JPS61142471A - インピ−ダンス測定器 - Google Patents
インピ−ダンス測定器Info
- Publication number
- JPS61142471A JPS61142471A JP26604884A JP26604884A JPS61142471A JP S61142471 A JPS61142471 A JP S61142471A JP 26604884 A JP26604884 A JP 26604884A JP 26604884 A JP26604884 A JP 26604884A JP S61142471 A JPS61142471 A JP S61142471A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- sample
- resistor
- amplifier
- signal path
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- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、試料に直流バイアス信号および交流信号を重
畳して印加し、前記試料のインピーダンス等の交流特性
を測定するインピーダンス測定器に関する。
畳して印加し、前記試料のインピーダンス等の交流特性
を測定するインピーダンス測定器に関する。
従来から、試料に直流バイアス信号および交流信号を重
畳して印加し、前記試料の直流バイアス電圧−キャパシ
タンス特性等を測定するインピーダンス測定器として、
第２図に示す装置が使用されている。
畳して印加し、前記試料の直流バイアス電圧−キャパシ
タンス特性等を測定するインピーダンス測定器として、
第２図に示す装置が使用されている。
第２図において、交流信号＃ ｌｏｔは、増幅器２０１
を介して、トランス２０２０１次側巻線ＴＩに接続され
ている。トランス２０２の２次側巻線Ｔ２の一端は、一
方の試料接続用端子Ｂ１を介してダイオード等の試料１
１０へ接続されている。他方の試料接続用鳴子８２は、
増幅器１１２０反転入力端子お。
を介して、トランス２０２０１次側巻線ＴＩに接続され
ている。トランス２０２の２次側巻線Ｔ２の一端は、一
方の試料接続用端子Ｂ１を介してダイオード等の試料１
１０へ接続されている。他方の試料接続用鳴子８２は、
増幅器１１２０反転入力端子お。
よび可変のレンジ抵抗器ｔｔｉの一方の端子へ接続され
ている。レンジ抵抗器１１１の他方の端子は増幅器１１
２の出力端子へ接続されている。増幅器１１２の非反転
入力端子および基本端子はキャパシタ２０５１に介して
トランス２０２０２次側巻線Ｔ２の他端へ接続されてい
る。キャパシタ２０５は直流信号を阻止するために設け
られている。又、２次巻線Ｔ２の他端は、抵抗器２０４
、増幅器２０３を介して可変の直流電源１０２へ接続さ
れている。抵抗器２０４は、交流信号を阻止するための
抵抗器である。前記の如く構成されたインピーダンス測
定器の動作を以下説明する。
ている。レンジ抵抗器１１１の他方の端子は増幅器１１
２の出力端子へ接続されている。増幅器１１２の非反転
入力端子および基本端子はキャパシタ２０５１に介して
トランス２０２０２次側巻線Ｔ２の他端へ接続されてい
る。キャパシタ２０５は直流信号を阻止するために設け
られている。又、２次巻線Ｔ２の他端は、抵抗器２０４
、増幅器２０３を介して可変の直流電源１０２へ接続さ
れている。抵抗器２０４は、交流信号を阻止するための
抵抗器である。前記の如く構成されたインピーダンス測
定器の動作を以下説明する。
まず、直流！源１０２からの直流電流は増幅器２０３、
抵抗器２０４．２次側巻線Ｔ２、試料１１０、レンジ抵
抗器１１１および増幅器１１２０基準端子を介して基準
電位に流れる。
抵抗器２０４．２次側巻線Ｔ２、試料１１０、レンジ抵
抗器１１１および増幅器１１２０基準端子を介して基準
電位に流れる。
一方、交流信号源１０１からの交流電流は、増幅器２０
１．トランス２０２、試料１１０ 、レンジ抵抗器ｉｉ
ｔ 、増幅器１１２０基準端子およびキャパシタ２０５
を介してトランス２０２へ流レル。
１．トランス２０２、試料１１０ 、レンジ抵抗器ｉｉ
ｔ 、増幅器１１２０基準端子およびキャパシタ２０５
を介してトランス２０２へ流レル。
試料１１０の直流バイアス電圧−キャパシタンス特性を
測定する場合、直流電源１０２の出力電圧を調節し、試
料１１０に所望のバイアス電圧を供給する。次に、交流
潰ホ鴎信号源１０１の出力電圧、出力周波数等を調節
し、試料１１０に交流信号を印加する。この状態で測定
用端子Ａ１．Ａ２間交流電圧および測定用端子Ａ３ 、
Ａ４間交流電圧を測定することにより試料のキャパシタ
ンスを得る（特開昭５６−１２６７６９号参照）。その
結果として、試料１１０の直流バイアス電圧−命ヤバシ
タンス特性が得られる。
測定する場合、直流電源１０２の出力電圧を調節し、試
料１１０に所望のバイアス電圧を供給する。次に、交流
潰ホ鴎信号源１０１の出力電圧、出力周波数等を調節
し、試料１１０に交流信号を印加する。この状態で測定
用端子Ａ１．Ａ２間交流電圧および測定用端子Ａ３ 、
Ａ４間交流電圧を測定することにより試料のキャパシタ
ンスを得る（特開昭５６−１２６７６９号参照）。その
結果として、試料１１０の直流バイアス電圧−命ヤバシ
タンス特性が得られる。
前記の如くして試料の直流バイアス特性を測定すること
は可能であるが、試料１１０のバイアス電圧を所望直に
設定するために直流電源１０２の出力電圧を変えた場合
、試料１１０に供給されるバイアス電圧が所定随に安定
するための時間は、抵抗器２０４およびキャパシタ２０
５０時定数によって失まっ−でしまう。抵抗器２０４は
、交流信号を阻止するための抵抗器であるため、あまり
小さな直とすることはで−きない（例えば４７０Ω程度
）。したがって、試料１１０のバイアス電圧が安定する
までの時間を短か（できないため、短時間で試料のバイ
アス特性を測定できないという欠点があった。
は可能であるが、試料１１０のバイアス電圧を所望直に
設定するために直流電源１０２の出力電圧を変えた場合
、試料１１０に供給されるバイアス電圧が所定随に安定
するための時間は、抵抗器２０４およびキャパシタ２０
５０時定数によって失まっ−でしまう。抵抗器２０４は
、交流信号を阻止するための抵抗器であるため、あまり
小さな直とすることはで−きない（例えば４７０Ω程度
）。したがって、試料１１０のバイアス電圧が安定する
までの時間を短か（できないため、短時間で試料のバイ
アス特性を測定できないという欠点があった。
本発明は、直流バイアス電圧の設定を短時間で行なえる
ようにしたインピーダンス測定器を提供することを目的
とする。
ようにしたインピーダンス測定器を提供することを目的
とする。
本発明のインピーダンス測定器は、交流信号のみを通す
信号路と、直流信号と交流信号とを重畳した信号を通す
信号路を設け、前記両信号路からの信号を試料に印加し
、前記試料の直流バイアス特性を測定す′るようにし”
たことを特徴としている。
信号路と、直流信号と交流信号とを重畳した信号を通す
信号路を設け、前記両信号路からの信号を試料に印加し
、前記試料の直流バイアス特性を測定す′るようにし”
たことを特徴としている。
第１′図は本発明のインピーダンス測定器のブロック図
である。
である。
第１図と同一部分には同一符号を付している。
第１図において、交流信号源ｌｏｔは増幅器１０４の入
力端−子および加算器１０３の一方の入力端子に接続さ
れている。増幅器１０４の出゛力端子は抵抗器１’０５
、キャパシタ１０６を介しゼ試料接続用端子Ｂ１に゛接
続されている。試料接続用端子８２は、レンジ抵抗器１
１１の一方の端子および増幅器１１２の反転入力端子に
接続゛されている。試料接続用端子８１、Ｂ２’間には
試料１１０が接続されている。レンジ抵抗器ｌｌｌの他
方の端子は演算増幅器１１２の出力部に接続されている
。 ′ ゛増幅器１１’２の非反転入力端
子および基準端子は基準電位に接続されている。一方、
直流電源１０２は加算器゛１０３の他°方の入力端子に
′接続されている。
力端−子および加算器１０３の一方の入力端子に接続さ
れている。増幅器１０４の出゛力端子は抵抗器１’０５
、キャパシタ１０６を介しゼ試料接続用端子Ｂ１に゛接
続されている。試料接続用端子８２は、レンジ抵抗器１
１１の一方の端子および増幅器１１２の反転入力端子に
接続゛されている。試料接続用端子８１、Ｂ２’間には
試料１１０が接続されている。レンジ抵抗器ｌｌｌの他
方の端子は演算増幅器１１２の出力部に接続されている
。 ′ ゛増幅器１１’２の非反転入力端
子および基準端子は基準電位に接続されている。一方、
直流電源１０２は加算器゛１０３の他°方の入力端子に
′接続されている。
加算器１０３の出力端子は、増幅器１０７ 、抵抗器１
０８およびインダクタ１０９を介して試料接続用端子Ｂ
ｌに接続されている。
０８およびインダクタ１０９を介して試料接続用端子Ｂ
ｌに接続されている。
前記の如く構成されたインピーダンス測定器の動作を以
下説明する。直流電源１０２の出力電圧は加算器１０３
で交流信号源１０１からの交流電圧と加算され、前記加
算された電流は、増幅器１０７、抵抗器１０８、インダ
クタ１０９、試料１１０．レンジ抵抗器１１１および演
算増幅器１１２の基準端子を介して基準電位へ流れる。
下説明する。直流電源１０２の出力電圧は加算器１０３
で交流信号源１０１からの交流電圧と加算され、前記加
算された電流は、増幅器１０７、抵抗器１０８、インダ
クタ１０９、試料１１０．レンジ抵抗器１１１および演
算増幅器１１２の基準端子を介して基準電位へ流れる。
一方、交流信号源１０１からの交流電流は、前記信号路
の他に、増幅器１０４、抵抗器１０５、キャ□バシーク
１０６、試料１１０、レンジ抵抗器１１１、演算増幅器
１１２の基準端子を介して基準電位へ流れる。
の他に、増幅器１０４、抵抗器１０５、キャ□バシーク
１０６、試料１１０、レンジ抵抗器１１１、演算増幅器
１１２の基準端子を介して基準電位へ流れる。
試料１１０のバイアス電圧特性を測定する場合には、ま
ず、直流電源１０２の出力電圧をａｌｌｗＪすることに
より、試料に所望の直流バイアス電圧を供給する。その
後、交流信号源１０１の出力電圧、出力周波数を調節し
、前記同様にして測定用端子人１〜Ａ４から得られる交
流電圧を基に試料１１０のバイアス電圧特性を得る。
ず、直流電源１０２の出力電圧をａｌｌｗＪすることに
より、試料に所望の直流バイアス電圧を供給する。その
後、交流信号源１０１の出力電圧、出力周波数を調節し
、前記同様にして測定用端子人１〜Ａ４から得られる交
流電圧を基に試料１１０のバイアス電圧特性を得る。
本発明では、従来技術の欠点を除去するために、前記の
如（交流信号のみが通る信号路と交流信号および直流信
号が通る信号路を使用しており、以下、その動作を詳細
に説明する。
如（交流信号のみが通る信号路と交流信号および直流信
号が通る信号路を使用しており、以下、その動作を詳細
に説明する。
交流信号源１０１からの交流信号は、増幅器１０４、抵
抗器１０５およびキャパシタ１０６から成る＠１の信号
路と、増幅器１０７、抵抗器１０８およびインダクタ１
０９から成る第２の信号路とを通って試料１１０へ印加
される。
抗器１０５およびキャパシタ１０６から成る＠１の信号
路と、増幅器１０７、抵抗器１０８およびインダクタ１
０９から成る第２の信号路とを通って試料１１０へ印加
される。
第１の信号路を通った交流信号は、抵抗器ｌＯ５および
キャパシタ１０６により低域がカットされ、高域の信号
成分のみが出′力される（第３図の３００゜逆に、第２
の信号路を通った交流信号は、抵抗器１０８およびイン
ダクタ゛１０９によ□り高域がカットされ、低域の信号
成分のみが出力される（第３図の３０２）。従って、試
料１１０には、前記両信号路から出力される信号を合成
した信号が印加される。
キャパシタ１０６により低域がカットされ、高域の信号
成分のみが出′力される（第３図の３００゜逆に、第２
の信号路を通った交流信号は、抵抗器１０８およびイン
ダクタ゛１０９によ□り高域がカットされ、低域の信号
成分のみが出力される（第３図の３０２）。従って、試
料１１０には、前記両信号路から出力される信号を合成
した信号が印加される。
ここで、抵抗器１０５．１０８、キャパシタ１０６、イ
ンダクタ１０９の１直を各々ａｌ、Ｒ，，Ｃ，Ｌｉとす
ると、 Ｒ４＝Ｒ２＝１／Ｑｌｃ１１Ｃ＝ωｃａＬωｃ −ｔ／
（ｉ、 ＠ ｃ） となるように容置を選定し且つ、増幅器１０４ 、１０
７の利得を等しくする。これによって、第３図の３０３
に示すように前記第１．第２の信号路の利得を合成した
場合、特性が平坦になる。従って、全体として利得が平
坦で、出力インピーダンスがＲ，＋ （＝ Ｒ２）の広
帯域増幅器として動作する。直流信号は前記第２の信号
路を通って試料１１０に印加されるため、結果として、
直流信号および交流信号を増幅する広帯域増幅器が形成
されたことになる。
ンダクタ１０９の１直を各々ａｌ、Ｒ，，Ｃ，Ｌｉとす
ると、 Ｒ４＝Ｒ２＝１／Ｑｌｃ１１Ｃ＝ωｃａＬωｃ −ｔ／
（ｉ、 ＠ ｃ） となるように容置を選定し且つ、増幅器１０４ 、１０
７の利得を等しくする。これによって、第３図の３０３
に示すように前記第１．第２の信号路の利得を合成した
場合、特性が平坦になる。従って、全体として利得が平
坦で、出力インピーダンスがＲ，＋ （＝ Ｒ２）の広
帯域増幅器として動作する。直流信号は前記第２の信号
路を通って試料１１０に印加されるため、結果として、
直流信号および交流信号を増幅する広帯域増幅器が形成
されたことになる。
ここで、直流バイアス電圧の応答の時定数は、Ｊですな
わち、第１信号路および第２信号路のクロスオーバ点に
よって決定されるが、前記り若しくはＣを小さくするこ
とにより、安定するまでの時間を極めて早くすることが
できる。
わち、第１信号路および第２信号路のクロスオーバ点に
よって決定されるが、前記り若しくはＣを小さくするこ
とにより、安定するまでの時間を極めて早くすることが
できる。
本発明のインピーダンス測定器によれば、直流バイアス
が安定するまでの時間を極めて短かくできるので、試料
の直流バイアス特性を短時間で測定できる。
が安定するまでの時間を極めて短かくできるので、試料
の直流バイアス特性を短時間で測定できる。
又、広帯域増幅器を形成できるので、広い周波数帯域で
の測定が可能となる。
の測定が可能となる。
第１図は、本発明のインピーダンス測定器のブロック図
。 第２図は、従来のインピーダンス測定器のブロック図。 第３図は本発明のイノピーダンス測定器の説明図。 １０３：加算器 １０４．１０７，１１２，２０１，２０３二増幅器１１
０ ：試料 １１１ ：レンジ抵抗器
。 第２図は、従来のインピーダンス測定器のブロック図。 第３図は本発明のイノピーダンス測定器の説明図。 １０３：加算器 １０４．１０７，１１２，２０１，２０３二増幅器１１
０ ：試料 １１１ ：レンジ抵抗器
Claims (1)
- 試料に直流信号源からの直流信号と交流信号源からの交
流信号とを重畳して印加し、前記試料の交流特性を測定
するインピーダンス測定器において、前記交流信号のみ
を前記試料に導出する第１信号路と、前記交流信号およ
び前記直流信号を前記試料に導出する第２信号路とを具
備することを特徴とする前記インピーダンス測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26604884A JPS61142471A (ja) | 1984-12-17 | 1984-12-17 | インピ−ダンス測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26604884A JPS61142471A (ja) | 1984-12-17 | 1984-12-17 | インピ−ダンス測定器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61142471A true JPS61142471A (ja) | 1986-06-30 |
| JPH0511585B2 JPH0511585B2 (ja) | 1993-02-15 |
Family
ID=17425664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26604884A Granted JPS61142471A (ja) | 1984-12-17 | 1984-12-17 | インピ−ダンス測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61142471A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63168868U (ja) * | 1987-04-23 | 1988-11-02 | ||
| JPS6431064A (en) * | 1987-07-28 | 1989-02-01 | Hewlett Packard Yokogawa | Apparatus for measuring electric parts |
| US5014012A (en) * | 1988-07-06 | 1991-05-07 | Hewlett-Packard Co. | D.C. biasing apparatus |
| JP2006266814A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Nf Corp | 交流インピーダンス測定装置及び方法 |
| JP2007309948A (ja) * | 2000-08-01 | 2007-11-29 | Kansai Electric Power Co Inc:The | 電気的特性劣化検出方法およびその装置 |
| JP2008076337A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 入力インピーダンス測定装置及び方法 |
-
1984
- 1984-12-17 JP JP26604884A patent/JPS61142471A/ja active Granted
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63168868U (ja) * | 1987-04-23 | 1988-11-02 | ||
| JPS6431064A (en) * | 1987-07-28 | 1989-02-01 | Hewlett Packard Yokogawa | Apparatus for measuring electric parts |
| US5014012A (en) * | 1988-07-06 | 1991-05-07 | Hewlett-Packard Co. | D.C. biasing apparatus |
| JP2007309948A (ja) * | 2000-08-01 | 2007-11-29 | Kansai Electric Power Co Inc:The | 電気的特性劣化検出方法およびその装置 |
| JP4740201B2 (ja) * | 2000-08-01 | 2011-08-03 | 関西電力株式会社 | 電気的特性劣化検出方法 |
| JP2006266814A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Nf Corp | 交流インピーダンス測定装置及び方法 |
| JP2008076337A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 入力インピーダンス測定装置及び方法 |
| JP4732292B2 (ja) * | 2006-09-25 | 2011-07-27 | 日本電信電話株式会社 | 入力インピーダンス測定装置及び方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0511585B2 (ja) | 1993-02-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |