JPS62233776A - 電気特性測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ガラス．セラミック，ガラスエポキシ基板な
どに形成された，薄膜回路パターンの出力端子部から抵
抗値等電気特性を検査する電気特性測定装置に関するも
のである。

従来の技術 従来、この種の微細なピッチ間隔（１００ミクロン前後
）を有する端子パターンを測定する場合の多点プローブ
接点を使って上下及びステップ移動動作をさせて、ワン
ステップ毎に一括測定を行っていた。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、端子パターンのピッチ精度，プローブ接
点のピッチ精度．測定時のステ・ツブ移動送りの累積精
度のいずれかが狂えば端子と接点がずれることになり、
安定した測定を維持するのが難しかった。又プローブ接
点は、高価であるばかりでなく、先端が破損しやすいた
め、維持管理が難しく取り扱いには非常に注意を払う必
要があった。又接点と端子パターンの表面酸化物等の異
物を取り除く相互クリーニング効果が弱く、測定値のバ
ラツキが生ずるなど多くの問題点を持っていた。

問題点を解決するための手段 本発明はこれらの問題点を解決するもので．測定基板の
表面に一定の針圧をかけるように構成された一本又は複
数本の針状接点と、測定基板ホールト゛用ステージｔｈ
斤ｈ−　１９＋諸＄Ｐ８占ネ介は澗宇某板のいずれか一
方を動かせて測定基板の表面を掻きながら測定するよう
に構成したものである。

作用 上記のように、一本又は必要に応じて複数本の針状接点
を測定基板上に連続掻行させることにより、端子パター
ンピッチ精度、接点精度、送シ精度等に無関係に測定が
可能になる。又針状接点は超硬などの耐摩耗性のある導
電性針を使えばよく、費用は高価なプローブ接点と比す
べくもない。さらに測定基板表面を接点が連続掻行する
ため各端子全幅に渡って新しい露出面を接することがで
き、各端子を操行１適過する間に１００回程鹿の測定を
行って、その最低値をとれば接触抵抗の一番少ない値と
考えられ、真値に漸近する可能性を従来方式より大幅に
増やすことができるため、バラツキのない安定した測定
結果を得ることができる。

実施例 以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。

図面において、１０はペース部であり、このベース部１
０には支柱１１が立設され、この支柱１１には上下スラ
イドブロック６が上下動可能に組込まれている。この上
下スライドブロック６の前面には可動アーム５が支軸１
２を中心にして回動可能に取付けられており、この可動
アーム５の先端にはバネ３によって反時計方向に回動付
勢される揺動レバー４が枢着されておυ、この揺動レバ
ー４には針状接点２が取付けられている。また。

この針状接点２の近くにはクリーニングメカ８が設けら
れている。

上記可動アーム６の下方にはＸＴＯテーブル７が設けら
れ、このＸＹＯテーブルＴ上には測定基板１が真空吸着
などによって保持される。この測定基板１の一端にはコ
モン接点９が接触するようになっている。

このような構成で、その動作は以下のようになる。

測定基板１は投入位置でＸＹＯテーブル７の上に真空吸
着されると同時に、コモン接点９が測定基板１上のコモ
ン端子に接融し電気的な導通が確保される。ＸＹＯテー
ブル７により測定基板１は手動、又はパターン認識など
の操作により針状接点２の真下の測定初期位置まで移動
し、続いて上下スライドプロワクロに保持された可動ア
ーム６が上下スライドプロリフ６と共に下降し、可動ア
ーム５の先端に設置された一定針圧をかけるためのバネ
３を内蔵した揺動レバー４及び先端に固定された針状接
点２が下降する。針状接点２が測定基板１の端子パター
ンに着地した後、ｘＹＯテーブル７を針状接点２が見か
゛け上端子パターン列を横切る方向に走行させて、結果
的に端子パターン列を掻きながら測定する。揺動レバー
４は端子パターンの微小凹凸を、可動アーム５は大きな
うねりを吸収する目的で設置されている。そのため接点
系の質量はできるだけ小さくするのが望ましい。

また針状接点２の針圧は端子パターンピッチ、パターン
材料強度によって異なるが、−搬的に数グラムが良いこ
とが実用上確認されている。測定開始信号は、針状接点
２が端子に接触したことによる導通信号と、サーボモー
タードライバーに与える厭晰用パルスイ貢号（□□□子
イは置に対広六オＡことができるため測定スタート信号
として使うことができる）と併用している。これは針状
接点２によって削られた導伝性異物が針状接点２の先に
付着すると、接触時の導通信号が安定して採れない場合
があるからである。またサーボモータードライバー駆動
用パルス信号のみでも端子パターンピッチ精度がよくな
い場合、測定スタートと針状接点２と端子の接触タイミ
ングがずれてくるからである。測定スタート後ひとつの
端子を操行通過する間に１００回程鹿の測定を行い信頼
性を高めている。予め設定された端子数まで行うと測定
が終了し、針状接点２は上下スライドプロワクｅにより
上昇し、測定基板１が投入位置に復帰すると共に、クリ
ーニングメカ８により針状接点２の先端はクリーニング
される。最後に測定基板１の取り出し投入を行い、以下
同じ動作を繰シ返すことができる。

発明の効果 以上のように本発明により、比較的安い接点で安定した
測定値を得ることができると共に、針状接点のスタート
位置さえ決めれば、測定途中の接点位置と端子の位置関
係を常時監視する必要がなく、設備自体も安価でシンプ
ルなものとすることができ、従来方式のプローブ接点と
比べて能率、価格、必要人員等のトータルコストも半分
以下にすることができる。

又、この方法は抵抗値のみならず、種々の特性を測るこ
とができ応用は広い。測定時間は走行速度により、いか
ようにも調整することができ、必要があれば端子上で止
めることもでき、コイル。

コンデンサ測定等にも対応することができる用途の広い
ものである。

【図面の簡単な説明】

図ｆは本発明の電気特性測定装置の一実施例の斜視図で
ある。 １・・・・・・測定基板、２・・・・・・針状接点、３
・・・・・・バネ、４・・・・・・揺動レバー、６・・
・・・・可動アーム、６・・・・・・上下スライドフ゛
ロック、了・・・・・・ＸＹＯテーフ゛ル、８・・・・
・・クリーニングメカ、９・・・・・・コモン接点。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 測定基板の表面に一定の針圧をかけるように構成された
   針状接点と、測定基板ホールド用ＸＹＯテーブルよりな
   り、針状接点を測定基板に接触させ、針状接点または測
   定基板のいずれかを動かして測定基板の表面を掻きなが
   ら測定基板の電気特性を測ることを特徴とする電気特性
   測定装置。