JPS61152386A - ロボツトア−ム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はクリーンルーム内で使用するロボットアームに
係り、特にクリーンルーム内のダウンブローに対する流
体抵抗を極小にし、ダウンフローの乱れを抑えるのに好
適なロボットアームに関する。

〔発明の背景〕

近年のロボットは、その作業性の観点から多関節型ロボ
ットが用いられている（特開昭５９−９７８６９号公報
、特開昭５９−１０２５９５号公報）、従来のこの種の
ロボットのアームは、アームのいずれかの部分に必ず形
状の急激な変化を生ずる部分を有している。このため、
この種のロボットをクリーンルーム内で使用した場合、
クリーンルーム内のダウンフローのような気流に対して
、大きな抵抗を生じるとともにダウンフローの流れを乱
す原因となっている。このダウンフローの乱れによりク
リーンルーム内のクリーン度が低下するという不都合が
生じる。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、クリーンルーム内でのダウンフローの
乱れを抑えることができるロボットアームを提供するこ
とにある。

〔発明の概要〕

本発明は上記の目的を達成するためにロボットアームの
各関節部アーム本体部、ベース部の形状を曲面形状にす
るとともに、アーム本体部と関節部、アーム本体部とベ
ース部の結合部等をなめらかな曲線あるいは曲面で結合
することにより、流体抵抗を極小化し、ダウンフローの
乱れを最少限におさえる構造としたものである。この構
成により、クリーンルーム内でのごみのまき上げが抑え
られ、クリーンルーム内のクリーン度を維持することが
できる。

〔発明の実施例〕

以下本発明の実施例を図面を用いて説明する。

第１図および第２図は本発明のロボットアームの一例を
備えたロボットを示すもので、これらの図において１は
旋回ベース部、２は旋回体、３は旋回体２に第１の関節
部４を介して連結した第１のアーム、５は第２の関節部
６を介して第１のアーム３に連結した第２のアーム、７
は第２のアーム５の先端に設けた手首曲げ用の関節部、
８は関節部７に連結した手首振り用の関節部、９は関節
部８に連結した手首ひねり用の関節部である。

前述したアーム３，５および手首ひねり用の間接部９は
円柱状に形状されている。また関節部４゜６．７．８は
それぞれ円柱状の胴部Ａと球冠状の端部Ｂとで構成され
ている。また旋回体２は円錐状筒体で形成されている。

このように構成したことにより、クリーンルーム内のダ
ウンフローＣ（通常０　、１〜０　、３　ｍ　／　ｓの
流速）中において、ロボットアームを例えば１゜Ｏｍ　
／　ｓ〜１．５ｍ／ｓの速度で移動させた場合、アーム
３，５および関節部４，６，７．８は滑らかな形状を有
しているので、ダウンフローに対する流体抵抗が小さく
、ダウンフローの乱れを小さく抑えることができる。そ
の結果クリーンルーム内のチリのまみ上げが少なく、そ
のクリーン度を維持することができる。

さらに、アーム３，５および関節部４，６，７゜８の結
合部を曲面をもって接合することにより、さらにダウン
フローの乱れを小さくすることができる。

なお、上述の実施例においては、多関節形ロボットにつ
いて説明したが、他の形式のロボットについても本発明
を適用することができる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、クリーンルーム内のダウンスローの中
でのロボットアームの動きに対して、流体抵抗を極小に
することができるので、ロボットアームの動きに対して
ダウンフローの乱れを極小化することができ、クリーン
ルーム内の清浄度を確保できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のロボットアームの一例を備えたロボッ
トの平面図、第２図はその正面図である。 １・・・旋回ベース部、２・・・旋回体、３・・・第１
のアーム、５・・・第２のアーム、４，６，７，８．９
・・・間第１図 篤　２　　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、クリーンルーム内で使用される複数の自由度を有す
   るロボットアームにおいて、手首部及びアーム部の各関
   節部、アーム部本体及びベース部の外部形状を全方向に
   対してなめらかな曲面形状で構成し、各関節部、アーム
   部、ベース部の結合部をなめらかな曲線あるいは曲面で
   結合したことを特徴とするロボットアーム。 ２、特許請求の範囲第１項記載のロボットアームにおい
   て、その曲面形状を球と円柱の合成した形状にしたこと
   を特徴とするロボットアーム。