JPS61137012A - 回転情報出力装置 - Google Patents

回転情報出力装置

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JPS61137012A
JPS61137012A JP59257505A JP25750584A JPS61137012A JP S61137012 A JPS61137012 A JP S61137012A JP 59257505 A JP59257505 A JP 59257505A JP 25750584 A JP25750584 A JP 25750584A JP S61137012 A JPS61137012 A JP S61137012A
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light
light receiving
output
signal
circuit
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JP59257505A
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Tadashi Okawa
大川 正
Hiroyuki Tomita
浩之 富田
Masanao Yatsuhara
昌尚 八原
Masaharu Muramatsu
正治 村松
Sumio Kobayashi
澄男 小林
Hiroshi Sugai
博 菅井
Juichi Ninomiya
寿一 二宮
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Hitachi Ltd
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    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
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    • G01MEASURING; TESTING
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    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36Forming the light into pulses

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はサインエンコーダを用いて回転軸の回転に関す
る情報、例えば回転角情報や回転速度情報等を出力する
装置に関するものである。
〔発明の背景〕
エンコーダは回転機の回転軸等に取り付けられ、回転位
置の割出し管理や、速度検出などに使用される。エンコ
ーダの出力波形として、従来からパルス出力のパルスエ
ンコーダがあるが、この他に出力波形がニス波状のサイ
ン波エンコーダがある。
このサイン波エンコーダは、出力がアナログ量で変化ス
るために1パルスエンコーダに比べ、lパルスの間の量
が連続量として判別できるほかに、速度検出としても連
続量として得られる特徴がある。
速度検出する一つの方法は次のようにする。
つまり出力信号を?: a sinωtとすると、この
信号を微分することにより荘= aωcoもω龜なる。
aωを速度検出量として取り出せば、検出量はωの変化
に対し連続量として得られる。
このため、サイン波エンコーダは、サーボモータ制御の
ための位置検出及び速度検出のアナログ検出器として使
用される。これは%開昭59−88061%特開昭59
−83062、実開昭56−88143、実開昭59−
58365、特公昭59−22968轡で公知である。
ところでこの検出器として、フォトセンサ(発光ダイオ
ードとフォトダイオード、あるいは発光ダイオードとフ
ォトトランジスタ等の組み合わせ)を用いたものでは1
発光ダイオー ドの温度による光量変化や経年変化によ
る光量変化のため、50%前後出力電圧が変化し7てし
まい実用に耐えない。
このため発光ダイオードの光量補正を行ない安定化する
ことが考えられる。これに対しては特公昭59−229
68にみられる方法によ久ある椙度改善されている。こ
の方法は信号検出部と光量補正部の受光素子が別の素子
で行なわれていた。この理由は、信号が交流で圧伏波状
に変わり、更に周波数も変わるため信号検出用受光素子
を使って光量を検出することが困難なためであった。こ
のため光量補正用として別の受光素子を設けて光量を検
出し補正をかける方法をとっていた。このことは受光素
子の温度特性や経年変化の特性が同じであるという仮定
にもとすいている。しかし実際には   ゛各素子忙よ
りバラツキがおる。また総合温度特性は0.2%/ O
c程度にものほっているから50°Cの温度変化に対し
ては10%もの変化があり、また経年変化に対しても約
10%の変化がみこまれる。
このように%ある程度改良されたとはいえ、まだ不十分
な結果となっている。
ところでサーボモータが数千rpmで、エンコーダの分
解能が1000〜8000ppr罠もなると、Q 使用周波数範囲は100〜150Ki1g程度にもなz る。直線性をよくしようとすればIM〜程度の周波数特
性が必要となる。しかし従来のサイン波E エンコーダの周波数特性は1100KRで一8dBす (29,8%の減衰)程度ある♂;現状である。
このように従来のサイン波エンコーダは温度特性により
出力電圧が大きく変わり、また周波数特性により直線性
が悪くなって、サーボモータの検出器として十分な性能
を発揮できないという欠点がめった。
なお、実験によれば、フォトダイオードやフォトトラン
ジスタも経年変化するが、その度合は発光ダイオードの
それに比べてはるかに小さいので、発光ダイオードに対
して対策をとれば、多くの場合は実用上問題ないことが
分った。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、信号検出用受光素子そのものの信号で
光量補正を加えることにより、安定した特性をもった回
転情報出力装置を提供するにおる。
〔発明の[要〕
本発明は、発光手段の経年変化による特性変化の影響を
なくするため、信号検出用受光素子そのものの検出信号
を使い光量を検出するようにした。
このため第1受光手段が出力する信号Aと、これ゛に対
してπの位相差を有する第2受光手段の信号λを使用し
、Aとλにより交流会を打消し、光量に比例した直流分
を取り出し、この直流分くより信号A1λの大きさが一
定になるようにフィードバック制御をかける。
〔発明の実施例〕
7オトセ/すを用いたサイン波エンニーダttg1図に
示すように光量制御に応じ走光量を放つ発光手段として
の発光ダイオードlと受光量に応じた電気的信号を出力
する第1、第2受光手段としてのフォトダイオード2と
8とを有しており、更に発光ダイオード1とフォトダイ
オード2と8との間に固定スリット板4と回転スリット
円板5とを有している。回転スリット円板5は回転機の
回転軸6に機械的に結合してろね、回転中心の回りに等
間隔に多数のスリット7を有している。また固定スリッ
ト板4は発光ダイオード1やフォトダイオード2.8と
一定の位置関係を保っており、発光ダイオードlからフ
ォトダイオード2に光が入っているときにはフォトダイ
オード8には光が入らないように、そして逆に発光ダイ
オード1からフォトダイオード8に光が入っているとき
にはフォトダイオード2には光が入らないように7オト
ダイオー1°2に対向する部分とフォトダイオード8に
対向する部分とでは回転スリット円板5に設けたスリッ
ト間隔をIとするとn l + l/2だけピッチをづ
らしてスリット8.9を設ける。
(但しnはl、 2.8.4・・・・・・・・・)。
第2図は第1%第2受光手段2.3から得られた出力を
描いた奄のである。第4受光手段2の出力である人相出
力電圧に対し藁2受元手段3の出力である入相出力電圧
は、交流出力信号の変化が、πだけづれている。
@2図においてa、、a’は出力の最大値、b%b′は
最小値、C%C′は交流信号の中心値を示している。
このように第11第2受光手段2.3から得られる信号
は交流信号に直流バイアス電圧が加わったものとなる。
第3図は発光ダイオード1を流れる電流Iっ罠対する人
相(入相も同様)の出力電圧の関係を示したもので、I
Dに対し、出力電圧は直線性を示し、a%b、 cはそ
れぞれ比例関係にある。
したがって交流信号の振幅値a −bもCに比例してい
る。
第4図は周囲温度T’Cに対する出力電圧a −b。
直流バイアス分Cの関係で、温度が上がると、出力が小
さくなる傾向を示す。これは発光ダイオードlの電流I
Dが一定のとき、温度が上昇すると光量が小さくなって
しまうことに起因している。
しかし第8図から明らかなように、電ff1Ipを調整
してやれは、出力電圧を一定に保つことができる。この
ため光量を検出し、光量が一定になるようにしてやれば
よい。
そこで本発明は第1、第2受光素子2.3の出力を使い
、フィードバック制御するところに特徴がある。
第5図は本発明装置の実施例を示すブロック図、である
10%llは第1、第2受光素子2.3の出力を電圧に
変換する電流/電圧変換器、12は10,11の出力A
、λの差をとる差動増幅器で、12の出力がエンコーダ
出力vAとなる。13はA、λの和をとることKより第
1、第2受光素子2.3の14は増幅回路である。竜の
出力によ・す、IJD電流が流され、フィードバック制
御がかかる。
つl)この実施例では突き合せ回路18の一部で直流成
分分離手段を構成してお9、更に突き合せ回路13の二
部と増幅回路14とで光量制御手段を構成している。増
幅回路11の出力!Dが光量制御入力である。
発光手段1の光量が温にや経年変化によシ減ると、受光
素子2.3に達する光量かヘク、A、λの振幅が小さく
なる。したがって突き合わせ回路外 13の出力は小さくなシ、増幅回路1亀の出力電流ID
が小さくなる。すなわち、この回路はA+λがv8と等
しくなるように制御がかかる。つま!lA=α iwt
+β、λ=−a iwt+r  とすると、A+λ=β
+rがv8と等しくなるように制御がかかる。β十γは
直流であり、しかも出力に比例した値なので出力vAを
一定くすることができる。
第6図は本発明の具体的回路の一つで・おる。
この図に於いて10a〜14aはオペアンプ、14bは
ダイオード、14cd)ランジスタ、lid。
デンサ、v81 s vatは基準電圧である。
第6図に於−て第5図に示した各部分を構成する回路素
子は同一数字をつけて表示しである。つまり例えば電流
/電圧変換器10FilO,と10iとで構成しである
なお直流成分分離手段は13dと18eとで構成され光
量制御手段Fi18m、13f〜18i% llb。
14a=14gで構成しである。
発光手段1から固定及び回転スリット板4.5のスリッ
ト7.8.9を通った光により第1.第2受光手段2.
3には光量に比例した電流r1、■、が流れる。このl
1sftがオペアンプ10a%Ilaのフィードバック
抵抗104 とlldを通るととにより信号電圧A、λ
となる。ここでA、λの大きさは、A+λにより交流会
がなくなるように大きさを等しくするように可変抵抗1
0iにより調整する。信号A1λは抵抗器lid、18
eを通ってオペアンプ18aの一端子に入力される。一
方抵抗器18fを通って基準電圧が入力される。Aとλ
は負電圧なので、基準電圧vs1は正電圧である。
可変抵抗Nli Kよシオベアンプ18aの出力がと動
作範囲が広く確保される。コンデンサ13書ヒA、λの
アンバランスやノイズを吸収するフィルターのためにつ
いている。オペアンプ18aの出力はオペアンプ14a
とトランジスタ14c Kより電流増幅されLEDに流
れる電流となる。基準電圧v8.はオペアンプllaの
動作点を適切処するためのものである。ここでトランジ
スタ14cは電流増幅のため罠追加されたもので、オペ
アンプ14aで十分電流を流すことができる場合は特に
必要ではない。
光量がへった場合、A+λの値、つtb直流分が小さく
なり、オペアンプlaaの出力は負電圧方向へシフトす
る。オペアンプ14aにより反転増幅されるので、LE
D電流は増加しA十λが常に一定値になるように制御が
かかる。
一方A%Aはオペアンプ12aで差動をとられ、エンコ
ーダ出力Voとなる。A1λは大きさを等しく調整され
ているので Slへ A=α徊ωt+β −籐 A=−α例ωt+β S;阪 A−A=2α綺ωt となり、直流分を除かれた信号となる。
第7図は本発明の他の具体的実施例を示す図である。第
7図と、第6図の違いは第7図では反転オペアンプ14
aに相当するものを除いたことである。反転オペアンプ
を1ケ除いたために、動作極性を合わせる公費があるが
、これはオペアンプ18aの十入力KA+Aを入れ、極
性を反転している。その他の動作は第6図に示したもの
と同じである。
第8図はフォトダイオード2.3の出力電流を電圧に変
換するのにオペアンプを使わず、抵抗器50によって変
換したものである。また第9図は受光素子をフォトトラ
ンジスタ2′、a’にしたものである。52は抵抗器、
Vccは電源電圧を示す。
第8図、!9図の回路によっても第6図、!7図の制御
回路と同様忙制御回路を構成することができる。
第1θ図、第11図はエンコーダ出力の周波数特性を描
いたものである。第1θ図は受光素子を第8.第9図の
ようKしたものの特性である。
第10図においてdはエンコーダの周波数特性である。
ここで周波数特性を改善するためにはeのように周波数
補正をしてやればよい。このように補正するとfのよう
に周波数特性が改善される。
第11図は第6図、第7図に示したフォトダイオードと
オペアンプによりA、λ信号を検出する回路の周波数特
性を示している。第6、第7図に示す回路はオペアンプ
のイマジナリ−ショートの効果により、フォトダイオー
ドの接合容量にょるす。この特性を補正するにはhのよ
うな位相補正をしてやればよい。
第12図は第10%第1!図の位相を補正するための回
路である。g12図の回路に第6、第7図の出力Voを
入力すれば、周波数特性の改善された出力が得られる。
第12図において、60〜64は抵抗器、65.66は
可変抵抗器、67はコンデンサ、68はオペアンプであ
る。可変抵抗器66は出力信号の直流バイアス調整用で
ある。
第12図の伝達関数G (s)を計算すると=R・暑+
Ra5 (ここでRの添え字は第12図の部品苦号を示す。)し
たがって ここでに=ふ1」色 T+ = (Rao 十Rat )C Tl = R@Ic この伝達関数を、よく知られたボード線図により現わす
とM2S図のようになる。
第1θ図、第11図に示すように出力Voの周波数特性
のカットオフ周波数ωCと1/T、を合わせるようにす
ると、ボード線図上で特性を加えた特性fになL第10
図の場合には1/T、までの範囲がフラットな周波数特
性になるように改善できる。またMl1図の場合にはω
C以上のゲインのおちこみをなくすことができる。
第14図は位相補正回路を差動増暢器とかねた構成にし
たものである。
10m、12m、12m、12p、12g%t2r、1
4mは抵抗器、12m%12t、14sti可変抵抗器
、12a′はオペアンプ、12u、12%’はコンデン
サである。
第15図、第16図は周波数特性の温度特性を示したも
のである。フォトダイオードやフォトトランジスタの周
波数特性は、温度上昇によプ特性東 曲線dより1、gより一へ移動することを実験により確
認した。このため、第12、第14図の位相補正回路で
周波数特性は改善されるものの、温度による変化分は補
正できない。
サーゲモータとそのコントσ−2は取付場所が同じでな
いのが一般的であるので、エンコーダとコントローラの
周囲温度は異なるのが一般的である。したがって工/コ
ーベフオトセンサの温度特性をコントローラ内の回路で
補正することは困難である。したがって位相補正回路を
温度によってさらに補正する回路を入れる場合、エンコ
ーダ内部に入れた方が良い。
周波数特性が温度特性を持つため、位相補正回路もそれ
と同様に温度変化するようにすれはよい。
これを実現するためElf第12、@13図に示した抵
抗器61.12p、12mを温度に対し正の温度係数を
持つものを使用し、第15図、第16図の特性」、jの
ようにする。
すなわち前述した(1)式のR,Iが温度により大きく
なるとT、、T、が大きくな夛、ボード線図上で左へシ
フトする。したがって1/T、の動きをもとのカットオ
フ周波数ωCの動きと等しくなるようにする。
またR、に温度係数が正のものを使用し、 l/TIの
みを左側ヘシフトすることもでき、同様に補正すること
ができる。このようにすれば、温度が変わっても戸好な
周波数特性が得られる。
なおここではA%A相について説明したが、AK対し9
0°位相のずれたB、i相についても同様である。
〔発明の効果〕
本発明によれば以上の説明から明らかなように回転情報
を取り出す受光素子の出力を用いて安定した回転情報を
取り出すことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明装置の要部の概要図であり回転スリット
と固定スリットとは回転軸を中心とする円に沿って切断
して示す図である。第2図、第3図、第4図はフォトセ
ンサ検出電圧を示した特性図である。第5図は本発明の
原理ブロック図である。第6図は本発明の具体的一実施
例を示す図。 第7図〜M9図は本発明の他の具体的実施例を示す図。 第10図、第11図、第18図は周波数特性を示す特性
図である。第12図、第14図は本発明の他の具体的実
施例を示す図。第15図、第16図は周波数特性の温度
特性を示す特性図である。 lは発光手段、2.8は第11Ii2受光手段、4は固
定スリット板、5は回転スリット板、lad。 18aは直流成分分離手段を構成する素子、18a11
J1f〜18f118h、 14a〜14gは光量制御
手段を構成する素子である。 第 1 目 第  2  図 第4 図 第 5!!I 第 8 圀 rcc $IO圀 #)11  図 畢 I2  図 亮 茅!3  日

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、光量制御入力に応じた光量を放つ発光手段と、受光
    量に応じた電気的信号を出力する第1、第2受光手段と
    、これ等第1、第2受光手段と前記発光手段との間に位
    置しており、回転軸の回転に応じて前記第2受光手段が
    前記第1受光手段に対してπの位相差を有する信号を出
    力するように前記発光手段から前記第1第2受光手段に
    入る光を断続する固定スリット板と回転スリット円板と
    、前記第1第2受光素子の出力を入力し、前記第1第2
    受光素子の出力が含んでいる直流成分を取り出す直流成
    分分離手段と、該直流成分分離手段の出力が一定になる
    ように前記光量制御入力を制御する光量制御手段とから
    成る回転情報出力装置。
JP59257505A 1984-12-07 1984-12-07 回転情報出力装置 Pending JPS61137012A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59257505A JPS61137012A (ja) 1984-12-07 1984-12-07 回転情報出力装置
EP85115397A EP0184769A3 (en) 1984-12-07 1985-12-04 Rotational information output device
US06/806,340 US4733070A (en) 1984-12-07 1985-12-09 Rotational information output device

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JP59257505A JPS61137012A (ja) 1984-12-07 1984-12-07 回転情報出力装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6337215A (ja) * 1986-07-31 1988-02-17 Derufuai:Kk エンコ−ダの出力補償回路

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3931939A1 (de) * 1989-09-28 1991-04-04 Mitsubishi Electric Corp Winkelmessvorrichtung
GB9126720D0 (en) * 1991-12-17 1992-02-12 Schlumberger Ind Ltd Meter output devices
US5534692A (en) * 1992-09-14 1996-07-09 Sony Corporation Method for detecting origin point of position sensor
DE19629005A1 (de) * 1996-07-18 1998-01-22 Teves Gmbh Alfred Mechanische Toleranzabgrenzung einer optischen Übertragungsstrecke
JP2003240607A (ja) * 2002-02-18 2003-08-27 Canon Inc エンコーダの電気分割回路
US20030234351A1 (en) * 2002-06-25 2003-12-25 Chong-Hin Chee Brightness independent optical position sensor

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE789538A (fr) * 1971-10-13 1973-01-15 Sopelem Perfectionnements aux systemes de mesures de
JPS57169611A (en) * 1981-04-13 1982-10-19 Tokyo Optical Co Ltd Measuring device for angular displacement
JPS5888608A (ja) * 1981-11-24 1983-05-26 Tokyo Kosumosu Denki Kk 光学式位置検出器
JPS6046023U (ja) * 1983-09-03 1985-04-01 シャープ株式会社 光電式エンコ−ダ
US4593194A (en) * 1983-10-05 1986-06-03 Quantum Corporation Optical encoder with digital gain compensation controlling source intensity
JPS60113107A (ja) * 1983-11-25 1985-06-19 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 光学式エンコ−ダ−
JPS59210322A (ja) * 1984-03-24 1984-11-29 Canon Inc 光電式位置検出方式
JPH0758206B2 (ja) * 1984-03-30 1995-06-21 株式会社日立製作所 モワレ縞を用いた位置検出装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6337215A (ja) * 1986-07-31 1988-02-17 Derufuai:Kk エンコ−ダの出力補償回路

Also Published As

Publication number Publication date
EP0184769A2 (en) 1986-06-18
US4733070A (en) 1988-03-22
EP0184769A3 (en) 1988-02-17

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