JPS61110008A - リアルタイム３次元アクテイブビジヨンセンサ装置 - Google Patents
リアルタイム３次元アクテイブビジヨンセンサ装置Info
- Publication number
- JPS61110008A JPS61110008A JP60245278A JP24527885A JPS61110008A JP S61110008 A JPS61110008 A JP S61110008A JP 60245278 A JP60245278 A JP 60245278A JP 24527885 A JP24527885 A JP 24527885A JP S61110008 A JPS61110008 A JP S61110008A
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- Japan
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- angle
- light
- signal representing
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- light beam
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は３次元物体の光字的な検出および給酸の分野に
関する。
関する。
〔発ｉｎが′Ｓ決しよりとする問題点〕視覚乾力は１機
憧が周囲＃ｌ境と相互作用をする多くの応用において望
まれている。視覚装置の代表的な応用には、検査装置お
よび産業用ロボットが含まれる。
憧が周囲＃ｌ境と相互作用をする多くの応用において望
まれている。視覚装置の代表的な応用には、検査装置お
よび産業用ロボットが含まれる。
本発明は、高速で対象全問（ｏｂｊｅｃｔ ５ｐａｃｅ
）の稠密な距廃マツ、７′′をつくる高速３−Ｄセンサ
ーについて記述する。センサーは、レーザビームスキャ
ナ、ディジタル角度検出器および距離処理用電子装置か
らなる。三角５１１Ｊ ｉｔ法を用いて、物体上の稠黄
な点記タリの各点までの距ｌｖがリアルタイムで決定さ
れ、物体の検査と認識およびその位置の検出に必ＪｊＩ
な物体の３−Ｄが与えられる。
）の稠密な距廃マツ、７′′をつくる高速３−Ｄセンサ
ーについて記述する。センサーは、レーザビームスキャ
ナ、ディジタル角度検出器および距離処理用電子装置か
らなる。三角５１１Ｊ ｉｔ法を用いて、物体上の稠黄
な点記タリの各点までの距ｌｖがリアルタイムで決定さ
れ、物体の検査と認識およびその位置の検出に必ＪｊＩ
な物体の３−Ｄが与えられる。
本発明による装置は、物体をラスタバターンで走査し、
マスクに沿った点配列の各点までの距離で物体までの距
離を決定し、それをリアルタイムで出力する。
マスクに沿った点配列の各点までの距離で物体までの距
離を決定し、それをリアルタイムで出力する。
ｉ！ＩＪ１図に、レーザ形式の光源１１が示される。
この光源は、逼切な合焦レンズ１３．１４およびホログ
ラフィツクスキャナ１５全通してビーム１２を導き、切
体１７上の点１６を照らす、レーザ１１は、検出可能な
物体の表面に小輝点をつくるに必要な輝度をもっている
。
ラフィツクスキャナ１５全通してビーム１２を導き、切
体１７上の点１６を照らす、レーザ１１は、検出可能な
物体の表面に小輝点をつくるに必要な輝度をもっている
。
図示されるホログラフィックスキャナ１５は。
複数の小面を有し、ラスタバター７１８で物体１７上を
横切って光点を移動させるのに用いられる。
横切って光点を移動させるのに用いられる。
本発明においてマスクパターンとは、線の方向に対し直
角な方向に間隔を置いた多数の千行厘融のパターンを意
味する。ホログー）クイックスキャナ１５は、ビーム１
２全通しながら１回折格子２０を回転することにより光
源を走査する。これによシ１回折格子２０の全問周彼数
をビーム１２に対して実効的に変化させ、連続的に変化
する角度をもって光を回折する。ビームを通しながら１
個の回折格子を回転することにより、物体上に１本の線
がつくらｎる。（ｉＩ！数の腺の走査は、１枚の円板状
基板上に、円形になるように多くの小面を配列すること
によって得られる。各小面は、それぞれ１本の走査巌を
つくる単一の回折格子２０′を含む。
角な方向に間隔を置いた多数の千行厘融のパターンを意
味する。ホログー）クイックスキャナ１５は、ビーム１
２全通しながら１回折格子２０を回転することにより光
源を走査する。これによシ１回折格子２０の全問周彼数
をビーム１２に対して実効的に変化させ、連続的に変化
する角度をもって光を回折する。ビームを通しながら１
個の回折格子を回転することにより、物体上に１本の線
がつくらｎる。（ｉＩ！数の腺の走査は、１枚の円板状
基板上に、円形になるように多くの小面を配列すること
によって得られる。各小面は、それぞれ１本の走査巌を
つくる単一の回折格子２０′を含む。
完全なマスク走査は上記の円板状基板を１回転させるこ
とによって得られる。このとき各／１１ｒｒＪはイム別
にそれぞれの走査腺を作る。
とによって得られる。このとき各／１１ｒｒＪはイム別
にそれぞれの走査腺を作る。
心違いの位置に置かれたディジタル角度センサ３０は、
任意の時点における物体１７上の光点１６の位置丁なわ
ち角度を検出する。ディジタル角度センサ３０は、濠レ
ンズ３１、円柱レンズ３２およびディジタル位置検出器
３３からなる。円柱し／ズ３２は、検出器３３の前に置
かれ、光点濠？検出器の最長寸法の方向に対して直角の
光線３４の鐵に変換する。崗示例では、ディジタル位置
検出器３３は、第２図に水石れる一組の細長い検出器上
に置かれ之４ピントのバイナリマスク（例えは゛グレイ
コードノによシ笑現される。検出器は。
任意の時点における物体１７上の光点１６の位置丁なわ
ち角度を検出する。ディジタル角度センサ３０は、濠レ
ンズ３１、円柱レンズ３２およびディジタル位置検出器
３３からなる。円柱し／ズ３２は、検出器３３の前に置
かれ、光点濠？検出器の最長寸法の方向に対して直角の
光線３４の鐵に変換する。崗示例では、ディジタル位置
検出器３３は、第２図に水石れる一組の細長い検出器上
に置かれ之４ピントのバイナリマスク（例えは゛グレイ
コードノによシ笑現される。検出器は。
図示の４ビツトデバイスに限定されるものではなく５分
解能を上げるｆｃめに拡張することができる。
解能を上げるｆｃめに拡張することができる。
光点が切体上を横切るに伴い、光線は検出器上を移動し
、検出器の異なるマスク／非マスクの組合せを瑞択的に
照らし、角度のディジタル表現が得られる。各検出器は
１元点の位置を表わすディジタル語の各ビットに対応す
る。したがって、角度検出は、物体１７に論之る光点鍬
を位置検出器３３上に結ばせることによって行われる。
、検出器の異なるマスク／非マスクの組合せを瑞択的に
照らし、角度のディジタル表現が得られる。各検出器は
１元点の位置を表わすディジタル語の各ビットに対応す
る。したがって、角度検出は、物体１７に論之る光点鍬
を位置検出器３３上に結ばせることによって行われる。
各検出器の受光部（非マスク領域］に光が存在すること
を検出するのに、しきい値検出器３５，３６．３７およ
び３８が用いられる。元の存在は、ディジタル出力語の
ディジタル＠１″に対応する。ディジタル位置検出器の
出力は、電子回路４１に接続されている。第２図に示さ
れる位置°ｒＣある光１Ｉｉ３４による出力信号は、光
がしきい値検出器３５．３６にあることを示す。
を検出するのに、しきい値検出器３５，３６．３７およ
び３８が用いられる。元の存在は、ディジタル出力語の
ディジタル＠１″に対応する。ディジタル位置検出器の
出力は、電子回路４１に接続されている。第２図に示さ
れる位置°ｒＣある光１Ｉｉ３４による出力信号は、光
がしきい値検出器３５．３６にあることを示す。
この方法の利点は１次の２点である。第１に。
この角度の直接の表現は、僅かの無視可能な遅れ（すな
わち検出器の応答時間）をもって出力に得られる。すな
わち、角度情報は素早く得られる。
わち検出器の応答時間）をもって出力に得られる。すな
わち、角度情報は素早く得られる。
Ｍ２に、光が検出されるのみでよく１元の強さすなわち
アナログ電圧値を認識する必要がない。
アナログ電圧値を認識する必要がない。
電子的Ｎ４１は、第３図に詳側に示されるように、同期
回路４２．ルックアップテーブル４３１演算ロジック（
ＡＩＪ４４および出力回路４５からな）、角度情報を距
ｗ１に情報に変換する。距離は、角開情報、検出器とス
キャナ間の距ＸＩ！ｄから、三角関数を用いて物体上の
点までの三角ＩＪｉを行うことによシ計算さｎる。電子
回路は、ｌたスキャナと出力ボートへの同期信号をもつ
。距離ｔｆ報出出力、応用に適合しｆｃ７オーマツトに
変換される。
回路４２．ルックアップテーブル４３１演算ロジック（
ＡＩＪ４４および出力回路４５からな）、角度情報を距
ｗ１に情報に変換する。距離は、角開情報、検出器とス
キャナ間の距ＸＩ！ｄから、三角関数を用いて物体上の
点までの三角ＩＪｉを行うことによシ計算さｎる。電子
回路は、ｌたスキャナと出力ボートへの同期信号をもつ
。距離ｔｆ報出出力、応用に適合しｆｃ７オーマツトに
変換される。
第４図を参照してスキャナ１５から物体１７上の光点１
６まで、および光点１６から検出器３３までの角度情報
について考える。スキャナ１５と検出器３３は、窒間約
に既知の距離ｄだけ離れている。図示のＸ軸とｚｓは紙
面上にある。角度αは、走３Ｅ朦がＸ＠と２軸とを含む
平面に対してもつ仰角である。光の走ＩＩ−回折は、１
点をピボット点として元を回転するよりに、レーザビー
ム金角度θおよび角度αで走査することであるとみなさ
れる。スキャナは、同期回路によって同期されているの
で、θ、αは連続的に既知である。検出器３３は、角ｖ
にを決定する。ルックアップテーブル４３．入Ｌ４４お
よび出力画Ｎ４５は＊ ＸｒＹおよび２を決足し、物体
の？！間における杷対位置？決める。ｘ、ｙおよびｚを
決める関係式は１次の通シである。
６まで、および光点１６から検出器３３までの角度情報
について考える。スキャナ１５と検出器３３は、窒間約
に既知の距離ｄだけ離れている。図示のＸ軸とｚｓは紙
面上にある。角度αは、走３Ｅ朦がＸ＠と２軸とを含む
平面に対してもつ仰角である。光の走ＩＩ−回折は、１
点をピボット点として元を回転するよりに、レーザビー
ム金角度θおよび角度αで走査することであるとみなさ
れる。スキャナは、同期回路によって同期されているの
で、θ、αは連続的に既知である。検出器３３は、角ｖ
にを決定する。ルックアップテーブル４３．入Ｌ４４お
よび出力画Ｎ４５は＊ ＸｒＹおよび２を決足し、物体
の？！間における杷対位置？決める。ｘ、ｙおよびｚを
決める関係式は１次の通シである。
ｚ ＝ ａ／（ｔａｎσ＋ｔａｎｒ）ｘ＝ｚｔａｎθ
ｙ＝ｚｔａｎ α
第５＠Ｉはルックアップテーブル４３のブロック脂を示
す。ルックアップテーブル４３は、 ｔａｎαルツク
アッグテーブル５０．ｔａｎθルンクアップテーブル５
１．ｔａｎｒルックアップテーブル５２および逆数ルッ
クアップテーブル５３からなる。第５図の同期回路４２
は、ラッチ６０を通ってルックアップテーブル５０に接
続され、ま７？、ラッチ６１を通ってルックアップテー
ブル５１に接続されている。ｔａｎαルックアップテー
ブル５０の出力は。
す。ルックアップテーブル４３は、 ｔａｎαルツク
アッグテーブル５０．ｔａｎθルンクアップテーブル５
１．ｔａｎｒルックアップテーブル５２および逆数ルッ
クアップテーブル５３からなる。第５図の同期回路４２
は、ラッチ６０を通ってルックアップテーブル５０に接
続され、ま７？、ラッチ６１を通ってルックアップテー
ブル５１に接続されている。ｔａｎαルックアップテー
ブル５０の出力は。
直列に接続されたラッチ６２．６３を通ってＡＬ４４の
乗算器６４の１人力に接続されている。ラッチ６３は、
２クロツクの遅れを与えるためのものである。ｔａｎθ
ルックアップテーブル５１の出力は、ラッテ６５．接続
点６６およびラッテ６７（２クロツクの遅れを与えるり
を通って人りの乗算器６８の１人力に接続されている。
乗算器６４の１人力に接続されている。ラッチ６３は、
２クロツクの遅れを与えるためのものである。ｔａｎθ
ルックアップテーブル５１の出力は、ラッテ６５．接続
点６６およびラッテ６７（２クロツクの遅れを与えるり
を通って人りの乗算器６８の１人力に接続されている。
接続点６６は、また入りの加算器７０の１入力に接続さ
れている。Ｉａａｒルックアップテーブル５２Ｆｉ、角
度検出器３３からの入力を受ける。ｔａｎｒルックアッ
プテーブル５°２の出力は、ラッチ７１によって加算器
７０の他の入力に接続され、加算器７０の出力は、逆数
ルックアップテーブル５３の入力に接続・されている。
れている。Ｉａａｒルックアップテーブル５２Ｆｉ、角
度検出器３３からの入力を受ける。ｔａｎｒルックアッ
プテーブル５°２の出力は、ラッチ７１によって加算器
７０の他の入力に接続され、加算器７０の出力は、逆数
ルックアップテーブル５３の入力に接続・されている。
逆数ルックアップテーブル５３の出力は、ランチ７２を
通って、 ＡＩ、の乗算器７３の１入力に接続されてい
る。ＡＬの乗算器７３の他の入力は１寸法ｄＶｃ関遵す
るデータを受ける。乗算器７３の出力は、２ツテ７４を
通って３点、すなわち出力端子２１乗算器６４のｊｇ２
の入力および乗算器６８の第２の入力に、接続されてい
る。
通って、 ＡＩ、の乗算器７３の１入力に接続されてい
る。ＡＬの乗算器７３の他の入力は１寸法ｄＶｃ関遵す
るデータを受ける。乗算器７３の出力は、２ツテ７４を
通って３点、すなわち出力端子２１乗算器６４のｊｇ２
の入力および乗算器６８の第２の入力に、接続されてい
る。
乗算器６４の出力は出力端子Ｙに接続され１乗算器６８
の出力は出力端子ＸＶｃ接続されている。
の出力は出力端子ＸＶｃ接続されている。
この実施例でｔｉ、ルックアップテーブルはＲ謂でゐル
、スキャナや応用が変更されると、新しい悄１１ｔ″ｆ
さ込むことができる。ラッチに対するクロック時間幅は
、ルックアップテーブルおよび乗′Ｘ器の速［（〜１０
０ＩＩＩＳ）よｐも遅くなけれぐならない。それゆえ、
この＃ＩＩ成の実施例におけるスルーノットは＋ １
０ ＭＨｘのオーダである。毎秒（２５６Ｘ２５６）×
３０７レームは、約２ ＭＨｚのスループットを必要と
するが、デバイスの能力＃、囲内に充分入っている。よ
シ低速度の場合は、ラッチは不要になるかも知れない。
、スキャナや応用が変更されると、新しい悄１１ｔ″ｆ
さ込むことができる。ラッチに対するクロック時間幅は
、ルックアップテーブルおよび乗′Ｘ器の速［（〜１０
０ＩＩＩＳ）よｐも遅くなけれぐならない。それゆえ、
この＃ＩＩ成の実施例におけるスルーノットは＋ １
０ ＭＨｘのオーダである。毎秒（２５６Ｘ２５６）×
３０７レームは、約２ ＭＨｚのスループットを必要と
するが、デバイスの能力＃、囲内に充分入っている。よ
シ低速度の場合は、ラッチは不要になるかも知れない。
（２５６Ｘ２５６ノフイールド、１０ビツトセンナを仮
定すると、 ｔａｎαルツクアツゾテーブル、 ｔ
ａｎθルックアングチ−プルは、サイズが２５６Ｘ８で
あタ、ｔｔｘｎｒルックアップテーブル、２ｔ！叔ルツ
クアンプテーブルは１サイズが１０２４Ｘ１０である。
定すると、 ｔａｎαルツクアツゾテーブル、 ｔ
ａｎθルックアングチ−プルは、サイズが２５６Ｘ８で
あタ、ｔｔｘｎｒルックアップテーブル、２ｔ！叔ルツ
クアンプテーブルは１サイズが１０２４Ｘ１０である。
上述の装置は、近似の考えを導入せずに設計している。
プロセッサの出力はＸｒＹおよび２軸の物体上の点の位
置の絶対値を与える。しかし。
置の絶対値を与える。しかし。
応用によっては、 ｔａａθ；σと近似することによ
シ装置を簡単にしてもよい。
シ装置を簡単にしてもよい。
動作について説明する。先ナレ〜デが連続的に光を発す
る。レンズはホログラフインクスキャナを通して物体上
に光点として合焦するのに用いられる。ホログラフイン
クスキャナは電子＠籍に同期して光点を移動させる。光
点１６が物体１７上釜移動するとき、角度センサ３０は
物体上のその点への角度ｒを検出する。電子回路は、＃
１足した角度、既九の基巌距朧ｄおよび走査光の角度位
置とからその点までの距離を計算する。同期回路は。
る。レンズはホログラフインクスキャナを通して物体上
に光点として合焦するのに用いられる。ホログラフイン
クスキャナは電子＠籍に同期して光点を移動させる。光
点１６が物体１７上釜移動するとき、角度センサ３０は
物体上のその点への角度ｒを検出する。電子回路は、＃
１足した角度、既九の基巌距朧ｄおよび走査光の角度位
置とからその点までの距離を計算する。同期回路は。
７レームの開始と出力のための朦消報の開始を示す同期
信号を出力回路に与える。
信号を出力回路に与える。
この装置の使用から以下に述べる種々の利点が得られる
。多ガホログラフイックスキャナは、＊ｊｉ ７：）ｉ
小さく、ホログラム１回転で全ラスタパターンを発生す
る。ディジタル検出器は、同様なアナログ位置検出器に
附随するノイズや光字ダイナミックレンジの制限がない
角度のディジタル表示が得られる。この装置は、リアル
タイムで距離データを得ることが可能である。センナの
出力に表現されるデータは、絶対距離データである。矩
慝データを得るために後処理をする必Ｊｌ！かない。
。多ガホログラフイックスキャナは、＊ｊｉ ７：）ｉ
小さく、ホログラム１回転で全ラスタパターンを発生す
る。ディジタル検出器は、同様なアナログ位置検出器に
附随するノイズや光字ダイナミックレンジの制限がない
角度のディジタル表示が得られる。この装置は、リアル
タイムで距離データを得ることが可能である。センナの
出力に表現されるデータは、絶対距離データである。矩
慝データを得るために後処理をする必Ｊｌ！かない。
Ｍ１図は、本発明による３−Ｄアクティブビジョ／セフ
ｔｔｗの概略図である。 第２図は１不発ＢＡＫ用いられる２進のディジタル位置
検出器の一例を示す。 第３図は、第１歯に用いられる電子回路のブロック構成
図である。 第４図は、第ｉｌｌの装置に２いて、考）ｔされる光の
発信、受信の角度を示す。 第５図は、第３図の詳細図である。 ｌｌ：光源（またはレーザノ １２：ビーム １３．１４：合焦レンズ １５：ホログラフインクスキャナ １６：ｖ体上の点 １７：’１ｆ２７体 １８ ：２スタ ノゼターン ２０：回折格子 ３０：ディジタル角度センナ ３１：鍬レンズ ３２：円柱レンズ ３３：ディジタル位置検出器 ３５．３６，３７，３８：Ｌきい値検出器４に電子回路 ４２：同期回路 ４３ニルツクアツプテーブル ４４：入Ｌ（演算ロジックノ ４５：出力回路
ｔｔｗの概略図である。 第２図は１不発ＢＡＫ用いられる２進のディジタル位置
検出器の一例を示す。 第３図は、第１歯に用いられる電子回路のブロック構成
図である。 第４図は、第ｉｌｌの装置に２いて、考）ｔされる光の
発信、受信の角度を示す。 第５図は、第３図の詳細図である。 ｌｌ：光源（またはレーザノ １２：ビーム １３．１４：合焦レンズ １５：ホログラフインクスキャナ １６：ｖ体上の点 １７：’１ｆ２７体 １８ ：２スタ ノゼターン ２０：回折格子 ３０：ディジタル角度センナ ３１：鍬レンズ ３２：円柱レンズ ３３：ディジタル位置検出器 ３５．３６，３７，３８：Ｌきい値検出器４に電子回路 ４２：同期回路 ４３ニルツクアツプテーブル ４４：入Ｌ（演算ロジックノ ４５：出力回路
Claims (1)
- （１）光ビーム発生装置からの光ビームの光路に設けら
れ、対象物の表面を横切つてラスタ走査を行うべく該光
ビームを回折する走査装置と、 前記走査装置から一定距離ｄ離れて配置さ れたディジタル位置検出器を含み、前記対象物の表面か
ら反射される前記光ビームを受光する受光装置と、 前記受光装置から後記の瞬時角度に信号を 受ける電子回路装置とを具備し、 前記走査装置は各走査につき、回折された 光ビームが該走査装置と前記位置検出器を結ぶ線に直交
する基準線となす角度θを連続的に変えると共に、該走
査装置と前記位置検出器を結ぶ線と前記基準線とを含む
平面となす角度αを各走査に対応して変えるように走査
し、 前記位置検出器は前記各走査につき前記対 象物の表面上を移動する光点からの反射光を受光し該反
射光が前記基準線となす瞬時角度にを表わすディジタル
信号を連続的に出力し、前記電子回路装置は前記一定距
離ｄを表わ す基線距離信号と、前記角度θを表わす信号、前記角度
αを表わす信号および前記瞬時角度γを表わすディジタ
ル信号に基づいて前記対象物の表面上を移動する光点の
瞬時位置をｘ、ｙ、ｚ軸からなる直交座標の信号に変換
することを特徴とするリアルタイム３次元アクティブビ
ジョンセンサ装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US667312 | 1984-11-01 | ||
| US06/667,312 US4593967A (en) | 1984-11-01 | 1984-11-01 | 3-D active vision sensor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61110008A true JPS61110008A (ja) | 1986-05-28 |
| JPH0355765B2 JPH0355765B2 (ja) | 1991-08-26 |
Family
ID=24677708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60245278A Granted JPS61110008A (ja) | 1984-11-01 | 1985-10-31 | リアルタイム３次元アクテイブビジヨンセンサ装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4593967A (ja) |
| EP (1) | EP0181553B1 (ja) |
| JP (1) | JPS61110008A (ja) |
| DE (1) | DE3568634D1 (ja) |
Families Citing this family (51)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0163076B1 (en) * | 1984-04-17 | 1991-11-13 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Apparatus for producing a three-dimensional copy of an object |
| US5018803A (en) * | 1985-02-04 | 1991-05-28 | Robotic Vision Systems, Inc. | Three-dimensional volumetric sensor |
| US4709156A (en) * | 1985-11-27 | 1987-11-24 | Ex-Cell-O Corporation | Method and apparatus for inspecting a surface |
| US4668984A (en) * | 1985-12-24 | 1987-05-26 | Rca Corporation | Optical pattern generation technique |
| USRE32984E (en) * | 1985-12-24 | 1989-07-11 | General Electric Company | Optical pattern generation technique |
| US4926050A (en) * | 1988-03-02 | 1990-05-15 | Spectra-Physics, Inc. | Scanning laser based system and method for measurement of distance to a target |
| FR2637189A1 (fr) * | 1988-10-04 | 1990-04-06 | Cgr Mev | Systeme et procede de mesure et/ou de verification de la position d'un patient dans un equipement de radiotherapie |
| US5237160A (en) * | 1989-08-02 | 1993-08-17 | Ricoh Company, Ltd. | Bar code scanner having hologram |
| US5589942A (en) * | 1990-04-05 | 1996-12-31 | Intelligent Automation Systems | Real time three dimensional sensing system |
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