JPS61164270U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61164270U JPS61164270U JP4878085U JP4878085U JPS61164270U JP S61164270 U JPS61164270 U JP S61164270U JP 4878085 U JP4878085 U JP 4878085U JP 4878085 U JP4878085 U JP 4878085U JP S61164270 U JPS61164270 U JP S61164270U
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- JP
- Japan
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- magnetic field
- sputtering
- target
- magnet
- magnetic
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- Pending
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 12
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 11
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例であるマグネトロン
型スパツタ装置の概略を示す構成図である。第２
図は第１図の装置において磁界発生装置上に取り
付けられたターゲツトの一部を切り欠いた平面図
である。第３図は第２図における―視断面図
である。第４図は第３図の部分拡大図である。第
５図は従来のマグネトロン型スパツタ装置の一例
を示す部分断面図であつて、第４図に相当する図
である。第６図は本考案の他の実施例に用いられ
る電磁石の平面図である。 ３４：ターゲツト、３８：永久磁石（磁界発生
装置）、４２，４４：磁極、５０：永久磁石、５
８：スパツタ面、６２：電磁石。
型スパツタ装置の概略を示す構成図である。第２
図は第１図の装置において磁界発生装置上に取り
付けられたターゲツトの一部を切り欠いた平面図
である。第３図は第２図における―視断面図
である。第４図は第３図の部分拡大図である。第
５図は従来のマグネトロン型スパツタ装置の一例
を示す部分断面図であつて、第４図に相当する図
である。第６図は本考案の他の実施例に用いられ
る電磁石の平面図である。 ３４：ターゲツト、３８：永久磁石（磁界発生
装置）、４２，４４：磁極、５０：永久磁石、５
８：スパツタ面、６２：電磁石。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 強磁性体材料から成るターゲツトのスパツ
タ面と反対側に設けられ、該スパツタ面に磁力線
がトンネル状となる磁界を漏れ磁束により形成す
る磁界発生装置を備え、該スパツタ面に高エネル
ギーのイオンを激突させることにより前記ターゲ
ツトを構成する物質をスパツタさせるマグネトロ
ン型スパツタ装置において、 前記磁界発生装置の対を成す磁極間に、それら
の磁極によつて形成される磁界の向きと逆方向の
磁界を形成する磁石を設け、前記ターゲツト面上
に形成される磁界の強度分布を平滑化したことを
特徴とするマグネトロン型スパツタ装置。 (2) 前記磁石が永久磁石であり、且つその永久
磁石が前記ターゲツトに対して接近可能に設けら
れている実用新案登録請求の範囲第(1)項に記載
のマグネトロン型スパツタ装置。 (3) 前記磁石が電磁石であり、且つその電磁石
の励磁電流の大きさが調節可能とされている実用
新案登録請求の範囲第(1)項に記載のマグネトロ
ン型スパツタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4878085U JPS61164270U (ja) | 1985-04-02 | 1985-04-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4878085U JPS61164270U (ja) | 1985-04-02 | 1985-04-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61164270U true JPS61164270U (ja) | 1986-10-11 |
Family
ID=30565357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4878085U Pending JPS61164270U (ja) | 1985-04-02 | 1985-04-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61164270U (ja) |
-
1985
- 1985-04-02 JP JP4878085U patent/JPS61164270U/ja active Pending
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