JPS61125036A - ウエハボ−トセツテイング用エレベ−タのセツト位置制御エラ−検出装置 - Google Patents
ウエハボ−トセツテイング用エレベ−タのセツト位置制御エラ−検出装置Info
- Publication number
- JPS61125036A JPS61125036A JP24650784A JP24650784A JPS61125036A JP S61125036 A JPS61125036 A JP S61125036A JP 24650784 A JP24650784 A JP 24650784A JP 24650784 A JP24650784 A JP 24650784A JP S61125036 A JPS61125036 A JP S61125036A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- sensor
- area
- elevator
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、半導体装置製造工程において半導体ウェハ群
を載置したウエハピートを拡散装置等にセットするため
に用いられるクエハコートセッティング用エレベータに
係り、特にセツティング位置の制御エラーを検出するセ
ット位置制御エラー検出装置に関する。
を載置したウエハピートを拡散装置等にセットするため
に用いられるクエハコートセッティング用エレベータに
係り、特にセツティング位置の制御エラーを検出するセ
ット位置制御エラー検出装置に関する。
この種の従来のウェハボートセツティング用エレベータ
は、たとえば第3区に示すように構成されている。即ち
、1,はたとえば拡散装置であって、2は拡散炉炉口,
3は上記炉口2の近くに設けられたローディング・アン
ローディング用の炉口ステージである。4は拡散用ウェ
ハ5群が載せられた石英ボートであり、図では上記ステ
ージ3上にセットされた状態を示している。
は、たとえば第3区に示すように構成されている。即ち
、1,はたとえば拡散装置であって、2は拡散炉炉口,
3は上記炉口2の近くに設けられたローディング・アン
ローディング用の炉口ステージである。4は拡散用ウェ
ハ5群が載せられた石英ボートであり、図では上記ステ
ージ3上にセットされた状態を示している。
一方、エレベータ6において、7はエレベータアームで
あって、上下機構とスイング機構とにより高さ方向の上
下動動作と左右方向のスイング動作とが可能になってお
り、前記ボート4をステージ3上におろしたりステージ
3上からすくい上げたりするためのものである。上下機
構は、たとえば第1のモータ8とギアボックス9とねじ
棒10とアーム支持台11とを用いてなり、上記モータ
8の回転、停止および回転方向ICよりエレベータアー
ム7の上下動、停止および上下動方向を制御するもので
ある。前記スイング機構は、前記アーム支持台11に搭
載された第2のモータ12によりアームのリンク機構1
3支持軸の水平方向への回動、停止および回動方向を制
御するものである。前記第1.第2の七−夕8,12は
それぞれたとえば直流サー?モータが用いられてデジタ
ル制御が行なわれるものであり、アームの位置決め制御
のために必要な上記モータ8,120回転位置データを
得るために上記モータ8,12にはそれぞれロータリー
エンコーダ14.15が付加されており、このエンコー
ダ14.15のパルス出力をカウントすることで原点位
置からの移動量データが得られるようになっている。
あって、上下機構とスイング機構とにより高さ方向の上
下動動作と左右方向のスイング動作とが可能になってお
り、前記ボート4をステージ3上におろしたりステージ
3上からすくい上げたりするためのものである。上下機
構は、たとえば第1のモータ8とギアボックス9とねじ
棒10とアーム支持台11とを用いてなり、上記モータ
8の回転、停止および回転方向ICよりエレベータアー
ム7の上下動、停止および上下動方向を制御するもので
ある。前記スイング機構は、前記アーム支持台11に搭
載された第2のモータ12によりアームのリンク機構1
3支持軸の水平方向への回動、停止および回動方向を制
御するものである。前記第1.第2の七−夕8,12は
それぞれたとえば直流サー?モータが用いられてデジタ
ル制御が行なわれるものであり、アームの位置決め制御
のために必要な上記モータ8,120回転位置データを
得るために上記モータ8,12にはそれぞれロータリー
エンコーダ14.15が付加されており、このエンコー
ダ14.15のパルス出力をカウントすることで原点位
置からの移動量データが得られるようになっている。
なお、上記エンコーダ14.15に代えてアームの位置
をアームに連動して操作されるポテンショメータによっ
て検出し、アーム位置データを得る場合もある。
をアームに連動して操作されるポテンショメータによっ
て検出し、アーム位置データを得る場合もある。
ところで、上記エレベータにおいては、エンコーダ出力
パルスにノイズが重畳したり、ポテンショメータに劣化
とか故障が生じた場合に。
パルスにノイズが重畳したり、ポテンショメータに劣化
とか故障が生じた場合に。
位置決め制御にエラーが生じるおそれがある。
このような位置決めエラーを伴なって前記アーム7がス
イングすると、特に他の部分(たとえば前記炉口ステー
ジ3)と衝突等の干渉が生じる上下方向位置領域で誤っ
て停止した後に動作を開始すると、衝突によりデート、
ウェハの破損をきたしたり、アームとかスイング機構の
故障を引き起こすおそれがある。
イングすると、特に他の部分(たとえば前記炉口ステー
ジ3)と衝突等の干渉が生じる上下方向位置領域で誤っ
て停止した後に動作を開始すると、衝突によりデート、
ウェハの破損をきたしたり、アームとかスイング機構の
故障を引き起こすおそれがある。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、ウェハy
y−ト操作用エレベータアームの位置決め制御データに
エラーが生じた場合でも、スイング動作危険領域でのア
ームのスイング動作を禁止でき、ウェハ、$)、アーム
等の破損。
y−ト操作用エレベータアームの位置決め制御データに
エラーが生じた場合でも、スイング動作危険領域でのア
ームのスイング動作を禁止でき、ウェハ、$)、アーム
等の破損。
故障を防止し得るウェハホードセツティング用エレベー
タのセット位置制御エラー検出装置を提供するものであ
る。
タのセット位置制御エラー検出装置を提供するものであ
る。
即ち、本発明のセット位置制御エラー検出装置は、ウェ
ハボートセツティング用エレベータのアームの上下動位
置が、上記アームの左右方向のスイング動作の可能領域
あるいは禁止領域に存在するか否かを検出するセンサ装
置を備え、前記アーム用のデジタル制御系とは独立に上
記センサ装置によってアーム存在領域が前記可能領域で
あるか禁止領域であるかを検出するようにしたことを特
徴とするものである。
ハボートセツティング用エレベータのアームの上下動位
置が、上記アームの左右方向のスイング動作の可能領域
あるいは禁止領域に存在するか否かを検出するセンサ装
置を備え、前記アーム用のデジタル制御系とは独立に上
記センサ装置によってアーム存在領域が前記可能領域で
あるか禁止領域であるかを検出するようにしたことを特
徴とするものである。
したがって、デジタル制御系によりアームの高さ位置を
決めた後、センサ装置の出力をチェックしてアームが禁
止領域でないことを確認してからスイング動作を開始さ
せることが可能になるので、位置決め制御エラーによる
ウェハ。
決めた後、センサ装置の出力をチェックしてアームが禁
止領域でないことを確認してからスイング動作を開始さ
せることが可能になるので、位置決め制御エラーによる
ウェハ。
ケート、アーム等の破損、故障等を防止できる。
以下、図面を参照して本発明の一実施例を詳細に説明す
る。
る。
第1図に示すウェハキードセツティング用エレベータは
、第3図を参照して前述した従来例に比べて、アーム7
のスイング動作が危険な高さ領域(動作禁止領域)に応
じた長さのセンサ板21をアーム支持台11に取り付げ
ておき、上記センサ板21が上記動作禁止領域に存在す
るか否かを検知するために領域検出用上ンサ(第2図2
2.23参照)をアーム上下機構の近傍で上記センサヂ
板21の上下軌道に沿う位置に設けた点が異なり、その
他は第3図中と同じであるので同一符号を付して説明を
省略する。
、第3図を参照して前述した従来例に比べて、アーム7
のスイング動作が危険な高さ領域(動作禁止領域)に応
じた長さのセンサ板21をアーム支持台11に取り付げ
ておき、上記センサ板21が上記動作禁止領域に存在す
るか否かを検知するために領域検出用上ンサ(第2図2
2.23参照)をアーム上下機構の近傍で上記センサヂ
板21の上下軌道に沿う位置に設けた点が異なり、その
他は第3図中と同じであるので同一符号を付して説明を
省略する。
なお、24はアーム7の上下位置の原点位置データを得
るための原点検出用センサ(たとえばフォトセンサ)で
あって、アーム支持台11が任意に設定可能な原点位置
に存在するとき、たとえば前記センサ板21を検出する
ものであり、原点高さに応じて図中点線で示すように任
意の高さ位置に設けることができる。
るための原点検出用センサ(たとえばフォトセンサ)で
あって、アーム支持台11が任意に設定可能な原点位置
に存在するとき、たとえば前記センサ板21を検出する
ものであり、原点高さに応じて図中点線で示すように任
意の高さ位置に設けることができる。
第2図は、第1図のアーム7のスイング動作可能領域t
□とスイング動作禁止領域Z2pZ1と、上下方向に離
れた2個の炉口ステージ31゜3、と2組の石英?−ト
4、および2組のウェハ群5との関係を概略的に示して
いる。即ち、アーム上下動範囲内で、下側のステージ3
2の下端からそのステージ3□に載せられる石英?−ト
4上のウェハ群5の上端までの間の高さ位置領域t2と
、上側のステージ3□の下端から。
□とスイング動作禁止領域Z2pZ1と、上下方向に離
れた2個の炉口ステージ31゜3、と2組の石英?−ト
4、および2組のウェハ群5との関係を概略的に示して
いる。即ち、アーム上下動範囲内で、下側のステージ3
2の下端からそのステージ3□に載せられる石英?−ト
4上のウェハ群5の上端までの間の高さ位置領域t2と
、上側のステージ3□の下端から。
そのステージ3.に載せられる石英デート4上のウェハ
群5の上端までの間の高さ位置領域t。
群5の上端までの間の高さ位置領域t。
とがアームスイング動作の禁止領域であり、その他の高
さ位置領域(上記2個の禁止領域t21t、の間t□と
、上側の禁止領域t3より上方および下側の禁止領域t
!より下方)がアームスイング動作の可能領域である。
さ位置領域(上記2個の禁止領域t21t、の間t□と
、上側の禁止領域t3より上方および下側の禁止領域t
!より下方)がアームスイング動作の可能領域である。
そこで、前記センサ板21が上記禁止領域t。
あるいはt、にあるときに、前記領域検出用センサz2
,2s(たとえば磁気センサとか7オトセンサ)が検出
してたとえばオンとなるように予め調整しておくものと
する。
,2s(たとえば磁気センサとか7オトセンサ)が検出
してたとえばオンとなるように予め調整しておくものと
する。
上記構成において、各モータ8,12はデジタル制御系
により制御されるものであり、たとえばボート4のロー
ディング時にはデジタル制御系により先ず第1のモータ
8を制御してアーム7の高さ位置を決め、次に第2のモ
ータ12を制御してアーム7のスイング動作を制御して
アーム7の左右方向位tf、’を決め、次に再び第1の
モータ82a:制御してアーム7を下けることによって
ボート4をステージ31(3□)上に載せる。この場合
、前記領域検出用センサ22゜23を利用し、上記アー
ム高さの位置出しをして次のスイング動作に移る前にデ
ジタル制御データとは独立した上記センサ22.23の
各出力がオフであって、アーム7が動作禁止領域t2゜
t、に存在しないことを確認できる。
により制御されるものであり、たとえばボート4のロー
ディング時にはデジタル制御系により先ず第1のモータ
8を制御してアーム7の高さ位置を決め、次に第2のモ
ータ12を制御してアーム7のスイング動作を制御して
アーム7の左右方向位tf、’を決め、次に再び第1の
モータ82a:制御してアーム7を下けることによって
ボート4をステージ31(3□)上に載せる。この場合
、前記領域検出用センサ22゜23を利用し、上記アー
ム高さの位置出しをして次のスイング動作に移る前にデ
ジタル制御データとは独立した上記センサ22.23の
各出力がオフであって、アーム7が動作禁止領域t2゜
t、に存在しないことを確認できる。
したがって、デジタル制御系のエラー(エンコーダ14
.15の出力パルスにノイズが重畳するとか、ポテンシ
ョメータ使用の場合にはポテンショメータの劣化、故障
に起因するエラーなど)に対してインターロックをかげ
ることができる。
.15の出力パルスにノイズが重畳するとか、ポテンシ
ョメータ使用の場合にはポテンショメータの劣化、故障
に起因するエラーなど)に対してインターロックをかげ
ることができる。
なお、領域検出用センサ22あるいは23をアーム支持
台側に設け、センサ板21をアーム支持台上下軌道の近
傍でスイング動作禁止領域区間に設けるようにしてもよ
い。また、領域検出センサおよびセンサ板を、アームス
イング動作禁止域ではなくアームスイング動作可能域に
設けるようにしてもよい。
台側に設け、センサ板21をアーム支持台上下軌道の近
傍でスイング動作禁止領域区間に設けるようにしてもよ
い。また、領域検出センサおよびセンサ板を、アームス
イング動作禁止域ではなくアームスイング動作可能域に
設けるようにしてもよい。
なお、エレベータアームのスイング動作が可能領域にあ
るか禁止領域にあるかを検出するためのセンス装置は、
上記実施例に限らず種々変形してもよい。
るか禁止領域にあるかを検出するためのセンス装置は、
上記実施例に限らず種々変形してもよい。
なお、本発明のように動作可能域、動作禁止域を規定す
る方法は、一般にロデットアーム等の能動ユニットの位
置をステッピングモータ、直流サービモータ等によりデ
ジタル制御する場合にも応用可能であり、特にデジタル
制御系の誤動作で能動ユニットによる損害の発生が大き
い個所に応用して有効である。
る方法は、一般にロデットアーム等の能動ユニットの位
置をステッピングモータ、直流サービモータ等によりデ
ジタル制御する場合にも応用可能であり、特にデジタル
制御系の誤動作で能動ユニットによる損害の発生が大き
い個所に応用して有効である。
上述したように本発明によれば、ウエノ・ボートセツテ
ィング用エレベータアームの位置決め制御データにエラ
ーが生じた場合でも、スイング動作危険領域でのアーム
のスイング動作を禁止でき、ウエノ・、&−ト、アーム
等の破損、故障を防止し得るウエノ・ボートセツティン
グ用エレベータのセット位置制御エラー検出装#を実現
でさる。
ィング用エレベータアームの位置決め制御データにエラ
ーが生じた場合でも、スイング動作危険領域でのアーム
のスイング動作を禁止でき、ウエノ・、&−ト、アーム
等の破損、故障を防止し得るウエノ・ボートセツティン
グ用エレベータのセット位置制御エラー検出装#を実現
でさる。
第1図は本発明に係るウェハボートセツティング用エレ
ベータのセット位置制御エラー検出装置の一実施例を示
す斜視図、第2図は第1図のエレベータアームのスイン
グ動作の禁止領域。 可能領域と領域検出用センサとの関係を説明するために
示す図、第3図は従来のウェハボートセツティング用エ
レベータを示す斜視図である。 4・・・石英&−)’、5・・・ウェハ群、6・・・エ
レベータ、7・・・アーム、8,12…モータ、11・
・・7−A支持台、 14 、 f 5・・・エンコー
ダ、21・・・センサ板、22.23・・・領域検出用
センサ、24・・・原点検出用センサ。 出願人代理人 弁理士 鮎 江 武 彦第1図 第2図 一/′ 第3図
ベータのセット位置制御エラー検出装置の一実施例を示
す斜視図、第2図は第1図のエレベータアームのスイン
グ動作の禁止領域。 可能領域と領域検出用センサとの関係を説明するために
示す図、第3図は従来のウェハボートセツティング用エ
レベータを示す斜視図である。 4・・・石英&−)’、5・・・ウェハ群、6・・・エ
レベータ、7・・・アーム、8,12…モータ、11・
・・7−A支持台、 14 、 f 5・・・エンコー
ダ、21・・・センサ板、22.23・・・領域検出用
センサ、24・・・原点検出用センサ。 出願人代理人 弁理士 鮎 江 武 彦第1図 第2図 一/′ 第3図
Claims (2)
- (1)ウェハボートセッティング用エレベータアームの
上下動位置が上記エレベータアームの左右方向のスイン
グ動作の可能領域あるいは禁止領域に存在するか否かを
検出するセンサ装置を備え、前記アームの位置制御を行
なうためのデジタル制御系で決められるアームのスイン
グ動作の高さ位置が前記可能領域内であるか否かを前記
センサのアーム存在領域検出データによりチェックし得
るようにしてなることを特徴とするウェハボートセッテ
ィング用エレベータのセット位置制御エラー検出装置。 - (2)前記センサ装置は、前記検出すべき可能領域ある
いは禁止領域の高さ方向長さに対応する長さを有するセ
ンサ板と、このセンサ板との相対位置が所定状態のとき
を検出するセンサとからなり、上記センサ板およびセン
サのいずれか一方が前記アームに連動して上下動するよ
うに設けられてなることを特徴とする前記特許請求の範
囲第1項記載のウェハボートセッティング用エレベータ
のセット位置制御エラー検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24650784A JPS61125036A (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 | ウエハボ−トセツテイング用エレベ−タのセツト位置制御エラ−検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24650784A JPS61125036A (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 | ウエハボ−トセツテイング用エレベ−タのセツト位置制御エラ−検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61125036A true JPS61125036A (ja) | 1986-06-12 |
Family
ID=17149421
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24650784A Pending JPS61125036A (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 | ウエハボ−トセツテイング用エレベ−タのセツト位置制御エラ−検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61125036A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100466308B1 (ko) * | 1997-07-25 | 2005-05-17 | 삼성전자주식회사 | 반도체제조설비엘리베이터장치 |
CN104022055A (zh) * | 2014-06-11 | 2014-09-03 | 上海华力微电子有限公司 | 机台之机械手臂偏移的检测装置及其检测方法 |
-
1984
- 1984-11-21 JP JP24650784A patent/JPS61125036A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100466308B1 (ko) * | 1997-07-25 | 2005-05-17 | 삼성전자주식회사 | 반도체제조설비엘리베이터장치 |
CN104022055A (zh) * | 2014-06-11 | 2014-09-03 | 上海华力微电子有限公司 | 机台之机械手臂偏移的检测装置及其检测方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20020002422A1 (en) | Transfer apparatus for semiconductor process | |
US20050079041A1 (en) | Hoisting device for use with overhead traveling carriage system | |
TWI745816B (zh) | 基板搬送機器人及自動教示方法 | |
US20060259267A1 (en) | Tilt calibration system for a medical imaging apparatus | |
JP2013211317A (ja) | 搬送装置及び搬送方法 | |
JP2003321102A (ja) | 無人搬送車システム | |
US5151562A (en) | System for adjusting horizontal deviations of an elevator car during vertical travel | |
JP2006290575A (ja) | エレベータ装置 | |
JP2008300608A (ja) | 昇降位置確認手段を有する基板搬送装置及びそれを備えた半導体製造装置 | |
JPS61125036A (ja) | ウエハボ−トセツテイング用エレベ−タのセツト位置制御エラ−検出装置 | |
JP2019099324A (ja) | エレベーター用制御装置 | |
JP4616694B2 (ja) | 部品実装装置 | |
JP3674063B2 (ja) | ウェハ搬送装置 | |
JPH10277986A (ja) | 薄型基板のアライメント装置 | |
JP3226944B2 (ja) | ボートの設置状態検出方法及び半導体製造装置 | |
JPH10173022A (ja) | ウェハ搬送装置 | |
JP3760274B2 (ja) | 電子部品の装着方法及び装置 | |
US5017082A (en) | Handling apparatus | |
JP2001210699A (ja) | 基板又は基板台在籍・正規位置確認装置及び確認方法 | |
JPH0817897A (ja) | ウエハの位置合わせ及び半導体装置の製造方法 | |
JPH05238513A (ja) | 半導体ウェハー収納カセットと半導体ウェハー搬送機構との位置決め方法 | |
JPS61125037A (ja) | ウエハボ−トセツテイング用エレベ−タのセツト位置制御エラ−検出装置 | |
JPS6316986A (ja) | ロボツトの位置決め補正方法 | |
KR100835823B1 (ko) | 웨이퍼 스테이지 반자동 제어 시스템 및 방법 | |
JPH08316695A (ja) | 部品実装装置 |