JP2001058876A - セラミック部品の焼成方法 - Google Patents
セラミック部品の焼成方法Info
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- JP2001058876A JP2001058876A JP11231102A JP23110299A JP2001058876A JP 2001058876 A JP2001058876 A JP 2001058876A JP 11231102 A JP11231102 A JP 11231102A JP 23110299 A JP23110299 A JP 23110299A JP 2001058876 A JP2001058876 A JP 2001058876A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 焼成サヤ間の温度バラツキの小さいセラミッ
ク部品の焼成方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 被焼成物１を収納した焼成サヤ２の外周
を筐体４で囲み焼成することにより、電気特性のバラツ
キが小さい高品質のその壁間に気体を強制的に通過させ
焼成を行う。
ク部品の焼成方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 被焼成物１を収納した焼成サヤ２の外周
を筐体４で囲み焼成することにより、電気特性のバラツ
キが小さい高品質のその壁間に気体を強制的に通過させ
焼成を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は圧電体、誘電体等の
セラミック部品の焼成方法に関するものである。
セラミック部品の焼成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来におけるセラミック部品の焼成方法
を図４を用いて説明する。
を図４を用いて説明する。
【０００３】従来のセラミック部品の焼成工程は、図４
に示す通り焼成サヤ１１内に被焼成物１２を収納し、こ
のサヤ１１をスペーサ１３を介し複数段に積み重ね高温
炉内で加熱することで前記被焼成物１２内に成形助剤と
して含まれるバインダーを除去し、さらにこの被焼成物
１２の組成粒子間の反応を促進させ安定した化合物を形
成し所定の特性や強度を得る焼成を行っていた。
に示す通り焼成サヤ１１内に被焼成物１２を収納し、こ
のサヤ１１をスペーサ１３を介し複数段に積み重ね高温
炉内で加熱することで前記被焼成物１２内に成形助剤と
して含まれるバインダーを除去し、さらにこの被焼成物
１２の組成粒子間の反応を促進させ安定した化合物を形
成し所定の特性や強度を得る焼成を行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記従来方法において
焼成する場合、焼成炉の発熱体の位置や、炉の構造によ
って炉内の温度分布を均一に保つことは難しく、制御温
度約１０００℃に対し２０℃から３０℃程度の温度バラ
ツキが生じる。
焼成する場合、焼成炉の発熱体の位置や、炉の構造によ
って炉内の温度分布を均一に保つことは難しく、制御温
度約１０００℃に対し２０℃から３０℃程度の温度バラ
ツキが生じる。
【０００５】このような状態で精密な性能を要求される
セラミック部品を焼成すると、得られたセラミック部品
の特性が変動し信頼性を損なうという課題があった。
セラミック部品を焼成すると、得られたセラミック部品
の特性が変動し信頼性を損なうという課題があった。
【０００６】本発明は焼成炉内の温度バラツキを低減し
て焼成することの可能なセラミック部品の焼成方法を提
供することを目的とするものである。
て焼成することの可能なセラミック部品の焼成方法を提
供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、被焼成物を収納したサヤの外周を筐体で囲
み焼成を行うセラミック部品の焼成方法としたものであ
る。
に本発明は、被焼成物を収納したサヤの外周を筐体で囲
み焼成を行うセラミック部品の焼成方法としたものであ
る。
【０００８】これにより、筐体内部及びそれで囲まれた
焼成サヤ内の温度分布を均一にすることが可能となり、
電気特性のバラツキの少ない信頼性の高いセラミック部
品を得ることができる。
焼成サヤ内の温度分布を均一にすることが可能となり、
電気特性のバラツキの少ない信頼性の高いセラミック部
品を得ることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、被焼成物を収納した焼成サヤの外周を筐体で囲み焼
成を行うセラミック部品の焼成方法であり、焼成サヤの
外周を筐体で囲むことで、焼成炉の発熱体からの輻射熱
を筐体が受け、加熱された筐体から発熱体の熱を間接的
に焼成サヤが均等な輻射熱及び対流として受けるため、
焼成サヤ内の温度バラツキが小さくなるという作用を有
するものである。
は、被焼成物を収納した焼成サヤの外周を筐体で囲み焼
成を行うセラミック部品の焼成方法であり、焼成サヤの
外周を筐体で囲むことで、焼成炉の発熱体からの輻射熱
を筐体が受け、加熱された筐体から発熱体の熱を間接的
に焼成サヤが均等な輻射熱及び対流として受けるため、
焼成サヤ内の温度バラツキが小さくなるという作用を有
するものである。
【００１０】本発明の請求項２に記載の発明は、筐体が
多重壁構造からなり、その壁間の隙間で気体を強制的に
通過させる構成とした請求項１に記載のセラミック部品
の焼成方法であり、筐体の多重壁内に気体を通過させる
ことにより筐体及びその中に収納された焼成サヤの温
度、雰囲気を一定な状態に保つことができるという作用
を有するものである。
多重壁構造からなり、その壁間の隙間で気体を強制的に
通過させる構成とした請求項１に記載のセラミック部品
の焼成方法であり、筐体の多重壁内に気体を通過させる
ことにより筐体及びその中に収納された焼成サヤの温
度、雰囲気を一定な状態に保つことができるという作用
を有するものである。
【００１１】本発明の請求項３に記載の発明は、筐体に
気孔率が２％より少ないアルミナ質磁器を用いる請求項
１または請求項２に記載のセラミック部品の焼成方法で
あり、筐体を熱伝導性に優れ、しかも気孔率の小さいア
ルミナ質磁器を用いることにより、焼成炉発熱体の熱を
効率的に吸収し、その熱を輻射熱に替え焼成サヤに均等
に伝えることができる。また、気孔率が小さいため筐体
内を通過させる気体を外部に漏洩または吸引することが
ないため、筐体外部の温度変動の影響を受け難く、筐体
内部及び焼成サヤの温度及び雰囲気を安定させることが
できるという作用を有するものである。
気孔率が２％より少ないアルミナ質磁器を用いる請求項
１または請求項２に記載のセラミック部品の焼成方法で
あり、筐体を熱伝導性に優れ、しかも気孔率の小さいア
ルミナ質磁器を用いることにより、焼成炉発熱体の熱を
効率的に吸収し、その熱を輻射熱に替え焼成サヤに均等
に伝えることができる。また、気孔率が小さいため筐体
内を通過させる気体を外部に漏洩または吸引することが
ないため、筐体外部の温度変動の影響を受け難く、筐体
内部及び焼成サヤの温度及び雰囲気を安定させることが
できるという作用を有するものである。
【００１２】本発明の請求項４に記載の発明は、筐体の
色調が黒色または暗色系のものを用いる請求項１から請
求項３の何れかに記載のセラミック部品の焼成方法であ
り、これは焼成炉発熱体の熱を効果的に吸収する筐体材
質の色を規定したものである。
色調が黒色または暗色系のものを用いる請求項１から請
求項３の何れかに記載のセラミック部品の焼成方法であ
り、これは焼成炉発熱体の熱を効果的に吸収する筐体材
質の色を規定したものである。
【００１３】本発明の請求項５に記載の発明は、高温に
加熱した気体を筐体外部から取り入れその壁間を通過さ
せる構成とした請求項２に記載のセラミック部品の焼成
方法であり、筐体の内部に外部から加熱した気体を取り
入れ通過させることにより、筐体からの輻射熱に加え加
熱した気体で筐体内部の焼成サヤの温度をより効果的に
一定に保つことができるという作用を有するものであ
る。
加熱した気体を筐体外部から取り入れその壁間を通過さ
せる構成とした請求項２に記載のセラミック部品の焼成
方法であり、筐体の内部に外部から加熱した気体を取り
入れ通過させることにより、筐体からの輻射熱に加え加
熱した気体で筐体内部の焼成サヤの温度をより効果的に
一定に保つことができるという作用を有するものであ
る。
【００１４】以下、本発明の一実施の形態として鉛系圧
電磁器材料を例に図１〜図３を用いて説明する。
電磁器材料を例に図１〜図３を用いて説明する。
【００１５】（実施の形態１）図１、図２は本発明の実
施の形態１の焼成工程図である。
施の形態１の焼成工程図である。
【００１６】先ず、Ｐｂ（Ｍｇ1/3Ｎｂ2/3）ＴｉＺｒＯ
3系材料を準備し、これを用い直径２０ｍｍ、厚さ２ｍ
ｍの素子を成形し被焼成物１とした。
3系材料を準備し、これを用い直径２０ｍｍ、厚さ２ｍ
ｍの素子を成形し被焼成物１とした。
【００１７】次に、図１、図２に示す通り、前記被焼成
物１を縦、横１５０ｍｍ、高さ３５ｍｍの被焼成体を焼
成サヤ２に収納し、この焼成サヤ２をスペーサ３を介し
て５段に積み重ね、台板５の上でＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの４ヶ
所に配置し、更にその外側を筐体４で覆った構成とし、
１２５０℃の温度で３時間の焼成を行った。
物１を縦、横１５０ｍｍ、高さ３５ｍｍの被焼成体を焼
成サヤ２に収納し、この焼成サヤ２をスペーサ３を介し
て５段に積み重ね、台板５の上でＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの４ヶ
所に配置し、更にその外側を筐体４で覆った構成とし、
１２５０℃の温度で３時間の焼成を行った。
【００１８】このとき、筐体４の内壁に焼成サヤ２が接
触しないように適当な間隔（本実施の形態では約３０ｍ
ｍの空間を設けた）を設けている。空間距離が狭いと焼
成サヤ２内の温度安定性が悪く、また焼成サヤ２の熱膨
張で筐体４が破損するおそれがあり好ましくない。
触しないように適当な間隔（本実施の形態では約３０ｍ
ｍの空間を設けた）を設けている。空間距離が狭いと焼
成サヤ２内の温度安定性が悪く、また焼成サヤ２の熱膨
張で筐体４が破損するおそれがあり好ましくない。
【００１９】次に、前記焼成において、炉内に配置した
焼成サヤ２ごとにこの焼成サヤ２内の温度を測定し、さ
らに焼成を終えた被焼成物１の電気特性を測定し従来例
と比較し（表１）に示した。
焼成サヤ２ごとにこの焼成サヤ２内の温度を測定し、さ
らに焼成を終えた被焼成物１の電気特性を測定し従来例
と比較し（表１）に示した。
【００２０】
【表１】
【００２１】（表１）には台板５上のＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの
各配置における焼成サヤ２の段数ごとに、前記焼成サヤ
２内の温度測定結果と、被焼成物１を焼成して得られた
セラミック成形体の電気特性（圧電定数）測定結果とを
示した。
各配置における焼成サヤ２の段数ごとに、前記焼成サヤ
２内の温度測定結果と、被焼成物１を焼成して得られた
セラミック成形体の電気特性（圧電定数）測定結果とを
示した。
【００２２】この結果、本発明の実施の形態１に示すよ
うに焼成サヤ２の外周を筐体４で囲うことで、従来方法
に比べ各焼成サヤ２間の温度バラツキ（Ｒ）が小さくな
り、電気特性（圧電定数）のバラツキが少ない高品質の
セラミック成形体が得られた。
うに焼成サヤ２の外周を筐体４で囲うことで、従来方法
に比べ各焼成サヤ２間の温度バラツキ（Ｒ）が小さくな
り、電気特性（圧電定数）のバラツキが少ない高品質の
セラミック成形体が得られた。
【００２３】（実施の形態２）図３は本発明の実施の形
態２における焼成工程図である。
態２における焼成工程図である。
【００２４】図３に示す実施の形態２の焼成工程図は、
基本的には図１、図２に示した実施の形態１と同じ構成
であるので、同一構成部分には同一番号を付して詳細な
説明は省略する。
基本的には図１、図２に示した実施の形態１と同じ構成
であるので、同一構成部分には同一番号を付して詳細な
説明は省略する。
【００２５】図３において、６は筐体であり、この筐体
６は底部が解放された二重壁を有し、黒色で気孔率を２
％以下の緻密なアルミナ質磁器で形成されている。この
筐体６で焼成サヤ２を覆った後、焼成過程で焼成炉の熱
で余熱した外気を毎分１立方メータの速度で筐体６の側
面の下方の気体の流入口７から送り込み、壁間を通過さ
せながら焼成サヤ２の外周部に流入させ、これを焼成サ
ヤ２の外壁に沿って下方に導き台板５の流出口８から取
り出した後、再び流入口７に還流させながら焼成を行っ
た。
６は底部が解放された二重壁を有し、黒色で気孔率を２
％以下の緻密なアルミナ質磁器で形成されている。この
筐体６で焼成サヤ２を覆った後、焼成過程で焼成炉の熱
で余熱した外気を毎分１立方メータの速度で筐体６の側
面の下方の気体の流入口７から送り込み、壁間を通過さ
せながら焼成サヤ２の外周部に流入させ、これを焼成サ
ヤ２の外壁に沿って下方に導き台板５の流出口８から取
り出した後、再び流入口７に還流させながら焼成を行っ
た。
【００２６】このとき、気体の流入速度が速すぎると筐
体６の熱を必要以上に奪い筐体６の内部の温度安定性が
悪くなり、遅すぎると気体流入効果が少なくなるため流
速を制御している。
体６の熱を必要以上に奪い筐体６の内部の温度安定性が
悪くなり、遅すぎると気体流入効果が少なくなるため流
速を制御している。
【００２７】次に、前記焼成において、炉内に配置した
焼成サヤ２ごとにこの焼成サヤ２内の温度を測定し、さ
らに焼成を終えたセラミック成形体の電気特性を測定し
従来例と比較し（表２）に示した。
焼成サヤ２ごとにこの焼成サヤ２内の温度を測定し、さ
らに焼成を終えたセラミック成形体の電気特性を測定し
従来例と比較し（表２）に示した。
【００２８】
【表２】
【００２９】（表２）には台板５上のＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの
各配置における焼成サヤ２の段数ごとに前記焼成サヤ内
の温度測定結果と焼成して得られたセラミック成形体の
電気特性（圧電定数）測定結果を示した。
各配置における焼成サヤ２の段数ごとに前記焼成サヤ内
の温度測定結果と焼成して得られたセラミック成形体の
電気特性（圧電定数）測定結果を示した。
【００３０】この結果、筐体６を多重壁構造とし、その
壁間の隙間に加熱した気体を流入させることで温度バラ
ツキが実施の形態１に比べ小さくなり、また筐体６に着
色した緻密なアルミナ製の筐体を用いることで一段と温
度バラツキが小さくなり、セラミック成形体の電気特性
（圧電定数）のバラツキも一層小さいものが得られた。
壁間の隙間に加熱した気体を流入させることで温度バラ
ツキが実施の形態１に比べ小さくなり、また筐体６に着
色した緻密なアルミナ製の筐体を用いることで一段と温
度バラツキが小さくなり、セラミック成形体の電気特性
（圧電定数）のバラツキも一層小さいものが得られた。
【００３１】即ち焼成サヤ２を筐体６で囲うことにより
焼成炉の発熱体の輻射熱を筐体６が一旦吸収し筐体６全
体が加熱される、この熱を輻射熱として囲った筐体６か
ら焼成サヤ２に間接的に均一に伝えるため各焼成サヤ２
間の温度変動を抑制することができる。
焼成炉の発熱体の輻射熱を筐体６が一旦吸収し筐体６全
体が加熱される、この熱を輻射熱として囲った筐体６か
ら焼成サヤ２に間接的に均一に伝えるため各焼成サヤ２
間の温度変動を抑制することができる。
【００３２】また、多重壁の筐体６の壁間を通過させ筐
体６の内部に送り込まれた余熱された気体は焼成サヤ２
の外壁及びスペーサ３間を通過し焼成サヤ２の全体を均
等に加熱するため、各焼成サヤ２間の温度バラツキが一
層小さくなる。
体６の内部に送り込まれた余熱された気体は焼成サヤ２
の外壁及びスペーサ３間を通過し焼成サヤ２の全体を均
等に加熱するため、各焼成サヤ２間の温度バラツキが一
層小さくなる。
【００３３】また、筐体６に発熱体の熱を効果的に吸収
することのできる黒色または暗色系に着色した熱伝導性
に優れたアルミナ製の磁器を用いることで、発熱体の温
度を効果的に焼成サヤ２に伝達するため筐体６内の各焼
成サヤ２の温度バラツキが小さくなることが明らかであ
る。
することのできる黒色または暗色系に着色した熱伝導性
に優れたアルミナ製の磁器を用いることで、発熱体の温
度を効果的に焼成サヤ２に伝達するため筐体６内の各焼
成サヤ２の温度バラツキが小さくなることが明らかであ
る。
【００３４】従って従来方法では焼成サヤ間の温度バラ
ツキを小さくするために、昇温速度を遅く、しかも最高
温度の保持時間を長くしていたが、本発明の焼成方法に
よれば、比較的速い昇温速度で最高保持時間も短く設定
することが可能となりセラミックの焼成工数を低減する
ことも可能となる。尚、各焼成サヤ２の温度は各焼成サ
ヤ２内に熱電対を入れ測定した。
ツキを小さくするために、昇温速度を遅く、しかも最高
温度の保持時間を長くしていたが、本発明の焼成方法に
よれば、比較的速い昇温速度で最高保持時間も短く設定
することが可能となりセラミックの焼成工数を低減する
ことも可能となる。尚、各焼成サヤ２の温度は各焼成サ
ヤ２内に熱電対を入れ測定した。
【００３５】
【発明の効果】以上のように、セラミックを焼成する際
に焼成サヤの外周を熱伝導性に優れた多重壁の筐体で囲
み、その筐体壁間を加熱した気体を通過させ内部に導き
焼成を行うことによって、焼成炉の発熱体の輻射熱を間
接的に均等に焼成サヤに伝えることができ、これにより
筐体の内部の各焼成サヤ間の温度バラツキが低減され、
被焼成物の特性バラツキが小さなセラミックスの焼成方
法を提供することが可能となる。
に焼成サヤの外周を熱伝導性に優れた多重壁の筐体で囲
み、その筐体壁間を加熱した気体を通過させ内部に導き
焼成を行うことによって、焼成炉の発熱体の輻射熱を間
接的に均等に焼成サヤに伝えることができ、これにより
筐体の内部の各焼成サヤ間の温度バラツキが低減され、
被焼成物の特性バラツキが小さなセラミックスの焼成方
法を提供することが可能となる。
【図１】本発明のセラミック部品の焼成方法の実施の形
態１における焼成工程の断面図
態１における焼成工程の断面図
【図２】同実施の形態１における焼成工程の斜視図
【図３】本発明の実施の形態２における焼成工程の断面
図
図
【図４】従来の焼成工程の断面図
１ 被焼成物 ２ 焼成サヤ ３ スペーサ ４，６ 筐体 ５ 台板 ７ 流入口 ８ 流出口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大沼 力 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 安井 真人 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 被焼成物を収納したサヤの外周を筐体で
囲み焼成を行うセラミック部品の焼成方法。 - 【請求項２】 筐体が多重壁構造からなり、その壁間の
隙間で気体を強制的に流通させる構成とした請求項１に
記載のセラミック部品の焼成方法。 - 【請求項３】 筐体に気孔率が２％より少ないアルミナ
質磁器を用いる請求項１または請求項２に記載のセラミ
ック部品の焼成方法。 - 【請求項４】 筐体の色調が黒色または暗色系のものを
使用する請求項１から請求項３の何れかに記載のセラミ
ック部品の焼成方法。 - 【請求項５】 高温に加熱した気体を筐体の外部から取
り入れその壁間を通過させるようにした請求項２に記載
のセラミック部品の焼成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11231102A JP2001058876A (ja) | 1999-08-18 | 1999-08-18 | セラミック部品の焼成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11231102A JP2001058876A (ja) | 1999-08-18 | 1999-08-18 | セラミック部品の焼成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001058876A true JP2001058876A (ja) | 2001-03-06 |
Family
ID=16918343
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11231102A Pending JP2001058876A (ja) | 1999-08-18 | 1999-08-18 | セラミック部品の焼成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001058876A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004338977A (ja) * | 2003-05-13 | 2004-12-02 | Kyocera Corp | 焼成冶具 |
-
1999
- 1999-08-18 JP JP11231102A patent/JP2001058876A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004338977A (ja) * | 2003-05-13 | 2004-12-02 | Kyocera Corp | 焼成冶具 |
| JP4614636B2 (ja) * | 2003-05-13 | 2011-01-19 | 京セラ株式会社 | ＰｂまたはＢｉを含有する厚み１００μｍ以下のインクジェットプリンタヘッド用圧電セラミックスを焼成するための焼成治具、並びにそれを用いたＰｂまたはＢｉを含有する厚み１００μｍ以下のインクジェットプリンタヘッド用圧電セラミックス及びインクジェットプリンタヘッド用圧電アクチュエータの製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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