起こることなく一様な接触圧で押さえるこ
とができる。

【００１３】図２（ａ）〜（ｃ）は図１の半導体装置測
定用クランプ装置の一変形例を説明するための分解斜視
図および断面図である。この半導体装置測定用クランプ
装置におけるエコライザ７のホルダ１への取付け構造
は、図２に示すように、フランジ２６を押え込むときフ
ランジ２６の面の傾きに応じてエコライザ７を傾むけエ
コライザ７の両肩の傾斜部１２と回転しながら接触し押
圧力を与える二つの回転自在ピン１１を設けたことであ
る。

【００１４】すなわち、ホルダ１が下降し、エコライザ
７の突出部１０ａ，１０ｂが半導体装置２７のフランジ
２６に接触し、下降するにつれてフランジ２６の緬に倣
ってエコライザ７がいずれかに傾くと同時に回転自在ピ
ン１１がエコライザ７の傾斜部１２に接触しながら回転
する。これによりホルダ１の押圧力は回転自在ピン１１
を介してエコライザ７の突出部１０ａ，１０ｂに伝えら
れ、プローブ６はリード２５をスプリング５の反発力で
押える。

【００１５】図３は図１の半導体装置測定用クランプ装
置の他の変形例を説明するための分解斜視図である。こ
の半導体装置測定用クランプ装置におけるエコライザ７
のホルダ１への取付けは、図３に示すように、カバー３
の穴を貫通する空気シリンダのピストンロッド１３の取
付穴１４の穴１６に挿入されるジョイントピン１５で行
なわれている。

【００１６】このジョイントピン１５はエコライザ７の
穴１６とは精密に嵌合され、がたを生ずることなくエコ
ライザ７をフランジ２６の並ぶ方向に旋回できる。ま
た、図面には示していないが、ジョイントピン１５はエ
コライザ７の穴１６から抜けないように、エコライザ７
の両側面においてリテーナリングで止められている。そ
れ以外は図１と同じである。

【００１７】この空気シリンダのピストンロッド１３に
ジョイントピン１５を介してエコライザ７を取り付けれ
ば、空気シリンダのピストンロッド１３の下降によりエ
コライザ７がフランジ２６と接触し、さらに下降に伴な
いフランジ２６の面に倣いエコライザ７が傾くと同時に
プローブ６によりリード２５は一定の圧力でストリップ
ライン２４ａ，２４ｂに押し付けられる。

【００１８】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、半導体装
置のフランジをアース導体に押え込む押え部材に二つの
フランジがなす平面の傾きに倣うように旋回し得る機構
と押え部材の押え込む動作に伴なって半導体装置のリー
ドをストリップラインにばね圧で押え込むプローブとを
設けることによって、フランジの傾きやリードとフラン
ジとの段差寸法のばらつきがあっても、リードおよびフ
ランジへの押圧力を一定にでき、信頼性の高い測定でき
るという効果がある。荷重をフランジ押えの中心部に集
め左右に均一な分力を作ることにより、左右のフランジ
に均一に荷重を加えることを可能とした。また、フラン
ジ押え部材とリード押え部材と一つのホルダに取付ける
ことによって、単にホルダのみ上下動させるだけでクラ
ンプ動作が行なえるので、自動化し易いという効果もあ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態における半導体装置測定
用クランプ装置を説明するための分解斜視図および断面
図である。

【図２】図１の半導体装置測定用クランプ装置の一変形
例を説明するための分解斜視図および断面図である。

【図３】図１の半導体装置測定用クランプ装置の他の変
形例を説明するための分解斜視図である。

【図４】従来の半導体装置測定用クランプ装置の一例を
説明するための斜視図である。

【符号の説明】

１ ホルダ ２ 側板 ３ カバー ４ 鋼球 ５ スプリング ６ プローブ ７ エコライザ ８，１６ 穴 ９ａ，９ｂ Ｖ溝 １０ａ，１０ｂ 突出部 １１ 回転自在ピン １２ 傾斜部 １３ シリンダロッド １４ 取付穴 １５ ジョイントピン １６，１６ａ ホルダー ２１ａ，２１ｂ ストリップライン基板 ２２ 基台 ２３ａ リード押え部 ２３ｂ フランジ押え部 ２４ａ，２４ｂ ストリップライン ２５ リード ２６ フランジ ２７ 半導体装置

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体装置の外郭体より導出される入出
   力端子をインピーダンスの一定のストリップラインに押
   圧接触させる第１の押圧部材と、前記入出力端子の伸び
   る方向と垂直に互に前記半導体装置の外郭体から外方に
   延在する一対のフランジをアース導体に押圧接触させる
   第２の押圧部材とを備える半導体装置測定用クランプ装
   置において、前記入出力端子および前記フランジに向け
   て上下動するホルダと、このホルダの穴に摺動する前記
   第１の押圧部材に反発力を与えるスプリングと、前記フ
   ランジの並ぶ方向の平面内を旋回自在に前記第２の押圧
   部材を前記ホルダに連結する連結機構とを備えることを
   特徴とする半導体装置測定用クランプ装置。
2. 【請求項２】 前記連結機構が溝に嵌合する鋼球を備え
   ることを特徴とする請求項１記載の半導体装置測定用ク
   ランプ装置。
3. 【請求項３】 前記連結機構が前記第２の押圧部材の後
   端部の両側の傾斜面と接触する一対の回転自在ピンを備
   えることを特徴とする請求項１の半導体装置測定用クラ
   ンプ装置。
4. 【請求項４】 前記連結機構が前記第２の押圧部材の中
   心を貫通し回転自在に前記ホルダに取り付けられる軸を
   備えることを特徴とする請求項１記載の半導体装置測定
   用クランプ装置。