JPH06196413A - 減圧ｃｖｄ膜生成装置 - Google Patents
減圧ｃｖｄ膜生成装置Info
- Publication number
- JPH06196413A JPH06196413A JP4345886A JP34588692A JPH06196413A JP H06196413 A JPH06196413 A JP H06196413A JP 4345886 A JP4345886 A JP 4345886A JP 34588692 A JP34588692 A JP 34588692A JP H06196413 A JPH06196413 A JP H06196413A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- cover
- furnace
- pressure cvd
- cvd film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Abstract
(57)【要約】
【目的】竪型の減圧ＣＶＤ膜生成装置において、ボート
３内へのガスの拡散を一様にしてウエハの膜厚のばらつ
きを減少すると共に、ボートを炉内に挿入する時、ボー
トやカバーの損傷を生じないようにする。 【構成】ＣＶＤガス６を導入してインナーチューブ２内
を流入し、ウエハ４にＣＶＤ膜を生成する装置におい
て、ウエハ４を多数枚保持するボート３と、ボート３の
開放部を覆うカバー５とを竪型炉の外で組立て、インナ
ーチューブ２の中へ下方から挿入するようにした。
３内へのガスの拡散を一様にしてウエハの膜厚のばらつ
きを減少すると共に、ボートを炉内に挿入する時、ボー
トやカバーの損傷を生じないようにする。 【構成】ＣＶＤガス６を導入してインナーチューブ２内
を流入し、ウエハ４にＣＶＤ膜を生成する装置におい
て、ウエハ４を多数枚保持するボート３と、ボート３の
開放部を覆うカバー５とを竪型炉の外で組立て、インナ
ーチューブ２の中へ下方から挿入するようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウエハに成膜する減圧
ＣＶＤ膜生成装置に関する。
ＣＶＤ膜生成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ウエハの表面にＨＴＯ（高温酸化物）膜
を生成する場合、減圧ＣＶＤ膜生成装置が用いられる。
膜厚の均一性を向上させるために、ウエハを収納したボ
ートのウエハ挿入用開放部にカバーを設けて成膜を行
う、いわゆるカバーボート方式の装置が用いられる。カ
バーボート方式の装置では、ウエハの面内の膜厚のばら
つきが従来±１０％であったものを±５％まで縮小する
ことができる。
を生成する場合、減圧ＣＶＤ膜生成装置が用いられる。
膜厚の均一性を向上させるために、ウエハを収納したボ
ートのウエハ挿入用開放部にカバーを設けて成膜を行
う、いわゆるカバーボート方式の装置が用いられる。カ
バーボート方式の装置では、ウエハの面内の膜厚のばら
つきが従来±１０％であったものを±５％まで縮小する
ことができる。
【０００３】図３に竪型減圧ＣＶＤ膜生成装置の全体図
を示した。竪型炉の外殻１の内部にインナーチューブ２
を設け、その中に石英のボート３を下底から挿入する。
ボートは高さが約８００ｍｍの半割り円筒形をしてお
り、その中に多数のウエハ４を水平に収納している。炉
内は減圧されると共に、ＣＶＤガス６を導入する。ガス
６は、インナーチューブ２の内側を上昇してウエハ面に
デポジットし、インナーチューブ２の外側を下降して排
気ガス７として真空ポンプで吸引される。
を示した。竪型炉の外殻１の内部にインナーチューブ２
を設け、その中に石英のボート３を下底から挿入する。
ボートは高さが約８００ｍｍの半割り円筒形をしてお
り、その中に多数のウエハ４を水平に収納している。炉
内は減圧されると共に、ＣＶＤガス６を導入する。ガス
６は、インナーチューブ２の内側を上昇してウエハ面に
デポジットし、インナーチューブ２の外側を下降して排
気ガス７として真空ポンプで吸引される。
【０００４】ボート３は、ウエハ４を炉外で挿入するた
めに側面が開放した半円形断面となっている。この開放
部のカバー５は、従来インナーチューブ２内に吊下され
ており、ボート３をインナーチューブ２内に挿入した
時、ボート３の開放口を覆うカバーとして作用する。こ
のカバー５は、炉内のガスのボート内への進入を緩やか
にし、均一にするためのものである。ボート３もカバー
５も多数の小孔又はスリットが設けられており、この孔
又はスリットからガスがボート３内に侵入する。インナ
ーチューブ２の内径とカバー５及びボート３の隙間は小
さく、ウエハを収納したボートをインナーチューブの内
部に押し上げるとき、インナーチューブ、カバー、ボー
トの位置決めが難しく、また、ボートがカバーと強く接
触したりカバーを押し上げてしまう等のトラブルがあっ
た。この場合に、カバーがボートと接触して破壊した
り、ボートの倒れによって破損を生じる原因となる等の
問題がある。
めに側面が開放した半円形断面となっている。この開放
部のカバー５は、従来インナーチューブ２内に吊下され
ており、ボート３をインナーチューブ２内に挿入した
時、ボート３の開放口を覆うカバーとして作用する。こ
のカバー５は、炉内のガスのボート内への進入を緩やか
にし、均一にするためのものである。ボート３もカバー
５も多数の小孔又はスリットが設けられており、この孔
又はスリットからガスがボート３内に侵入する。インナ
ーチューブ２の内径とカバー５及びボート３の隙間は小
さく、ウエハを収納したボートをインナーチューブの内
部に押し上げるとき、インナーチューブ、カバー、ボー
トの位置決めが難しく、また、ボートがカバーと強く接
触したりカバーを押し上げてしまう等のトラブルがあっ
た。この場合に、カバーがボートと接触して破壊した
り、ボートの倒れによって破損を生じる原因となる等の
問題がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記実情に鑑
み、上記トラブルを解消した減圧ＣＶＤ膜生成装置を提
供することを目的とする。
み、上記トラブルを解消した減圧ＣＶＤ膜生成装置を提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点を
解決するために、次の技術手段を講じたことを特徴とす
る。すなわち、減圧ＣＶＤ膜生成装置において、ウエハ
を収納するボートのカバーが従来は減圧ＣＶＤ装置の竪
型炉内に吊下されていたのを改善し、カバーを炉外でボ
ートと組み立て可能な構造とした。すなわち、ボートの
基台に載置するフランジをカバーに設け、ボートとカバ
ーとを炉外で組み立てて炉内に装入することができるよ
うにしたことを特徴とする減圧ＣＶＤ膜生成装置であ
る。
解決するために、次の技術手段を講じたことを特徴とす
る。すなわち、減圧ＣＶＤ膜生成装置において、ウエハ
を収納するボートのカバーが従来は減圧ＣＶＤ装置の竪
型炉内に吊下されていたのを改善し、カバーを炉外でボ
ートと組み立て可能な構造とした。すなわち、ボートの
基台に載置するフランジをカバーに設け、ボートとカバ
ーとを炉外で組み立てて炉内に装入することができるよ
うにしたことを特徴とする減圧ＣＶＤ膜生成装置であ
る。
【０００７】
【作用】本発明の減圧ＣＶＤ膜生成装置は、ボートとカ
バーとを炉外で組み立て、これを炉内に挿入するように
したから、熟練作業員の必要がなくなり、石英のボート
やカバーを破損することがなくなった。
バーとを炉外で組み立て、これを炉内に挿入するように
したから、熟練作業員の必要がなくなり、石英のボート
やカバーを破損することがなくなった。
【０００８】
【実施例】図１に本発明の減圧ＣＶＤ膜生成装置のボー
トとカバーの断面を示した。図１（ｂ）はボート３の横
断平面図で、半円形断面の殻３１を有しており、その内
側にウエハを載せる突起３２が内側に突出している。殻
３１は、図１（ｂ）に断面が示されているように、階段
状に凹凸に形成されており、その段差の部分に小さい孔
又はスリットが設けられており、ガスが出入する。図２
はボートの縦断面を示している。ボートの下端にはフラ
ンジ３３が設けられている。
トとカバーの断面を示した。図１（ｂ）はボート３の横
断平面図で、半円形断面の殻３１を有しており、その内
側にウエハを載せる突起３２が内側に突出している。殻
３１は、図１（ｂ）に断面が示されているように、階段
状に凹凸に形成されており、その段差の部分に小さい孔
又はスリットが設けられており、ガスが出入する。図２
はボートの縦断面を示している。ボートの下端にはフラ
ンジ３３が設けられている。
【０００９】本発明のカバー５はボートの殻３１と同様
の殻５１が設けられている。そしてその下端にフランジ
５３を設け、ボートのフランジ３３と一体に組み立てら
れるようになっている。図４〜図８は、本発明の減圧Ｃ
ＶＤ膜生成装置のボート挿入工程を示したものである。
図４はウエハ４をボート３に挿入しているところを示す
側面図、図５はその平面図である。図６はボート３とカ
バー５を組み立てた状態を示し、図７はその平面図であ
る。図８は、（ａ）で示す竪型の炉のインナーチューブ
２内に、（ｂ）で示すボート３を下から押し上げて挿入
する工程を示している。（ｃ）は（ｂ）の平面図であ
る。
の殻５１が設けられている。そしてその下端にフランジ
５３を設け、ボートのフランジ３３と一体に組み立てら
れるようになっている。図４〜図８は、本発明の減圧Ｃ
ＶＤ膜生成装置のボート挿入工程を示したものである。
図４はウエハ４をボート３に挿入しているところを示す
側面図、図５はその平面図である。図６はボート３とカ
バー５を組み立てた状態を示し、図７はその平面図であ
る。図８は、（ａ）で示す竪型の炉のインナーチューブ
２内に、（ｂ）で示すボート３を下から押し上げて挿入
する工程を示している。（ｃ）は（ｂ）の平面図であ
る。
【００１０】実施例では、ボートを炉内に挿入すると
き、熟練作業員を必要としないこととなった。また、カ
バーやボートを破損したりすることがなくなった。
き、熟練作業員を必要としないこととなった。また、カ
バーやボートを破損したりすることがなくなった。
【００１１】
【発明の効果】本発明の減圧ＣＶＤ膜生成装置は、ボー
トのカバーを炉外で組み立ててから炉内に挿入するの
で、ガスの拡散が一様になり、ウエハの膜厚のばらつき
が減少し、したがって、歩留が向上し、また、石英の部
品の破損が生じないようになった。
トのカバーを炉外で組み立ててから炉内に挿入するの
で、ガスの拡散が一様になり、ウエハの膜厚のばらつき
が減少し、したがって、歩留が向上し、また、石英の部
品の破損が生じないようになった。
【図１】本発明の実施例の減圧ＣＶＤ膜生成装置のボー
トとカバーの断面図である。
トとカバーの断面図である。
【図２】カバーの縦断面図である。
【図３】減圧ＣＶＤ膜生成装置の断面図である。
【図４】ボートにウエハを挿入する工程の説明図であ
る。
る。
【図５】ボートにウエハを挿入する工程の説明図であ
る。
る。
【図６】ボートとカバーの組み立て工程の説明図であ
る。
る。
【図７】ボートとカバーの組み立て工程の説明図であ
る。
る。
【図８】ボートを炉内に挿入する工程の説明図である。
１ 竪型炉の外殻 ２ インナーチ
ューブ ３ ボート ４ ウエハ ５ カバー ６ ＣＶＤガス ７ 排気ガス
ューブ ３ ボート ４ ウエハ ５ カバー ６ ＣＶＤガス ７ 排気ガス
Claims (1)
- 【請求項１】 竪型の減圧ＣＶＤ膜生成装置において、
ウエハを収納して炉内に下底から挿入する半割り円筒状
のボートと、該ボートのウエハ挿入用開放部を覆うカバ
ーとを炉外で組み立て可能に形成したことを特徴とする
減圧ＣＶＤ膜生成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4345886A JPH06196413A (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 減圧ｃｖｄ膜生成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4345886A JPH06196413A (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 減圧ｃｖｄ膜生成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06196413A true JPH06196413A (ja) | 1994-07-15 |
Family
ID=18379658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4345886A Withdrawn JPH06196413A (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 減圧ｃｖｄ膜生成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06196413A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0261435A2 (de) * | 1986-09-26 | 1988-03-30 | Endress + Hauser Flowtec AG | Nach dem Coriolisprinzip arbeitendes Massendurchflussmessgerät |
| DE4224379C1 (de) * | 1992-07-06 | 1993-12-23 | Krohne Messtechnik Kg | Massendurchflußmeßgerät |
| KR20000001504A (ko) * | 1998-06-11 | 2000-01-15 | 윤종용 | 반도체장치 제조용 확산로 |
| JP2012182458A (ja) * | 2011-02-18 | 2012-09-20 | Asm Internatl Nv | ウエハボート組立体、このようなウエハボート組立体を含む搬入装置及び縦型炉への搬入方法 |
-
1992
- 1992-12-25 JP JP4345886A patent/JPH06196413A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0261435A2 (de) * | 1986-09-26 | 1988-03-30 | Endress + Hauser Flowtec AG | Nach dem Coriolisprinzip arbeitendes Massendurchflussmessgerät |
| EP0261435B1 (de) * | 1986-09-26 | 1991-10-09 | Endress + Hauser Flowtec AG | Nach dem Coriolisprinzip arbeitendes Massendurchflussmessgerät |
| DE4224379C1 (de) * | 1992-07-06 | 1993-12-23 | Krohne Messtechnik Kg | Massendurchflußmeßgerät |
| DE4224379C2 (de) * | 1992-07-06 | 1998-05-20 | Krohne Messtechnik Kg | Massendurchflußmeßgerät |
| KR20000001504A (ko) * | 1998-06-11 | 2000-01-15 | 윤종용 | 반도체장치 제조용 확산로 |
| JP2012182458A (ja) * | 2011-02-18 | 2012-09-20 | Asm Internatl Nv | ウエハボート組立体、このようなウエハボート組立体を含む搬入装置及び縦型炉への搬入方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000307 |