JPS61142471A - インピ−ダンス測定器 - Google Patents

インピ−ダンス測定器

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JPS61142471A
JPS61142471A JP26604884A JP26604884A JPS61142471A JP S61142471 A JPS61142471 A JP S61142471A JP 26604884 A JP26604884 A JP 26604884A JP 26604884 A JP26604884 A JP 26604884A JP S61142471 A JPS61142471 A JP S61142471A
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JP
Japan
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signal
sample
resistor
amplifier
signal path
Prior art date
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JP26604884A
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English (en)
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JPH0511585B2 (ja
Inventor
Toshiyuki Yagi
矢木 利幸
Shigeru Kawabata
川畑 茂
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Hewlett Packard Japan Inc
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Yokogawa Hewlett Packard Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 本発明は、試料に直流バイアス信号および交流信号を重
畳して印加し、前記試料のインピーダンス等の交流特性
を測定するインピーダンス測定器に関する。
〔従来技術〕
従来から、試料に直流バイアス信号および交流信号を重
畳して印加し、前記試料の直流バイアス電圧−キャパシ
タンス特性等を測定するインピーダンス測定器として、
第2図に示す装置が使用されている。
第2図において、交流信号# lotは、増幅器201
を介して、トランス20201次側巻線TIに接続され
ている。トランス202の2次側巻線T2の一端は、一
方の試料接続用端子B1を介してダイオード等の試料1
10へ接続されている。他方の試料接続用鳴子82は、
増幅器1120反転入力端子お。
よび可変のレンジ抵抗器ttiの一方の端子へ接続され
ている。レンジ抵抗器111の他方の端子は増幅器11
2の出力端子へ接続されている。増幅器112の非反転
入力端子および基本端子はキャパシタ2051に介して
トランス20202次側巻線T2の他端へ接続されてい
る。キャパシタ205は直流信号を阻止するために設け
られている。又、2次巻線T2の他端は、抵抗器204
、増幅器203を介して可変の直流電源102へ接続さ
れている。抵抗器204は、交流信号を阻止するための
抵抗器である。前記の如く構成されたインピーダンス測
定器の動作を以下説明する。
まず、直流!源102からの直流電流は増幅器203、
抵抗器204.2次側巻線T2、試料110、レンジ抵
抗器111および増幅器1120基準端子を介して基準
電位に流れる。
一方、交流信号源101からの交流電流は、増幅器20
1.トランス202、試料110 、レンジ抵抗器ii
t 、増幅器1120基準端子およびキャパシタ205
を介してトランス202へ流レル。
試料110の直流バイアス電圧−キャパシタンス特性を
測定する場合、直流電源102の出力電圧を調節し、試
料110に所望のバイアス電圧を供給する。次に、交流
 潰ホ鴎信号源101の出力電圧、出力周波数等を調節
し、試料110に交流信号を印加する。この状態で測定
用端子A1.A2間交流電圧および測定用端子A3 、
A4間交流電圧を測定することにより試料のキャパシタ
ンスを得る(特開昭56−126769号参照)。その
結果として、試料110の直流バイアス電圧−命ヤバシ
タンス特性が得られる。
前記の如くして試料の直流バイアス特性を測定すること
は可能であるが、試料110のバイアス電圧を所望直に
設定するために直流電源102の出力電圧を変えた場合
、試料110に供給されるバイアス電圧が所定随に安定
するための時間は、抵抗器204およびキャパシタ20
50時定数によって失まっ−でしまう。抵抗器204は
、交流信号を阻止するための抵抗器であるため、あまり
小さな直とすることはで−きない(例えば470Ω程度
)。したがって、試料110のバイアス電圧が安定する
までの時間を短か(できないため、短時間で試料のバイ
アス特性を測定できないという欠点があった。
〔発明の目的〕
本発明は、直流バイアス電圧の設定を短時間で行なえる
ようにしたインピーダンス測定器を提供することを目的
とする。
〔発明の構成〕
本発明のインピーダンス測定器は、交流信号のみを通す
信号路と、直流信号と交流信号とを重畳した信号を通す
信号路を設け、前記両信号路からの信号を試料に印加し
、前記試料の直流バイアス特性を測定す′るようにし”
たことを特徴としている。
〔実施例〕
第1′図は本発明のインピーダンス測定器のブロック図
である。
第1図と同一部分には同一符号を付している。
第1図において、交流信号源lotは増幅器104の入
力端−子および加算器103の一方の入力端子に接続さ
れている。増幅器104の出゛力端子は抵抗器1’05
、キャパシタ106を介しゼ試料接続用端子B1に゛接
続されている。試料接続用端子82は、レンジ抵抗器1
11の一方の端子および増幅器112の反転入力端子に
接続゛されている。試料接続用端子81、B2’間には
試料110が接続されている。レンジ抵抗器lllの他
方の端子は演算増幅器112の出力部に接続されている
。 ′       ゛増幅器11’2の非反転入力端
子および基準端子は基準電位に接続されている。一方、
直流電源102は加算器゛103の他°方の入力端子に
′接続されている。
加算器103の出力端子は、増幅器107 、抵抗器1
08およびインダクタ109を介して試料接続用端子B
lに接続されている。
前記の如く構成されたインピーダンス測定器の動作を以
下説明する。直流電源102の出力電圧は加算器103
で交流信号源101からの交流電圧と加算され、前記加
算された電流は、増幅器107、抵抗器108、インダ
クタ109、試料110.レンジ抵抗器111および演
算増幅器112の基準端子を介して基準電位へ流れる。
一方、交流信号源101からの交流電流は、前記信号路
の他に、増幅器104、抵抗器105、キャ□バシーク
106、試料110、レンジ抵抗器111、演算増幅器
112の基準端子を介して基準電位へ流れる。
試料110のバイアス電圧特性を測定する場合には、ま
ず、直流電源102の出力電圧をallwJすることに
より、試料に所望の直流バイアス電圧を供給する。その
後、交流信号源101の出力電圧、出力周波数を調節し
、前記同様にして測定用端子人1〜A4から得られる交
流電圧を基に試料110のバイアス電圧特性を得る。
本発明では、従来技術の欠点を除去するために、前記の
如(交流信号のみが通る信号路と交流信号および直流信
号が通る信号路を使用しており、以下、その動作を詳細
に説明する。
交流信号源101からの交流信号は、増幅器104、抵
抗器105およびキャパシタ106から成る@1の信号
路と、増幅器107、抵抗器108およびインダクタ1
09から成る第2の信号路とを通って試料110へ印加
される。
第1の信号路を通った交流信号は、抵抗器lO5および
キャパシタ106により低域がカットされ、高域の信号
成分のみが出′力される(第3図の300゜逆に、第2
の信号路を通った交流信号は、抵抗器108およびイン
ダクタ゛109によ□り高域がカットされ、低域の信号
成分のみが出力される(第3図の302)。従って、試
料110には、前記両信号路から出力される信号を合成
した信号が印加される。
ここで、抵抗器105.108、キャパシタ106、イ
ンダクタ109の1直を各々al、R,,C,Liとす
ると、 R4=R2=1/Qlc11C=ωcaLωc −t/
 (i、 @ c) となるように容置を選定し且つ、増幅器104 、10
7の利得を等しくする。これによって、第3図の303
に示すように前記第1.第2の信号路の利得を合成した
場合、特性が平坦になる。従って、全体として利得が平
坦で、出力インピーダンスがR,+ (= R2)の広
帯域増幅器として動作する。直流信号は前記第2の信号
路を通って試料110に印加されるため、結果として、
直流信号および交流信号を増幅する広帯域増幅器が形成
されたことになる。
ここで、直流バイアス電圧の応答の時定数は、Jですな
わち、第1信号路および第2信号路のクロスオーバ点に
よって決定されるが、前記り若しくはCを小さくするこ
とにより、安定するまでの時間を極めて早くすることが
できる。
〔轡明の効果〕
本発明のインピーダンス測定器によれば、直流バイアス
が安定するまでの時間を極めて短かくできるので、試料
の直流バイアス特性を短時間で測定できる。
又、広帯域増幅器を形成できるので、広い周波数帯域で
の測定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明のインピーダンス測定器のブロック図
。 第2図は、従来のインピーダンス測定器のブロック図。 第3図は本発明のイノピーダンス測定器の説明図。 103:加算器 104.107,112,201,203二増幅器11
0 :試料 111 :レンジ抵抗器

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 試料に直流信号源からの直流信号と交流信号源からの交
    流信号とを重畳して印加し、前記試料の交流特性を測定
    するインピーダンス測定器において、前記交流信号のみ
    を前記試料に導出する第1信号路と、前記交流信号およ
    び前記直流信号を前記試料に導出する第2信号路とを具
    備することを特徴とする前記インピーダンス測定器。
JP26604884A 1984-12-17 1984-12-17 インピ−ダンス測定器 Granted JPS61142471A (ja)

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JP26604884A JPS61142471A (ja) 1984-12-17 1984-12-17 インピ−ダンス測定器

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JP26604884A JPS61142471A (ja) 1984-12-17 1984-12-17 インピ−ダンス測定器

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JPS61142471A true JPS61142471A (ja) 1986-06-30
JPH0511585B2 JPH0511585B2 (ja) 1993-02-15

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JPH0511585B2 (ja) 1993-02-15

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