KR100466308B1 - 반도체제조설비엘리베이터장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 개별적인 스크류 및 기어의 교체가 가능하고, 오일주입시 해체를 불필요하게 하는 반도체 제조설비의 엘리베이터장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체 제조설비의 엘리베이터장치는, 프레임과, 상기 프레임에 회전지지되는 스크류와, 상기 프레임에 고정되며 상기 스크류와 나란한 방향으로 설치된 가이드샤프트가 관통되는 복수개의 엘리베이터와, 상기 복수개의 스크류를 회전시키는 구동모터 및 상기 복수개의 스크류와 상기 구동모터를 연결하고 기어의 맞물림으로 회전동력을 전달하는 조립식 기어블록을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.
따라서 개별적인 스크류 및 기어의 교체가 가능하도록 기어블록에 해체 및 결합이 용이한 결합부를 형성하여 스크류 및 기어의 교체시간을 줄이고, 교체작업이 용이하며, 기어블록에 오일주입구 및 오일배출구를 형성하여 노후된 오일을 배출시켜 기어블록의 해체작업이 불필요한 효과를 갖는다.

Description

반도체 제조설비 엘리베이터장치
본 발명은 반도체 제조설비의 엘리베이터장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 개별적인 스크류 및 기어의 교체가 가능하고, 오일주입시 해체를 불필요하게 하는 반도체 제조설비의 엘리베이터장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 자동화설비 중에서 웨이퍼 이송시스템은 보트에 적재된 웨이퍼를 웨이퍼 이송장치가 낱개로 공정챔버에 로딩 및 언로딩하는 반도체 제조설비의 엘리베이터장치가 널리 이용되고 있다.
이러한 엘리베이터장치는 보트가 안착되어 승하강하는 보트엘리베이터와, 보트내에 적재된 웨이퍼를 공정챔버에 낱개로 이송하는 웨이퍼 이송장치가 탑재되어 보트와 공정챔버 사이를 왕복하는 웨이퍼이송엘리베이터로 구성되어 있다.
또한, 상기 보트엘리베이터와 상기 웨이퍼이송엘리베이터를 승하강시키는 승하강장치는 엘리베이터의 암나사를 관통하고 회전함으로써 엘리베이터의 승하강 운동을 유발하는 스크류와, 상기 스크류에 나란히 설치되어 직선운동을 안내하는 가이드샤프트와, 상기 스크류를 회전시키는 구동모터와, 상기 구동모터와 상기 스크류 사이에 설치되어 상기 구동모터의 회전을 스크류의 회전으로 변환하여 전달하는 기어블록으로 이루어져 있다.
이러한 종래의 반도체 제조설비의 엘리베이터장치는, 도1에서와 같이, 프레임(1)과, 상기 프레임(1)에 회전지지되는 스크류(10)와, 상기 프레임(1)에 고정되며 상기 스크류(10)와 나란한 방향으로 설치된 가이드샤프트(11)와, 상기 스크류(10)와 상기 가이드샤프트(11)가 관통되고 보트를 안착하는 보트엘리베이터(13)와, 상기 스크류(10)와 상기 가이드샤프트(11)가 관통되고 웨이퍼이송장치를 안착하는 웨이퍼이송엘리베이터(12)와, 상기 두 개의 스크류(10)를 회전시키는 보트구동모터(16) 및 웨이퍼이송구동모터(17)와, 상기 스크류(10)와 상기 구동모터(16)(17)들을 연결하고 기어의 맞물림으로 회전동력을 전달하는 기어블록(15)을 포함하여 이루어진다.
또한, 상기 기어블록(15)은 두 개의 스크류(10)가 연결된 일체형으로 제작되어, 도2에서와 같이, 상방으로 두 개의 스크류관통구멍(15a)이 형성되고, 측면에는 구동모터의 회전축이 삽입되는 회전축관통구멍(15b)이 형성되며, 측면 상부에는 오일부족시에 오일을 보충하는 오일보충구(15c)가 형성된다.
이러한 종래의 반도체 제조설비의 엘리베이터장치가 가동함에 따라 필연적으로 양쪽의 스크류 및 기어의 마모가 발생하게 되고, 보트엘리베이터의 1회 상승시에 낱개로 웨이퍼를 공정챔버에 이송하기 위해서 보트가 적재한 웨이퍼의 갯수만큼 승하강 왕복운동을 빈번하게 하는 웨이퍼이송엘리베이터의 스크류 및 기어가 상대적으로 승하강운동을 적게하는 보트엘리베이터 쪽보다 빠르게 마모되어 웨이퍼이송엘리베이터의 스크류 및 기어의 교체가 빈번하게 된다.
그러나, 종래의 반도체 제조설비의 엘리베이터장치는 마모되어 동작이 불량한 웨이퍼이송엘리베이터의 스크류 및 기어를 교체할 시에 기어블록이 일체형으로 제작되어 있으므로 교체가 필요없는 보트엘리베이터의 스크류 및 기어도 해체하여 재조립하여야 하므로 교체가 번거롭고 교체시간이 오래걸리는 문제점이 있었다.
또한, 상기 기어블록에 오일이 부족할 때 오일을 주입하여 오일을 보충하는 오일보충구만이 형성되어 있으므로 노후된 오일을 교환할 때도 스크류 및 기어의 교체시와 같이 기어블록을 해체하고 재조립하여야 하는 번거로움이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 개별적인 스크류 및 기어의 교체가 가능하도록 기어블록에 해체 및 결합이 용이한 결합부를 형성하여 스크류 및 기어의 교체시간을 줄이고 교체작업이 용이한 반도체 제조설비의 엘리베이터장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 기어블록에 오일주입구 및 오일배출구를 형성하여 노후된 오일을 배출시켜 기어블록의 해체작업이 불필요한 반도체 제조설비의 엘리베이터장치를 제공함에 있다.
상기의 목적은 프레임과, 상기 프레임에 회전지지되는 스크류와, 상기 프레임에 고정되며 상기 스크류와 나란한 방향으로 설치된 가이드샤프트가 관통되는 복수개의 엘리베이터와, 상기 복수개의 스크류를 회전시키는 구동모터 및 상기 복수개의 스크류와 상기 구동모터를 연결하고 기어의 맞물림으로 회전동력을 전달하는 조립식 기어블록을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 엘리베이터장치에 의해 달성될 수 있다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명 한다.
도3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 제조설비의 엘리베이터장치의를 나타낸 사시도이다.
먼저 도3를 참조하여 설명하면 본 발명의 반도체 제조설비의 엘리베이터장치는 프레임(2)과, 상기 프레임(2)에 회전지지되는 스크류(20)와, 상기 프레임(2)에 고정되며, 웨이퍼를 적재한 보트가 안착되고, 상기 스크류(20)와 나란한 방향으로 설치된 가이드샤프트(21)가 관통되는 보트엘리베이터(23)와, 상기 프레임(2)에 고정되며, 웨이퍼이송장치가 설치되고, 상기 스크류(20)와 나란한 방향으로 설치된 가이드샤프트(21)가 관통되는 웨이퍼이송엘리베이터(22)와, 상기 스크류(20)를 회전시키는 보트 및 웨이퍼이송구동모터(36)(37), 및 상기 스크류(20)와 상기 구동모터(36)(37)를 연결하고 기어의 맞물림으로 회전동력을 전달하는 조립식 기어블록(25)을 포함한다.
또한, 상기 기어블록(25)은, 도4 및 도5에서와 같이, 개별 스크류(20)의 조립 및 교체가 가능하도록 결합부(29)를 형성하고, 상기 결합부(29)는 각각의 기어블록(25)에 고정볼트관통구멍(28)이 형성된 상단결합편(31)과 하단결합편(32)을 형성하여 고정볼트관통구멍(28)에 고정볼트(30)를 관통하여 결합한다.
또한, 상기 상단결합편(31)과 상기 하단결합편(32)의 수평접촉면에 끼워맞춤식의 요철부(33)를 형성하여 결합을 견고하게 하는 것이 바람직하고, 상기 기어블록(25)에는 기어블록의 해체가 없이 오일교환이 가능하도록 오일주입구(26) 및 오일배출구(27)를 형성한다.
따라서, 노후된 스크류(20) 및 기어의 교체시에 상기 기어블록(25)을 체결하는 상기 고정볼트(30)를 해체하여 개별적으로 스크류 및 기어를 교체하는 것이 가능하고, 노후되어 변질된 오일은 오일배출구(27)를 통해서 오일배출라인(도면의 이해를 위해 도시하지 않음)으로 오일을 배출하고 새로운 오일을 오일주입구(26)를 통해 오일주입라인(도면의 이해를 위해 도시하지 않음)으로 주입한다.
상기 오일주입구(26) 및 오일배출구(27)에는 마개형상의 오일밀폐뚜껑을 제작하여 끼워맞춤으로 결합함으로써 필요시에 오일밀폐뚜껑을 개방하여 오일을 배출 및 주입하게 하는 것도 가능하다.
이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 엘리베이터장치에 의하면, 개별적인 스크류 및 기어의 교체가 가능하도록 기어블록에 해체 및 결합이 용이한 결합부를 형성하여 스크류 및 기어의 교체시간을 줄이고 교체작업이 용이하며, 기어블록에 오일주입구 및 오일배출구를 형성하여 노후된 오일을 배출시켜 기어블록의 해체작업이 불필요한 효과를 갖는 것이다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
도1은 종래의 반도체 제조설비의 엘리베이터장치를 나타낸 사시도이다.
도2는 도1의 기어블록을 나타낸 확대사시도이다.
도3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 제조설비의 엘리베이터장치를 나타낸 사시도이다.
도4은 도3의 기어블록을 나타낸 확대사시도이다.
도5는 도3의 A-A선 확대단면도이다.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1, 2: 프레임 10, 20: 스크류
11, 21: 가이드샤프트 12, 22: 웨이퍼이송엘리베이터
13, 23: 보트엘리베이터 14, 24: 지지부
15, 25: 기어블록 15a, 25a: 스크류관통구멍
15b, 25b: 회전축관통구멍 15c: 오일보충구
26: 오일주입구 16, 36: 보트구동모터
17, 37: 웨이퍼이송구동모터 27: 오일배출구
28: 고정볼트관통구멍 29: 결합부
30: 고정볼트 31: 상단결합편
32: 하단결합편 33: 요철부

Claims (1)

  1. 프레임;
    상기 프레임에 회전지지되는 스크류와, 상기 프레임에 고정되며 상기 스크류와 나란한 방향으로 설치된 가이드샤프트가 관통되는 복수개의 엘리베이터;
    상기 복수개의 스크류를 회전시키는 구동모터; 및
    상기 복수개의 스크류와 상기 구동모터를 연결하고, 기어의 맞물림으로 회전동력을 전달하며, 관통 구멍이 형성된 상단 결합편과 하단 결합편과 상기 관통 구멍 내를 관통하여 상기 상단 결합편 및 하단 결합편을 고정하는 고정 볼트로 이루어지는 조립식 기어 블록;
    을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 엘리베이터장치.
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JPS61125036A (ja) * 1984-11-21 1986-06-12 Toshiba Corp ウエハボ−トセツテイング用エレベ−タのセツト位置制御エラ−検出装置
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