JPS61156809A - 溶融物質の蒸気噴出装置 - Google Patents
溶融物質の蒸気噴出装置Info
- Publication number
- JPS61156809A JPS61156809A JP27542184A JP27542184A JPS61156809A JP S61156809 A JPS61156809 A JP S61156809A JP 27542184 A JP27542184 A JP 27542184A JP 27542184 A JP27542184 A JP 27542184A JP S61156809 A JPS61156809 A JP S61156809A
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- Japan
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- crucible
- substance
- shielding material
- vapor
- melted
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/02631—Physical deposition at reduced pressure, e.g. MBE, sputtering, evaporation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、溶融物質の蒸気を噴出孔から噴出させるよ
うにした溶融物質の蒸気噴出装置に関するものである。
うにした溶融物質の蒸気噴出装置に関するものである。
従来、物質を加熱してこれを蒸発させ、被蒸着材上に蒸
着させて薄膜を形成する真空蒸着では、特公昭５４−９
５９２号公報に示されているような蒸気噴出装置が使用
されていた。
着させて薄膜を形成する真空蒸着では、特公昭５４−９
５９２号公報に示されているような蒸気噴出装置が使用
されていた。
第３図において、１はるつぼ、２は該るつぼｌを囲繞し
たフィラメントからなる加熱手段、３はるつぼ１の蓋、
３ａは噴出孔である。
たフィラメントからなる加熱手段、３はるつぼ１の蓋、
３ａは噴出孔である。
この装置では、るつぼ１内に収容した物質を加熱手段２
で極めて高温度に加熱すると、るつぼ１内に発生した蒸
気はるつぼ１内の圧力を高め、噴出孔３ａから噴出され
る。
で極めて高温度に加熱すると、るつぼ１内に発生した蒸
気はるつぼ１内の圧力を高め、噴出孔３ａから噴出され
る。
しかるに、従来の装置は以上のように構成されているの
で、噴出孔３ａから蒸気が噴出する場合、溶融物質が突
沸した際に噴出孔３ａに固着して、孔径を狭めたり、孔
の形状を変えてしまい、＊ｍ蒸着装置に使用した場合、
所要の蒸着特性が得られなくなるという欠点があった。
で、噴出孔３ａから蒸気が噴出する場合、溶融物質が突
沸した際に噴出孔３ａに固着して、孔径を狭めたり、孔
の形状を変えてしまい、＊ｍ蒸着装置に使用した場合、
所要の蒸着特性が得られなくなるという欠点があった。
この発明は上記従来のものの欠点を解消するためになさ
れたもので、るつぼの噴出孔の変形を防止できる溶融物
質の蒸気噴出装置を提供するものである。
れたもので、るつぼの噴出孔の変形を防止できる溶融物
質の蒸気噴出装置を提供するものである。
この発明に係る溶融物質の蒸気噴出装置は、熔融物質の
収容部の上方にるつぼの噴出孔と対向して遮蔽材を設け
たものである。
収容部の上方にるつぼの噴出孔と対向して遮蔽材を設け
たものである。
この発明においては、溶融物質の収容部の上方にるつぼ
の噴出孔と対向して遮蔽材を設けたから、突沸した溶融
物質はこの遮蔽材にさえぎられて噴出孔に到達しなくな
る。
の噴出孔と対向して遮蔽材を設けたから、突沸した溶融
物質はこの遮蔽材にさえぎられて噴出孔に到達しなくな
る。
以下、本発明の一実施例を図について説明する。
第１図はこの発明の一実施例における溶融物質の蒸気噴
出装置である。第１図において、第３図と同一符号は同
−又は相当部分を示し、４は噴出孔３ａと対向して配置
された遮蔽材であり、これは熔融物質の収容部１ａの上
方のるつぼ内壁段部１ｂに載置されている。この遮蔽材
４は長方形の板状体からなり、上記るつぼ１内壁の第１
図（ｂｌの上下２面との間に隙間５を有する大きさとな
っＣいる。
出装置である。第１図において、第３図と同一符号は同
−又は相当部分を示し、４は噴出孔３ａと対向して配置
された遮蔽材であり、これは熔融物質の収容部１ａの上
方のるつぼ内壁段部１ｂに載置されている。この遮蔽材
４は長方形の板状体からなり、上記るつぼ１内壁の第１
図（ｂｌの上下２面との間に隙間５を有する大きさとな
っＣいる。
次に作用効果について説明する。
この装置では、るつぼ１の収容部１ａで溶融した物質が
突沸した場合、突沸した熔融物質は遮蔽材４で阻止され
て噴出孔３ａへ到達しない。従って噴出孔３ａが変形す
ることはなく、薄膜蒸着装置において所要の蒸着特性が
得られることとなる。
突沸した場合、突沸した熔融物質は遮蔽材４で阻止され
て噴出孔３ａへ到達しない。従って噴出孔３ａが変形す
ることはなく、薄膜蒸着装置において所要の蒸着特性が
得られることとなる。
またこの際遮蔽材４の両側には、隙間５を設けであるた
め、物質の蒸発が遮蔽材４によって妨げられることはな
い。また、隙間５から、物質を充填でき、その充填の際
遮蔽材４を取り外す必要はない。さらに、遮蔽材４は単
にるつぼ内壁段部１ｂに載置されているだけなので、そ
の取り外しは極めて容易である。
め、物質の蒸発が遮蔽材４によって妨げられることはな
い。また、隙間５から、物質を充填でき、その充填の際
遮蔽材４を取り外す必要はない。さらに、遮蔽材４は単
にるつぼ内壁段部１ｂに載置されているだけなので、そ
の取り外しは極めて容易である。
なお、上記実施例では遮蔽材としてその２辺をるつぼ内
壁で支持するようにしたものを示したが、この遮蔽材は
第２図に示すようにその４辺でるつぼ内壁で支持するも
のとし、しかもるつぼ内壁四隅との間に隙間５を有する
ようにしてもよく、上記実施例と同様の効果を奏する。
壁で支持するようにしたものを示したが、この遮蔽材は
第２図に示すようにその４辺でるつぼ内壁で支持するも
のとし、しかもるつぼ内壁四隅との間に隙間５を有する
ようにしてもよく、上記実施例と同様の効果を奏する。
以上のように、この発明に係る溶融物質の蒸気噴出装置
によれば、噴出孔と対向して熔融物質の収容部の上方に
遮蔽材を設けたので、突沸した溶融物質が噴出孔に固着
するのを防止して噴出孔の変形を防止できる効果がある
。
によれば、噴出孔と対向して熔融物質の収容部の上方に
遮蔽材を設けたので、突沸した溶融物質が噴出孔に固着
するのを防止して噴出孔の変形を防止できる効果がある
。
第１図（ａ） （ｂ）は各々この発明の一実施例による
熔融物質の蒸気噴出装置を示す断面側面図、断面平面図
、第２図（ａ） （ｂ）は各々この発明の他の実施例に
よる熔融物質の蒸気噴出装置を示す断面側面図。 断面平面図、第３図は従来装置の断面図である。 ３ａ・・・噴出孔、１・・・るつぼ、２・・・フィラメ
ント（加熱手段）、１ａ・・・収容部、４・・・遮蔽材
、■ｂ・・・るつぼ内壁段部、５・・・隙間。 なお図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 第１図 ３ｑ：口嚢出Ｊし 第２図 第３図
熔融物質の蒸気噴出装置を示す断面側面図、断面平面図
、第２図（ａ） （ｂ）は各々この発明の他の実施例に
よる熔融物質の蒸気噴出装置を示す断面側面図。 断面平面図、第３図は従来装置の断面図である。 ３ａ・・・噴出孔、１・・・るつぼ、２・・・フィラメ
ント（加熱手段）、１ａ・・・収容部、４・・・遮蔽材
、■ｂ・・・るつぼ内壁段部、５・・・隙間。 なお図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。 第１図 ３ｑ：口嚢出Ｊし 第２図 第３図
Claims (3)
- （１）物質の蒸気を噴出させるための噴出孔を有するる
つぼと、このるつぼを加熱する加熱手段とを有する蒸気
噴出装置において、溶融物質の収容部の上方に上記噴出
孔と対向して配置された遮蔽材を備えたことを特徴とす
る溶融物質の蒸気噴出装置。 - （２）上記遮蔽材は、上記収容部上方のるつぼ内壁段部
に着脱可能に載置されていることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の溶融物質の蒸気噴出装置。 - （３）上記遮蔽材は、上記るつぼ内壁との間に隙間を有
することを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項
記載の溶融物質の蒸気噴出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27542184A JPS61156809A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | 溶融物質の蒸気噴出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27542184A JPS61156809A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | 溶融物質の蒸気噴出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61156809A true JPS61156809A (ja) | 1986-07-16 |
Family
ID=17555272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27542184A Pending JPS61156809A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | 溶融物質の蒸気噴出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61156809A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004211110A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-29 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 蒸着用るつぼ、蒸着装置および蒸着方法 |
| US8025733B2 (en) * | 2002-07-23 | 2011-09-27 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Heating crucible and deposition apparatus using the same |
-
1984
- 1984-12-28 JP JP27542184A patent/JPS61156809A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8025733B2 (en) * | 2002-07-23 | 2011-09-27 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Heating crucible and deposition apparatus using the same |
| JP2004211110A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-29 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 蒸着用るつぼ、蒸着装置および蒸着方法 |
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