JPS61151098A - タンタル酸リチウム単結晶ウエ−ハ - Google Patents

タンタル酸リチウム単結晶ウエ−ハ

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JPS61151098A
JPS61151098A JP59280820A JP28082084A JPS61151098A JP S61151098 A JPS61151098 A JP S61151098A JP 59280820 A JP59280820 A JP 59280820A JP 28082084 A JP28082084 A JP 28082084A JP S61151098 A JPS61151098 A JP S61151098A
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新二 牧川
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はタンタル酸リチウム単結晶ウェーハに関するも
のであり、特には性能・品質の一定したＳＡＷデバイス
を作成するために好適とされる該単結晶ウェーハの提供
を目的とする。
（従来の技術） 従来、タンタル酸リチウム、二オフ酸リチウム、水晶等
の１ｐ−結晶は強誘電体および圧電材料として知られて
おり、たとえばＳＡＷデバイス用単用品結晶材料て実用
化されている。二九らの単結晶材料のうちでタンタル酸
リチウムは電気機械結合係数が比較的高く、かつ温度の
変動にともなう特性変化が小さいため、ＶＴＲ用共振子
、テレビのＰＩＦフィルターに使用されているほか、高
周波通信機用に有用な材料である。
タンタル酸リチウム単結晶は一般にチョクラルスキー法
によって融液状のＬ　ｉ　Ｔ　ａ　Ｏ，から引上げ成長
させることにより製造されており、この引上げられた単
結晶は分極処理（ポーリング処理）により単分域強誘電
体としたのち、円柱状に加工し、さらに一定の結晶面方
位を有するつ工−ハ状に切断し研磨した基板状で各種デ
バイス用に提供されている。
たとえばＳＡＷデバイスはこのようにして製作されたウ
ェーハ基板上に主としてＡＱからなる電極を形成したの
ち角形のチップ状に切り出すことにより作成される。こ
の際、デバイスのサイズによって１枚のｊ＆板から１個
あるいは同時に複数個、多い場合には３インチウェーハ
の場合で２００個以−ヒのデバイスが作成される。さら
にコスト低減の観点から基板の直径は２インチから３イ
ンチ、４インチへと大口径化が進み、１枚のウェーハか
らきわめて多数個のデバイスを作成することが多く行わ
れており、ますますデバイスの性質１品質の均一化が要
求される。
しかしながら、従来のタンタル酸リチウム単結晶ウェー
ハは、これから作成されたＳＡＷデバイスに関し重要な
特性とされる光学的性質（複屈折）を調へると　その値
の変動幅がかなり大きく、これがＳＡＷデバイスの性質
・品質を低下させる原因となっている。
（発明の構成） 本発明者らは従来のかかる不利欠点を解決するため、Ｓ
ＡＷデバイス作成に使用されるタンタル酸リチウム単結
晶ウェーハについて、光学的性質である複屈折値とＳＡ
Ｗデバイスの音速との関係について詳細に調べた結果、
同一のウェーハ内において複屈折値の変動幅がある特定
の値に入っており、ウェーハの複屈折値が特定値の場合
に、性質・品質の一定したすぐれたＳＡＷデバイスが得
られることを確認した。すなわち、ウェーハ内の複屈折
値の変動幅が±６ＸＩＯ−’をこえると、このウェーハ
から作成されたＳＡＷデバイスは音速が０．１椙と大き
く変動し１品質・性質が一定でなくなり劣るものとなる
本発明は上記知見に基いて完成されたものであり、これ
はウェーハ内の、温度２０℃波長０．６３２８μｍで測
定した複屈折値の変動幅が±６Ｘ１０−’以内、より好
ましくは±３　Ｘ　１０−’以内であるタンタル酸リチ
ウム単結晶ウェーハ、特には温度２０℃波長０．６３２
８μｍで測定した複屈折値が４．５　Ｘ　１０−’±６
×１０−’、好ましくは４．５　Ｘ　１０−３±３　Ｘ
　ｔｏ−’である該ウェーハに関するものである。
つぎに実施例をあげて具体的に説明する。
実施例１ 表−」に示されるような複屈折の値、同一ウェーハ内の
複屈折の変動幅をもつ種々のタンクル酸リチウｔ１単結
晶ウェーハを準備した。ただし、複屈折値の測定は第１
図に示した光学系により、温度２０°Ｃ波長００６３２
８μｍで行った。
つぎに各ウェーハ上に、第２図に示すくし形フィルター
をＳＡＷの伝播方向が１１２°Ｙ方向と平行となるよう
にパターニングし、第３図に示すシステ１１でＳＡＷの
音速■を測定した。シグナルジェネレータの周波数を自
動スキャンしながら人出信号間の位相差を測定し音速Ｖ
を次式によって求めた。
Ｖ＝２πＬ／ｄｇ Ｗ ■　＝　音速 Ｌ　：　くし形電極間の距離 ｄφ　：位相変化 ｄｖ：周波数変化 ｄφの大きさが２０波長遅れる周波数変化ΔＷをＣＰ　
Ｕにより自動測定してＶ＝Ｌ・Δす／２０として決定し
た。なお、測定周波数は９５　Ｍｔｌｚから１０５Ｍ１
１７である。
結果は表−１に示すとおりてあり、各実験例中Ｎ０９２
、Ｎｏ、　４、Ｎｏ、５およびＮｏ、６はＳＡＷの音速
の基準値に対する最大のズレ、およびＳＡＷの音速の同
一ウェーハ内の変動幅が共に小さく、すぐれていること
が判る。
【図面の簡単な説明】

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、ウエーハ内の、温度２０℃波長０．６３２８μｍで
    測定した複屈折値の変動幅が±６×１０＾−＾４以内で
    あるタンタル酸リチウム単結晶ウエーハ。 ２、温度２０℃波長０．６３２８μｍで測定した複屈折
    値が４．５×１０＾−＾３±６×１０＾−＾４である、
    特許請求の範囲第１項記載のタンタル酸リチウム単結晶
    ウエーハ。
JP59280820A 1984-12-24 1984-12-24 タンタル酸リチウム単結晶ウエ−ハ Granted JPS61151098A (ja)

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