JPH0356862A - 検査装置及びそれに使用される接触端子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、検査技術に関し、特に被検査部品の被検査端
子を検査装置に接続された接触端子に接触させる検査装
置及びそれに使用される接触端子に適用して有効な技術
に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、Ｐ　Ｃ　Ｂ　（　Ｐ　ｒｉｎｔｅｄ　Ｃ　ｉｒｃ
ｕｉｔ　Ｂ　ｏａｒｄ：プリント配線基板）に配線を介
して接続されたソケットに半導体装置の外部ピン或いは
外部リードを挿入し、このプリント配線基板の所定の位
置に設けられた被検査端子を、検査装置の検査用ボード
に取り付けられた接触端子（以下ポゴピンという）に接
触させることによって，前記半導体装置に対する種々の
電気的特性試験を行なっている。

前記プリント配線基板には、１乃至複数個の半導体装置
が搭載される。前記プリント配線基板には、種々の半導
体装置の外部端子（ピン或いはリード）の配置に対応し
た接続コネクタを有するソケットが接続されている。

前記ソケットと前記プリント配線基板とは、例えば同軸
ケーブルで接続されている。前記同軸ケーブルは、前記
プリント配線基板の端子と接続されている。この端子は
，プリント配線基板内に設けられた内部配線を介して、
前記プリント配ｗＡ基板の前記同軸ケーブルが接続され
る面と反対側の面にある前記被検査端子と接続されてい
る。

前記検査用ボードのボゴビンは、前記プリント配線基板
の被検査端子と接触する接触子とこの接触子を支持する
支持体とで構或されている。

前記ポゴビンの接触子は，前記プリント配線基板の被検
査端子と接触する部分（頭部）が球形状に構成されてい
る．前記支持体は、バネを介して前記接触子に連結され
，この支持体は、前記検査用ボードに固着されている。

このように、前記検査用ボードのボゴビンの接触子の頭
部を球形状にし、前記接触子と前記支持体とをバネで連
結したことにより，電気的特性試験時、検査用ボードに
対して前記プリント配線基板に傾きがあった場合にも、
プリント配線基板の被検査端子と検査用ボードのポゴピ
ンの接触子との接触を確保することができる。

前記電気的特性試験時、前記プリント配線基板と前記検
査用ボードとは、例えば、クランプ治具によって固定さ
れている。前記検査用ボードのポゴビンと前記検査装置
とは、例えば同軸ケーブルを介して接続されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、本発明者は、前記従来技術を検討した結
果、以下のような問題点を見出した。

前記電気的特性試験時、前記検査用ボードのポゴビンの
接触子と前記プリント配線基板の被検査端子との接触は
、前記接触子の頭部を球形状に構或しているので一点で
の接触になり、前記接触子と前記被検査端子との接触抵
抗値が大きくなる。

この接触抵抗値の増大によって、信号伝送遅延が発生し
、検査装置で検出される信号に反射やリンキングが発生
し、試験精度が低下するという問題があった。

また、前記検査用ボードにプリント配線基板をクランブ
治具で取り付ける際に．前記接触子がバネにより可動す
る方向と直交する横方向の力がかかり、前記ボゴピンが
曲がったり、折れたりするという問題があった。

本発明の目的は、被検査部品の被検査端子を検査装置に
接続された接触端子に接触させる検査装ｒｔにおいて，
試験精度を向上することが可能な技術を提供することに
ある。

本発明の他の目的は、前記試験装置において使用される
接触端子の損傷や破壊を防止することが可能な技術を提
供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、水
明ＭＪ書の記述及び添付図面によって明らかになるであ
ろう。

〔課題を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち，代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、以下のとおりである。

（１）検査装置に接続された接触端子に被検査部品の被
検査端子を接触させる検査装置において，前記接触端子
を、前記被検査部品の被検査端子面に線接触又は面接触
する接触子と、前記被検査端子面と平行な方向及び垂直
な方向に可動できる可動機構を介して前記接触子を支持
する支持体とで構或する。

（２）検査装置に接続された接触端子に被検査部品の被
検査端子を接触させる検査装置に使用される接触端子に
おいて、前記接触端子を、前記被検査部品の被検査端子
面に線接触又は面接触する接触子と、前記被検査端子面
と平行な方向及び垂直な方向に可動できる可動機構を介
して前記接触子を支持する支持体とで構成する。

〔作　　用〕

前述した手段（１）又は（２）によれば、前記接触端子
の接触子と被検査部品の被検査端子との接触は、線接触
又は面接触になるので、接触子と被検査端子との接触抵
抗値は低減される。この接触抵抗値の低減によって、信
号伝送遅延は低減され、検査装置で検出される信号に反
射やリンキングは発生しなくなり、試験精度を向上する
ことができる。

また，被検査部品に傾きがある場合にも，接触端子の接
触子は被検査部品の被検査面と平行な方向及び垂直な方
向に可動できるので、クランプ冶具で被検査部品を取り
付ける際に、前記検査部品の被検査端子面と平行な横方
向の力が接触端子に加っても、前記接触端子の損傷や破
壊を防止することができる。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を図面を用いて具体的に説明する
． なお、実施例を説明するための全回において、同一機能
を有するものは，同一符号を付け，その繰り返しの説明
は省略する． ［実施例■］ 本発明の実施例Ｉの検査装置を、第２図（全体構或の概
略を示す図）を用いて説明する。

第２図に示すように，実施例目の検査装置は５検査装置
本体（テスター本体）１５、同軸ケーブル１６、検査用
ボード（テストヘッド又はマザーボード）１７、ボゴピ
ン（接触端子）１等を備えている。

前記検査用ボードｌ７には、ボゴピン１の端子部９が挿
入され、はんだｌ９によって固定されている。

前記検査用ボード１７と前記検査装置本体１５との間は
、同軸ケーブルｌ６によって接続されている。前記同軸
ケーブル１６の前記検査用ボード１７側は、はんだ１９
によって前記検査用ボード１７に固定されている．この
同軸ケーブルｌ６の前記検査用ボード１７側と前記ポゴ
ピンｌの端子部９との間は，配線１８によって接続され
ている。前記配線１８は、前記検査用ボードｌ７の表面
に設けられている。

検査される半導体装置２０の外部ビン又は外部リード２
１は、ソケット２２に挿入されている。このソケット２
２には、同軸ケーブル２３の一端が接続されている．こ
の同軸ケーブル２３の他端は、プリント配線基板２４の
端子２５と接続されている。前記プリント配線基板２４
の前記端子２５が設けられている面と反対側の面には、
前記ポゴピン１の接触子２と接触される被検査端子２７
が設けられている。前記端子２５とこの被検査端子２７
との間は，プリント配線基板２４の内部に形威された内
部配線２６によって接続されている。

このように構成されるプリント配線基板２４の被接検査
端子２７と、前記検査装置のポゴピン１の接触子２とを
接触させることによって、前記半導体装置２００）試験
を行なう。なお、図示しないが、電気的特性試験時，プ
リント配線基板２４は、前記検査用ボード１７に、例え
ばクランプ治具で固定される。

次に、前記ポゴピン１の概略構或を、第ｌ図（斜視図）
を用いて説明する。

第１図に示すように、実施例■のポゴピン１は，接触子
２、可動軸４、支持部材５（ａ−ｃ）、凹状体６，弾性
部材（例えばバネ）８、端子部９、枠体１０等を備えて
いる． 前記枠体ｌＯは円筒（中空体）であり、その一端は球状
に構成され、その他端は閉じている。前記枠体１０の前
記球状に構威された側には、貫通孔１１が設けられてい
る。

前記接触子２は、電気伝導性が良い材料、例えば銅、銅
合金、Ｆｅ合金等で構成されている。前記接触子２の前
記被検査端子２７と接触する面は，平面に構成されてい
る。従って，前記接触子２と前記被検査端子２７との接
触は、面接触になる。前記接触子２には、貫通孔３が設
けられている。前記貫通孔３には、前記可動軸４が通さ
れる。前記接触子２は、前記可動軸４を中心として所定
の角度回転可能になっている。前記接触子２と前記可動
軸４との接触は、線接触になっている。また、前記貫通
孔３及び前記可動軸４の加工精度を良くするか，或いは
、前記貫通孔３と前記可動軸４との間の隙間を流動性導
電材料で充填すれば，貫通孔３と可動軸４との接触は面
接触になる。

前記可動軸４は、電気伝導性が良い材料、例えば銅で構
威されている。前記可動軸４の両端は、前記接触子２の
貢通孔３よりも突出している。この可動軸４の両端の突
出した部分は、前記支持部材５のコの字形部５ａに固定
されて又は可動できるように支持されている。前記支持
部材５のコの字形部５ａは、電気伝導性が良い材料、例
えば銅で構威されている。

前記支持部材５の前記接触子２側と反対の側には、球体
５ｃが設けられている。この球体５ｃは、前記枠体１０
内に設けられている。この球体５ｃと前記コの字形部５
ａとは、円柱状の連結部５ｂを介して固定されている．
この連結部５ｂは、前記枠体ｌＯの貫通孔１１を貫通し
ている。前記貫通孔！１と前記連結部５ｂとの間には、
前記連結部５ｂが前後左右に可動できる隙間がある。

前記球体５ｃは、前記枠体ｌＯ内において，前記凹状体
６によって支えられている。前記凹状体６には、凹部７
が設けられている．この四部７内に、前記球体５ｃの一
部が入り込んでいる。従って、前記球体５ｃは、図中Ａ
で示す方向に自由に回転することができる。また、図中
Ｄで示す方向と直交するＢ，Ｃ方向の夫々に、前記枠体
１ｏの貫通孔１１で周囲を規定された領域内において前
記連結部５ｂが傾斜することができる範囲に対応して、
前記球体５ｃは回転することができる。この凹部７の前
記球体５ｃと接触する部分の直径は、前記球体６ｃの直
径よりも小さくなっている。従って、前記球体５ｃと前
記凹状体６とは、線接触している。また、前記凹状体６
の凹部７の前記球体５ｃと接触する部分の直径を、前記
球体５ｃの直径とほぼ同一に構成することで、前記球体
５ｃと凹部７とを面接触にすることができる．この場合
には、前記凹部７と前記球体５ｃの加工精度を良くする
必要がある。また、前記凹部７と前記球体５ｃとの間を
流動性導電材料で充填することで、前記凹部７と前記球
体５ｃとの接触を面接触にしても良い。

前記凹状体６は、前記枠体１ｏの円筒内において、摺動
するように構成されている。前記凹状体６の前記球体５
ｃと接する面と反対側の面には，前記弾性部材（例えば
コイルバネ）８の一端が接続されている。前記弾性部材
８の他端は、前記枠体ｌＯの底面側に設けられた端子部
９に電気的に接続されている。前記弾性部材８は、前記
枠体１０の円筒内での前記凹状体６の摺動と弾性部材８
自体の伸縮作用により、前記接触子２を弥性部材８の摺
動する方向（図中Ｄで示す方向）に可動することができ
る。また、前記弾性部材８は、ある程度の断面積を持っ
ているので、凹状体６と端子部９との間は点接触になら
ない。この端子部９は、前述したように、前記検査用ボ
ード１７に取り付けられる。

以上説明したように、本実施例■によれば，検査装置に
接続されたボゴピン（接触端子）１に半導体装置２０を
搭載したプリント配線基板２４の被検査端子２７を接触
させる検査装置において、前記ボゴピン１を，前記プリ
ント配線基板２４の被検査端子２７面に面接触する接触
子２と、前記被検査端子２７面と平行な方向及び垂直な
方向に可動できる可動｛幾構（３．４．５　ａ，５ｂ，
５ｃ，Ｅｉ，８）を介して前記接触子２を支持する支持
体（１０．９）とで構成する。

この構或により、前記ポゴピン１の接触子２とプリント
配線基板２４の被検査端子２７との接触は、面接触にな
るので、接触子２と被検査端子２７とが接触する部分で
の接触抵抗値は低減される。また，ポゴピン１の接触子
２から端子部９までの各部材の接触は線接触以上になり
、この間の抵抗値は低減される．この接触抵抗値の低減
によって，信号伝送遅延は低減され、検査装置で検出さ
れる信号に反射やリンキングは発生しなくなり、電気的
特性試験精度を向上することができる。

また、前記プリント配線基板２４に傾きがある場合にも
，ポゴピン１の接触子２はプリント配線基板２４の被検
査端子２７面と平行な方向及び垂直な方向に可動できる
ので、クランプ治具で検査用ボードｌ７にプリント基抜
２４を取り付ける際に、被検査端子２７面に平行な横方
向のカがポゴビン１の接触子２にかかっても、接触子２
は被検査端子２７面に平行な方向に可動し，ボゴピン１
が曲ったり、折れたりすること（損傷、破壊）を防止す
ることができる． ［実施例■コ 次に、本発明の実施例Ｈのボゴピンの構成を、第３図（
第１図のｍ　−　ｍ線で切った断面に相当する、要部断
面図）を用いて説明する。

第３図に示すように、実施例Ｈのボゴピン１は、前記実
施例■のボゴピン１において、接触子２の支持部材５と
接続される面に球状の凹部３１を設け、支持部材５の連
結部５ｂの接触子２側を球状部３０とし，この連結部５
ｂの球状部３０と前記接触子２の球状の凹部３１を嵌合
させるようにしたものである。

実施例■の構成によれば、前記ポゴピン１は、前記実施
例Ｉと同様な効果を奏することができると共に、前記実
施例■よりも接触子２の傾斜、回転の自由度を大きくす
ることができる。

［実施例■］ 次に，本発明の実施例■のポゴピンを、第４図（第１図
の矢印■で示す方向から見た側面に相当する、要部側面
図）を用いて説明する。

第４図に示すように，実施例■のポゴピン１は，前記実
施例■のポゴピン１において、接触子２の被検査端子２
７と接する面を、クラウン状に構成したものである。

実施例■の構成によれば，前記プリント配線基板２４の
被検査端子２７の表面に多少の凹凸やうねりがあった場
合にも、前記プリント配線基板２４の被検査端子２７と
前記ポゴビン１の接触子２との接触を多点接触にするこ
とができるので、接触抵抗値を低減することができる。

また、本発明は、前記実施例Ｉ，Ｈの夫々のボゴピン１
を、前記クラウン状の表面を有する接触子２で構或する
こともできる。

以上，本発明を実施例にもとづき具体的に説明したが、
本発明は，前記実施例に限定されるものではなく，その
要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であること
は言うまでもない。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりであ
る。

被検査部品の被検査端子を検査装置に接続された接触端
子（ポゴピン）に接触させる検査装置において、試験精
度を向上することができる。

また、前記検査装置で使用される接触端子（ボゴピン）
において、前記接触端子の損傷、破壊を防止することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例Ｉのボゴピンの概略構成を示
す斜視図、 第２図は、本発明の実施例Ｉの検査装置の概略構或を示
す図、 第３図は、本発明の実施例Ｈのポゴピンの要部断面図、 第４図は、本発明の実施例■のポゴピンの要部側面図で
ある。 図中，１・・・ポゴピン，２・・・接触子、４・・・可
動軸、３，ｌ１・・・貫通孔、５・・・支持部材、６・
・凹状体，７・凹部、８・・・弾性部材、９・・・端子
部、１０・・枠体である。 第１図 第２図 第３図 １ 第４図 １

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、検査装置に接続された接触端子に被検査部品の被検
   査端子を接触させる検査装置において、前記接触端子を
   、前記被検査部品の被検査端子面に線接触又は面接触す
   る接触子と、該接触子を前記被検査端子面と平行な方向
   及び垂直な方向に可動できる可動機構を介して支持する
   支持体とで構成したことを特徴とする検査装置。 ２、前記可動機構は、前記接触子の前記被検査端子と接
   触する側と反対側に該接触子に回転自在に取り付けられ
   た球体と、該球体を支持する、該球体と接する部分の直
   径が前記球体よりも小さい凹状体と、該凹状体と前記支
   持体との間に設けられた弾性部材とで構成されたことを
   特徴とする請求項１に記載の検査装置。 ３、検査装置に接続された接触端子に被検査部品の被検
   査端子を接触させる検査装置に使用される接触端子にお
   いて、該接触端子を、前記被検査部品の被検査端子面に
   線接触又は面接触する接触子と、該接触子を前記被検査
   端子面と平行な方向及び垂直な方向に可動できる可動機
   構を介して支持する支持体とで構成したことを特徴とす
   る接触端子。