JPS61151855A - 光デイスクの成形方法及びそのための成形装置 - Google Patents

光デイスクの成形方法及びそのための成形装置

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JPS61151855A
JPS61151855A JP27320284A JP27320284A JPS61151855A JP S61151855 A JPS61151855 A JP S61151855A JP 27320284 A JP27320284 A JP 27320284A JP 27320284 A JP27320284 A JP 27320284A JP S61151855 A JPS61151855 A JP S61151855A
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JP
Japan
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liquid
transparent substrate
metal mold
molding
mold
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Application number
JP27320284A
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English (en)
Inventor
Toshiharu Nakagawa
中川 敏治
Fumihiko Yuasa
湯浅 文彦
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 、〔発明の技術分野〕 本発明は、ビデオディスク、コンパクトディスク、ディ
スクメモリー等の光ディスクを、紫外線で硬化するラッ
カーを用いて複製する方法(2P法)で成形する方法及
び装置に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
2P法で光ディスクを成形する方法は、一般に以下の工
程からなる。
1)情報が凹凸パターンの変化として表面に刻まれた金
属性型(一般に電鋳法で原盤を転写して造る)と透明基
板との間に紫外線で硬化するラッカー(2P液)を充填
する工程、 2)この基板を介して紫外線を照射して2P液の層を硬
化させる工程、 3)硬化された2P層を金属性型から基板と一諸に剥離
する工程、 これらの工程を経るため、必然的に2P法は以下の問題
を解決する必要がある。
1)紫外線硬化性ラッカーが硬化後、金属性型から型離
れが良く、逆に透明基板(プラスチックまたはガラス)
とは密着性が良いようにいかに組成を調製するか。
2)グラスチック基板と金属性型の間に、空気が入いり
こまないようにいかに全面均一に紫外線硬化性ラッカー
(2P液)を充填するか。
3)硬化された2P層の膜厚が厚いと基板がそるのでい
かに均一な薄い膜にするか。
上記問題点のうち製造法上の第2)、第3)の問題点、
なかでも第2)の問題点を解決する方法として、特開昭
53−116105号ではガス圧でプラスチック基板を
凸面状に変形させ、その基板をモーターで機械的に上下
させて金属性塁上の2P液を押し広げていく方法及び装
置が開示されている。
しかし、この方法では、基板を上下に摺動させる範囲を
大きくする必要があり、装置が大聖化する。また、基板
を上下に摺動させるため、駆動系を基板の上方に配置せ
ざるをえない。そのため紫外線を照射する際には駆動系
を基板の上方からずらすことが必要である。また、この
装置では充填された2P層を加圧しながら紫外線で硬化
することができないため、金属性型からの忠実な転写が
できない。
〔発明の目的〕
本発明は、従来技術のもつ上記欠点を解決する光ディス
クの成形方法及び成形装置を提供することを目的とする
〔発明の概要〕
本発明の光ディスク成形方法は金属性型の表面に凹凸パ
ターンの変化として刻まれた情報を紫外線で硬化するラ
ッカー(2P液)で転写して光ディスクを成形するにお
いて、予め適量の2pgt−金属性型の中央部に注入後
、金属性型をその上方に設けてあるガス圧で凸面に変形
させた透明基板に向かって押し上げていくことにより2
P液を金属性型と透明基板との間に充填し、その後、透
明基板側から紫外線を照射して充填した2P液の層を硬
化させ金属性型から硬化した2P層を透明基板ごと剥離
することを特徴とするものである。
また、本発明の光ディスクの成形方法においては、2P
液の層を透明基板側からガス圧で加圧しながら紫外線照
射することが好ましく、さらに剥離工程において、金属
製型を下方に機械的に下降させることにより剥離するこ
とが好ましい。
本発明の光ディスク成形装置は透明基板上部に、圧力ガ
スを封入するためのカバーを設け透明基板を、このカバ
ーと支持台とで外周部のみを挾みこむかたちでクランプ
できるようにし、このカバーのうち少なくとも紫外線を
透過させる必要のある領域の材質は紫外線透光性のプラ
スチック乃至はガラスであり、また、このカバーは取り
はずしもしくは開閉可能にし九ことを4!徴とする。金
属性型を上下にしゆう動させるため、上下しゆう動可能
な受け台を、クランプされる透明基板の下側に位置する
ように配置し、金属性型をこの受け台に固定するための
手段としては真空チャック乃至は磁石チャック方式を採
用したことが好ましい。
2P液を金属性型の表面に注入する手段としてはタンク
中の2P液をガス圧で送り出す機構とすることができる
。また金属製型と、透明基板との間に充填さまた2P液
の層の全面積を均一に紫外線硬化させるため、紫外線ラ
ングが成形装置本体に対して相対的に掃引できるように
することもできる。
〔発明の実施例〕
本発明に用いられる金属製型4は、一般に原盤からNt
lE鋳で造られるマスター乃至はスタンパ−と呼ばれる
厚みが250μm前後のものであるが、平担な補強板(
アルミニウム板、ガラス板、鉄板等)で裏側から貼り合
わせて剛性の強い平担な構造にしたものがより好ましい
。また、電鋳法で厚みが数−のスタンパ−を造ってそれ
をそのtま金属製型として用いても良い。
本発明の成形方法の特徴は、第5図(4)乃至(C)に
示すように、ガス圧(ex空気圧)人で凸面に変形させ
た透明基板5に向かって、2P液の注入された金属製型
を押し上げていくことにより、2P液を透明基板と金属
製型との間に充填していく事にある。この方法を採用す
ることにより、2P液を充填後、即紫外線Bで2P層を
硬化することができる。またこの際、ガス圧(ex空気
圧)で2P層を加圧しながら硬化することができる九め
、金In型から情報の凹凸パターンが忠実に転写できる
。その後、金属製型をただ下降させて元の位置にもどす
だけで2P硬化膜62が金1[型から剥離されるため、
成形の1サイクルに要する時間が従来法に比べ非常に短
縮できる。また、本発明の成形方法は、金属製型を上下
に摺動させるに必要な範囲が従来法に比べ狭くて良いた
め、成形機がコンパクトに設計できる。
このような方法で光ディスクを成形させるための成形装
置の概略断面図を第1図に示す。加圧カバー2と成形機
本体枠lとの間に、光ディスクの基板になる透明基板5
、たとえばアクリル注型板ないしはガラス板等を外周部
分で挾み込み加圧カバーと透明基板とで囲まれた空間に
ガス(ex、空気)圧を送り込むことにより透明基板を
凸面に変形させることができる。この加圧カバーの上面
、すなわち2P層を紫外線で硬化させる際、紫外線を通
過させる必要のある領域は、紫外線透過性のプラスチッ
ク乃至はガラスなどの紫外線透過板7で構成する必要が
ある。また、この加圧カバーを成形機本体に押さえこむ
手段としては、トグルクランプ等容易にクランプや取り
はずしができるような止め具を用いることが、生産作業
性の面から好ましい。
2P液を金属製型の表面に注入するには、チェープポン
プ、注射器9位置エネルギー差を利用した滴下等色々考
えられるが、第4図に示すようにガス圧で2P液をタン
ク中から構成される装置が、最もコンパクトで作業性も
良く、注入された2P液の中に泡を混入させることもな
く、理想的注入手段である。この注入装置は、真空系1
14に連結させて夕/り中の2P液を減圧脱泡できるよ
うにしてもよい。この注入装置から吐出させた2P液を
金属製型の表面に設けるには、第2図(鶴に示すように
、吐出させた2P液をパイプないしはチェープで金属製
型の表面まで導いて滴下させるようにするのが曳い。ま
た、第2図囚に示すように金属性型の中央部に2P液の
流通管及び注入口111を設け、吐出させた2P液をこ
れらの流通管に連結させる方法でも良い。
また、このようにして2P液を設けた金属製型を凸面に
変形させた透明基板に向かって上下摺動させるために金
属製型を固定でき、かつ上下摺動可能な受け台を成形機
本体枠内に設けている。この受け台3は、ローラーテー
ブル14を使つなどして上下摺動をガタのないように精
度よく行なうことが好ましい。受け台の動作速度や停止
位置も細かく制御することが好ましく、駆動モーター1
2としてはステッピングモーターなど用いるのがよい。
金属製型を受け台に固定する手段としては、取りはずし
が容易にできることが好ましく、例えば、第3図(B)
に示すように、受け台にザクリ加工を施し金属製型を載
せた時に金属製型と受け台との間に真空空間ができるよ
うにした真空チャック方式や、第3図囚に示すように受
け台に磁力がON、OFFできる切換式のマグネットや
電磁石31を埋め込んだ磁石チャック方式が挙げられる
2P液を透明基板と金属性型との間に充填後紫外線で硬
化させる際、照射面積が広く要求される場合には、紫外
線ランプ13を多数本並行に並べる、紫外線ランプない
し成形機本体を搬送させることにより、紫外線ランプを
成形装置本体に対して相対的に掃引させる、など工夫す
ると2P層が均一に硬化できる。
以上の機能をもった光ディスクの成形装置で成形した2
P層付き透明基板はセンター穴や外周部を切り抜いて光
ディスク形状に加工される。
〔発明の効果〕
2P液を充填後、そのままガス(“eX、空気)圧で加
圧しながら紫外線硬化できる丸め、情報の凹凸パターン
が忠実に転写できる。ま九剥離工程も含めた成形の1サ
イクルに要する時間が従来に比べ非常に短時間である。
また従来に比べ成形装置がコンパクトになる。
さらに2P層は泡の混入がなく、数μm厚の非常に均一
な膜厚になるため、S/Nの良いエラー率の低い光ディ
スクができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の光ディスク成形装置の一例を示す概略
断面図。 第2図囚および(B)は2P液を金属製型上に注入する
手段の略式図。 第3図(A)および(8)は金属製型を受け台に固定す
る方法の略式図。 第4図は2P液タンク内部構造の一例の断面図。 第5図囚乃至(Oは本発明の成形プロセスを説明するた
めの概略断面図である。 1・・・本体枠、    2・・・加圧カバー。 3・・・金属裏型受け台、4・・・金属#l!型。 5・・・透明基板、   6・・・2P液。 7・・・紫外線透過板、8・・・ガス圧入孔。 9・・・バルブ、    10・・・排気孔。 11・・・2P液タンク、  12・・・ステッピング
モータ駆動部、13・・・光源。 14・・・ローラーテーブル、 61・・・2P液*6
2・・・2P硬化膜、111・・・2P液。 112・・・2P液流通管、  ム・・・加圧力。 B・・・紫外光。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 (ほか1名) 第1図 第  2  図 第  3  図           第  3  図
(β)     (β) 第  4  図 tl&

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)金属性型の表面に凹凸パターンの変化として刻まれ
    た情報を紫外線で硬化するラッカー(2P液)で転写し
    て光ディスクを成形するにおいて、予め適量の2P液を
    金属性型の中央部に注入後、金属性型を、その上方に設
    けてあるガス圧で凸面に変形させた透明基板に向かって
    押し上げていくことにより2P液を金属性型と透明基板
    との間に充填し、その後、透明基板側から紫外線を照射
    して充填した2P液の層を硬化させ、金属性型から硬化
    した2P層を透明基板ごと剥離することを特徴とする光
    ディスクの成形方法。 2)2P液の層を透明基板側からガス圧で加圧しながら
    紫外線照射することを特徴とする特許請求の範囲第1項
    記載の光ディスクの成形方法。 3)特許請求の範囲第1項記載の光ディスクの成形方法
    の剥離工程において、金属性型を下方に機械的に下降さ
    せることにより剥離することを特徴とする光ディスクの
    成形方法。 4)透明基板上部に圧力ガスを封入するためのカバーを
    設け透明基板を、このカバーと支持台とで外周部のみを
    挾持固定できるようにし、このカバーのうち、少なくと
    も紫外線を透過させる必要のある領域の材質は紫外線透
    光性のプラスチック乃至はガラスであり、また、このカ
    バーは取りはずしもしくは開閉可能にしたことを特徴と
    する光ディスク成形装置。 5)金属性型を上下に摺動させるため、上下摺動可能な
    受け台をクランプされる透明基板の下側に位置するよう
    に配置し、金属性型をこの受け台に固定するための手段
    として真空チャック乃至は磁石チャック方式を採用した
    ことを特徴とする特許請求の範囲第4項記載の光ディス
    ク成形装置。 6)2P液を金属性型の表面に注入する手段として、タ
    ンク中の2P液をガス圧で送り出す機構にしたことを特
    徴とする特許請求の範囲第4項記載の光ディスクの成形
    装置。 7)金属性型と、透明基板との間に充填された2P液の
    層の全面積を均一に紫外線硬化させるため、紫外線ラン
    クが成形装置本体に対して相対的に掃引できるようにし
    た特許請求の範囲第4項記載の光ディスクの成形装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007250685A (ja) * 2006-03-14 2007-09-27 Engineering System Kk ナノインプリント装置の型押し機構
US7377765B2 (en) 2006-02-14 2008-05-27 Hitachi Global Storage Technologies System, method, and apparatus for non-contact and diffuse curing exposure for making photopolymer nanoimprinting stamper

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US7731889B2 (en) 2006-02-14 2010-06-08 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Method for non-contact and diffuse curing exposure for making photopolymer nanoimprinting stamper
JP2007250685A (ja) * 2006-03-14 2007-09-27 Engineering System Kk ナノインプリント装置の型押し機構

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