JPS61119988A - セラミツクス焼成装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、炉体内に配置された筒状の炉心管の内部でセ
ラミックスの被焼成物を焼成するセラミックス焼成装置
に関する。

（従来技術） 一般に、セラミックスの被焼成物を所望の雰囲気ガス中
にて熱処理する場合、炉体内に配置された炉心管に被焼
成物を収容し、この炉心管に外部から雰囲気ガスを供給
しつ・被焼成物を熱処理するセラミックス焼成装置が使
用されている。

従来、この種のセラミックス焼成装置としては、具体的
には図示しないが、長さが２メートルで直径が１０セン
チメートル程度のセラミックス製の炉心管の周囲にこの
炉心管の軸方向に棒状の炭化硅素（ＳｉＣ）ヒータを配
置したもの、炉心管の上側および下側に炉心管の軸方向
に直角に炭化硅素ヒータを配置したもの、炉心管の外周
に金属ヒータを巻回したもの、あるいは炉心管の上側、
下側および両側に炉心管の軸方向に直角に炭化硅素ヒー
タを配置したもの等が一般に知られている。これらセラ
ミックス焼成装置はいずれも内部に炉心管が配置された
炉体が複数段積み重ねられて使用される。

ところで、上記セラミックス焼成装置のうち、炉心管の
軸方向に棒状の炭化硅素ヒータを配置したものでは、炭
化硅素ヒータの交換の際、炉体の炉心管の開口端側の側
面から炭化硅素ヒータを交換することはできるが、炉心
管の長さとはず等しい長い炭化硅素ヒータを必要とする
うＬ、炉心管内をそのはパ中矢部で高くなるような温度
分布で均一な温度領域を広くとることは困難であった。

また、炉心管の上側および下側に炉心管の軸方向に直角
に炭化硅素ヒータを配置したものでは、炉心管の両側で
温度差が生じ、さらに、金属ヒータを使用するものでは
、炉心管を１２００°Ｃ以上に加熱するのは困難で、さ
らにまた炉心管の上側。

下側および両側に炉心管の軸方向に炭化硅素ヒータを配
置したらのでは、炉心管の両側に配置されｒこ炭化硅素
ヒータを交換する際、上側の炉体を移動させて炭化硅素
ヒータを交換しなければならないといった問題があった
。

（発明の目的） 本発明は炉心管を有するセラミックス焼成装置における
上記問題点に鑑みてなされたものであって、均一な温度
領域か広くとれ、かつ炉体を多段に積み重ねてちヒータ
が容易に交換できるようにしたメンテナンスが容易なセ
ラミックス焼成装置を提供することを目的としている。

（発明の構成） このため、本発明は、炉体内にはダ水平方向に配置され
た炉心管の外周に井桁状に配置される棒状のヒータを炉
心管の斜上方から斜下方に向う向きに炉体に挿入するよ
うにしたことを特徴とするものである。すなわち、本発
明は、炉体に棒状のヒータを炉心管の斜上方から斜下方
に向う向きに挿入することにより、ヒータの交換時に積
み重ねられた炉体の上側の炉体に関係なく、ヒータを炉
心管の斜上方に引き抜けるようにしたちので、ヒータの
交換を容易に行うことができる。

（実施例） 以下、添付図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第１図（ａ）において、制御盤１の上には、フレーム２
ａ内に固定された横断面形状かはパ四角形状の炉体３ａ
が配置され、この炉体３ａの上にはさらに、フレーム２
ｂ内に固定された上記炉体３ａと同様の炉体３ｂが配置
されている。

炉体３ａおよび３ｂは、第１図（ｂ）に示すように、い
ずれも炉体フレーム４内に収容されており、この炉体フ
レーム４は炉体３ａおよび３ｂを水平方向に対して約４
５度傾斜させてフレーム２ａおよび２ｂに固定している
。炉体フレーム４はボルト５，６によりこの炉体フレー
ム４に固定された開閉扉４ａを有し、この開閉Ｊｊｉ１
４　ａを取り外すことにより、炉体フレーム４に炉体３
ａおよび３ｂを収容し、また、この炉体フレーム４から
炉体３ａおよび３ｂを取り出すことかできる。

炉体３ａおよび３ｂの中心部には、これら炉体３ａおよ
び３ｂの外側面とは９゛平行な内側面を有する横断面形
状が大略正方形状のスペース７ａおよび７ｂが夫々形成
されている。これらスペース７ａおよび７ｂ内に夫々円
筒状のセラミックス製の炉心管８ａおよび８ｂが挿通さ
れている。

上記炉心管８ａおよび８ｂを取り囲んで、４本の棒状の
炭化硅素ヒータ９が、炉体３ａおよび３ｂ内のスペース
７ａおよび７ｂを通過するように、井桁状に配置されて
いる。上記炭化硅素ヒータ９は、炉体３ａおよび３ｂの
斜上方から斜下方に向って炉体３ａおよび３ｂ内のスペ
ース７ａおよび７ｂを通るように、炉体３ａおよび３ｂ
に挿通されている。

炉体フレーム４には、ヒータ９の径よりも充分大きな内
径を有する筒状のヒータ端子引出部１１が設けられてお
り、このヒータ端子引出部１１の中心部からヒータ９の
一端部が突出し、この一端部からヒータ９の引出線が引
き出され、図示しない碍子を介して制御盤１に導かれる
。また、ヒータ９は炉体３ａおよび３ｂ内にてバルクウ
ール（図示せず）等により固定されるが、ヒータ９のず
れを防止するため、炉体フレーム４にはヒータホルダ１
２を設けている。

上記炉体３ａは、炉心管８ａの所定の温度分布を満足さ
せるため、第２図に示すように、炉心管８ａの軸方向に
上記温度分布に応じて複数組配置される。炉体３ｂにつ
いても、炉体３ａと同様に、炉心管８ａの軸方向に所定
の温度分布となるように複数組配置される。

なお、炉体３ａおよび３ｂの厚さは、その使用材料にも
よるが、セラミックスファイバ製ボードの場合、１５０
１ＩＩＩ１１ないし２００ｍｍである。

制御盤］は上記炭化硅素ヒータ９への通電を、熱電対（
図示せず）により検出した炉心管８ａおよび８ｂ内の温
度が一定となるように制御する。この制御は予め定めら
れた加熱パターンで加熱するプログラムコントロール（
こより行うこともできる。

上記のようにすれば、炉体３ａおよび３ｂは水平方向に
対して約４５度の角度に固定されているため、第１図（
ａ）からも分るように、炉体３ａと３ｂとの間に空間１
３が形成される。この空間１３を利用して炉体３ａおよ
ｒｊ３ｂがら炭化硅素ヒータ９を斜下方に容易に引き抜
くことができる。

すなわち、炉体３ａおよび炉体３ｂを除去することなく
炭化硅素ヒータ９の交換が容易に行える。主た、上記空
間１３は、ヒータ９の配線、炉心管８ａ、Ｓｂ内の温度
を測定する熱電対の配線に利用することらできる。

上記実施例において、炭化硅素ヒータ９に代えて池のヒ
ータを使用することもでき、フレーム２ｂの上にさらに
池のフレーム（図示せず）を取１）付け、多段のセラミ
ックス焼成装置を構成することらできる。

また、炉体３ａおよび３ｂを水平方向に対して４５度傾
斜させてフレーム２ａおよび２ｂに取り付ける代りに、
ヒータ９を炉心管８ａの斜上方から斜下方に向う向きに
炉体３ａおよび３ｂに夫々挿入するようにしてもよい。

さらに炉体３ａおよび３ｂの傾斜角度はヒータが脱着で
きる角度であれば４５度に限らなくてもよい。またヒー
タひはＵ字型のもの、スパイラル状のものを用いてもよ
い。

（発明の効果） 以上、詳述したことからも明らかなように、本発明は、
炉体を複数段積み重ねて使用するセラミックス焼成装置
のヒータを、炉心管の斜上方から斜下方に向う向きに井
桁状に挿入するようにしたので、ヒータの交換時等にヒ
ータを炉体の斜上方の空間に引き出すことができ、ヒー
タの交換が容易であり、しかも炉体を多段積みすること
によりスぺ一久効率の非常に高いセラミックス焼成装置
を得ることができる。また、本発明によれば、ヒータは
炉心管の外周に井桁状に配置されているので、炭化硅素
ヒータ等のヒータを使用することにより１４００°Ｃ程
度の高温かつ広い均熱帯を得ることかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明に係るセラミックス焼成装置の一
実施例の全体構成を示す説明図、第１図（ｂ）は第１図
（ａ）のセラミックス焼成装置の炉体部分の詳細図、第
２図は炉心管に対する炉体の位置を示す説明図である。 ２ａ、２ｂ−７１ｚ−ム、　　３ａ、３ｂ−・・炉体、
４・・・炉体フレーム、　　　８ａ、８ｂ・・・炉心管
、９・・・炭化硅素ヒータ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）炉体内にほゞ水平方向に配置された炉心管の外周
   にこの炉心管を取り囲んで棒状のヒータが井桁状に配置
   され、この炉心管の内部に収容されたセラミックスの被
   焼成物を焼成するセラミックス焼成装置であって、上記
   ヒータは炉体に炉心管の斜上方から斜下方に向う向きに
   挿入されていることを特徴とするセラミックス焼成装置
   。