JPS61142074A - 砥石装置 - Google Patents

砥石装置

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Publication number
JPS61142074A
JPS61142074A JP26063684A JP26063684A JPS61142074A JP S61142074 A JPS61142074 A JP S61142074A JP 26063684 A JP26063684 A JP 26063684A JP 26063684 A JP26063684 A JP 26063684A JP S61142074 A JPS61142074 A JP S61142074A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
grindstone
grinding wheel
grinding
cutting
wheel device
Prior art date
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Pending
Application number
JP26063684A
Other languages
English (en)
Inventor
Hikoyoshi Baba
彦良 馬場
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Tokin Corp
Original Assignee
Tohoku Metal Industries Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は砥石とこの砥石を支持する支持台とによって構
成された砥石装置に関する。
(従来の技術) 一般に、砥石装置は後述するように円板形状の支持台と
この支持台の外周面に装置された円環状の砥石とによっ
て構成されている。そして2例えば、上記の支持台の中
心には駆動装置の駆動軸が挿入され、駆動装置によって
砥石装置を回転させて、研削を行っている。ところで、
従来の砥石装置に用いられている支持台は金属によって
製造されている。
(発明が解決しようとする問題点) ところが、金属製の支持台を用いた場合、研削時の発熱
によって円板形支持台が膨張し2ミクロン単位の研削精
度が得られない。金属製支持台は重量があるため、砥石
装置の回転中バランスを取るのが難しく、振動が発生し
易い。支持台は金属製であるから弾性があシ、この弾性
により、研削抵抗を受けると変形し易い。特に薄い砥石
装置による切断あるいは溝加工の場合、支持台に反シが
発生し、研削の精度が悪くなる。
本発明の目的は高い研削精度が得られる砥石装置を提供
することである。
(問題点を解決するための手段) 本発明は砥石とこの砥石を支持するための支持台とを有
する砥石装置において、前記支持台はセラミック製であ
ることを特徴とする砥石装置である。
(作 用) 本発明では砥石装置の支持台として熱膨張率が小さく、
シかも曲げ強さの高い2例えば、酸化物セラミックス(
AA203.ZrO3等)及び非酸化物セラミックス(
S 1 t、N4+ 2 S iC等)を使用すること
によって高精度の研削及び切断加工を行うことができる
(発明の実施例) 以下本発明について実施例によって説明する。
第1図(a)及び(b)を参照して、セラミックス5i
3N4(曲げ強度100 kg/mm2.膨張率5x1
o、b)製の円板形状支持台1の外周面に円環状の砥石
2を装着して砥石装置3を構成した。この砥石装置3は
外径が76.2mm、厚さが0.2 mmである。また
砥石2のダイヤモンド砥粒径は5μm、レジンプント及
び集中度は75%である。一方、ステンレス(SUS 
304. 、曲げ強度60に9/mm2.膨張率17 
X ]、 ]O−6/℃を支持台4として用い、他は砥
石装置3と同一条件で砥石装置5を構成する。
上述の砥石装置3及び5をそれぞれその中心孔で駆動装
置(図示せず)に接続して、外周形切断機とした。次に
、これら砥石装置3及び5を用いた切断機で、それぞれ
厚さ3 mmのフェライト板を50枚切断幅を17nm
として、切断した。この時の砥石装置3及び5の周速は
1200 m /分、スルーフィード方式の送り速度1
0mm/分であった。
上述のようにして切断されたフェライトの切断幅を調べ
たところ、切断幅のバラツキは砥石装置3の場合で±5
μm、砥石装置5の場合で±10μmであった。このよ
うに支持台にセラミックスを用いた場合、従来の金属製
支持台を用いた場合に比べて、研削・切断精度が2倍よ
く々ることかわかる。
(発明の効果) 以上説明したように本発明の砥石装置では支持台をセラ
ミックスで構成したから従来の金属製支持台を用いた場
合に比べて研削、切断精度を極めて高くすることができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)及び(b)はそれぞれ砥石装置の構造を示
すだめの平面図及び側面図である。 1.4・・・支持台、2・・・砥石、3,5・・・砥石
装置。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、砥石と該砥石を支持するための支持台とを有する砥
    石装置において、前記支持台はセラミックによって構成
    されていることを特徴とする砥石装置。
JP26063684A 1984-12-12 1984-12-12 砥石装置 Pending JPS61142074A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5240514A (en) * 1990-09-28 1993-08-31 Ndk, Incorporated Method of ion nitriding steel workpieces

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57178667A (en) * 1981-04-23 1982-11-02 Noritake Co Ltd Vitrified grindstone of super abrasive grain and manufacture

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57178667A (en) * 1981-04-23 1982-11-02 Noritake Co Ltd Vitrified grindstone of super abrasive grain and manufacture

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5240514A (en) * 1990-09-28 1993-08-31 Ndk, Incorporated Method of ion nitriding steel workpieces

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