DE3147129A1 - Optischer sensor fuer die erfassung von dreidimensionalen objekten - Google Patents

Optischer sensor fuer die erfassung von dreidimensionalen objekten

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DE3147129A1
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Günter Dipl.-Ing.Dr. 8150 Holzkirchen Doemens
Richard Dipl.-Phys.Dr. 8024 Oberhaching Schneider
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Siemens AG
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Siemens AG
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates

Description

  • Optischer Sensor für die Erfassung von dreidimensionalen
  • Ob,iekten.
  • Zusatz zum Patent ..... (Pat.Anm. P 31 195 05.9) Im Hauptpatent wird ein Verfahren zur Erkennung und Prüfung von dreidimensionalen Objekten beschrieben, wobei ein Lichtpunkt von einem Laserscanner gezielt über die Oberfläche geführt wird und die Lagekoordinaten xt, y' dieses Lichtpunktes über einen positionsempfindlichen Detektor, z. B. eine entsprechende Halbleiterdiode, aus einer zur Senderichtung unterschiedlichen Richtung bestimmt werden und der ortsempfindliche Detektor neben der Ortsinformation des Lichtpunktes noch ein Signal liefert, dessen Amplitude der momentanen Intensität des auf den Detektor abgebildeten Lichtpunktes entspricht.
  • Das dem Hauptpatent zugrundeliegende Problem besteht darin, dreidimensionale Objekte unterschiedlichster geometrischer und optischer Eigenschaften in kurzer Zeit mit hinreichender Genauigkeit zu erfassen. Dies wird dadurch erreicht, daß die Ausgangsspannung des positionsempfindlichen Detektors' über ein Regelglied aur eine Einrichtung (z. B. einen akustooptischen Modulator) geführt wird, die es erlaubt, die Intensität des Lasers ständig so zu regeln, daß die über den positionsempfindlichen Detektor empfangene Intensität des Lichtpur1ctes weitgehend unabhängig von den lokalen Objekteigenschaften, wie Reflektion und Winkelorientierung in Raum, ist.
  • Die zunehmende Automatisierung macht die Erfassung und Erkennung dreidimensionaler Objekte (3 D) unumgänglich.
  • Die Probleme für einen industriellen Dinsa-cz bekannter Verfahren (Laser-Triangulation, Extraktion der 3 D-Szene aus einer 2 D-Intensitätsverteilung) liegen im wesentlichen in folgenden Punkten: 1. Die Verfahren sind zu langsam und 2. nur für gewisse Oberflächeneigenschaften verwendbar.
  • Durch das in der Hauptanmeldung beschriebene Verfahren (Triangulation mit nachgeführter Laserintensität und positionsempfindlichen Halbleiterdetektor) werden im wesentlichen diese Probleme gelöst.
  • Nach wie vor sind jedoch-aufgrund der geometrischen Abschattung, bedingt durch die unterschiedliche Sende- und Empfangsrichtung, gewisse Bereiche eines allgemeinen 3 D-Bildes nicht erfaßbar bzw. sind die erfaßbaren Teileformen gewissen Einschränkungen unterworfen. Außerdem sind die bekannten Formen gerätetechnisch noch zu aufwendig bzw. kostenintensiv.
  • Die Figur 1 zeigt die Einschränkung üblicher Triangulationsverfahren durch Abschattung. Diein der Hauptanmeldung verwendeten Bezugszeichen finden - soweit es sich um gleiche Elemente handelt - auch in der vorliegenden Anmeldung Anwendung. Zur Abtastung eines 3 D-Objektes 1 dient ein Empfänger 2 und ein Sender 3. Mit # ist der Winkel bezeichnet, den das in Emp,angsrichtung zurückgestreute Licht gegenüber der Senderichtung einschließt.
  • Die Bezugszahl 13 kennzeichnet den mit diesem Verfahren nicht erfaßbaren Bereich.
  • Durch die vorliegende Erfindung wird eine Weiterbildung des in der Hauptanmeldung beschriebenen Verfahrens angestrebt. Dieses Ziel wird dadurch erreicht, daß mehrere positionsertfindliche Detektoren voreresehen sind, auf die das 3 Objekt mit dem LichtpunJft abgebildet wird, und daß diese Detektoren mit der abbildenden Optik aus ver- schiedenen Raumrichtungen auf das Objekt gerichtet sind.
  • Die Detektion aus mehreren Raumrichtungen hat den Vorteil, daß Abschattungen weitgehend vermieden werden.
  • Nach einer Weiterbildung der Erfindung sind vorzugsweise drei Detektoren unter gleichem Raumwinkel symmetrisch zur Mittelachse des Scanbereiches angeordnet. Dadurch ist wiederum gewährleistet, daß bei Abschattung eines Detektors von einem oder den beiden anderen Detektoren die.
  • Lage des Lichtpunktes erfaßt werden kann, wobei insbesondere aufgrund einer symmetrischen Anordnung die Ausgangsinformation der Detektoren hinsichtlich der geometrischen Größen gleichwertig ist. Außerdem wird auf diese Weise der Aufbau vereinfacht.
  • Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung werden die Intensitäten der positionsempfindlichen Detektoren durch einen Komparator verglichen und der Detektor für die Bestimmung der Raumkoordinaten P (x, y, z) herangezogen, der momentan im Vergleich zu den anderen Detektoren die größte Intensität empfängt. Dadurch kann vermieden werden, daß die Detektoren, die abgeschattet sind, zur Auswertung herangezogen werden. Ferner werden die Signale jenes Detektors benützt, der das günstigste Verhältnis Signal/Rauschverhältnis aufweist.
  • In Rahmen der Erfindung wird die Stellgröße für die Regelung der Laserintensität aus allen drei empfangenen Intensitäten abgeleitet, indem vorzugsweise eine Summe der drei Intensitäten gebildet und ein Vergleich mit einem vorgegebenen Summensollwert durchgeführt wird.
  • Durch diese Regelung wird ein äußerst schneller Abtastvorgang ermöglicht, wie er durch eine Regelung über den jeweils benutzten Detektor laum erre Lohbar .
  • Zur vereinfachten Auswertung können ach einer Weiterbildung der Erfindung nur zwei Betrachtungsrichtungen verwendet werden, die über zwei Spiegel und einen Teilerspiegel auf einen positionsempfindlichen Detektor vereinigt werden, über dessen Intensitätsausgang die Regelung des Laserlichts erfolgt, und die Scannung so vorgenommen werden, daß der Laserstrahl in der Symmetrieebene zwischen den beiden Betrachtungsrichtungen verläuft und daß eine Relativbewegung zwischen Objekt und Abtasteinrichtung vorzugsweise orthogonal zu dieser Symmetrieebene erfolgt. Durch den Verlauf des Laserstrahls in der Symmetrieebene wird erreicht, daß der Auftreffpunkt des Laserstrahles auf das Objekt stets in der erwähnten Symmetrieebene liegt, was Voraussetzung ist, um die aus den zwei Betrachtungsrichtungen empfangenen Bilder des Auftreffpunktes optisch vereinigen zu können. Die Orthogonalität von Relativbewegung (Objekt-Meßkopf) und Scanebene (Symmetrieebene) ermöglicht eine einfache Definition eines rechtwinkligen Koordinatensystems (Figur 4).
  • Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird bei einer orthogonalen Scannung, d. h. Laserstrahl stets senkrecht auf x-y-Ebene, die Höhenkoordinate des Objektes in Echtzeit ohne trigonome-trische Umrechnung aus einem eindimensionalen positionsempfindlichen Detektor abgeleitet, in dessen Beobachtungsstrahlengängen beider Betrachtungsrichtungen Schlit-z.blenden und Zylinderlinsen angeordnet sind. Dies hat den Vorteil, daß die in den rückwärtigen Brennebenen der Objekte liegenden Schlitzblenden nur solche Lichtstrahlen passieren lassen, die (nach Streuung am Objekt) in Ebenen verlaufen, die parallel zu der durch den Schlitz und die optische Achse definierten Szene liegen. Somit bleibt die Betrachtungsrichtung trotz unterschIedlicher Höhenlage des Auftreffpunktes konstant. Die-Zylinderlinsen vereinigen das aus einer Dbene kommende Licht zu einem Bildpunkt auf dem positionsempfindlichen Detektor, so daß dessen Ausgangssignal die Lage der ßbene liefert. Der mathematische Schnitt dieser Ebene mit der Scanebene, aufgespannt durch den scannenden Laserstrahl, ergibt unmittelbar die Höhenkoordinate z, ohne daß ein Rechner erforderlich ist. Die y-Koordinate ergibt sich aus dem momentanen Ablenkwinkel des Laserstrahlablenkers.
  • Nach einer Weiterbildung der Erfindung erfolgt bei feststehendem Objekt die Scannung senkrecht zur x- und y-Ebene in Richtung von x und y. Die Höhenkoordinate des Objekts wird in Echtzeit ohne trigonometrische Umrechnung von zwei eindimensionalen positionsempfindlichen Detektoren abgeleitet, in deren Beobachtungsstrahlengängen beider Betrachtungsrichtungen Schlitzblenden und Zylinderlinsen angeordnet sind.
  • Die Auswertung der mit den erfindungsgemäßen Verfahren gewonnenen Informationen zur Erkennung beliebiger dreidimensionaler Objekte, die sich in verschiedenen stabilen Lagen befinden, kann in der Weise erfolgen, daß durch die Integration der z-Koordinate das projizierte Volumen bestimmt, durch Maximalwertbestimmung der z-Koordinate der höchste Punkt ermittelt und durch Aufsiwimation des differenzierten und gleichgerichteten Verlaufes der z-Koordinate die senkrechte Projektion der Mantelfläche bestimmt wird. Durch Vergleich dieser drei Zahlenwerte mit einer vorher bestimmten Tabelle wird das entsprechende Objekt erkannt, was auch bei mehreren stabilen, unterschiedlichen Lagen des Objekts möglich ist.
  • Die Erfindung wird alUland der fissuren 2 bis 4 erläutert.
  • Es zeigen: Figur 1 die Einschränkung üblicher Triangul ationsverfahren durch Abschattung, figur 2 die vollständige Erfassung eines , D-Objektes mittels Triangulation und Betrachtung aus zwei Raumrichtungen, Figur 3 einen optischen Sensor zur Erfassung dreidimensionaler Objekte ohne Einschränkung hinsichtlich Oberflächeneigenschaften und Form der Objekte und Figur 4 eine vereinfachte, praktische Ausführungsvariante.
  • Die Figur 2 unterscheidet sich nur durch einen zusätzlichen Empfänger 14 von der Figur 1. Die beiden Empfänger 2 und 14 sind symmetrisch zur Senderichtung angeordnet.
  • Zur einfachen Darstellung sind in der Figur 3 statt drei Beobachtungsstrahlengängen nur zwei eingezeichnet. Nach dieser Figur 3 besteht der optische Sensor auf der Empfängerseite aus je einer Optik 7 bzw. 15 und je einem zweidimensionalen, positionsempfindlichen Halbleiterdetektor 8, 16. Die Senderseite beinhaltet einen Laser 9, einen Modulator 10 und einen Strahlablenker 11 sowie eine die Sender- und Empfängerseite verbindende Regeleinrichtung 12. Am rechten Rand der Figur 3 sind oben ei Addierer 17, ein Komparator 18, ein Differenzverstärker 19, eine Schalteinheit 20 und eine Ausgabeeinheit 21 schematisch dargestellt.
  • Nach der Figur 3 wird das Objekt 1, beschrieben durch seine Raumkoordinaten P (, ;, z)vom Laserstrahl aDgetastet. Der Auftreffpunkt des Laserstrahls wird über die Optiken 7 bzZ. 15 auf die positionsempfindlichen HA1D-leiterdetektoren 3 bzw 16 abgebildet, welche in vchtzeit die in Betrachtungsrichtung festgestellten oordlnaten x'Ly'L bzw. x'R, y'R in Form der Spannungen Ux'L, Uy'L bzw. Ux'R, Uy'R liefern, sowie zusätzlich je ein Signal JL bzw. JR bereitstellen, deren Amplitude der Intensität des auf die positionsempfindlichen flalbleiterdetektoren abgebildeten Lichtpunktes entsprechen. Diese Signale werden vom Addierer 17 summiert, vom Komparator 18 mit einem Summensollwert IS verglichen und auf den Regler 12 gegeben. Diese Regeleinrichtung gestattet es, die Laserintensität so zu ändern, daß von den Halbleiterdetektoren eine Intensität empfangen wird, die weitgehend unabhängig von lokalen Objekteigenschaften ist. Zur Modulation des Laserstrahls kann ein akustooptischer Modulator verwendet werden, der über den Regler 12 so angesteuert wird, daß seine Transmission ungefähr umgekehrt proportional zur Empfängerintensität JL + + JR ist.
  • Um zu entscheiden, welcher Detektor zur Auswertung der Ortskoordinaten herangezogen wird, werden unter den Signalen JL bzw. JR das Signal mit der höchsten Intensität gesucht. Hierzu werden die Signale JL und JR in dem Differenzverstärker 19 miteinander verglichen. Entsprechend dessen Ausgangssignal schaltet die Einheit 20 die Ortssignale des rechten bzw. linken Detektors auf die Ausgabeeinrichtung 21 durch. In der Ausgabeeinheit findet die notwendige Koordinatentransformation statt.
  • In der Figur 4 ist das Ablenksystem 11 nach der Figur 3 durch ein Scannerobjektiv 22, einen Schwingspiegel 23 und eine Strahlaufweitungsoptik 24 verwirklicht. Im Unterschied zur Figur 3 sind die beiden zweidimensionalen Halbleiterdetektoren 8, 16 ersetzt durch einen einzigen eindimensionalen, linearen, positionsempfindlichen Detektor 25. Die Bezugszeichen 26, 27 bezeichnen Schlitzblenden, 28 einen teildurchlässigen Spiegel, 29 und 30 je einen Umlenkspiegel und 31 eine Zylinderlinse. Mit 32 ist ein Tischvorschub und mit 33 eine Koordinatenauswerteeinheit bezeichnet.
  • Durch die Optik 24 wird der Laserstrahl aufgeweitet, über den Schwingspiegel 23 umgelenkt und durch das Scannerobjektiv 22 auf das Objekt 1 fokussiert. Hierbei befinden sich der Schwingspiegel 23 und das Objekt 1 in der vor deren bzw. hinteren Brennebene des Scannerobjektivs 22, so daß der auf das Objekt auftreffende Laserstrahl stets senkrecht auf der x- y-Ebene steht. Die Drehachse des Schwingspiegels verläuft parallel zur x-Achse, so daß der Laserstrahl in Richtung der y-Achse oszilliert. Aus dem Drehwinkel des Schwingspiegels 23 kann somit unmittelbar die y-Koordinate erfaßt werden.
  • Entsprechend der Figur 3 wird das Intensitätssignal des Detektors zur Regelung der Laserintensität herangezogen.
  • Die in Figur 3 beschriebene elektronische Addition der Intensitäten erfolgt in Figur 4 auf optischem Wege. Hierzu werden die Beobachtungsstrahlengänge über die Spiegel 29 und 30 umgelenkt und über den teildurchlässigen Spiegel 28 vereinigt. Falls die Anordnung der Beobachtungsobjektive 7 und 15 und der Spiegel 29 und 30 symmetrisch zurly- z-Ebene sind, das heißt der Ebene, in welcher der Laserstrahl.
  • schwingt, kann der Auftreffpunkt des Laserstrahls auf das Objekt 1 zu einem einzigen Bildpunkt auf den Detektor 25 vereinigt werden. Das Intensitätssignal J des Detektors 25 entspricht somit der Summe JL + R in Abbildung 3. Wie bei der Figur 3 beeinflußt der Regler 12 mit Hilfe des Modulators 10 die Laserüftensität.
  • Der positionsempfindliche Detektor 25 liefert die Lagekoordinate zs des Auftreffpunktes. Um zu verhindern, daß der oszillierende Lichtpunkt aus der foto empfindlichen Schicht des Detektors in y-Richtung seitlich auswandert, ist vor dem Detektor die Zylinderlinse 31 gesetzt.
  • DF Auswerteeinheit 33 erhält somit vom Detektor 25 Sie z'-Koordinate, vom Schwingspiegel 23 die y'-Koordinate und vom Tischvorschub 32 die x-Koordinate.
  • Zur Vermeidung von aufwendigen Rechenoperationen bezüglich der z-Koordinate erfolgt die Abbildung so, daß die Betrachtungsrichtung trotz unterschiedlicher Höhenlage des Lichtpunktes konstant bleibt. Dies wird durch je eine schlitzförmige Blende 26, 27 in den hinteren Brernebenen der beiden abbildenden Objektive 7, 15 erreicht.
  • Da die y-Koordinate durch den Schwingspiegel und die x-Koordinate vom Vorschub her bekannt sind, genügt die Messung der z-Koordinate für eine vollständige Erfassung des 3 D-Objektes. Es ist deshalb ausreichend, mit einem eindimensionalen, positionsempfindlichen Detektor zu arbeiten, auf den über eine Zylinderlinse der Verlauf des Lichtpunktes aus den beiden Betrachtungsrichtungen abgebildet wird.
  • Falls Objekt und Sensor nicht relativ zueinander bewegt werden können, ist folgende Variante ohne wesentlichen Mehraufwand machbar: Der Laserstrahl wird über zwei Schwingspiegel wiederum senkrecht zur x-, y-Ebene ausgelenkt. Die Erfassung der Lage des Lichtpunktes aus zwei Betrachtungsrichtungen muß dann jedoch mit zwei ge trennten positionsempfindlichen Detektoren erfolgen.
  • Durch Verwenduilg von Zylinderlinsen und Schlitzblenden kann auch hier die Auswertung wesentlich vereinfacht, sowie auf eindimensnonale, positionser:ipfindliche Halbleiterdetektoren zurückgegriffen werden.
  • 8 Patentansprüche 4 viCuren Leerseite

Claims (8)

  1. PatentansprUche.
    Ö Verfahren zur Erkennung und Prüfung von dreidimensionalen Objekten nach Patent .... (Pat. Anm. P 31 19 505.9), d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß mehrere positionsempfindliche Detektoren (8, 16) vorgesehen sind, auf die das 3 Objekt (1) mit dem Lichtpunkt abgebildet wird, und daß diese Detektoren mit der abbildenden Optik (7, 15) aus verschiedenen Raumrichtungen auf das Objekt gerichtet sind.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e -k e n n z e i c h n e t , daß vorzugsweise drei Detektoren unter gleichem Raumwinkel symmetrisch zur Mittelachse des Scanbereiches angeordnet sind.
  3. 3. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Intensitäten der positionsempfindlichen Detektoren durch einen Komparator verglichen werden und der Detektor für die Bestimmung der Raumkoordinaten P (x, y, z) herangezogen wird, der momentan in Vergleich zu den anderen Detektoren die größte Intensität empfängt.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c hn e t , daß die Stellgröße für die Regelung der Laserintensität aus allen drei empfangenen Intensitäten abgeleitet wird, indem vorzugsweise aus den drei Intensitäten eine Summe gebildet und ein Vergleich mit einem vorgegebenen Summensollwert durchseführt wird.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h u e -k e n n z e i c h n e t , daß zur vereinfachten Auswertung nur zwei Betrachtungsrichtungen verwendet werden, die über zwei Spiegel und einen Teilerspiegel auf einem positionsempfindlichen Detektor vereinigt werden, über dessen Intensitätsausgang die Regelung des Laserlichts erfolgt und die Scannung so vorgenommen wird, daß der Laserstrahl in der Symmetrieebene zwischen den beiden Betrachtungsrichtungen verläuft und daß eine Relativbewegung zwischen Objekt und Abtasteinrichtung vorzugsweise orthogonal zu dieser Symmetrieebene erfolgt.
  6. 6. Verfahren nach Anspruch 5, d a d u r c h g e -k e n n.z. e i c h n e t , daß bei einer stets orthogonalen Scannung, d. h. Laserstrahl stets senkrecht auf x- y-Ebene, die Höhenkoordinate des Objekts in Echtzeit ohne trigonometrische Umrechnung aus einem eindimensionalen positionsempfindlichen Detektor abgeleitet wird, in dessen Beobachtungsstrahlengängen beider Betrachtungsrichtungen Schlitzblenden und Zylinderlinsen angeordnet sind.
  7. 7. Verfahren nach den Ansprechen 1 bis 4, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß bei feststehendem Objekt (1) die Scannung senkrecht zur x- y-Ebene in Richtung von x und y erfolgt und die Höhenkoordinate des Objekts in Echtzeit ohne trigonometrische Umrechnung von zwe eindimensionalen positionsempfindlichen Detektoren abgeleitet wird, in deren Beobachtungsstrahlengängen beider ftrachtungsri olittingen Schlitzblenden und Zylinderlinsen angeordnet sind.
  8. 8. Auswertung der mit dem Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 7 gewonnenen Informationen zur Erkennung beliebiger dreidimensionaler Objekte, die sich in verschiedenen stabilen Lagen befinden können, d a d u r c h g e -k e n n z e 1 c h n e t , daß durch die Aufintegration der z-Koordinate das projizierte Volumen bestimmt, durch Maximalwertbestimmung der z-Koordinate der höchste Punkt ermittelt und durch Aufsummation des differenzierten und gleichgerichteten Verlaufs der z-Koordinate die senkrechte Projektion der Mantelfläche bestimmt wird.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0129062A2 (de) * 1983-05-18 1984-12-27 Gerd Prof. Dipl.-Ing. Selbach Lasermesssystem, insbesondere zum Ausmessen von Einspann- und Richtvorgängen an Werkzeugmaschinen sowie zur Schwingungsmessung
US4593967A (en) * 1984-11-01 1986-06-10 Honeywell Inc. 3-D active vision sensor
US4934810A (en) * 1987-12-21 1990-06-19 Carl-Zeiss-Stiftung Method and apparatus for controlling the quantity of emitted light in an optical measuring head
DE4415419A1 (de) * 1994-05-02 1995-11-09 Horn Wolfgang Positionsmesseinrichtung
DE10132226A1 (de) * 2001-06-29 2003-01-16 Kpv Ag Bern Verfahren zur Herstellung einer dreidimensionalen Kopie von einem als Vorlage dienenden Körper und Anlage zur Durchführung des Verfahrens
DE102021127192A1 (de) 2021-10-20 2023-04-20 Sascha Kühl Binokularer 3D-Scanner

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2833808A1 (de) * 1978-08-02 1980-02-14 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt Stereo-zeilenabtaster

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2833808A1 (de) * 1978-08-02 1980-02-14 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt Stereo-zeilenabtaster

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DE-Z.: Feinwerktechnik u. Meßtechnik 87(1979),2, S. 86-88 *

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0129062A2 (de) * 1983-05-18 1984-12-27 Gerd Prof. Dipl.-Ing. Selbach Lasermesssystem, insbesondere zum Ausmessen von Einspann- und Richtvorgängen an Werkzeugmaschinen sowie zur Schwingungsmessung
EP0129062A3 (de) * 1983-05-18 1986-04-30 Gerd Prof. Dipl.-Ing. Selbach Lasermesssystem, insbesondere zum Ausmessen von Einspann- und Richtvorgängen an Werkzeugmaschinen sowie zur Schwingungsmessung
US4687324A (en) * 1983-05-18 1987-08-18 Gerd Selbach Laser-based measuring system
US4593967A (en) * 1984-11-01 1986-06-10 Honeywell Inc. 3-D active vision sensor
US4934810A (en) * 1987-12-21 1990-06-19 Carl-Zeiss-Stiftung Method and apparatus for controlling the quantity of emitted light in an optical measuring head
DE4415419A1 (de) * 1994-05-02 1995-11-09 Horn Wolfgang Positionsmesseinrichtung
DE10132226A1 (de) * 2001-06-29 2003-01-16 Kpv Ag Bern Verfahren zur Herstellung einer dreidimensionalen Kopie von einem als Vorlage dienenden Körper und Anlage zur Durchführung des Verfahrens
DE102021127192A1 (de) 2021-10-20 2023-04-20 Sascha Kühl Binokularer 3D-Scanner
DE102021127192B4 (de) 2021-10-20 2024-02-08 Sascha Kühl Binokularer 3D-Scanner und Verfahren zum Scannen einer äußeren Kontur eines dreidimensionalen Objektes

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