JPS6379608U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6379608U JPS6379608U JP17368086U JP17368086U JPS6379608U JP S6379608 U JPS6379608 U JP S6379608U JP 17368086 U JP17368086 U JP 17368086U JP 17368086 U JP17368086 U JP 17368086U JP S6379608 U JPS6379608 U JP S6379608U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- magnet
- magnetic
- generating device
- field generating
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 13
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例である磁界発生装置
を備えたマグネトロン型スパツタ装置のターゲツ
ト取付部分を示す一部を切り欠いた平面図である
。第２図は第１図における―断面図である。
第３図は本考案の他の実施例の要部を示す断面図
である。 １０：ターゲツト（磁界形成プレート）、１４
，５０：バツキングプレート、１６：スパツタ面
（上面）、１８：磁界発生装置、２２：中心磁石
、２４：環状磁石、３２：第１部材（強磁性体）
、３４：第２部材（強磁性体）、５２：強磁性体
。
を備えたマグネトロン型スパツタ装置のターゲツ
ト取付部分を示す一部を切り欠いた平面図である
。第２図は第１図における―断面図である。
第３図は本考案の他の実施例の要部を示す断面図
である。 １０：ターゲツト（磁界形成プレート）、１４
，５０：バツキングプレート、１６：スパツタ面
（上面）、１８：磁界発生装置、２２：中心磁石
、２４：環状磁石、３２：第１部材（強磁性体）
、３４：第２部材（強磁性体）、５２：強磁性体
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 中心磁石と、該中心磁石の外周側に所定の
間隔を隔てて設けられた環状磁石とを備え、該磁
石上に非磁性材料製のバツキングプレートを挾ん
で配設される強磁性材料から成る磁界形成プレー
トの上面に、漏れ磁束によつてトンネル状の磁力
線が環状に連なる磁界を形成させる磁界発生装置
において、 前記バツキングプレートの前記磁石の上端面と
対向する部分に透磁率の高い強磁性体を埋設した
ことを特徴とする磁界発生装置。 (2) 前記磁界形成プレートは、前記磁界が形成
される上面に高エネルギーのイオンが激突させら
れることによつてスパツタリングを行うターゲツ
トである実用新案登録請求の範囲第１項に記載の
磁界発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17368086U JPS6379608U (ja) | 1986-11-12 | 1986-11-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17368086U JPS6379608U (ja) | 1986-11-12 | 1986-11-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6379608U true JPS6379608U (ja) | 1988-05-26 |
Family
ID=31111372
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17368086U Pending JPS6379608U (ja) | 1986-11-12 | 1986-11-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6379608U (ja) |
-
1986
- 1986-11-12 JP JP17368086U patent/JPS6379608U/ja active Pending
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