JPS61144911A - 弾性表面波フイルタ - Google Patents
弾性表面波フイルタInfo
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- JPS61144911A JPS61144911A JP26615284A JP26615284A JPS61144911A JP S61144911 A JPS61144911 A JP S61144911A JP 26615284 A JP26615284 A JP 26615284A JP 26615284 A JP26615284 A JP 26615284A JP S61144911 A JPS61144911 A JP S61144911A
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- surface acoustic
- acoustic wave
- electrodes
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
- H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
- H03H9/14552—Transducers of particular shape or position comprising split fingers
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- H—ELECTRICITY
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- H03H9/14517—Means for weighting
- H03H9/14529—Distributed tap
- H03H9/14535—Position weighting
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6489—Compensation of undesirable effects
- H03H9/6493—Side lobe suppression
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、開口長一定のまま、隣接する異極性電極指間
隔を変えることにより弾性表面波の励起強度を変え、従
来の交差幅を変化させた重み付け電極と同様な効果が得
られる電極を用いた弾性表面波フィルタに関する。
隔を変えることにより弾性表面波の励起強度を変え、従
来の交差幅を変化させた重み付け電極と同様な効果が得
られる電極を用いた弾性表面波フィルタに関する。
従来、一般的に知られている弾性表面波フィルタのすだ
れ状電極は、第２図（ａ）に示すよ５Ｋ、相互に、くし
歯状電極１．１°が差し込まれている形状を有し、その
電極指幅２と隣接電極指間隔３とが等しく、かつ、電極
指交差＠４も全て同一の、いわゆる正規型電極である。
れ状電極は、第２図（ａ）に示すよ５Ｋ、相互に、くし
歯状電極１．１°が差し込まれている形状を有し、その
電極指幅２と隣接電極指間隔３とが等しく、かつ、電極
指交差＠４も全て同一の、いわゆる正規型電極である。
そして、この電極は、次式で表される周波数特性ＨＣｆ
）を有することが知られている。（ＣａＨａｒｔｍａｎ
ｎ ｅｔ ａＬ ； ＩＥＥＥ ＴｒａｎｓｏＭｉｃｒ
ｏｗａｖｅ ＴｈｅｏｒｙＴｅｃｈ、 、 ｖｏｌ、
Ｍｒ、−２１，ｐｐ１ｄ２〜１７５． Ａｐｒｉｌ １
９７３）Ｈ（ｆ）ａ−ｖ ｅｘｐ（−ｊωＮ／
２ｆ）・・−・・（１） ｘ −Ｎ ｘ （ｆ −ｆ ） ／ ｆ−−−・−（２
）ここで、Ｎ、π、ｆ、ｆ、ωはそれぞれ、電極対数、
円周率、周波数、中心周波数、角周波数を表す。また、
第２図（ｂ）に、Ｎ−１４０場合の撮幅周波数特性を示
す。横軸は化層波数ｆｆを、縦軸は減衰量を示す。
）を有することが知られている。（ＣａＨａｒｔｍａｎ
ｎ ｅｔ ａＬ ； ＩＥＥＥ ＴｒａｎｓｏＭｉｃｒ
ｏｗａｖｅ ＴｈｅｏｒｙＴｅｃｈ、 、 ｖｏｌ、
Ｍｒ、−２１，ｐｐ１ｄ２〜１７５． Ａｐｒｉｌ １
９７３）Ｈ（ｆ）ａ−ｖ ｅｘｐ（−ｊωＮ／
２ｆ）・・−・・（１） ｘ −Ｎ ｘ （ｆ −ｆ ） ／ ｆ−−−・−（２
）ここで、Ｎ、π、ｆ、ｆ、ωはそれぞれ、電極対数、
円周率、周波数、中心周波数、角周波数を表す。また、
第２図（ｂ）に、Ｎ−１４０場合の撮幅周波数特性を示
す。横軸は化層波数ｆｆを、縦軸は減衰量を示す。
しかし、この従来例では、第２図（ｂ）に示すように、
サイドローブレベル５の減衰量が小さく、フィルタとし
て使用する場合、望ましくない周波数が出力として検出
されるという不具合があった。
サイドローブレベル５の減衰量が小さく、フィルタとし
て使用する場合、望ましくない周波数が出力として検出
されるという不具合があった。
また、上記欠点を改善する目的で、隣接する（し歯状電
極指の交差幅を変化させる、いわゆる重み付け電極（米
国特許第５，６６３，８９９号）を用いることができる
が、この場合弾性表面波フィルタの２個のすだれ状電極
のうち、一方だけにしか使用することが出来ず、他方は
前述の正規型電極を必要としていた。所望の周波数特性
の関係上、どうしても双方ともに重み付け電極を用いよ
うとすると、マルチストリップカプラを使用せざるを得
ないが、その場合には、圧電性基板の面積が約２倍にな
るという不具合があった。（Ｆ’、 Ｑ Ｍａｒｓｈａ
ｌｌｅｔ ａｌ、 ； ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ、ｉＶＩ
″Ｔ−２１，４，２０６（１９７３） また、くし歯状電極の交差幅を一定にして、電極指幅の
電極繰り返し周期に対する割合を変化させる技術（米国
特許第５，８８２．４５５号）も知られているが、この
場合は、電極の有無により生じる弾性表面波の特性イン
ピーダンスの違いによる不要反射波を生じ、周波数特性
の劣化を来すという欠点を有している。
極指の交差幅を変化させる、いわゆる重み付け電極（米
国特許第５，６６３，８９９号）を用いることができる
が、この場合弾性表面波フィルタの２個のすだれ状電極
のうち、一方だけにしか使用することが出来ず、他方は
前述の正規型電極を必要としていた。所望の周波数特性
の関係上、どうしても双方ともに重み付け電極を用いよ
うとすると、マルチストリップカプラを使用せざるを得
ないが、その場合には、圧電性基板の面積が約２倍にな
るという不具合があった。（Ｆ’、 Ｑ Ｍａｒｓｈａ
ｌｌｅｔ ａｌ、 ； ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ、ｉＶＩ
″Ｔ−２１，４，２０６（１９７３） また、くし歯状電極の交差幅を一定にして、電極指幅の
電極繰り返し周期に対する割合を変化させる技術（米国
特許第５，８８２．４５５号）も知られているが、この
場合は、電極の有無により生じる弾性表面波の特性イン
ピーダンスの違いによる不要反射波を生じ、周波数特性
の劣化を来すという欠点を有している。
以上述べたよ５に、圧電性基板面積を増大することなく
、また不要反射波も生ぜしめないで、重み付け電極と組
合せが可能な上、帯域外サイドロープレベルを十分抑圧
することが出来る電極構成が望まれていた。
、また不要反射波も生ぜしめないで、重み付け電極と組
合せが可能な上、帯域外サイドロープレベルを十分抑圧
することが出来る電極構成が望まれていた。
本発明の目的は、上記従来のものの不具合点を改善した
弾性表面波フィルタを提供することｋある。
弾性表面波フィルタを提供することｋある。
上記目的を達成するために本発明においては、すだれ状
電極を構成しているくし歯状電極の一部の電極指間隔に
、電極の繰り返し周期や交差幅を一定にしたままで、広
狭の差を設けることによって弾性表面波の励起強度に差
異を生じさせ、電極交差部を変化させないで、重み付け
電極と同様の効果を持たせるようにした。弾性表面波の
励起強度は、基板材料の圧１常数と印加された電界強度
の積で表されることは一般によ（知られている。複数個
のくし歯状電極よりなるすだれ状電極に所定の電圧を印
加した時、くし歯状電極の異極性電極指間隔が狭い個所
はど電界強度が大きくなり、弾性表面波の励起強度が太
き（なる。すなわち、基板材料の圧電常数（圧電α常ａ
）が一定なので、弾性表面波の励起強度は、（し歯状電
極の異極性電極指間隔に逆比例することＫなる。
電極を構成しているくし歯状電極の一部の電極指間隔に
、電極の繰り返し周期や交差幅を一定にしたままで、広
狭の差を設けることによって弾性表面波の励起強度に差
異を生じさせ、電極交差部を変化させないで、重み付け
電極と同様の効果を持たせるようにした。弾性表面波の
励起強度は、基板材料の圧１常数と印加された電界強度
の積で表されることは一般によ（知られている。複数個
のくし歯状電極よりなるすだれ状電極に所定の電圧を印
加した時、くし歯状電極の異極性電極指間隔が狭い個所
はど電界強度が大きくなり、弾性表面波の励起強度が太
き（なる。すなわち、基板材料の圧電常数（圧電α常ａ
）が一定なので、弾性表面波の励起強度は、（し歯状電
極の異極性電極指間隔に逆比例することＫなる。
また、第２図（ａ）に示した従来の様な形のまま、異極
性電極指間隔を変化させると、前述したよ５に、電極の
有無により生じる特性インピーダンスの不連続から不要
反射波を生じる。
性電極指間隔を変化させると、前述したよ５に、電極の
有無により生じる特性インピーダンスの不連続から不要
反射波を生じる。
そこで、この問題を解決するために第１図（ａ）に示す
ように、すだれ状電極の中央部では、くし歯状電極指幅
およびそれらの間隔をλ／１６（λは弾性表面波の波長
）とした同極性電極指を４本組６とし、外側部では、電
極指幅および間隔がλ／８の同極性電極指を２本組７と
して構成した。λ／１６幅電極指４本組とλ／８幅電極
指２本組は、いずれも上記不要反射波をすだれ状電極内
部で相殺し、周波数特性上の劣化を生じない。このうち
、λ／８幅電極指２本組は、不要反射波を生じない構成
として既に知られているものである（米国特許第３，７
２ス１５５号）。
ように、すだれ状電極の中央部では、くし歯状電極指幅
およびそれらの間隔をλ／１６（λは弾性表面波の波長
）とした同極性電極指を４本組６とし、外側部では、電
極指幅および間隔がλ／８の同極性電極指を２本組７と
して構成した。λ／１６幅電極指４本組とλ／８幅電極
指２本組は、いずれも上記不要反射波をすだれ状電極内
部で相殺し、周波数特性上の劣化を生じない。このうち
、λ／８幅電極指２本組は、不要反射波を生じない構成
として既に知られているものである（米国特許第３，７
２ス１５５号）。
そして、今回、λ／１６＠電極指４本組も全く同様に不
要反射波を生じないことが分かったので、前述の如く、
励起強度をすだれ状電極中央部分では強（、外側部分で
は弱くするために、これらの電極を第１図（ａ）Ｋ示す
如く組合せた。
要反射波を生じないことが分かったので、前述の如く、
励起強度をすだれ状電極中央部分では強（、外側部分で
は弱くするために、これらの電極を第１図（ａ）Ｋ示す
如く組合せた。
このように本発明によれば、基板面積を増大させること
なく、また不要反射波を生じることもなく、同一開口長
（第１図Ｃａｉ中の４）で、弾性表面波の励起強度に変
化をつけることが可能となる。また、本発明によるすだ
れ状電極は、従来の開口長を変化させた、いわゆる重み
付け電極との組合せが可能であることは云うまでもない
。
なく、また不要反射波を生じることもなく、同一開口長
（第１図Ｃａｉ中の４）で、弾性表面波の励起強度に変
化をつけることが可能となる。また、本発明によるすだ
れ状電極は、従来の開口長を変化させた、いわゆる重み
付け電極との組合せが可能であることは云うまでもない
。
第１図（ａ）に示した実施例について本発明を更に詳し
く説明する。圧電性基板（図示せず）としては、１２８
ＯＹ軸カツトのニオブ酸リチウム単結晶を用い、弾性表
面波の伝搬方向をＸ軸とした。入力電極として本発明に
係るすだれ状電極を用いた。
く説明する。圧電性基板（図示せず）としては、１２８
ＯＹ軸カツトのニオブ酸リチウム単結晶を用い、弾性表
面波の伝搬方向をＸ軸とした。入力電極として本発明に
係るすだれ状電極を用いた。
を極対数は１８対とし、中央電極から両側外側方向５対
目までを、電極指幅と電極指間隔を０．６μｍ（２７１
６幅）とし、それらを４本組（図中６）にして同一の共
通電極（図中１０）に接続し、６対目から９対目までを
、１２μｍ幅の電極指を２本組（図中７）として、共通
電極に接続した。また、群遅延時間特性を平坦にする目
的で、中央電極に対して、対称の構成とした。この時、
弾性表面波の励起強度の分布は、中央部は外側部分に対
して、約２倍の励起強度を持つようになる。そして、こ
の入力電極のみの周波数特性を第１図（ｂ）に示す。第
２図（ｂ）に示した従来の正規型蹴極の特性と比較して
、中心周波数付近の応答は、はぼ同一で、サイドロープ
レベル８が約１０ｄＢ改善されていることが分かる。ま
た、出力電極（図示せず）としては、電極指交差幅を変
化させた６０対の従来通りの重み付け電極を用いた。上
記弾性表面波フィルタは、衛星放送受信機の第２中間周
波数帯に用いるため、中心周波数を、４０２．７８ＭＨ
１とした。上記すだれ状電極は、１０００Ａのアルミニ
ウム蒸着膜なホトリングラフ技術により形成した。また
、本実施例の場合は、群遅延特性の観点から、電極構成
を中心電極に対して対称としたが、一般的に重み付けだ
けを行う場合には、その必然性がないことは当然である
。
目までを、電極指幅と電極指間隔を０．６μｍ（２７１
６幅）とし、それらを４本組（図中６）にして同一の共
通電極（図中１０）に接続し、６対目から９対目までを
、１２μｍ幅の電極指を２本組（図中７）として、共通
電極に接続した。また、群遅延時間特性を平坦にする目
的で、中央電極に対して、対称の構成とした。この時、
弾性表面波の励起強度の分布は、中央部は外側部分に対
して、約２倍の励起強度を持つようになる。そして、こ
の入力電極のみの周波数特性を第１図（ｂ）に示す。第
２図（ｂ）に示した従来の正規型蹴極の特性と比較して
、中心周波数付近の応答は、はぼ同一で、サイドロープ
レベル８が約１０ｄＢ改善されていることが分かる。ま
た、出力電極（図示せず）としては、電極指交差幅を変
化させた６０対の従来通りの重み付け電極を用いた。上
記弾性表面波フィルタは、衛星放送受信機の第２中間周
波数帯に用いるため、中心周波数を、４０２．７８ＭＨ
１とした。上記すだれ状電極は、１０００Ａのアルミニ
ウム蒸着膜なホトリングラフ技術により形成した。また
、本実施例の場合は、群遅延特性の観点から、電極構成
を中心電極に対して対称としたが、一般的に重み付けだ
けを行う場合には、その必然性がないことは当然である
。
また、第５図は別の実施例を示す。これは、λ／１６幅
電極指４本組と、λ／８幅電極指２本組の間に、λ／１
２幅電極指３本組を挿入したものであり、この時には、
励起強度分布の自由度は更に増大する。λ／１２幅電極
指３本組でも、不要反射波を相殺することは同様である
。
電極指４本組と、λ／８幅電極指２本組の間に、λ／１
２幅電極指３本組を挿入したものであり、この時には、
励起強度分布の自由度は更に増大する。λ／１２幅電極
指３本組でも、不要反射波を相殺することは同様である
。
以上説明したように本発明によれば、隣接する異極性く
し歯状電極指の交差幅を変化させることなく、またフィ
ルタの基板寸法を増大させることなく、弾性表面波の励
起強度を変えることが出来た。その結果、従来の電極指
交差幅を変化させた重み付け電極と同様の効果を得て、
サイドロープレベルを大幅に改善することが出来、弾性
表面波フィルタの特性向上を実現することが出来た。第
１図（ａ）に示した実施例の周波数特性（第１図（ｂ）
）と第２図（ａ）Ｋ示した従来例の周波数特性（第２図
（ｂ））とを比較すると約１０ｄＢのサイドロープレベ
ル改善効果が認められる。
し歯状電極指の交差幅を変化させることなく、またフィ
ルタの基板寸法を増大させることなく、弾性表面波の励
起強度を変えることが出来た。その結果、従来の電極指
交差幅を変化させた重み付け電極と同様の効果を得て、
サイドロープレベルを大幅に改善することが出来、弾性
表面波フィルタの特性向上を実現することが出来た。第
１図（ａ）に示した実施例の周波数特性（第１図（ｂ）
）と第２図（ａ）Ｋ示した従来例の周波数特性（第２図
（ｂ））とを比較すると約１０ｄＢのサイドロープレベ
ル改善効果が認められる。
また、帯域内特性に関しても、入出力電極ともに重み付
けが可能であることから、フィルタ設計の自由度が大幅
に向上した。
けが可能であることから、フィルタ設計の自由度が大幅
に向上した。
第１図Ｃａ＞は本発明の一実施例図、第１図型すだれ状
電極の図、第２図（ｂ）は其の周波数特性図である。 ４・・・電極開口長、６・・・λ／１６＠電極指４本組
の電極、７・・・λ／８幅電極指２本組の電極、８・・
・本発明に係る重み付け電極単独の周波数特性に於ける
サイドロープ、９・・・λ／１２幅電極指５本組の電極
、１０・・・共通電極。 第２ 図 ’−Ｂ Ｏ１９ｔ、ｏ ｒ、ｔ
／、２比Ｍ漢数 ケ。 第 １ 図 比胆又収−怖
電極の図、第２図（ｂ）は其の周波数特性図である。 ４・・・電極開口長、６・・・λ／１６＠電極指４本組
の電極、７・・・λ／８幅電極指２本組の電極、８・・
・本発明に係る重み付け電極単独の周波数特性に於ける
サイドロープ、９・・・λ／１２幅電極指５本組の電極
、１０・・・共通電極。 第２ 図 ’−Ｂ Ｏ１９ｔ、ｏ ｒ、ｔ
／、２比Ｍ漢数 ケ。 第 １ 図 比胆又収−怖
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）電気信号を弾性表面波に変換する第１のすだれ状電
極と、この弾性表面波を伝搬させる物質と、弾性表面波
を再び電気信号に変換する第２のすだれ状電極とを一つ
の圧電性基板上に形成させた弾性表面波フィルタにおい
て、少なくとも一方のすだれ状電極の開口長が一定で、
かつ、外側部分の電極の電極指幅は中央付近の電極の電
極指幅より大きく、更に、共通電極に接続している各電
極それぞれ複数の電極指本数が、外側部分の電極の場合
は中央付近の電極の場合よりも少ないことを特徴とする
弾性表面波フィルタ。 ２）上記開口長一定の電極で、共通電極に接続している
複数の電極指が、弾性表面波波長の半分の周期で極性が
変わり、かつ、その周期のなかでは電極指幅と隣接電極
指間隔とが等しいことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の弾性表面波フィルタ。 ３）上記開口長一定の電極で、外側部分の電極指幅が、
弾性表面波波長の１／８であり、かつ、中央付近の電極
指幅が弾性表面波波長の１／１２又は１／１６であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波
フィルタ。 ４）上記開口長一定の電極で、外側部分の幅の大きい電
極指が、該電極の中央部に対して、軸対称に配置されて
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弾性
表面波フィルタ。 ５）上記開口長一定の電極と弾性表面波を送受する他方
のすだれ状電極が、隣接する異極性電極指により形成さ
れる交差幅を変化させた重み付け電極であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波フィルタ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26615284A JPS61144911A (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 | 弾性表面波フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26615284A JPS61144911A (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 | 弾性表面波フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61144911A true JPS61144911A (ja) | 1986-07-02 |
Family
ID=17427013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26615284A Pending JPS61144911A (ja) | 1984-12-19 | 1984-12-19 | 弾性表面波フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61144911A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53136938A (en) * | 1977-05-06 | 1978-11-29 | Fujitsu Ltd | Elastic surface wave filter |
| JPS5452958A (en) * | 1977-10-04 | 1979-04-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Elastic surface wave device |
-
1984
- 1984-12-19 JP JP26615284A patent/JPS61144911A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53136938A (en) * | 1977-05-06 | 1978-11-29 | Fujitsu Ltd | Elastic surface wave filter |
| JPS5452958A (en) * | 1977-10-04 | 1979-04-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Elastic surface wave device |
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