JPS6379606U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6379606U JPS6379606U JP17367886U JP17367886U JPS6379606U JP S6379606 U JPS6379606 U JP S6379606U JP 17367886 U JP17367886 U JP 17367886U JP 17367886 U JP17367886 U JP 17367886U JP S6379606 U JPS6379606 U JP S6379606U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- generating device
- magnet
- field generating
- magnets
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例である磁界発生装置
を備えたマグネトロン型スパツタ装置のターゲツ
ト取付部分を示す一部を切り欠いた平面図である
。第２図は第１図における―断面図である。
第３図および第４図はそれぞれ本考案の磁界発生
装置によつて形成される磁界の磁束密度を測定し
た結果の一例を説明する図である。 １０：ターゲツト（プレート）、１６：スパツ
タ面（上面）、１８：磁界発生装置、２２：中心
磁石、２４：環状磁石。
を備えたマグネトロン型スパツタ装置のターゲツ
ト取付部分を示す一部を切り欠いた平面図である
。第２図は第１図における―断面図である。
第３図および第４図はそれぞれ本考案の磁界発生
装置によつて形成される磁界の磁束密度を測定し
た結果の一例を説明する図である。 １０：ターゲツト（プレート）、１６：スパツ
タ面（上面）、１８：磁界発生装置、２２：中心
磁石、２４：環状磁石。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 中心磁石と、該中心磁石の外周側に所定の
間隔を隔てて設けられた環状磁石とを備え、それ
等両磁石上に配設される平坦なプレートの上面に
トンネル状の磁力線が環状に連なる磁界を形成さ
せる磁界発生装置において、 前記中心磁石の高さ寸法を前記環状磁石の高さ
寸法よりも低くしたことを特徴とする磁界発生装
置。 (2) 前記両磁石の高さ寸法の差は６mm以内であ
る実用新案登録請求の範囲第１項に記載の磁界発
生装置。 (3) 前記プレートは、前記磁界を形成される上
面に高エネルギーのイオンが激突させられること
によつてスパツタリングを行うターゲツトである
実用新案登録請求の範囲第１項または第２項に記
載の磁界発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17367886U JPS6379606U (ja) | 1986-11-12 | 1986-11-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17367886U JPS6379606U (ja) | 1986-11-12 | 1986-11-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6379606U true JPS6379606U (ja) | 1988-05-26 |
Family
ID=31111368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17367886U Pending JPS6379606U (ja) | 1986-11-12 | 1986-11-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6379606U (ja) |
-
1986
- 1986-11-12 JP JP17367886U patent/JPS6379606U/ja active Pending