JPS61125036A - ウエハボ−トセツテイング用エレベ−タのセツト位置制御エラ−検出装置 - Google Patents
ウエハボ−トセツテイング用エレベ−タのセツト位置制御エラ−検出装置Info
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- JPS61125036A JPS61125036A JP24650784A JP24650784A JPS61125036A JP S61125036 A JPS61125036 A JP S61125036A JP 24650784 A JP24650784 A JP 24650784A JP 24650784 A JP24650784 A JP 24650784A JP S61125036 A JPS61125036 A JP S61125036A
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- Japan
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- arm
- sensor
- area
- elevator
- motor
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、半導体装置製造工程において半導体ウェハ群
を載置したウエハピートを拡散装置等にセットするため
に用いられるクエハコートセッティング用エレベータに
係り、特にセツティング位置の制御エラーを検出するセ
ット位置制御エラー検出装置に関する。
を載置したウエハピートを拡散装置等にセットするため
に用いられるクエハコートセッティング用エレベータに
係り、特にセツティング位置の制御エラーを検出するセ
ット位置制御エラー検出装置に関する。
この種の従来のウェハボートセツティング用エレベータ
は、たとえば第３区に示すように構成されている。即ち
、１，はたとえば拡散装置であって、２は拡散炉炉口，
３は上記炉口２の近くに設けられたローディング・アン
ローディング用の炉口ステージである。４は拡散用ウェ
ハ５群が載せられた石英ボートであり、図では上記ステ
ージ３上にセットされた状態を示している。
は、たとえば第３区に示すように構成されている。即ち
、１，はたとえば拡散装置であって、２は拡散炉炉口，
３は上記炉口２の近くに設けられたローディング・アン
ローディング用の炉口ステージである。４は拡散用ウェ
ハ５群が載せられた石英ボートであり、図では上記ステ
ージ３上にセットされた状態を示している。
一方、エレベータ６において、７はエレベータアームで
あって、上下機構とスイング機構とにより高さ方向の上
下動動作と左右方向のスイング動作とが可能になってお
り、前記ボート４をステージ３上におろしたりステージ
３上からすくい上げたりするためのものである。上下機
構は、たとえば第１のモータ８とギアボックス９とねじ
棒１０とアーム支持台１１とを用いてなり、上記モータ
８の回転、停止および回転方向ＩＣよりエレベータアー
ム７の上下動、停止および上下動方向を制御するもので
ある。前記スイング機構は、前記アーム支持台１１に搭
載された第２のモータ１２によりアームのリンク機構１
３支持軸の水平方向への回動、停止および回動方向を制
御するものである。前記第１．第２の七−夕８，１２は
それぞれたとえば直流サー？モータが用いられてデジタ
ル制御が行なわれるものであり、アームの位置決め制御
のために必要な上記モータ８，１２０回転位置データを
得るために上記モータ８，１２にはそれぞれロータリー
エンコーダ１４．１５が付加されており、このエンコー
ダ１４．１５のパルス出力をカウントすることで原点位
置からの移動量データが得られるようになっている。
あって、上下機構とスイング機構とにより高さ方向の上
下動動作と左右方向のスイング動作とが可能になってお
り、前記ボート４をステージ３上におろしたりステージ
３上からすくい上げたりするためのものである。上下機
構は、たとえば第１のモータ８とギアボックス９とねじ
棒１０とアーム支持台１１とを用いてなり、上記モータ
８の回転、停止および回転方向ＩＣよりエレベータアー
ム７の上下動、停止および上下動方向を制御するもので
ある。前記スイング機構は、前記アーム支持台１１に搭
載された第２のモータ１２によりアームのリンク機構１
３支持軸の水平方向への回動、停止および回動方向を制
御するものである。前記第１．第２の七−夕８，１２は
それぞれたとえば直流サー？モータが用いられてデジタ
ル制御が行なわれるものであり、アームの位置決め制御
のために必要な上記モータ８，１２０回転位置データを
得るために上記モータ８，１２にはそれぞれロータリー
エンコーダ１４．１５が付加されており、このエンコー
ダ１４．１５のパルス出力をカウントすることで原点位
置からの移動量データが得られるようになっている。
なお、上記エンコーダ１４．１５に代えてアームの位置
をアームに連動して操作されるポテンショメータによっ
て検出し、アーム位置データを得る場合もある。
をアームに連動して操作されるポテンショメータによっ
て検出し、アーム位置データを得る場合もある。
ところで、上記エレベータにおいては、エンコーダ出力
パルスにノイズが重畳したり、ポテンショメータに劣化
とか故障が生じた場合に。
パルスにノイズが重畳したり、ポテンショメータに劣化
とか故障が生じた場合に。
位置決め制御にエラーが生じるおそれがある。
このような位置決めエラーを伴なって前記アーム７がス
イングすると、特に他の部分（たとえば前記炉口ステー
ジ３）と衝突等の干渉が生じる上下方向位置領域で誤っ
て停止した後に動作を開始すると、衝突によりデート、
ウェハの破損をきたしたり、アームとかスイング機構の
故障を引き起こすおそれがある。
イングすると、特に他の部分（たとえば前記炉口ステー
ジ３）と衝突等の干渉が生じる上下方向位置領域で誤っ
て停止した後に動作を開始すると、衝突によりデート、
ウェハの破損をきたしたり、アームとかスイング機構の
故障を引き起こすおそれがある。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、ウェハｙ
ｙ−ト操作用エレベータアームの位置決め制御データに
エラーが生じた場合でも、スイング動作危険領域でのア
ームのスイング動作を禁止でき、ウェハ、＄）、アーム
等の破損。
ｙ−ト操作用エレベータアームの位置決め制御データに
エラーが生じた場合でも、スイング動作危険領域でのア
ームのスイング動作を禁止でき、ウェハ、＄）、アーム
等の破損。
故障を防止し得るウェハホードセツティング用エレベー
タのセット位置制御エラー検出装置を提供するものであ
る。
タのセット位置制御エラー検出装置を提供するものであ
る。
即ち、本発明のセット位置制御エラー検出装置は、ウェ
ハボートセツティング用エレベータのアームの上下動位
置が、上記アームの左右方向のスイング動作の可能領域
あるいは禁止領域に存在するか否かを検出するセンサ装
置を備え、前記アーム用のデジタル制御系とは独立に上
記センサ装置によってアーム存在領域が前記可能領域で
あるか禁止領域であるかを検出するようにしたことを特
徴とするものである。
ハボートセツティング用エレベータのアームの上下動位
置が、上記アームの左右方向のスイング動作の可能領域
あるいは禁止領域に存在するか否かを検出するセンサ装
置を備え、前記アーム用のデジタル制御系とは独立に上
記センサ装置によってアーム存在領域が前記可能領域で
あるか禁止領域であるかを検出するようにしたことを特
徴とするものである。
したがって、デジタル制御系によりアームの高さ位置を
決めた後、センサ装置の出力をチェックしてアームが禁
止領域でないことを確認してからスイング動作を開始さ
せることが可能になるので、位置決め制御エラーによる
ウェハ。
決めた後、センサ装置の出力をチェックしてアームが禁
止領域でないことを確認してからスイング動作を開始さ
せることが可能になるので、位置決め制御エラーによる
ウェハ。
ケート、アーム等の破損、故障等を防止できる。
以下、図面を参照して本発明の一実施例を詳細に説明す
る。
る。
第１図に示すウェハキードセツティング用エレベータは
、第３図を参照して前述した従来例に比べて、アーム７
のスイング動作が危険な高さ領域（動作禁止領域）に応
じた長さのセンサ板２１をアーム支持台１１に取り付げ
ておき、上記センサ板２１が上記動作禁止領域に存在す
るか否かを検知するために領域検出用上ンサ（第２図２
２．２３参照）をアーム上下機構の近傍で上記センサヂ
板２１の上下軌道に沿う位置に設けた点が異なり、その
他は第３図中と同じであるので同一符号を付して説明を
省略する。
、第３図を参照して前述した従来例に比べて、アーム７
のスイング動作が危険な高さ領域（動作禁止領域）に応
じた長さのセンサ板２１をアーム支持台１１に取り付げ
ておき、上記センサ板２１が上記動作禁止領域に存在す
るか否かを検知するために領域検出用上ンサ（第２図２
２．２３参照）をアーム上下機構の近傍で上記センサヂ
板２１の上下軌道に沿う位置に設けた点が異なり、その
他は第３図中と同じであるので同一符号を付して説明を
省略する。
なお、２４はアーム７の上下位置の原点位置データを得
るための原点検出用センサ（たとえばフォトセンサ）で
あって、アーム支持台１１が任意に設定可能な原点位置
に存在するとき、たとえば前記センサ板２１を検出する
ものであり、原点高さに応じて図中点線で示すように任
意の高さ位置に設けることができる。
るための原点検出用センサ（たとえばフォトセンサ）で
あって、アーム支持台１１が任意に設定可能な原点位置
に存在するとき、たとえば前記センサ板２１を検出する
ものであり、原点高さに応じて図中点線で示すように任
意の高さ位置に設けることができる。
第２図は、第１図のアーム７のスイング動作可能領域ｔ
□とスイング動作禁止領域Ｚ２ｐＺ１と、上下方向に離
れた２個の炉口ステージ３１゜３、と２組の石英？−ト
４、および２組のウェハ群５との関係を概略的に示して
いる。即ち、アーム上下動範囲内で、下側のステージ３
２の下端からそのステージ３□に載せられる石英？−ト
４上のウェハ群５の上端までの間の高さ位置領域ｔ２と
、上側のステージ３□の下端から。
□とスイング動作禁止領域Ｚ２ｐＺ１と、上下方向に離
れた２個の炉口ステージ３１゜３、と２組の石英？−ト
４、および２組のウェハ群５との関係を概略的に示して
いる。即ち、アーム上下動範囲内で、下側のステージ３
２の下端からそのステージ３□に載せられる石英？−ト
４上のウェハ群５の上端までの間の高さ位置領域ｔ２と
、上側のステージ３□の下端から。
そのステージ３．に載せられる石英デート４上のウェハ
群５の上端までの間の高さ位置領域ｔ。
群５の上端までの間の高さ位置領域ｔ。
とがアームスイング動作の禁止領域であり、その他の高
さ位置領域（上記２個の禁止領域ｔ２１ｔ、の間ｔ□と
、上側の禁止領域ｔ３より上方および下側の禁止領域ｔ
！より下方）がアームスイング動作の可能領域である。
さ位置領域（上記２個の禁止領域ｔ２１ｔ、の間ｔ□と
、上側の禁止領域ｔ３より上方および下側の禁止領域ｔ
！より下方）がアームスイング動作の可能領域である。
そこで、前記センサ板２１が上記禁止領域ｔ。
あるいはｔ、にあるときに、前記領域検出用センサｚ２
，２ｓ（たとえば磁気センサとか７オトセンサ）が検出
してたとえばオンとなるように予め調整しておくものと
する。
，２ｓ（たとえば磁気センサとか７オトセンサ）が検出
してたとえばオンとなるように予め調整しておくものと
する。
上記構成において、各モータ８，１２はデジタル制御系
により制御されるものであり、たとえばボート４のロー
ディング時にはデジタル制御系により先ず第１のモータ
８を制御してアーム７の高さ位置を決め、次に第２のモ
ータ１２を制御してアーム７のスイング動作を制御して
アーム７の左右方向位ｔｆ、’を決め、次に再び第１の
モータ８２ａ：制御してアーム７を下けることによって
ボート４をステージ３１（３□）上に載せる。この場合
、前記領域検出用センサ２２゜２３を利用し、上記アー
ム高さの位置出しをして次のスイング動作に移る前にデ
ジタル制御データとは独立した上記センサ２２．２３の
各出力がオフであって、アーム７が動作禁止領域ｔ２゜
ｔ、に存在しないことを確認できる。
により制御されるものであり、たとえばボート４のロー
ディング時にはデジタル制御系により先ず第１のモータ
８を制御してアーム７の高さ位置を決め、次に第２のモ
ータ１２を制御してアーム７のスイング動作を制御して
アーム７の左右方向位ｔｆ、’を決め、次に再び第１の
モータ８２ａ：制御してアーム７を下けることによって
ボート４をステージ３１（３□）上に載せる。この場合
、前記領域検出用センサ２２゜２３を利用し、上記アー
ム高さの位置出しをして次のスイング動作に移る前にデ
ジタル制御データとは独立した上記センサ２２．２３の
各出力がオフであって、アーム７が動作禁止領域ｔ２゜
ｔ、に存在しないことを確認できる。
したがって、デジタル制御系のエラー（エンコーダ１４
．１５の出力パルスにノイズが重畳するとか、ポテンシ
ョメータ使用の場合にはポテンショメータの劣化、故障
に起因するエラーなど）に対してインターロックをかげ
ることができる。
．１５の出力パルスにノイズが重畳するとか、ポテンシ
ョメータ使用の場合にはポテンショメータの劣化、故障
に起因するエラーなど）に対してインターロックをかげ
ることができる。
なお、領域検出用センサ２２あるいは２３をアーム支持
台側に設け、センサ板２１をアーム支持台上下軌道の近
傍でスイング動作禁止領域区間に設けるようにしてもよ
い。また、領域検出センサおよびセンサ板を、アームス
イング動作禁止域ではなくアームスイング動作可能域に
設けるようにしてもよい。
台側に設け、センサ板２１をアーム支持台上下軌道の近
傍でスイング動作禁止領域区間に設けるようにしてもよ
い。また、領域検出センサおよびセンサ板を、アームス
イング動作禁止域ではなくアームスイング動作可能域に
設けるようにしてもよい。
なお、エレベータアームのスイング動作が可能領域にあ
るか禁止領域にあるかを検出するためのセンス装置は、
上記実施例に限らず種々変形してもよい。
るか禁止領域にあるかを検出するためのセンス装置は、
上記実施例に限らず種々変形してもよい。
なお、本発明のように動作可能域、動作禁止域を規定す
る方法は、一般にロデットアーム等の能動ユニットの位
置をステッピングモータ、直流サービモータ等によりデ
ジタル制御する場合にも応用可能であり、特にデジタル
制御系の誤動作で能動ユニットによる損害の発生が大き
い個所に応用して有効である。
る方法は、一般にロデットアーム等の能動ユニットの位
置をステッピングモータ、直流サービモータ等によりデ
ジタル制御する場合にも応用可能であり、特にデジタル
制御系の誤動作で能動ユニットによる損害の発生が大き
い個所に応用して有効である。
上述したように本発明によれば、ウエノ・ボートセツテ
ィング用エレベータアームの位置決め制御データにエラ
ーが生じた場合でも、スイング動作危険領域でのアーム
のスイング動作を禁止でき、ウエノ・、＆−ト、アーム
等の破損、故障を防止し得るウエノ・ボートセツティン
グ用エレベータのセット位置制御エラー検出装＃を実現
でさる。
ィング用エレベータアームの位置決め制御データにエラ
ーが生じた場合でも、スイング動作危険領域でのアーム
のスイング動作を禁止でき、ウエノ・、＆−ト、アーム
等の破損、故障を防止し得るウエノ・ボートセツティン
グ用エレベータのセット位置制御エラー検出装＃を実現
でさる。
第１図は本発明に係るウェハボートセツティング用エレ
ベータのセット位置制御エラー検出装置の一実施例を示
す斜視図、第２図は第１図のエレベータアームのスイン
グ動作の禁止領域。 可能領域と領域検出用センサとの関係を説明するために
示す図、第３図は従来のウェハボートセツティング用エ
レベータを示す斜視図である。 ４・・・石英＆−）’、５・・・ウェハ群、６・・・エ
レベータ、７・・・アーム、８，１２…モータ、１１・
・・７−Ａ支持台、 １４ 、 ｆ ５・・・エンコー
ダ、２１・・・センサ板、２２．２３・・・領域検出用
センサ、２４・・・原点検出用センサ。 出願人代理人 弁理士 鮎 江 武 彦第１図 第２図 一／′ 第３図
ベータのセット位置制御エラー検出装置の一実施例を示
す斜視図、第２図は第１図のエレベータアームのスイン
グ動作の禁止領域。 可能領域と領域検出用センサとの関係を説明するために
示す図、第３図は従来のウェハボートセツティング用エ
レベータを示す斜視図である。 ４・・・石英＆−）’、５・・・ウェハ群、６・・・エ
レベータ、７・・・アーム、８，１２…モータ、１１・
・・７−Ａ支持台、 １４ 、 ｆ ５・・・エンコー
ダ、２１・・・センサ板、２２．２３・・・領域検出用
センサ、２４・・・原点検出用センサ。 出願人代理人 弁理士 鮎 江 武 彦第１図 第２図 一／′ 第３図
Claims (2)
- （１）ウェハボートセッティング用エレベータアームの
上下動位置が上記エレベータアームの左右方向のスイン
グ動作の可能領域あるいは禁止領域に存在するか否かを
検出するセンサ装置を備え、前記アームの位置制御を行
なうためのデジタル制御系で決められるアームのスイン
グ動作の高さ位置が前記可能領域内であるか否かを前記
センサのアーム存在領域検出データによりチェックし得
るようにしてなることを特徴とするウェハボートセッテ
ィング用エレベータのセット位置制御エラー検出装置。 - （２）前記センサ装置は、前記検出すべき可能領域ある
いは禁止領域の高さ方向長さに対応する長さを有するセ
ンサ板と、このセンサ板との相対位置が所定状態のとき
を検出するセンサとからなり、上記センサ板およびセン
サのいずれか一方が前記アームに連動して上下動するよ
うに設けられてなることを特徴とする前記特許請求の範
囲第１項記載のウェハボートセッティング用エレベータ
のセット位置制御エラー検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24650784A JPS61125036A (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 | ウエハボ−トセツテイング用エレベ−タのセツト位置制御エラ−検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24650784A JPS61125036A (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 | ウエハボ−トセツテイング用エレベ−タのセツト位置制御エラ−検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61125036A true JPS61125036A (ja) | 1986-06-12 |
Family
ID=17149421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24650784A Pending JPS61125036A (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 | ウエハボ−トセツテイング用エレベ−タのセツト位置制御エラ−検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61125036A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100466308B1 (ko) * | 1997-07-25 | 2005-05-17 | 삼성전자주식회사 | 반도체제조설비엘리베이터장치 |
| CN104022055A (zh) * | 2014-06-11 | 2014-09-03 | 上海华力微电子有限公司 | 机台之机械手臂偏移的检测装置及其检测方法 |
-
1984
- 1984-11-21 JP JP24650784A patent/JPS61125036A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100466308B1 (ko) * | 1997-07-25 | 2005-05-17 | 삼성전자주식회사 | 반도체제조설비엘리베이터장치 |
| CN104022055A (zh) * | 2014-06-11 | 2014-09-03 | 上海华力微电子有限公司 | 机台之机械手臂偏移的检测装置及其检测方法 |
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