JPH0573345B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0573345B2 JPH0573345B2 JP11555487A JP11555487A JPH0573345B2 JP H0573345 B2 JPH0573345 B2 JP H0573345B2 JP 11555487 A JP11555487 A JP 11555487A JP 11555487 A JP11555487 A JP 11555487A JP H0573345 B2 JPH0573345 B2 JP H0573345B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- movable plate
- prober
- receiving tray
- wafers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 52
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 14
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 3
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、半導体ウエハのチエツク工程を担う
ウエハプローバの改良に関するものである。
ウエハプローバの改良に関するものである。
（従来の技術）
半導体の製造工程のおいては、ウエハを測定し
て良品と不良品を判別するために、ウエハプロー
バが一般に使用されている。
て良品と不良品を判別するために、ウエハプロー
バが一般に使用されている。
そして、実際の測定に際しては、プローバ本体
に設けられている収納質から、該収納室に複数枚
を単位とし収納されているウエハを取り出して、
該測定用ウエハを本体の測定部上に載置して、ウ
エハの各チツプ毎に測定を行なうものであり、現
在は、ウエハの収納室からの取出作業・測定部上
への載置作業・測定部上からの回収作業、及び収
納室への収納作業は、全て自動化されている。
に設けられている収納質から、該収納室に複数枚
を単位とし収納されているウエハを取り出して、
該測定用ウエハを本体の測定部上に載置して、ウ
エハの各チツプ毎に測定を行なうものであり、現
在は、ウエハの収納室からの取出作業・測定部上
への載置作業・測定部上からの回収作業、及び収
納室への収納作業は、全て自動化されている。
（発明が解決しようとする問題点）
然し乍ら、従来のウエハプローバにあつては、
上記各作業に関しては、種々の機構を組み込んで
自動化を可能としているが、例えば個々的にマニ
アル測定をする等の理由で、収納室内のウエハを
サンプルとして他所に運ぶ必要が生じたような場
合までは、自動化が進んでいないので、斯る特別
な運搬に際しては、未だ従前と同様に、その都度
オペレータがピンセツト等で収納室からサンプル
用のウエハを取り出して、その状態のまま他所に
運ぶ以外方法がなかつた。
上記各作業に関しては、種々の機構を組み込んで
自動化を可能としているが、例えば個々的にマニ
アル測定をする等の理由で、収納室内のウエハを
サンプルとして他所に運ぶ必要が生じたような場
合までは、自動化が進んでいないので、斯る特別
な運搬に際しては、未だ従前と同様に、その都度
オペレータがピンセツト等で収納室からサンプル
用のウエハを取り出して、その状態のまま他所に
運ぶ以外方法がなかつた。
この為、従来にあつては、ウエハの損傷と言う
大きな問題が持ち上がつており、当該分野におい
ては斯る問題の解決が強く熱望されている。
大きな問題が持ち上がつており、当該分野におい
ては斯る問題の解決が強く熱望されている。
（問題点を解決するための手段）
而して、本発明は、斯る従来の要請に鑑み案出
されたもので、プローバ本体のウエハ収納位置
に、横方向に引き出し可能な移動板を設けると共
に、該移動板上にウエハ受け皿を着脱可能に支持
する構成のウエハプローバを提供することによ
り、上記問題点を有効に解決せんとするものであ
る。
されたもので、プローバ本体のウエハ収納位置
に、横方向に引き出し可能な移動板を設けると共
に、該移動板上にウエハ受け皿を着脱可能に支持
する構成のウエハプローバを提供することによ
り、上記問題点を有効に解決せんとするものであ
る。
（作用）
従つて、本発明にあつては、個々的にマニアル
測定をする等の理由で、収納位置にあるウエハを
サンプルとして他所に運ぶ必要が生じたような場
合には、通常の測定に使用されるウエハの搬送機
構等を利用して、収納室内のウエハを取り出し
て、該ウエハを受け皿上に載置した後、該受け皿
を支持する移動板をプローバ本体から引き出せ
ば、ウエハを受け皿に載置したまま、他所に搬送
できるので、従来の如く搬送時にウエハを損傷す
る心配が全くなくなる。
測定をする等の理由で、収納位置にあるウエハを
サンプルとして他所に運ぶ必要が生じたような場
合には、通常の測定に使用されるウエハの搬送機
構等を利用して、収納室内のウエハを取り出し
て、該ウエハを受け皿上に載置した後、該受け皿
を支持する移動板をプローバ本体から引き出せ
ば、ウエハを受け皿に載置したまま、他所に搬送
できるので、従来の如く搬送時にウエハを損傷す
る心配が全くなくなる。
（実施例）
以下、本発明を図示する一実施例に基づいて詳
述すれば、該実施例に係るウエハプローバも、第
１図に示す如く、プローバ本体１に複数枚のウエ
ハを収納する収納室２や測定部１６等を備え、且
つ具体的には図示しないが、ウエハ３の収納位置
からの取出作業・測定部１６上への載置作業・測
定部１６上からの回収作業、及び収納室２への収
納作業を、全て自動機構を介して行なうことを前
提とするものであるが、特徴とするところは、以
下の構成に存する。
述すれば、該実施例に係るウエハプローバも、第
１図に示す如く、プローバ本体１に複数枚のウエ
ハを収納する収納室２や測定部１６等を備え、且
つ具体的には図示しないが、ウエハ３の収納位置
からの取出作業・測定部１６上への載置作業・測
定部１６上からの回収作業、及び収納室２への収
納作業を、全て自動機構を介して行なうことを前
提とするものであるが、特徴とするところは、以
下の構成に存する。
即ち、本実施例にあつては、第２図乃至第４図
に示す如く、プローバ本体１の上記収納室２の下
方に空所４を画成し、該空所４の両側壁夫々に、
取付用ブラケツト５を介して、上下ガイドローラ
６，７を一定の間隔をおいて配設すると共に、該
上下ガイドローラ６，７間に側面ガイドローラ８
を配設して、側面ガイドローラ８による案内規制
作用を受けて、上記上下のガイドローラ６，７間
に、移動板９を横方向に引き出し可能に設ける。
に示す如く、プローバ本体１の上記収納室２の下
方に空所４を画成し、該空所４の両側壁夫々に、
取付用ブラケツト５を介して、上下ガイドローラ
６，７を一定の間隔をおいて配設すると共に、該
上下ガイドローラ６，７間に側面ガイドローラ８
を配設して、側面ガイドローラ８による案内規制
作用を受けて、上記上下のガイドローラ６，７間
に、移動板９を横方向に引き出し可能に設ける。
又、該移動板９の少なくとも後端部一側に、上
記ブラケツト５に当接する前方位ストツパー１０
を固設して、移動板９の前方向への引き出しを規
制する構成となすと共に、上記空所４を画成する
底部に、移動板９の後端凹部面９ａに当接する板
ばね式の後方位ストツパー１１と、微調整可能な
螺子式の後方位ストツパー１２を夫々固設して、
該各ストツパー１１，１２により、移動板９の後
方向への移動を規制する構成を採用している。
記ブラケツト５に当接する前方位ストツパー１０
を固設して、移動板９の前方向への引き出しを規
制する構成となすと共に、上記空所４を画成する
底部に、移動板９の後端凹部面９ａに当接する板
ばね式の後方位ストツパー１１と、微調整可能な
螺子式の後方位ストツパー１２を夫々固設して、
該各ストツパー１１，１２により、移動板９の後
方向への移動を規制する構成を採用している。
更に、本実施例にあつては、移動板９の上面
に、所定間隔をおいて複数の支持ピン１３を立設
する一方、ウエハ３を載置する受け皿１４下面の
上記ピン１３と対応する個所に、テーパー案内面
を有する係入孔１５を穿設して、該各係入孔１５
に対する支持ピン１３の係入により、受け皿１４
を移動板９上に確実に位置決めして着脱可能に支
持できる構成となつている。
に、所定間隔をおいて複数の支持ピン１３を立設
する一方、ウエハ３を載置する受け皿１４下面の
上記ピン１３と対応する個所に、テーパー案内面
を有する係入孔１５を穿設して、該各係入孔１５
に対する支持ピン１３の係入により、受け皿１４
を移動板９上に確実に位置決めして着脱可能に支
持できる構成となつている。
尚、受け皿１４の上面側には、ウエハ３を径に
応じて確実に載置できる円環状の段部を複数形成
しておくものとする。
応じて確実に載置できる円環状の段部を複数形成
しておくものとする。
依つて、斯る構成のウエハプローバにあつて
も、プローバ本体１の収納位置からウエハ３を取
り出して、該ウエハ３を測定部１６上に載置すれ
ば、ウエハ３の各チツプ毎に測定が可能となるこ
とは言うまでもない。
も、プローバ本体１の収納位置からウエハ３を取
り出して、該ウエハ３を測定部１６上に載置すれ
ば、ウエハ３の各チツプ毎に測定が可能となるこ
とは言うまでもない。
然し、個々的にマニアル測定する等の理由で、
収納位置のウエハ３をサンプルとして他所に運ぶ
必要が生じたような場合には、通常の測定に使用
されるウエハ３の搬送機構（図示せず）等を利用
して、収納位置内のウエハ３を取り出して、該ウ
エハ３を移動板９に支持されている受け皿１４上
に載置した後、特に第４図に示す如く、上記前方
位ストツパー１０がブラケツト５に当接するま
で、移動板９を自身の把手孔９ｂを介してプロー
バ本体１から引き出せば、従来の如くピンセツト
等を用いずとも、ウエハ３を受け皿１４と一緒に
移動板９から容易に取り出すことが可能となる。
収納位置のウエハ３をサンプルとして他所に運ぶ
必要が生じたような場合には、通常の測定に使用
されるウエハ３の搬送機構（図示せず）等を利用
して、収納位置内のウエハ３を取り出して、該ウ
エハ３を移動板９に支持されている受け皿１４上
に載置した後、特に第４図に示す如く、上記前方
位ストツパー１０がブラケツト５に当接するま
で、移動板９を自身の把手孔９ｂを介してプロー
バ本体１から引き出せば、従来の如くピンセツト
等を用いずとも、ウエハ３を受け皿１４と一緒に
移動板９から容易に取り出すことが可能となる。
従つて、本実施例にあつては、ウエハ３を受け
皿１４上に載置したまま他所に搬送できるので、
従来の如く搬送時にウエハ３を損傷する心配が全
くなくなる。
皿１４上に載置したまま他所に搬送できるので、
従来の如く搬送時にウエハ３を損傷する心配が全
くなくなる。
尚、ウエハ３の搬送後は、再び支持ピン１３と
係入孔１５を介して、受け皿１４を支持板９に支
持して、既述の後方位ストツパー１１，１２の規
制を受けるまで、移動板９を空所４内に後退させ
れば、通常のウエハ３の測定に何らの支障を与え
る心配も全くない。
係入孔１５を介して、受け皿１４を支持板９に支
持して、既述の後方位ストツパー１１，１２の規
制を受けるまで、移動板９を空所４内に後退させ
れば、通常のウエハ３の測定に何らの支障を与え
る心配も全くない。
又、第５図に示す如く、移動板９を引き出した
際に、相互に係合する係合手段１７ａ，１７ｂ
を、移動板９の後端部と空所４を画成する底部に
夫々設ければ、移動板９を引き出し位置に確実に
ロツクすることが可能となる。本実施例では、バ
ネにより下方向から移動版に圧接されたロール１
７ａと移動版９の後端部に設けた係合溝１７ｂと
で係合手段を構成しているが、かかる係合手段は
任意に変更可能である。
際に、相互に係合する係合手段１７ａ，１７ｂ
を、移動板９の後端部と空所４を画成する底部に
夫々設ければ、移動板９を引き出し位置に確実に
ロツクすることが可能となる。本実施例では、バ
ネにより下方向から移動版に圧接されたロール１
７ａと移動版９の後端部に設けた係合溝１７ｂと
で係合手段を構成しているが、かかる係合手段は
任意に変更可能である。
（発明の効果）
以上の如く、本発明は、プローバ本体のウエハ
収納位置に、横方向に引き出し可能な移動板を設
けると共に、該移動板上にウエハ受け皿を着脱可
能に支持したことを特徴とするものであるから、
個々的にマニアル測定をする等の理由で、ウエハ
をサンプルとして他所に運ぶ必要が生じたような
場合、通常の測定に使用されるウエハの搬送機構
等を利用して、収納位置のウエハを取り出して、
該ウエハを受け皿上に載置した後、該受け皿を支
持する移動板をプローバ本体から引き出せば、ピ
ンセツト等を用いずとも、ウエハを受け皿に載置
したまま他所に搬送できるので、従来の如く搬送
時にウエハを損傷する心配が全くなくなる。
収納位置に、横方向に引き出し可能な移動板を設
けると共に、該移動板上にウエハ受け皿を着脱可
能に支持したことを特徴とするものであるから、
個々的にマニアル測定をする等の理由で、ウエハ
をサンプルとして他所に運ぶ必要が生じたような
場合、通常の測定に使用されるウエハの搬送機構
等を利用して、収納位置のウエハを取り出して、
該ウエハを受け皿上に載置した後、該受け皿を支
持する移動板をプローバ本体から引き出せば、ピ
ンセツト等を用いずとも、ウエハを受け皿に載置
したまま他所に搬送できるので、従来の如く搬送
時にウエハを損傷する心配が全くなくなる。
第１図は本発明の実施例に係るウエハプローバ
を示す概略図、第２図は移動板と受け皿等の関係
を示す要部平面図、第３図は同要部正面図、第４
図は移動板を引き出した状態を示す要部平面図、
第５図は同要部側面図である。 １……プローバ本体、２……収納室、３……ウ
エハ、６……上ガイドローラ、７……下ガイドロ
ーラ、８……側面ガイドローラ、９……移動板、
１３……支持ピン、１４……受け皿、１５……係
入孔。
を示す概略図、第２図は移動板と受け皿等の関係
を示す要部平面図、第３図は同要部正面図、第４
図は移動板を引き出した状態を示す要部平面図、
第５図は同要部側面図である。 １……プローバ本体、２……収納室、３……ウ
エハ、６……上ガイドローラ、７……下ガイドロ
ーラ、８……側面ガイドローラ、９……移動板、
１３……支持ピン、１４……受け皿、１５……係
入孔。
Claims (1)
- １ プローバ本体のウエハ収納位置に、横方向に
引き出し可能な移動板を設けると共に、該移動板
上にウエハ受け皿を着脱可能に支持したことを特
徴とするウエハプローバ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62115554A JPS63280434A (ja) | 1987-05-12 | 1987-05-12 | ウエハプロ−バ |
| KR1019880013770A KR970008328B1 (ko) | 1987-05-12 | 1988-10-21 | 매엽식 캐리어, 매엽식 캐리어의 출입장치 및 매엽식 캐리어의 출입장치를 갖는 프로우브 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62115554A JPS63280434A (ja) | 1987-05-12 | 1987-05-12 | ウエハプロ−バ |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6284444A Division JP2665886B2 (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | プローブ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63280434A JPS63280434A (ja) | 1988-11-17 |
| JPH0573345B2 true JPH0573345B2 (ja) | 1993-10-14 |
Family
ID=14665415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62115554A Granted JPS63280434A (ja) | 1987-05-12 | 1987-05-12 | ウエハプロ−バ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63280434A (ja) |
| KR (1) | KR970008328B1 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI664130B (zh) * | 2016-01-29 | 2019-07-01 | 旺矽科技股份有限公司 | 晶圓匣 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61130124A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-18 | Canon Inc | 搬送装置 |
| JPS6251235A (ja) * | 1985-08-30 | 1987-03-05 | Canon Inc | ウェハ処理装置 |
| JPS6322738B2 (ja) * | 1982-06-03 | 1988-05-13 | Mitsubishi Electric Corp |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0333062Y2 (ja) * | 1986-07-28 | 1991-07-12 |
-
1987
- 1987-05-12 JP JP62115554A patent/JPS63280434A/ja active Granted
-
1988
- 1988-10-21 KR KR1019880013770A patent/KR970008328B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6322738B2 (ja) * | 1982-06-03 | 1988-05-13 | Mitsubishi Electric Corp | |
| JPS61130124A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-18 | Canon Inc | 搬送装置 |
| JPS6251235A (ja) * | 1985-08-30 | 1987-03-05 | Canon Inc | ウェハ処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63280434A (ja) | 1988-11-17 |
| KR900007053A (ko) | 1990-05-09 |
| KR970008328B1 (ko) | 1997-05-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071014 Year of fee payment: 14 |