JPS61140039A - Ｘ線像増幅器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、出力窓が金属枠にはめ込まれて管バルブ内（
二装入されているようなＸ１１ｆ＃増幅器に関する。

〔従来の技術〕

この種ｘｍｅ増幅器は米国特許第１４５８７４４号明細
薔により公知である。この米国特許の明細書（二記載さ
れているような電子式の像増幅器では、よく知られてい
るように、ｘｍｅが電子ｍｌ二変換され、それから電子
像が加速電圧にさらされ。

場合Ｉ：よっては電子光学的に縮小して出カスクリーン
上Ｃ：写し出される。一般に一段に構成されているＸ１
１ｍ増幅器では、電子像が縮小模擬されるときに出力ス
クリーン上に現れる鷹は観察される像でもある。しかし
これは、出力スクリーンが潅増幅器のバルブ壁を通して
見えることを前提とする。したがってバルブは少なくと
もこの個所では透明な材料、特にガラスから作られてい
る。

操作の容易な構造を得るためぽ二、バルブに設けられる
窓が同時に出力発光スクリーンの担持体とされる。この
公知の構造上の解決策の場合には出力窓が金属枠（二溶
接によってはめ込まれるので、この作業後にはじめて発
光スクリーンが形成される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしこれには問題点がある。なぜならば１発元層をコ
ーティングする際Ｃ：後で使用でさるスクリーンの歩留
りが僅かであるので、正確に行うべきガラス円板と枠と
の接続が非常に多くの場合に後で使用できないスクリー
ンしかもたらさない円板においてなされなければならな
いからである。　　　　　　　　　１この発明の目的は
、出力窓として仕上がった出力スクリーンが金属枠には
め込まれ真空バルブに挿入されることができるような冒
頭に述べた如きｘｍｒ＊増幅器を提供することＣ：ある
。

〔問題点解決のための手段〕

上記の目的は本発明Ｃ二よれば、出力窓として発光層を
担持する窓円板が前記枠に軟ろう（二よりろう接される
ことによって達成される。

〔発明の効果〕

フランジによりＸ′５（ＩＩ増幅器の真空バルブの窓開
口（二挿入できる窓円板を金属枠Ｃ二ろう接するために
軟ろうを使用することによって、即ち溶融温度が２５０
−４００℃（＝あるろうを使用すること（二よって、で
きるだけ低い温度で像増幅器の加熱に耐えるろう接が得
られる。発光スクリーンの保護のために発光スクリーン
は、水素雰囲気中、他の保護ガス中もしくは真空中など
においてろう接すること（二上って、不活性の媒体中に
おいて行われることが好ましい。その場合に■増幅器の
後での運転の際に得られる発光層の）を利得はなおも阻
害されない。

金属枠のため≦：は、製造３よび運転上の条件において
安定で管パルプの材料と同様ｆ二出力窓の材料と密Ｃ二
接続できる金属が適している。ガラスのバルブＣ二挿入
するには、主成分としてニッケル（Ｎｉ）、鉄（Ｆｅ　
）もしくはＮｉ　、クロム（Ｃｒ）。

ＦｅもしくはＮｉ、＝ｒバルト（Ｃｏ）、Ｆｅ又はＮｉ
、Ｃｏ、Ｃｒ、ｒｅを含むものが確証された。それは２
０〜６０％のＮｉおよび／または１０〜３０％のＣｏお
よび／または１〜１０％のＣｒを含む鉄合金である◎ ろう接のためには鉛（Ｐｂ）をベースとするろうが良好
であることが確証された。このろうは他のものＣ二比べ
て処理温度、したがって再軟化温度が明らかに製造工程
における像増幅器のガス除去加熱に必要な温度以上にあ
るという利点を有する。

しかしながら、それはなおも発元顔ネ４の発光能力にと
って害（＝なる温度以下にある。

鉛のはか（二、鉛が銀（Ａｇ）、錫（ａｎ）およびイン
ジウム（Ｉｎ）と混ぜ合された合金も好適であることが
確証された。添加物は、一方では僅かなｑですでに添加
物の作用を得るために、そして他方では高い添加量の場
合（二高い溶融温度とろう接を困難にする物質的な不均
一性を受は入れな（すればならないようなことがないよ
う（ニするために、Ｏ，ｌへ１０重量パーセントの量で
鉛（二添加される。鉛と２．５重量パーセントの銀とか
らなる合金が好適であることが確かめられた。

接続すべき部分（二おけるろうの漏れおよび付着性は、
それらの表面の適合化（二よって、例えば簡単なコーテ
ィングもしくは互い（二合わせられた材料からなる層系
な有する被膜によって助成することができる。簡単な付
着層もしくは適当な層列の一番目の層は、ガラスＣ二と
って、酸素Ｃ二対する大きな親和力を有する材料からな
るべきである。というのは、金属酸化物を介するガラス
表面への結合が生じるからである。コーティングｆｔ属
も境界に形成される酸化物も所望する固定に十分な引っ
張り強度を持たなければならない。

二番目の層は一番目の層の保護層であり、ろう畳であっ
てよい。二番目の層はろうの流れを止めなければならな
い。つまり、二番目の拳は一番目の層から離れない。

三番目の層は最初の２つの１を酸化から保護しこれはろ
う場であってもよい。

各層（二とって適した材料は次のとおりである。

一番目の＠：５″タン（Ｔｉ　　）、ニオブ（Ｎｂ）。

タンｙル（Ｔ’ａ　）、ＮｉＣｒ、Ｃｒ。

Ｆｅ 二番目の層：Ｎｉ、金（Ａｕ）、　白金（Ｐｔ　）。

モリブデン（Ｍｏ＞、Ｆｅ 三番目の１：人Ｕ、銀（Ａｇ　）　＋　　Ｎ　ｔ　ｒ鋼
（Ｃｕ）。

ｐｔ、パラジウム（Ｐｄ） 互いＣ二合わせられた層の適当な系は１例えばガラス円
板にろう接するために、ガラス上Ｃ：先ず３０〜３００
　ｎｎ’ｌの厚みＣニクロムが蒸着されてい　　　　　
　　　　　　Ｉるような層列からなる。高真空蒸着時に
この１は金属クロムが気相にてガラス表面上で酸素又は
薄い酸化膜と反応する。本来の付青は、組織の詳しくは
定義できない非常に薄いクロム酸化物層を介して行われ
る。この一番目の層の上に二番目の層としてニッケルか
らなる層が続き、それから三番目の層として銀層が続き
、この隨の厚みはクロム層の厚みに相当する。

しかしりａム層は鉄で覆われ、この鉄はニッケルで覆わ
れ、その上にニッケル・銀合金が続き、あるいは鉄・り
ａム・ニッケル合金またはクロム・ニッケル合金が蒸着
されてもよい。層形成時にはガラスに最も近い響がクロ
ム酸化物・クロムの列順で形成され、少なくとも３０／
１ｍの厚みの純クロム層が存在しくこれは鉛とともにし
つかりした溶液を形成しないからである。）、そして最
上層がニッケルまたは鋼からなること（というのはこの
良好な鉛からの分離性、したがってろうとの良好な結合
性が存在するからである。）を留意しさえすればよい。

それから付着を改善する全体の層が金で覆われるとよい
。これによって、約４００ｎｍの厚みのとき（二組られ
る十分な冨閉性（二おいて、最上層の酸化、即ちニッケ
ル酸化物または銀酸化物などの形成を避けることができ
る。

金属枠もろう接面に上述の付着層もしくは被膜を備える
とよい。特に枠材料として、二口メド（Ｎｉｒｏｍｅｄ
　）　４４　またはバ：７　ン（Ｖａｃｏｎ　）　２０
もしくはバコン（Ｖｉｃｏｎ　）　７０を使用する場合
には。

この部分（二おいてろうの良好な付着が得られる。

本来のろう接は、特Ｃ二高真空Ｃ：おいて単一１当り１
１００−３００ｎの１厚で行われる。３５０°Ｃ程度の
温度でろう接を行い、高真空の代わりに水素などの保護
ガス雰囲気を用いることもできる。

〔実施例〕

以下１図示の実施例を参照しながら本発明を更（＝詳細
（−説明する。

第１図には一段の真空Ｘ線像増幅器の断面図が示され、
第２因にはＸ＃偉増幅器の電子式真空バルブと出力窓と
の接続部の部分断面■が示され。

第１因ないし第５図には出力窓における付着層の紅いＣ
二異なる実施形態が示されている。

第１図Ｃ二おいて、ｌはＸ１ｉｌ像増幅器の真空バルブ
を示す。この真空バルブ１は陰極キャップ２からなり、
このキャップは段をつけられた１α径の管をなすセラミ
ック体３の開口を塞ぎ、このセラミック体３の第１の小
さい直径を有する開口は陽極付属部材４によって閉じら
れている。真空バルブｌの内部には電子欅増幅器の公知
の構成物があり、即ち陽極付属部材４の反対側における
キャップ２の内壁には発光層５があり、この発光層は）
ＩＪ極層６によって覆われている。これに、セラミック
体３に固定されている電子光学電極７お上び８が続き、
そして本来の陽極９が続いている。陽極９の外に向けた
開口を塞ぐために、ろう１０じよって、枠１１にある出
力窓の円板１２が介挿されている。円板１２は内面に出
力発光スクリーン１３を担持していて、ろう接個所１４
にて枠】ｌと気密（二接続されている。

Ｘ線像増幅器の動作の基本は、公知の如く、キャップ２
の壁を通して侵入するＸ＠１８が光陰極６に電子像を解
き放つというところにある。その際Ｃ二、適当な電位を
キャップ２、接続線像５．１６Ｃ二、電極岬、８へ、そ
して陽極９のための付属部材４ｆ二印加することによっ
て、電子儒が電！？。

８および陽極９により発光Ｎ４ｒ３上において模擬され
る。

第２図から分かるよう盛；１円板１２と枠１１の内面と
の間のろう接個所１４は円板１２の付着層２０と枠１１
の付着層２１とからなり、これらの付着層は本来のろう
層２２（二よって互い（二接続されている。ろうｌｌ１
２２は２．５重量パーセントの銀を含む鉛の合金からな
り、Ｏ，ＯＳ〜１騙の厚みである。層２０および２１は
２重層であり、第１因において２３．２４で示されてい
るものに相当する。層２３はニッケルからなり、約２０
０μｍの厚みを有するａｌ１２４はクロムの蒸着１から
なり、少なくとも３０μｍの厚みを有する。　　　　　
　　　　　　　　　］しかしながら、層２０および２１
は第４図Ｃ二対応して３つの９２５，２６．２７から形
成されることができる。これらはこの実施例では第２因
の窓１２１＝相当する出力窓１２．１上に次のよう（ニ
して蒸着される。即ち、先ずクロムもしくはクロム酸化
物からなり少なくとも３０μ喝の厚みを有する層２５が
蒸着され、それから少なくとも３０μｍの厚みのニッケ
ル層が蒸着され、最後に銀からなる約２００μ寓の層が
蒸着される。

出力窓の円板が１２．２で示されている第５因による付
着層の多層化の場合４二は、先ずクロム／りσム酸化物
からなる＠２８が窓円板１２．２のろう接すべき縁に少
なくとも３０　ｐｍの厚みで蒸着される。その上Ｃ，１
００−：１００μ鴇の厚みのニッケルからなる蒸着層２
９が続く。それから銀からなる層３０が約２００μ隅の
厚みで蒸着され。

続いて金で覆われた労３１が蒸着される。

軟ろうを使用するため、円板１２はＸ線像増幅器のバル
ブｌから再び離すことができる。これは枠１１からのろ
う接の溶解によって行われる。その場合に発光層１３の
基板として使用される円板１２は問題なしに再びｉｌ）
もれ、新たに処理することができる。これは、特（：精
密光学円板を使用する場合に６００℃以上の温度でしか
ろう接できないガラスろうＣ：よるろう接に比べて決定
的な利点を有する。軟ろうは容易に分離可能であるのに
対して、ガラスでろう接された円板は分離後ろう接個所
に研ぐことによってしか取り除けないがラスろうの残り
を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図Ｃは一段の真空Ｘ！ｌ！像増幅器の断面図が示さ
れ、第２囚にはＸ線像増幅器の電子式真空バルブと出力
窓との接続部の部分断面図が示され、第１図ないし第５
図Ｃ二は出力窓におＣする付着層の互いに異なる実施形
感が示されている。 ｌ・・・真空バルブ、　　２・・・陰極キャップ。 ３・・・　セラミック体、　　４・・・４極け、１部材
。 ５・・・　発光１、　６・・・光１彎嘩］、　　７．８
・・・電子光学電極、　　９・・・陽極、　　１０・・
・ろう、１１・・・枠、　　１２・・・円板、　　１３
・・・出力発光スクリーン、１４・・・ろう接個１’ｌ
ｉ。 ＦＩＧ５

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）出力窓が金属枠にはめ込まれて管バルブ内に装入さ
   れているようなＸ線像増幅器において、出力窓として、
   発光層を担持する窓円板が前記枠に軟ろうによりろう接
   されていることを特徴とするＸ線像増幅器。 ２）ろうは鉛合金、例えば鉛、錫およびインジウムを含
   有する鉛合金であることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載のＸ線像増幅器。 ３）ろうは銀を添加されている鉛からなることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載のＸ線像増幅器。 ４）銀量は２．５重量パーセントであることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載のＸ線像増幅器。 ５）窓円板の発光材料のない縁はろう接が行われる個所
   に付着層を担持していることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載のＸ線像増幅器。 ６）付着層は層列の形で担持され、ガラス上に少なくと
   も３０μｍの厚みのクロムがあり、この上に約２００μ
   ｍの厚みのニッケルがあり、この上に１００〜４００μ
   ｍの厚みの銀があることを特徴とする特許請求の範囲第
   ５項記載のＸ線像増幅器。 ７）付着層は層列をなしており、その層列のガラス上に
   ある層は３μｍのクロムからなり、このクロム層の上に
   鉄からなる層があり、その上にニッケル層があり、この
   上に銀層があることを特徴とする特許請求の範囲第５項
   記載のＸ線像増幅器。 ８）付着層は金からなるコーティングを備えていること
   を特徴とする特許請求の範囲第６項記載のＸ線像増幅器
   。 ９）枠のろう接面も付着層を備えていることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項記載のＸ線像増幅器。 １０）枠の付着層の最上層が窓円板の最上層と一致して
   いることを特徴とする特許請求の範囲第９項記載のＸ線
   像増幅器。