JPS61199568U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61199568U JPS61199568U JP8407985U JP8407985U JPS61199568U JP S61199568 U JPS61199568 U JP S61199568U JP 8407985 U JP8407985 U JP 8407985U JP 8407985 U JP8407985 U JP 8407985U JP S61199568 U JPS61199568 U JP S61199568U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- annular
- magnetic field
- magnet
- magnets
- target
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例であるマグネトロン
型スパツタ装置のターゲツト取付部分を示す一部
を切り欠いた平面図である。第２図は第１図にお
ける―視断面拡大図である。第３図は本考案
の効果を具体的に明らかにするための一実験例を
説明する図で、４本の永久磁石のうちの１本を他
の永久磁石から離隔して配設した平面図である。
第４図は第３図の永久磁石の正面図である。第５
図は、第３図の永久磁石により形成される磁界の
磁束密度を測定した結果を、第６図および第７図
に示すように４本の永久磁石を等間隔に配設した
場合における磁束密度の測定結果と共に示すグラ
フである。第６図は本考案との比較のために行つ
た一実験例を説明する図で、４本の永久磁石を等
間隔で配設した平面図である。第７図は第６図の
永久磁石の正面図である。 １０…ターゲツト、１６…スパツタ面、１８…
磁界発生装置、２２…中心磁石、２４…環状磁石
（第二環状磁石）、２６…環状磁石（第一環状磁
石）、ｄ１，ｄ２…間隙。
型スパツタ装置のターゲツト取付部分を示す一部
を切り欠いた平面図である。第２図は第１図にお
ける―視断面拡大図である。第３図は本考案
の効果を具体的に明らかにするための一実験例を
説明する図で、４本の永久磁石のうちの１本を他
の永久磁石から離隔して配設した平面図である。
第４図は第３図の永久磁石の正面図である。第５
図は、第３図の永久磁石により形成される磁界の
磁束密度を測定した結果を、第６図および第７図
に示すように４本の永久磁石を等間隔に配設した
場合における磁束密度の測定結果と共に示すグラ
フである。第６図は本考案との比較のために行つ
た一実験例を説明する図で、４本の永久磁石を等
間隔で配設した平面図である。第７図は第６図の
永久磁石の正面図である。 １０…ターゲツト、１６…スパツタ面、１８…
磁界発生装置、２２…中心磁石、２４…環状磁石
（第二環状磁石）、２６…環状磁石（第一環状磁
石）、ｄ１，ｄ２…間隙。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 中心磁石と、該中心磁石の外周側にそれぞれ所
定の間隙を隔てて配設された複数の環状磁石とを
有する磁界発生装置を備え、該磁界発生装置によ
りターゲツトのスパツタ面に磁力線がトンネル状
となる磁界を形成するとともに、該スパツタ面に
高エネルギーのイオンを激突させて前記ターゲツ
トを構成する物質をスパツタさせるマグネロン型
スパツタ装置において、 前記複数の環状磁石のうち最外周部に位置する
第一環状磁石と、該第一環状磁石の内側に隣接し
て位置する第二環状磁石との間の間隙を、他の磁
石間の間隔よりも大きくしたことを特徴とするマ
グネトロン型スパツタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8407985U JPS61199568U (ja) | 1985-06-04 | 1985-06-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8407985U JPS61199568U (ja) | 1985-06-04 | 1985-06-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61199568U true JPS61199568U (ja) | 1986-12-13 |
Family
ID=30633275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8407985U Pending JPS61199568U (ja) | 1985-06-04 | 1985-06-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61199568U (ja) |
-
1985
- 1985-06-04 JP JP8407985U patent/JPS61199568U/ja active Pending
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