JPS61130124A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
- Publication number
- JPS61130124A JPS61130124A JP59253318A JP25331884A JPS61130124A JP S61130124 A JPS61130124 A JP S61130124A JP 59253318 A JP59253318 A JP 59253318A JP 25331884 A JP25331884 A JP 25331884A JP S61130124 A JPS61130124 A JP S61130124A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lever
- opening
- operating lever
- reticle
- storage box
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H1/00—Supports or magazines for piles from which articles are to be separated
- B65H1/26—Supports or magazines for piles from which articles are to be separated with auxiliary supports to facilitate introduction or renewal of the pile
- B65H1/266—Support fully or partially removable from the handling machine, e.g. cassette, drawer
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H2402/00—Constructional details of the handling apparatus
- B65H2402/30—Supports; Subassemblies; Mountings thereof
- B65H2402/32—Sliding support means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明はレチクル等の基板を収納する収納箱をカセット
蓋と分離してカセットより搬送する装置に関する。
蓋と分離してカセットより搬送する装置に関する。
（従来技術）
従来、この種の装置にあっては、レチクル等の基板のみ
をカセットより引き出して搬送するものが知られるが、
基板に傷が付き易く、又レチクル抑えのためにレチクル
のパターン領域が減少してしまう、更にはゴミが付き易
いという問題点がある。
をカセットより引き出して搬送するものが知られるが、
基板に傷が付き易く、又レチクル抑えのためにレチクル
のパターン領域が減少してしまう、更にはゴミが付き易
いという問題点がある。
又、他の装置にあっては、カセット全体を引き出して搬
送するがこの場合、その後にカセットからレチクル等の
基板を取り出すこととなり、基板の所定位置への搬送に
時間がかかるという問題点がある。
送するがこの場合、その後にカセットからレチクル等の
基板を取り出すこととなり、基板の所定位置への搬送に
時間がかかるという問題点がある。
（目 的）
本発明は上述した問題点を考慮して基板を収納する収納
箱をカセット蓋と分離してカセットから搬送する装置を
提供することを目的とする。
箱をカセット蓋と分離してカセットから搬送する装置を
提供することを目的とする。
（実施例）
第１図は本発明に係わるカセットを示す。
ｌはレチクル、２は収納箱、３は蓋、４は弾性板、５は
開閉レバー、６はフレーム、７はベルト、８はカセット
である。
開閉レバー、６はフレーム、７はベルト、８はカセット
である。
ここで開閉レバー５を開方向に回動するとその中央部が
固定された弾性板４で支持された蓋３が全体的にほぼ水
平に上方に浮き、逆に開閉レバーを閉方向に動かすと弾
性板４の弾性力に抗して蓋３を閉じる。なおベルト７は
開閉レバー５に一端を固定され開閉レバー５による蒼３
の密着の際の浮き上がりを防止するために設けられてい
る。
固定された弾性板４で支持された蓋３が全体的にほぼ水
平に上方に浮き、逆に開閉レバーを閉方向に動かすと弾
性板４の弾性力に抗して蓋３を閉じる。なおベルト７は
開閉レバー５に一端を固定され開閉レバー５による蒼３
の密着の際の浮き上がりを防止するために設けられてい
る。
第２図はレチクル１が収納された収納箱２をカセット８
より取り出した図を示す。
より取り出した図を示す。
第３図は収納箱をカセットより水平方向に移動させる水
平移動機構ｌＯを示す。
平移動機構ｌＯを示す。
第３図で１１は引き出し部材、ｌｌａは操作レバー、Ｉ
ｌｂは回転コｌニア、Ｌｌ（は回転支点、ｌｉｄは弾性
部材、ｌｉｅは固定レバー、ｌｌｆは引っかけピンであ
る。
ｌｂは回転コｌニア、Ｌｌ（は回転支点、ｌｉｄは弾性
部材、ｌｉｅは固定レバー、ｌｌｆは引っかけピンであ
る。
ここで回転支点１１ｃを中心に操作レバ−１１ａ１回転
コロｌｌｂが一体で回転可能に設けられる。
コロｌｌｂが一体で回転可能に設けられる。
なお固定レバーｌｉｅは引き出される収納箱を位置決め
するためのものである。
するためのものである。
次に第４図（Ａ）（Ｂ）でレチクルｌが収納された収納
箱２を水平方向に引き出すことを説明する。
箱２を水平方向に引き出すことを説明する。
第４図（Ａ）で先ず引き出し部材１１を含む水平移動機
構１０は収納箱２の側部に係合して図中左側へ移動する
。
構１０は収納箱２の側部に係合して図中左側へ移動する
。
そのとき操作レバー１１ａが開閉レバー５に突き当たり
、開閉レバー５を時計方向に回動させ、これにより蓋６
を全体的に上方に浮かせる。
、開閉レバー５を時計方向に回動させ、これにより蓋６
を全体的に上方に浮かせる。
そして操作レバー１１ａが弾性作用で開位置の開閉レバ
ー５を乗り越え、更に水平移動機構１０は左側に移動し
、収納箱２に設けられる不図示の引っかけ部材により停
止する。
ー５を乗り越え、更に水平移動機構１０は左側に移動し
、収納箱２に設けられる不図示の引っかけ部材により停
止する。
さてこの引っかけ部材位置で停止させた後、水平移動機
構１０を図中上方に微か変位する。すると収納箱２の側
面に設けられる不図示の部材が回転二〇ｌｌｂを下方に
押して、回転コロｌｌｂ及び操作レバー１１ａは回転支
点１１ｃを中心に反時計方向に回動される。
構１０を図中上方に微か変位する。すると収納箱２の側
面に設けられる不図示の部材が回転二〇ｌｌｂを下方に
押して、回転コロｌｌｂ及び操作レバー１１ａは回転支
点１１ｃを中心に反時計方向に回動される。
これにより操作レバー１１ａと開閉レバー５は互いに干
渉しない高さ関係となる。
渉しない高さ関係となる。
８４図（Ｂ）は引き出し部材１１がレチクル１を含む収
納箱２を引き出して図中、右側方向へ搬送する図を示゛
す。
納箱２を引き出して図中、右側方向へ搬送する図を示゛
す。
操作レバー１１ａと開閉レバー５は前述した如く干渉し
ないため、操作レバー１１ａが右側へ移動している際、
開閉レバー５を変化させず蓋６は開状態を保つ。
ないため、操作レバー１１ａが右側へ移動している際、
開閉レバー５を変化させず蓋６は開状態を保つ。
このようにして水平移動機ａ１０は水平方向の基準位置
へ垂直方向に微か上昇した状態で戻る。
へ垂直方向に微か上昇した状態で戻る。
なお、使用後のレチクルをカセット８に収納する場合は
、前述したフローと逆のフローとなる。
、前述したフローと逆のフローとなる。
すなわち水平移動機構１０をカセット８の方向に水平移
動し、その後下方に微か変位させ回転コロ１１ｂ及び操
作レバー１１ａを上方に復帰させてから、逆方向に水平
移動させる。その際、操作レバー１１ａのフック部が開
閉レバー５を引っかけ、開閉レバー５を逆に回動させて
自動的に閉状態として退去する。
動し、その後下方に微か変位させ回転コロ１１ｂ及び操
作レバー１１ａを上方に復帰させてから、逆方向に水平
移動させる。その際、操作レバー１１ａのフック部が開
閉レバー５を引っかけ、開閉レバー５を逆に回動させて
自動的に閉状態として退去する。
次に第５図で水平移動機構１０で水平移動されたレチク
ルをレチクルステージへ搬送する系を示す。
ルをレチクルステージへ搬送する系を示す。
レチクルを収納した収納箱２を水平方向に取り出した水
平移動機構１０は水平方向の基準位置から垂直移動機構
１２により上昇し、送り込みハンド１７の水平移動面内
の位置に達する。その後、送り込みハンドエフの水平移
動面内の位置より上方に設けられた不図示のレチクル吸
着体が下降しレチクルを吸着した後、元の位置まで上昇
する。
平移動機構１０は水平方向の基準位置から垂直移動機構
１２により上昇し、送り込みハンド１７の水平移動面内
の位置に達する。その後、送り込みハンドエフの水平移
動面内の位置より上方に設けられた不図示のレチクル吸
着体が下降しレチクルを吸着した後、元の位置まで上昇
する。
これと同時に水平移動機構１０は下降し、送り込みハン
ド１７の水平移動面より所定量下方の待機位置で停止す
る。該停止を確認後、送り込みハン −ドが水平面内に
９０°回転される。
ド１７の水平移動面より所定量下方の待機位置で停止す
る。該停止を確認後、送り込みハン −ドが水平面内に
９０°回転される。
その後、前述のレチクル吸着体がレチクルを吸着したま
ま、下降し送り込みハンド１７の上面にレチクルを載置
する。
ま、下降し送り込みハンド１７の上面にレチクルを載置
する。
次に前述のレチクル吸着体とほぼ同じ高さに設けられて
いる位置決め機構１５が下降する。
いる位置決め機構１５が下降する。
そして送り込みハンド１７の上面に載置されたしチクル
を位置決め機構１５の位置決め部材１５ａ、１５ｂ及び
ブツシャ部材１５ｃ、１５ｄで位置決めする。
を位置決め機構１５の位置決め部材１５ａ、１５ｂ及び
ブツシャ部材１５ｃ、１５ｄで位置決めする。
なお位置決め部材１５ａ、１５ｂはレチクルの直交する
側端部から各々所定量隔った位置から位置決め基準位置
へ変位するようにしてレチクルに傷が付くのを防止して
いる。
側端部から各々所定量隔った位置から位置決め基準位置
へ変位するようにしてレチクルに傷が付くのを防止して
いる。
又、ブツシャ部材１５ｃ、１５ｄもレチクルから外れた
位置を始点にして位置決め基準位置の位置決め部材１５
ａ、１５ｂにレチクルが突き当たるようレチクルを押し
つける。
位置を始点にして位置決め基準位置の位置決め部材１５
ａ、１５ｂにレチクルが突き当たるようレチクルを押し
つける。
なお位置決めされる間、送り込みハンド１７はレチクル
の吸着を解除しているが、位置決めが完了するとレチク
ルを吸着する。そして位置決め後、位置決め部材１５ａ
、１５ｂ及びブツシャ部材１５ｃ 、ｉ５ｄを含む位置
決め機構１５はレチクルから離れ各々始点位置へ戻る。
の吸着を解除しているが、位置決めが完了するとレチク
ルを吸着する。そして位置決め後、位置決め部材１５ａ
、１５ｂ及びブツシャ部材１５ｃ 、ｉ５ｄを含む位置
決め機構１５はレチクルから離れ各々始点位置へ戻る。
その後、送り込みハンド１７は逆方向に９０°回転して
レチクルステージへレチクルを搬送する。
レチクルステージへレチクルを搬送する。
なおインデックス板１６の凹凸はカセットの各収納高さ
位置に対応し、又フォトスイッチ１４はインデックス板
１６の凹凸に応じて光が透過するか遮蔽されるかにより
水平移動機構ｌＯの上下方向の位置を精度良く制御する
。
位置に対応し、又フォトスイッチ１４はインデックス板
１６の凹凸に応じて光が透過するか遮蔽されるかにより
水平移動機構ｌＯの上下方向の位置を精度良く制御する
。
又、駆動部１３と同軸に不図示のポテンショメータが設
けられ、水平移動機構１０の絶対高さ位置を概略制御す
る。
けられ、水平移動機構１０の絶対高さ位置を概略制御す
る。
ここで、第６図（ａ）〜（ｅ）に垂直方向の移動機構の
フローを概略示す。
フローを概略示す。
なお本発明において基板はレチクルの他、マスク、ウェ
ハ等であっても良い。
ハ等であっても良い。
（効 果）
以上本発明によれば、レチクル等の基板に傷が付きにく
く、レチクルのパターン領域が減少することなく、又、
ゴミの付着についても相当改良され更にはレチクル等の
基板のカセットからの取り出しに要する時間も相当短縮
される。
く、レチクルのパターン領域が減少することなく、又、
ゴミの付着についても相当改良され更にはレチクル等の
基板のカセットからの取り出しに要する時間も相当短縮
される。
第１図はカセットの説明図、
第２図はカセットより引き出された収納箱を示す図、
第３図は水平移動機構の説明図。
第４図（Ａ） （Ｂ）は収納箱をカセットより引き出す
作動の説明図、 第５図はレチクルをレチクルステージへ搬送する系の説
明図、 第６図（ａ）〜（ｅ）は垂直方向の移動方向のフローの
説明図、 図中 １はレチクル、２は収納箱、３は蓋、５は開閉レ
バー、８はカセット、１１は引き出し部材、ｌｌａは操
作レバー、ｌｌｂは回転コロ、１１ｃは回転支点、１．
１ｄは弾性部材、１２は垂直移動機構、１５は位置決め
機構、１７は送り込みハンド、である。 第６図
作動の説明図、 第５図はレチクルをレチクルステージへ搬送する系の説
明図、 第６図（ａ）〜（ｅ）は垂直方向の移動方向のフローの
説明図、 図中 １はレチクル、２は収納箱、３は蓋、５は開閉レ
バー、８はカセット、１１は引き出し部材、ｌｌａは操
作レバー、ｌｌｂは回転コロ、１１ｃは回転支点、１．
１ｄは弾性部材、１２は垂直移動機構、１５は位置決め
機構、１７は送り込みハンド、である。 第６図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 開閉レバーによりカセット蓋を、基板を収納する収納
箱より開放或いは該収納箱と結合する如きカセットから
収納箱を搬送する装置において、上記収納箱に係合し前
記収納箱を引き出す引き出し部材と、 該引き出し部材に設けられる支点に対し回動自在な操作
レバー及び回転コロと、 前記引き出し部材を所定量、引き出し方向と直角に移動
させて前記収納箱が前記回転コロを押し下げると共に前
記操作レバーを前記開閉レバーに突き当たる位置から退
避させる手段を有することを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25331884A JPH0641329B2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 搬 送 装 置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25331884A JPH0641329B2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 搬 送 装 置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61130124A true JPS61130124A (ja) | 1986-06-18 |
| JPH0641329B2 JPH0641329B2 (ja) | 1994-06-01 |
Family
ID=17249632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25331884A Expired - Lifetime JPH0641329B2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | 搬 送 装 置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0641329B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63280434A (ja) * | 1987-05-12 | 1988-11-17 | Tokyo Electron Ltd | ウエハプロ−バ |
| JPH0269955A (ja) * | 1988-09-06 | 1990-03-08 | Canon Inc | マスクローディング機構 |
| JPH07273159A (ja) * | 1994-10-24 | 1995-10-20 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
| CN110865511A (zh) * | 2018-08-27 | 2020-03-06 | 家登精密工业股份有限公司 | 一种光罩盒及其作动方法 |
-
1984
- 1984-11-30 JP JP25331884A patent/JPH0641329B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63280434A (ja) * | 1987-05-12 | 1988-11-17 | Tokyo Electron Ltd | ウエハプロ−バ |
| JPH0573345B2 (ja) * | 1987-05-12 | 1993-10-14 | Tokyo Electron Ltd | |
| JPH0269955A (ja) * | 1988-09-06 | 1990-03-08 | Canon Inc | マスクローディング機構 |
| JPH07273159A (ja) * | 1994-10-24 | 1995-10-20 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
| CN110865511A (zh) * | 2018-08-27 | 2020-03-06 | 家登精密工业股份有限公司 | 一种光罩盒及其作动方法 |
| CN110865511B (zh) * | 2018-08-27 | 2023-08-29 | 家登精密工业股份有限公司 | 一种光罩盒及其作动方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0641329B2 (ja) | 1994-06-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |