JPH02154341A - 溝付基板の製造方法 - Google Patents
溝付基板の製造方法Info
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- JPH02154341A JPH02154341A JP30774288A JP30774288A JPH02154341A JP H02154341 A JPH02154341 A JP H02154341A JP 30774288 A JP30774288 A JP 30774288A JP 30774288 A JP30774288 A JP 30774288A JP H02154341 A JPH02154341 A JP H02154341A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 39
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 37
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 37
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 14
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 23
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000003848 UV Light-Curing Methods 0.000 abstract 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、2P法(Photo Po1y+ser法)
において、生産性に優れ、未硬化樹脂の発生の少ない光
学記録媒体用溝付基板の製造方法に関するものである。
において、生産性に優れ、未硬化樹脂の発生の少ない光
学記録媒体用溝付基板の製造方法に関するものである。
光学記録媒体に用いる溝付基板は、射出成型等で溝付基
板を一段で製造する方法と、透明平板とスタンパ間に紫
外線硬化樹脂を塗布し、圧締硬化して案内溝を転写させ
るいわゆるPhoto Polymer法(2P法)が
ある、射出成型法は大量生産には好適であるが、溝の転
写性力硬化性樹脂基板への適用可能性等の理由により、
2P法の方がlft’lt性に優れた溝付基板を得る方
法として用いられている。
板を一段で製造する方法と、透明平板とスタンパ間に紫
外線硬化樹脂を塗布し、圧締硬化して案内溝を転写させ
るいわゆるPhoto Polymer法(2P法)が
ある、射出成型法は大量生産には好適であるが、溝の転
写性力硬化性樹脂基板への適用可能性等の理由により、
2P法の方がlft’lt性に優れた溝付基板を得る方
法として用いられている。
2P法による溝付基板の製造方法は、−例を示すと、第
2図に示した様に、中心に位iF7決めピン(2)を設
けたスタンパ(1)上に紫外線硬化樹脂(1])を塗布
し、次に透明基板aの、圧締板(3)の11(〔に載置
し、適当な圧をかけて紫外線硬化樹脂(II)を圧延し
硬化させた後、樹脂層とスタンパ(1)間で剥離して溝
付基板04)が作られる。紫外線硬化樹脂01)を圧延
させる際に塗布量や加圧力等によっては、ピン(2)と
基板の中心穴Ozの隙間や外周部から余剰樹脂051.
(IQが滲出するため、硬化前に拭き取るか、吸引等の
方法で樹脂を取り除かなければならなかった。又、外周
部や中心部より滲出した樹脂は直接大気に触れて、酸素
による反応阻害のため未硬化の部分が残る事があり、基
板剥離時に未硬化樹脂が飛散してスタンパを汚染する危
れがあった。未硬化樹脂を少なくするには、装胃全体を
不活性気体で置換する方法等があるが装置が大型になり
問題であった。
2図に示した様に、中心に位iF7決めピン(2)を設
けたスタンパ(1)上に紫外線硬化樹脂(1])を塗布
し、次に透明基板aの、圧締板(3)の11(〔に載置
し、適当な圧をかけて紫外線硬化樹脂(II)を圧延し
硬化させた後、樹脂層とスタンパ(1)間で剥離して溝
付基板04)が作られる。紫外線硬化樹脂01)を圧延
させる際に塗布量や加圧力等によっては、ピン(2)と
基板の中心穴Ozの隙間や外周部から余剰樹脂051.
(IQが滲出するため、硬化前に拭き取るか、吸引等の
方法で樹脂を取り除かなければならなかった。又、外周
部や中心部より滲出した樹脂は直接大気に触れて、酸素
による反応阻害のため未硬化の部分が残る事があり、基
板剥離時に未硬化樹脂が飛散してスタンパを汚染する危
れがあった。未硬化樹脂を少なくするには、装胃全体を
不活性気体で置換する方法等があるが装置が大型になり
問題であった。
〔発明が解決しようとする課題]
そこで、内周部の樹脂の滲出を防止し、また、外周部よ
り滲出した樹脂の未硬化部分をなくす方法について検討
した結果、本発明を完成させるに至った。
り滲出した樹脂の未硬化部分をなくす方法について検討
した結果、本発明を完成させるに至った。
その目的とするところは、2P法に用いられる装置の未
硬化樹脂の飛散による不良発生を防止し、優れた生産性
ををする溝付基板の製造方法を稈供するにある。
硬化樹脂の飛散による不良発生を防止し、優れた生産性
ををする溝付基板の製造方法を稈供するにある。
すなわち本発明は、中央部に位置決めピンを有しトラッ
キング案内溝を形成したスタンパ上に紫外線硬化樹脂を
塗布し、その上部より中心穴を有する透明基板を前記ピ
ンに嵌合させて!!置し、さらに透明圧締板を載置し圧
締した後、紫外線を照射して樹脂を硬化させ、スタンパ
と硬化樹脂層とを剥離させて作られる溝付基板の製造方
法において、前記透明圧締板は、その下面側の外周部に
透明基板の外径より大きい内径を存する周壁を有すると
共に、周壁の内側に接して、スタン/7の溝部外径より
大きく透明基板の外径より小さい内径を有する周溝、お
よび中央部に、スタンパの溝部内径より小さく透明基板
の中心穴径より大きい円筒状凹部を有し、且つ周溝およ
シ円筒状凹部には透明圧締板の上面に通ずる導管が設け
られていて、紫外線照射時には、透明圧締板の周溝およ
び周壁とスタンパとで囲まれた空間には不活性気体を導
入するかもしくは減圧にすると共に、円筒状凹部と透明
基板とで囲まれた空間には不活性気体を導入することを
特徴とする溝付基板の製造方法である。
キング案内溝を形成したスタンパ上に紫外線硬化樹脂を
塗布し、その上部より中心穴を有する透明基板を前記ピ
ンに嵌合させて!!置し、さらに透明圧締板を載置し圧
締した後、紫外線を照射して樹脂を硬化させ、スタンパ
と硬化樹脂層とを剥離させて作られる溝付基板の製造方
法において、前記透明圧締板は、その下面側の外周部に
透明基板の外径より大きい内径を存する周壁を有すると
共に、周壁の内側に接して、スタン/7の溝部外径より
大きく透明基板の外径より小さい内径を有する周溝、お
よび中央部に、スタンパの溝部内径より小さく透明基板
の中心穴径より大きい円筒状凹部を有し、且つ周溝およ
シ円筒状凹部には透明圧締板の上面に通ずる導管が設け
られていて、紫外線照射時には、透明圧締板の周溝およ
び周壁とスタンパとで囲まれた空間には不活性気体を導
入するかもしくは減圧にすると共に、円筒状凹部と透明
基板とで囲まれた空間には不活性気体を導入することを
特徴とする溝付基板の製造方法である。
以下、図面に従って本発明の詳細な説明する。
第1図(a)は、本発明において使用する透明圧締板の
断面図である。透明な圧締板(3)は、その下面側の外
周部に透明基板0[Ilの外径より大きい内径を存する
周壁(9)を有すると共に、周壁(9)の内側に接して
、スタンパ(+)の溝(至)部外径より大きく透明基板
0rfJの外径より小さい内径を有する周溝(8)を有
し、また、中央部には(1)の溝(至)部内径より小さ
く透明基板θωの中心穴径(ピン(2)の直径)より大
きい円筒状の凹部(7)を有している。r1壁(9)の
高さは、透明基板aωの11みに対しでや−低くし、高
さ調整用として底面にはOリング(+))が備えつけら
れている。
断面図である。透明な圧締板(3)は、その下面側の外
周部に透明基板0[Ilの外径より大きい内径を存する
周壁(9)を有すると共に、周壁(9)の内側に接して
、スタンパ(+)の溝(至)部外径より大きく透明基板
0rfJの外径より小さい内径を有する周溝(8)を有
し、また、中央部には(1)の溝(至)部内径より小さ
く透明基板θωの中心穴径(ピン(2)の直径)より大
きい円筒状の凹部(7)を有している。r1壁(9)の
高さは、透明基板aωの11みに対しでや−低くし、高
さ調整用として底面にはOリング(+))が備えつけら
れている。
また、周溝(8)および円筒状の凹部(7)には透明圧
締板(3)の上面に通ずる1〜数ケ所の導管(5)、
(4)が設けられていて、紫外線照射時には、透明圧締
板の周溝(8)および周壁(9)とスタンパ(1)とで
囲まれた空間には付活性気体を導入するかもしくは減圧
にすると共に、円筒状の凹部(7)部と透明基板0ωと
で囲まれた空間には付活性気体を導入するようになって
いる。
締板(3)の上面に通ずる1〜数ケ所の導管(5)、
(4)が設けられていて、紫外線照射時には、透明圧締
板の周溝(8)および周壁(9)とスタンパ(1)とで
囲まれた空間には付活性気体を導入するかもしくは減圧
にすると共に、円筒状の凹部(7)部と透明基板0ωと
で囲まれた空間には付活性気体を導入するようになって
いる。
次に本発明による溝付基板の製造方法について説明する
。
。
位置決めピン(2)がそなねっているスタンパ(1)上
に紫外線硬化樹脂GOをデイスペンサー等で塗布する(
第1図(ロ))、続いて、中心穴0りのある透明基Fi
(llをピン(2)に嵌合しつつ載置し、さらに圧締板
(3)を載置して樹脂を圧延させる。この時、圧締板の
自重以外に外部から的宜に圧力を加えてもよい(第1図
(C))。
に紫外線硬化樹脂GOをデイスペンサー等で塗布する(
第1図(ロ))、続いて、中心穴0りのある透明基Fi
(llをピン(2)に嵌合しつつ載置し、さらに圧締板
(3)を載置して樹脂を圧延させる。この時、圧締板の
自重以外に外部から的宜に圧力を加えてもよい(第1図
(C))。
圧締した状態で、周溝(8)には不活性気体を導入する
か、又は脱気を行う、気体を導入する時はあまり加圧し
ない程度に圧力を調整する。また、円筒状の凹部(7)
には加圧した不活性気体を導入する。
か、又は脱気を行う、気体を導入する時はあまり加圧し
ない程度に圧力を調整する。また、円筒状の凹部(7)
には加圧した不活性気体を導入する。
その圧力は気板の中心穴Ozとピン(2)の間から樹脂
01)が滲出しない程度にする。なお、ここで言う不活
性気体とは酸素を含まない気体の事をいう。
01)が滲出しない程度にする。なお、ここで言う不活
性気体とは酸素を含まない気体の事をいう。
紫外線硬化樹脂(111層が所定の厚みになるまで圧締
した後、上部より紫外線を照射し、樹脂(10を硬化さ
せる。外周部に滲出した余剰樹脂0ω1内周部のピン(
2)の周りからごくわずかに1#出した余剰樹脂00は
、周囲の雰囲気が不活性気体、又は減圧状態になるため
、未硬化部分が殆どなくなり、特に表面の硬化が十分と
なる。最後に基板01lDをスタンパ(1)から剥離し
、第2図(a)、 (e)と同様にして後加工をし、溝
付基板が作られる。
した後、上部より紫外線を照射し、樹脂(10を硬化さ
せる。外周部に滲出した余剰樹脂0ω1内周部のピン(
2)の周りからごくわずかに1#出した余剰樹脂00は
、周囲の雰囲気が不活性気体、又は減圧状態になるため
、未硬化部分が殆どなくなり、特に表面の硬化が十分と
なる。最後に基板01lDをスタンパ(1)から剥離し
、第2図(a)、 (e)と同様にして後加工をし、溝
付基板が作られる。
本発明の溝付基板の製造方法によると、基板内周部から
の樹脂の滲出しが殆どなく、且つ外周部の余剰樹脂が完
全に硬化するため、未硬化樹脂分の飛散によるスタンパ
の汚染がなく、生産性よく溝付、!に仮を製造する事が
できる。
の樹脂の滲出しが殆どなく、且つ外周部の余剰樹脂が完
全に硬化するため、未硬化樹脂分の飛散によるスタンパ
の汚染がなく、生産性よく溝付、!に仮を製造する事が
できる。
第1図は本発明による溝付基板の製造方法を説明するた
めの工程図で、第2図は従来の方法を説明するための工
程図である。
めの工程図で、第2図は従来の方法を説明するための工
程図である。
Claims (1)
- (1)中央部に位置決めピンを有しトラッキング案内溝
を形成したスタンパ上に紫外線硬化樹脂を塗布し、その
上部より中心穴を有する透明基板を前記ピンに嵌合させ
て載置し、さらに透明圧締板を載置し、圧締した後、紫
外線を照射して樹脂を硬化させ、スタンパと硬化樹脂層
とを剥離させて作られる溝付基板の製造方法において、
前記透明圧締板はその下面側の外周部に透明基板の外径
より大きい内径を有する周壁を有すると共に、周壁の内
側に接して、スタンパの溝部外径より大きく透明基板の
外径より小さい内径を有する周溝、および中央部に、ス
タンパの溝部内径より小さく透明基板の中心穴径より大
きい円筒状凹部を有し、且つ周溝および円筒状凹部には
透明圧締板の上面に通ずる導管が設けられていて、紫外
線照射時には、透明圧締板の周溝および周壁とスタンパ
とで囲まれた空間には不活性気体を導入するかもしくは
減圧にすると共に、円筒状凹部と透明基板とで囲まれた
空間には不活性気体を導入することを特徴とする溝付基
板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30774288A JPH02154341A (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | 溝付基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30774288A JPH02154341A (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | 溝付基板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02154341A true JPH02154341A (ja) | 1990-06-13 |
Family
ID=17972719
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30774288A Pending JPH02154341A (ja) | 1988-12-07 | 1988-12-07 | 溝付基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02154341A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05334730A (ja) * | 1992-05-29 | 1993-12-17 | Origin Electric Co Ltd | ディスク用紫外線硬化装置および塗布膜形成装置 |
-
1988
- 1988-12-07 JP JP30774288A patent/JPH02154341A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05334730A (ja) * | 1992-05-29 | 1993-12-17 | Origin Electric Co Ltd | ディスク用紫外線硬化装置および塗布膜形成装置 |
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