JPS60162771A - るつぼ - Google Patents

るつぼ

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Publication number
JPS60162771A
JPS60162771A JP1783784A JP1783784A JPS60162771A JP S60162771 A JPS60162771 A JP S60162771A JP 1783784 A JP1783784 A JP 1783784A JP 1783784 A JP1783784 A JP 1783784A JP S60162771 A JPS60162771 A JP S60162771A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hole
crucible
nozzle
molten substance
spouting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1783784A
Other languages
English (en)
Inventor
Eisaku Mori
森　栄作
Masahiro Hanai
正博 花井
Teruo Ina
伊奈　照夫
Sanjiyu Ko
広　三寿
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP1783784A priority Critical patent/JPS60162771A/ja
Publication of JPS60162771A publication Critical patent/JPS60162771A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B14/00—Crucible or pot furnaces
    • F27B14/08—Details peculiar to crucible or pot furnaces
    • F27B14/10—Crucibles
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/243—Crucibles for source material

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は物質の蒸気を噴出させるようにしたるつほに
関するものである。
〔従来技術〕
従来、常温固体状の物質を加熱して蒸発させ、被蒸着材
上に蒸着して薄膜を形成する真空蒸着においては、特公
昭５４−９５９２号公報に示されているようなるつばが
使用されてい喪。即ち、第１図において、（１）は噴出
孔（１ａ）が設けられたるつぼで、常温固体状の金属部
材が収容される。（２）はるつぼ（１）を囲繞し九フィ
ラメントからなる加熱手段である。
上記構成において、加熱手段（２）でるつは（１）内の
金属部材を蒸発させて、噴出孔（１ａ）から蒸気を噴出
する場合、溶融物質が突沸した際に噴出孔（ｌａ）に固
着して、孔径を狭めるとか孔の形状を変えてしまうので
、予定された蒸着特性が得られないという欠点があった
。
〔発明の概豐〕
この発明は上記欠点を解消するためになされたもので、
るつぼの噴出孔と対向したしゃへい部材を設けることに
よって、突沸した溶融物質が噴出孔に固着するのを防止
して、噴出孔の変形を防止できるるつほを提供する。
〔発明の！Ｉｊ施例〕
以下、図について説明する。第２図において、（１）　
（２）は従来と同様である。（３）は噴出孔（１ａ）と
対向して配置されたしゃへい材で、るつは（１）の内壁
に固着されている。なお、しやへい材（３）はるつぼ（
１）と一体で形成してもよい。（４）は金属Ｓ拐等の溶
融物質が収容される収容部である〇 次に作用を説明する。１２図において、るつぼ（１１で
溶融した物質が突沸した場合、突沸した溶融物ηはしや
へい劇（３）で阻止されて、噴出孔（１ａ）へ到達しな
い。
上言ｅ実施例において、しやへい材（３）は１個のもの
について説明したが、複数個をジグザグに配置すると、
さらに阻止効果が上がる。
〔発明の効果〕
この発明によると、噴出孔と対向したじゃへい材を設け
ることによって、突沸した溶融物朱が噴出孔に同着する
のを防止できるので、噴出孔の変形を防止できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来のるつばを示す断面図、第２図はこの発明
の一実施例を示す断面図である。図において、（１）は
るつは、（３）はしやへい材でおる。 なお、各図中同一符号は同−又は札当部分を示す０ 代理人　大　岩　施　雄 第１−図 第２図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）噴出孔から物質の蒸気を噴出させるものにおいて
    、溶融物質の収容部と上記噴出孔との間に上記噴出孔か
    ら所定Ｏ距離をあけて上記噴出孔と対向したしゃへい材
    を設けたるりは。
JP1783784A 1984-02-01 1984-02-01 るつぼ Pending JPS60162771A (ja)

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JP1783784A JPS60162771A (ja) 1984-02-01 1984-02-01 るつぼ

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JP1783784A JPS60162771A (ja) 1984-02-01 1984-02-01 るつぼ

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004211110A (ja) * 2002-12-26 2004-07-29 Fuji Electric Holdings Co Ltd 蒸着用るつぼ、蒸着装置および蒸着方法
KR100490537B1 (ko) * 2002-07-23 2005-05-17 삼성에스디아이 주식회사 가열용기와 이를 이용한 증착장치
EP3241923A4 (en) * 2014-12-29 2018-02-07 Kunshan Go-Visionox Opto-Electronics Co., Ltd. Linear evaporation source

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