JPH0355765B2 - - Google Patents
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- JPH0355765B2 JPH0355765B2 JP60245278A JP24527885A JPH0355765B2 JP H0355765 B2 JPH0355765 B2 JP H0355765B2 JP 60245278 A JP60245278 A JP 60245278A JP 24527885 A JP24527885 A JP 24527885A JP H0355765 B2 JPH0355765 B2 JP H0355765B2
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- JP
- Japan
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- light
- angle
- digital
- position detector
- scanning
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は3次元物体の光学的な検出および認識
の分野に関する。
の分野に関する。
視覚能力は、機械が周囲環境と相互作用をする
多くの応用において望まれている。視覚装置の代
表的な応用には、検査装置および産業用ロボツト
が含まれる。
多くの応用において望まれている。視覚装置の代
表的な応用には、検査装置および産業用ロボツト
が含まれる。
本発明は、高速で対象空間(object space)の
稠密な距離マツプをつくる高速3−Dセンサーに
ついて記述する。センサーは、レーザビームスキ
ヤナ、デイジタル角度検出器および距離処理用電
子装置からなる。三角測量法を用いて、物体上の
稠密な点配列の各店までの距離がリアルタイムで
決定され、物体の検査と認識およびその位置の検
出に必要な物体の3−Dが与えられる。
稠密な距離マツプをつくる高速3−Dセンサーに
ついて記述する。センサーは、レーザビームスキ
ヤナ、デイジタル角度検出器および距離処理用電
子装置からなる。三角測量法を用いて、物体上の
稠密な点配列の各店までの距離がリアルタイムで
決定され、物体の検査と認識およびその位置の検
出に必要な物体の3−Dが与えられる。
〔実施例〕
本発明による装置は、物体をラスタパターンで
走査し、ラスタに沿つた点配列の各店までの距離
で物体までの距離を決定し、それをリアルタイム
で出力する。
走査し、ラスタに沿つた点配列の各店までの距離
で物体までの距離を決定し、それをリアルタイム
で出力する。
第1図に、レーザ形式の光源11が示される。
この光源は、適切な合焦レンズ13,14および
ホログラフイツクスキヤナ15を通してビーム1
2を導き、物体17上の点16を照らす。レーザ
11は、検出可能な物体の表面に小輝点をつくる
に必要な輝度をもつている。
この光源は、適切な合焦レンズ13,14および
ホログラフイツクスキヤナ15を通してビーム1
2を導き、物体17上の点16を照らす。レーザ
11は、検出可能な物体の表面に小輝点をつくる
に必要な輝度をもつている。
図示されるホログラフイツクスキヤナ15は、
複数の小面を有し、ラスタパターン18で物体1
7上を横切つて光点を移動させるのに用いられ
る。本発明においてラスタパターンとは、線の方
向に対し直角な方向に間隔を置いた多数の平行直
線のパターンを意味する。ホログラフイツクスキ
ヤナ15は、ビーム12を通しながら、回折格子
20を回転することにより光源を走査する。これ
により、回折格子20の空間周波数をビーム12
に対して実効的に変化させ、連続的に変化する角
度をもつて光を回折する。ビームを通しながら1
個の回折格子を回転することにより、物体上に1
本の線がつくられる。複数の線の走査は、1枚の
円板状基板上に、円形になるように多くの小面を
配列することによつて得られる。各小面は、それ
ぞれ1本の走査線をつくる単一の回折格子20′
を含む。完全なラスタ走査は上記の円板状基板を
1回転させることによつて得られる。このとき各
小面は個別にそれぞれの走査線を作る。
複数の小面を有し、ラスタパターン18で物体1
7上を横切つて光点を移動させるのに用いられ
る。本発明においてラスタパターンとは、線の方
向に対し直角な方向に間隔を置いた多数の平行直
線のパターンを意味する。ホログラフイツクスキ
ヤナ15は、ビーム12を通しながら、回折格子
20を回転することにより光源を走査する。これ
により、回折格子20の空間周波数をビーム12
に対して実効的に変化させ、連続的に変化する角
度をもつて光を回折する。ビームを通しながら1
個の回折格子を回転することにより、物体上に1
本の線がつくられる。複数の線の走査は、1枚の
円板状基板上に、円形になるように多くの小面を
配列することによつて得られる。各小面は、それ
ぞれ1本の走査線をつくる単一の回折格子20′
を含む。完全なラスタ走査は上記の円板状基板を
1回転させることによつて得られる。このとき各
小面は個別にそれぞれの走査線を作る。
心違いの位置に置かれたデイジタル角度センサ
30は、任意の時点における物体17上の光点1
6の位置すなわち角度を検出する。デイジタル角
度センサ30は、像レンズ31、円柱レンズ32
およびデイジタル位置検出器33からなる。円柱
レンズ32は、検出器33の前に置かれ、光点像
を検出器の最長寸法の方向に対して直角の光線3
4の像に変換する。図示例では、デイジタル位置
検出器33は、第2図に示される一組の細長い検
出器上に置かれた4ビツトのバイナリマスク(例
えばグレイコード)により実現される。検出器
は、図示の4ビツトデイバスに限定されるもので
はなく、分解能を上げるために拡張することがで
きる。光点が物体上を横切るに伴い、光線は検出
器上を移動し、検出器の異なるマスク/非マスク
の組合せを選択的に照らし、角度のデイジタル表
現が得られる。各検出器は、光点の位置を表わす
デイジタル語の各ビツトに対応する。したがつ
て、角度検出は、物体17に当たる光点像を位置
検出器33上に結ばせることによつて行われる。
各検出器の受光部(非マスク領域)に光が存在す
ることを検出するのに、しきい値検出器35,3
6,37および38が用いられる。光の存在は、
デイジタル出力語のデイジタル“1”に対応す
る。デイジタル位置検出器の出力は、電子回路4
1に接続されている。第2図に示される位置にあ
る光線34による出力信号は、光がしきい値検出
器35,36にあることを示す。
30は、任意の時点における物体17上の光点1
6の位置すなわち角度を検出する。デイジタル角
度センサ30は、像レンズ31、円柱レンズ32
およびデイジタル位置検出器33からなる。円柱
レンズ32は、検出器33の前に置かれ、光点像
を検出器の最長寸法の方向に対して直角の光線3
4の像に変換する。図示例では、デイジタル位置
検出器33は、第2図に示される一組の細長い検
出器上に置かれた4ビツトのバイナリマスク(例
えばグレイコード)により実現される。検出器
は、図示の4ビツトデイバスに限定されるもので
はなく、分解能を上げるために拡張することがで
きる。光点が物体上を横切るに伴い、光線は検出
器上を移動し、検出器の異なるマスク/非マスク
の組合せを選択的に照らし、角度のデイジタル表
現が得られる。各検出器は、光点の位置を表わす
デイジタル語の各ビツトに対応する。したがつ
て、角度検出は、物体17に当たる光点像を位置
検出器33上に結ばせることによつて行われる。
各検出器の受光部(非マスク領域)に光が存在す
ることを検出するのに、しきい値検出器35,3
6,37および38が用いられる。光の存在は、
デイジタル出力語のデイジタル“1”に対応す
る。デイジタル位置検出器の出力は、電子回路4
1に接続されている。第2図に示される位置にあ
る光線34による出力信号は、光がしきい値検出
器35,36にあることを示す。
この方法の利点は、次の2点である。第1に、
この角度の直接の表現は、僅かの無視可能な遅れ
(すなわち検出器の応答時間)をもつて出力に得
られる。すなわち、角度情報は素早く得られる。
第2に、光が検出されるのみでよく、光の強さす
なわちアナログ電圧値を認識する必要がない。
この角度の直接の表現は、僅かの無視可能な遅れ
(すなわち検出器の応答時間)をもつて出力に得
られる。すなわち、角度情報は素早く得られる。
第2に、光が検出されるのみでよく、光の強さす
なわちアナログ電圧値を認識する必要がない。
電子回路41は、第3図に詳細に示されるよう
に、同期回路42、ルツクアツプテーブル43、
演算ロジツク(AL)44および出力回路45か
らなり角度情報を距離情報に変換する。距離は、
角度情報、検出器とスキヤナ間の距離dから、三
角関数を用いて物体上の点までの三角測量を行う
ことにより計算される。電子回路は、またスキヤ
ナの出力ポートへの同期信号をもつ。距離情報出
力は、応答に適合したフオーマツトに変換され
る。
に、同期回路42、ルツクアツプテーブル43、
演算ロジツク(AL)44および出力回路45か
らなり角度情報を距離情報に変換する。距離は、
角度情報、検出器とスキヤナ間の距離dから、三
角関数を用いて物体上の点までの三角測量を行う
ことにより計算される。電子回路は、またスキヤ
ナの出力ポートへの同期信号をもつ。距離情報出
力は、応答に適合したフオーマツトに変換され
る。
第4図を参照してスキヤナ15から物体17上
の光点16まで、および光点16から検出器33
までの角度情報について考える。スキヤナ15と
検出器33は、空間的に既知の距離dだけ離れて
いる。図示のX軸とZ軸は紙面上にある。角度α
は、走査線がX軸とZ軸とを含む平面に対しても
つ仰角である。光の走査回折は、1点をピボツト
点として光を回転するように、レーザビームを角
度θおよび角度αで走査することであるとみなさ
れる。スキヤナは、同期回路によつて同期されて
いるので、θ、αは連続的に既知である。検出器
33は、角度γを決定する。ルツクアツプテーブ
ル43、AL44および出力回路45は、x、y
およびzを決定し、物体の空間における絶対位置
を決める。x、yおよびzを決める関係式は、次
の通りである。
の光点16まで、および光点16から検出器33
までの角度情報について考える。スキヤナ15と
検出器33は、空間的に既知の距離dだけ離れて
いる。図示のX軸とZ軸は紙面上にある。角度α
は、走査線がX軸とZ軸とを含む平面に対しても
つ仰角である。光の走査回折は、1点をピボツト
点として光を回転するように、レーザビームを角
度θおよび角度αで走査することであるとみなさ
れる。スキヤナは、同期回路によつて同期されて
いるので、θ、αは連続的に既知である。検出器
33は、角度γを決定する。ルツクアツプテーブ
ル43、AL44および出力回路45は、x、y
およびzを決定し、物体の空間における絶対位置
を決める。x、yおよびzを決める関係式は、次
の通りである。
z=d/(tanθ+tanγ)
x=z tanθ
y=z tanα
第5図はルツクアツプテーブル43のブロツク
図を示す。ルツクアツプテーブル43は、tanα
ルツクアツプテーブル50、tanθルツクアツプテ
ーブル51、tanγルツクアツプテーブル52お
よび逆数ルツクアツプテーブル53からなる。第
5図の同期回路42は、ラツチ60を通つてルツ
クアツプテーブル50に接続され、またラツチ6
1を通つてルツクアツプテーブル51に接続され
ている。tanαルツクアツプテーブル50の出力
は、直列に接続されたラツチ62,63を通つて
AL44の乗算器64の1入力に接続されている。
ラツチ63は、2クロツクの遅れを与えるための
ものである。tanθルツクアツプテーブル51の出
力は、ラツチ65、接続点66およびラツチ67
(2クロツクの遅れを与える)を通つてALの乗算
器68の1入力に接続されている。接続点66
は、またALの加算器70の1入力に接続されて
いる。tanγルツクアツプテーブル52は、角度
検出器33からの入力を受ける。tanγルツクア
ツプテーブル52の出力は、ラツチ71によつて
加算器70の他の入力に接続され、加算器70の
出力は、逆数ルツクアツプテーブル53の入力に
接続されている。逆数ルツクアツプテーブル53
の出力は、ラツチ72を通つて、ALの乗算器7
3の1入力に接続されている。ALの乗算器73
の他の入力は、寸法dに関連するデータを受け
る。乗算器73の出力は、ラツチ74を通つて3
点、すなわち出力端子Z、乗算器64の第2の入
力および乗算器68の第2の入力に、接続されて
いる。乗算器64の出力は出力端子Yに接続さ
れ、乗算器68の出力は出力端子Xに接続されて
いる。
図を示す。ルツクアツプテーブル43は、tanα
ルツクアツプテーブル50、tanθルツクアツプテ
ーブル51、tanγルツクアツプテーブル52お
よび逆数ルツクアツプテーブル53からなる。第
5図の同期回路42は、ラツチ60を通つてルツ
クアツプテーブル50に接続され、またラツチ6
1を通つてルツクアツプテーブル51に接続され
ている。tanαルツクアツプテーブル50の出力
は、直列に接続されたラツチ62,63を通つて
AL44の乗算器64の1入力に接続されている。
ラツチ63は、2クロツクの遅れを与えるための
ものである。tanθルツクアツプテーブル51の出
力は、ラツチ65、接続点66およびラツチ67
(2クロツクの遅れを与える)を通つてALの乗算
器68の1入力に接続されている。接続点66
は、またALの加算器70の1入力に接続されて
いる。tanγルツクアツプテーブル52は、角度
検出器33からの入力を受ける。tanγルツクア
ツプテーブル52の出力は、ラツチ71によつて
加算器70の他の入力に接続され、加算器70の
出力は、逆数ルツクアツプテーブル53の入力に
接続されている。逆数ルツクアツプテーブル53
の出力は、ラツチ72を通つて、ALの乗算器7
3の1入力に接続されている。ALの乗算器73
の他の入力は、寸法dに関連するデータを受け
る。乗算器73の出力は、ラツチ74を通つて3
点、すなわち出力端子Z、乗算器64の第2の入
力および乗算器68の第2の入力に、接続されて
いる。乗算器64の出力は出力端子Yに接続さ
れ、乗算器68の出力は出力端子Xに接続されて
いる。
この実施例では、ルツクアツプテーブルは
RAMであり、スキヤナ応用が変更されると、新
しい情報を書き込むことができる。ラツチに対す
るクロツク時間幅は、ルツクアツプテーブルおよ
び乗算器の速度(〜100ns)よりも遅くなければ
ならない。それゆえ、この構成の実施例における
スループツトは、10MHzのオーダである。毎秒
(256×256)×30フレームは、約2MHzのスループ
ツトを必要とするが、デバイスの能力範囲内に充
分入つている。より低速度の場合は、ラツチは不
要になるかも知れない。(256×256)フイールド、
10ビツトセンサを仮定すると、tanαルツクアツ
プテーブル、tanθルツクアツプテーブルは、サイ
ズが256×8であり、tanγルツクアツプテーブ
ル、逆数ルツクアツプテーブルは、サイズが1024
×10である。上述の装置は、近似の考えを導入せ
ずに設計している。プロセツサの出力はx、yお
よびz軸の物体上の点の位置の絶対値を与える。
しかし、応用によつては、tanθ=θとすることに
より装置を簡単にしてもよい。
RAMであり、スキヤナ応用が変更されると、新
しい情報を書き込むことができる。ラツチに対す
るクロツク時間幅は、ルツクアツプテーブルおよ
び乗算器の速度(〜100ns)よりも遅くなければ
ならない。それゆえ、この構成の実施例における
スループツトは、10MHzのオーダである。毎秒
(256×256)×30フレームは、約2MHzのスループ
ツトを必要とするが、デバイスの能力範囲内に充
分入つている。より低速度の場合は、ラツチは不
要になるかも知れない。(256×256)フイールド、
10ビツトセンサを仮定すると、tanαルツクアツ
プテーブル、tanθルツクアツプテーブルは、サイ
ズが256×8であり、tanγルツクアツプテーブ
ル、逆数ルツクアツプテーブルは、サイズが1024
×10である。上述の装置は、近似の考えを導入せ
ずに設計している。プロセツサの出力はx、yお
よびz軸の物体上の点の位置の絶対値を与える。
しかし、応用によつては、tanθ=θとすることに
より装置を簡単にしてもよい。
動作について説明する。先ずレーザーが連続的
に光を発する。レンズはホログラフイツクスキヤ
ナを通して物体上に光点として合焦するのに用い
られる。ホログラフイツクスキヤナは電子回路に
同期して光点を移動させる。光点16が物体17
上を移動するとき、角度センサ30は物体上のそ
の点への角度γを検出する。電子回路は、測定し
た角度、既知の基線距離dおよび走査光の角度位
置とからその点までの距離を計算する。同期回路
は、フレームの開始と出力のための線情報の開始
を示す同期信号を出力回路に与える。
に光を発する。レンズはホログラフイツクスキヤ
ナを通して物体上に光点として合焦するのに用い
られる。ホログラフイツクスキヤナは電子回路に
同期して光点を移動させる。光点16が物体17
上を移動するとき、角度センサ30は物体上のそ
の点への角度γを検出する。電子回路は、測定し
た角度、既知の基線距離dおよび走査光の角度位
置とからその点までの距離を計算する。同期回路
は、フレームの開始と出力のための線情報の開始
を示す同期信号を出力回路に与える。
この装置の使用から以下に述べる種々の利点が
得られる。多面ホログラフイツクスキヤナは、質
量が小さく、ホログラム1回転で全ラスタパター
ンを発生する。デイジタル検出器は、同様なアナ
ログ位置検出器に附随するノイズや光学ダイナミ
ツクレンジの制限がない角度のデイジタル表示が
得られる。この装置は、リアルタイムで距離デー
タを得ることが可能である。センサの出力に表現
されるデータは、絶対距離データである。距離デ
ータを得るために後処理をする必要がない。
得られる。多面ホログラフイツクスキヤナは、質
量が小さく、ホログラム1回転で全ラスタパター
ンを発生する。デイジタル検出器は、同様なアナ
ログ位置検出器に附随するノイズや光学ダイナミ
ツクレンジの制限がない角度のデイジタル表示が
得られる。この装置は、リアルタイムで距離デー
タを得ることが可能である。センサの出力に表現
されるデータは、絶対距離データである。距離デ
ータを得るために後処理をする必要がない。
第1図は、本発明による3−Dアクテイブビジ
ヨンセンサ装置の概略図である。第2図は、本発
明に用いられる2進のデイジタル位置検出器の一
例を示す。第3図は、第1図に用いられる電子回
路のブロツク構成図である。第4図は、第1図の
装置において、考慮される光の発信、受信の角度
を示す。第5図は、第3図の詳細図である。 11:光源(またはレーザ)、12:ビーム、
13,14:合焦レンズ、15:ホログラフイツ
クスキヤナ、16:物体上の点、17:物体、1
8:ラスタパターン、20:回折格子、30:デ
イジタル角度センサ、31:像レンズ、32:円
柱レンズ、33:デイジタル位置検出器、35,
36,37,38:しきい値検出器、41:電子
回路、42:同期回路、43:ルツクアツプテー
ブル、44:AL(演算ロジツク)、45:出力回
路。
ヨンセンサ装置の概略図である。第2図は、本発
明に用いられる2進のデイジタル位置検出器の一
例を示す。第3図は、第1図に用いられる電子回
路のブロツク構成図である。第4図は、第1図の
装置において、考慮される光の発信、受信の角度
を示す。第5図は、第3図の詳細図である。 11:光源(またはレーザ)、12:ビーム、
13,14:合焦レンズ、15:ホログラフイツ
クスキヤナ、16:物体上の点、17:物体、1
8:ラスタパターン、20:回折格子、30:デ
イジタル角度センサ、31:像レンズ、32:円
柱レンズ、33:デイジタル位置検出器、35,
36,37,38:しきい値検出器、41:電子
回路、42:同期回路、43:ルツクアツプテー
ブル、44:AL(演算ロジツク)、45:出力回
路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 光ビーム発生装置からの光ビームの光路に設
けられ、対象物の表面を横切つてラスタ走査を行
うように前記光ビームを回折させる走査装置と; この走査装置から一定距離dだけ離れて配置さ
れた、前記対象物の表面上を走査中移動する光点
からの反射光を受光するデジタル位置検出器を含
んでいる受光装置であつて、前記デジタル位置検
出器は、前記走査装置との間を結ぶ線に直交する
基準線に対して、前記移動する光点からの反射光
がなす角度の瞬時値γを表すデジタル信号を連続
的に出力するものである、受光装置と; この受光装置からの前記角度の瞬時値γを表す
デジタル信号を受ける電子回路装置とを備え; 前記走査装置は、走査それぞれの期間中におい
て前記基準線に対して回折後の光ビームのなす角
度θを連続的に変化させるように、かつ、前記デ
ジタル位置検出器と前記走査装置との間を結ぶ線
と前記基準線とを含む平面に対する仰角αを、走
査毎に段階的に変化させるように、前記光ビーム
を回折させ; 前記電子回路装置は、前記一定距離d、前記角
度θ、前記仰角α、前記角度の瞬時値γに基づい
て、前記対象物の表面上を移動する光点の瞬時位
置を、x、y、z軸の直交座標の信号に変換する
ことを特徴とするリアルタイム3次元アクテイブ
ビジヨンセンサ装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US667312 | 1984-11-01 | ||
US06/667,312 US4593967A (en) | 1984-11-01 | 1984-11-01 | 3-D active vision sensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61110008A JPS61110008A (ja) | 1986-05-28 |
JPH0355765B2 true JPH0355765B2 (ja) | 1991-08-26 |
Family
ID=24677708
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60245278A Granted JPS61110008A (ja) | 1984-11-01 | 1985-10-31 | リアルタイム3次元アクテイブビジヨンセンサ装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4593967A (ja) |
EP (1) | EP0181553B1 (ja) |
JP (1) | JPS61110008A (ja) |
DE (1) | DE3568634D1 (ja) |
Families Citing this family (51)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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