JPS61105742A - 信号記録媒体 - Google Patents
信号記録媒体Info
- Publication number
- JPS61105742A JPS61105742A JP60209581A JP20958185A JPS61105742A JP S61105742 A JPS61105742 A JP S61105742A JP 60209581 A JP60209581 A JP 60209581A JP 20958185 A JP20958185 A JP 20958185A JP S61105742 A JPS61105742 A JP S61105742A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- silicon
- recording medium
- signal recording
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は光学方式ビデオディスク等に用いる信号記録
媒体の改良に関するものである。
媒体の改良に関するものである。
従来、光学方式ビデオディスク等に用いられる信号記録
媒体は、例えば、第１図［Ａ］に示すように、基盤１の
上に金属膜２およびレジスト３を塗布して形成されてい
る。このような信号記録媒体にビデオ情報を記録する方
法としては、ホトレジストを使用する方法やヒート・モ
ード法等が知られている。
媒体は、例えば、第１図［Ａ］に示すように、基盤１の
上に金属膜２およびレジスト３を塗布して形成されてい
る。このような信号記録媒体にビデオ情報を記録する方
法としては、ホトレジストを使用する方法やヒート・モ
ード法等が知られている。
−Ｌ述の信号記録方法において、ホトレジストを使用す
る方法は、第１図［Ｂ］に示すように基盤ｌに塗布した
レジストに対し、例えば記録する信号によって変調した
光または電子ビームを照射して露光し、現像、エツチン
グ（または金属メッキ）工程を経て第１図［Ｃ］に示す
ような信号を記録した原盤を作成していた。また、ヒー
ト・モード法は、基盤１に蒸着（またはスパッタ）され
た金属薄膜へ、記録する信号によって変調されたレーザ
ービームにより、溶融または蒸発せし吟、ビデオ情報を
記録し、既知の方法により読みだし光のｌ／４波長の深
さのビットを作成していた。
る方法は、第１図［Ｂ］に示すように基盤ｌに塗布した
レジストに対し、例えば記録する信号によって変調した
光または電子ビームを照射して露光し、現像、エツチン
グ（または金属メッキ）工程を経て第１図［Ｃ］に示す
ような信号を記録した原盤を作成していた。また、ヒー
ト・モード法は、基盤１に蒸着（またはスパッタ）され
た金属薄膜へ、記録する信号によって変調されたレーザ
ービームにより、溶融または蒸発せし吟、ビデオ情報を
記録し、既知の方法により読みだし光のｌ／４波長の深
さのビットを作成していた。
しかし、これらの従来の方法は次のような欠点や間叩点
がある。すなわち、ホトレジストを使用する方法の場合
は、１用程度の解像度を持つように基板全面（例えばＬ
Ｐレコードの大きさ３００φ）に均一に塗布することは
技術的には可能であるが、多くの困難さがあり、またほ
こりの影響が大きく従って、クリーン・ルーム等の大き
な設備を必要とする。更に、ヒート・モード法の場合は
、溶融、蒸発した金属がピッ１・の周辺に盛り」−がり
や付着を生じ、記録した情報の読み出しの際にノイズの
原因の−っとな、る。
がある。すなわち、ホトレジストを使用する方法の場合
は、１用程度の解像度を持つように基板全面（例えばＬ
Ｐレコードの大きさ３００φ）に均一に塗布することは
技術的には可能であるが、多くの困難さがあり、またほ
こりの影響が大きく従って、クリーン・ルーム等の大き
な設備を必要とする。更に、ヒート・モード法の場合は
、溶融、蒸発した金属がピッ１・の周辺に盛り」−がり
や付着を生じ、記録した情報の読み出しの際にノイズの
原因の−っとな、る。
更に、ピット周辺の盛り上がりや４１着を少なくするた
めに金属膜を薄くすれば、読み出し光の１／４波長の深
さにするために、レジストを使用したりして多くの工程
を必要とする欠点がある。
めに金属膜を薄くすれば、読み出し光の１／４波長の深
さにするために、レジストを使用したりして多くの工程
を必要とする欠点がある。
この発明は、上述したような従来技術の欠点、問題点を
除去した光学方式ビデオディスク等に用いる信号記録媒
体を提供することを目的とするも゛のである。
除去した光学方式ビデオディスク等に用いる信号記録媒
体を提供することを目的とするも゛のである。
以下図面に基づき、この発明に係る信号記録媒体および
、この信号記録媒体を用いた信号記録の実施例を説明す
る。
、この信号記録媒体を用いた信号記録の実施例を説明す
る。
第２図に示す信号記録媒体は、この発明の第一の実施例
を示す断面側面図で、基＠１の表面にシリコン層４を設
けるとともにそのシリコン層の表面に膜厚が数百オング
ストロームの一酸化シリコン層５を設け、このシリコン
層４と一酸化シリコン層５の二層構造の膜厚を情報の読
み出し光の１／４波長程度に設定して形成している。
を示す断面側面図で、基＠１の表面にシリコン層４を設
けるとともにそのシリコン層の表面に膜厚が数百オング
ストロームの一酸化シリコン層５を設け、このシリコン
層４と一酸化シリコン層５の二層構造の膜厚を情報の読
み出し光の１／４波長程度に設定して形成している。
第４図に示す信号記録媒体は、この発明の第二の実施例
を示す断面側面図で、基盤１の表面に金属膜６、シリコ
ン層４、−Ｍ化シリコン層５の３層が形成され、この場
合ピットの深さのコントロールは金属膜６で行なうこと
ができる。゛ この発明の信号記録媒体に用いた一酸化シリコンは、蒸
発し易い物質ではあるが、膜厚が薄く透明なために、光
の吸収が少なく、またこのようなシリコン物質の代りに
他の金属を使用した場合、金属の部分が先に溶融して一
酸化シリコンと金属とは剥離してしまうおそれがあるが
、シリコン層と一酸化シリコンの２層■りは、接着性が
極めて良く、良好な結果が得られた。
を示す断面側面図で、基盤１の表面に金属膜６、シリコ
ン層４、−Ｍ化シリコン層５の３層が形成され、この場
合ピットの深さのコントロールは金属膜６で行なうこと
ができる。゛ この発明の信号記録媒体に用いた一酸化シリコンは、蒸
発し易い物質ではあるが、膜厚が薄く透明なために、光
の吸収が少なく、またこのようなシリコン物質の代りに
他の金属を使用した場合、金属の部分が先に溶融して一
酸化シリコンと金属とは剥離してしまうおそれがあるが
、シリコン層と一酸化シリコンの２層■りは、接着性が
極めて良く、良好な結果が得られた。
更に、−Ｓ化シリコンは金属に比較して熱伝導率が小さ
くスポット径も小さくすることが可能となる特徴がある
。
くスポット径も小さくすることが可能となる特徴がある
。
次に第２図に示すこの発明の第一の実施例において述べ
た信号記録媒体を用いてビデオ情報等を記録する場合の
一例を第３図に基づき説明する。
た信号記録媒体を用いてビデオ情報等を記録する場合の
一例を第３図に基づき説明する。
まず、第３図［Ａ］に示すシリコン層４および一酸化シ
リコン層５の２層膜からなる信号記録媒体の一酸化シリ
コン層５に対して第３図［Ｂ］で示すよう光変調器で変
調されたレーザービーム８を照射し、−酸化シリコン層
５を溶融、ｙへ発して情報の書き込みを行なう。この場
合、−％化シリコンは蒸発しやすい物質であるから昇華
する。
リコン層５の２層膜からなる信号記録媒体の一酸化シリ
コン層５に対して第３図［Ｂ］で示すよう光変調器で変
調されたレーザービーム８を照射し、−酸化シリコン層
５を溶融、ｙへ発して情報の書き込みを行なう。この場
合、−％化シリコンは蒸発しやすい物質であるから昇華
する。
次に第３図［Ｃ］に示すように一酸化シリコン層５が溶
融、蒸発した部分に対応するシリコン層４を例えば水酸
化カリウム溶液などを用いてエツチングを行ケう。この
時、ピット周辺の多少の盛り」−がりやイ」着物も同時
に溶解される。
融、蒸発した部分に対応するシリコン層４を例えば水酸
化カリウム溶液などを用いてエツチングを行ケう。この
時、ピット周辺の多少の盛り」−がりやイ」着物も同時
に溶解される。
更に、第３図［Ｄ］で示すように、エレクトロホーミン
グ法でレプリカのとれる例えば、ニッケル、クロムなど
の金属膜７を表面に薄く蒸着して形成し、これをマスタ
ー盤とすることができる。
グ法でレプリカのとれる例えば、ニッケル、クロムなど
の金属膜７を表面に薄く蒸着して形成し、これをマスタ
ー盤とすることができる。
したがって、この発明に係る記録媒体によれば、（１）
ピット周辺の盛り上がりや付着物を除去できる。（２）
ピットの深さのコントロールが容易である。（３）工程
が削減できる。
ピット周辺の盛り上がりや付着物を除去できる。（２）
ピットの深さのコントロールが容易である。（３）工程
が削減できる。
（４）ホトレジストを使用しないために大きな設備を必
要としないという効果がある。
要としないという効果がある。
第１図［Ａ］、［Ｂ］、 ［Ｃコ、は従来の光学方式ビ
デオディスク等に用いる信号記録媒体の構造を示す断面
側面図である。第２図はこの発明に係る信号記録媒体の
第一の実施例を示す断面側面図である。第３図［Ａ］〜
［Ｂ］は第２図に示す信号記録媒体を用いてビデオ情報
等を記録する工程を示す断面側面図である。第４図はこ
の発明の信号記録媒体の第二の実施例を示す断面側面図
である。 １・・基盤、４・・シリコン層、５・・−酩化シリコン
層、６．７・・金属膜
デオディスク等に用いる信号記録媒体の構造を示す断面
側面図である。第２図はこの発明に係る信号記録媒体の
第一の実施例を示す断面側面図である。第３図［Ａ］〜
［Ｂ］は第２図に示す信号記録媒体を用いてビデオ情報
等を記録する工程を示す断面側面図である。第４図はこ
の発明の信号記録媒体の第二の実施例を示す断面側面図
である。 １・・基盤、４・・シリコン層、５・・−酩化シリコン
層、６．７・・金属膜
Claims (1)
- 基盤に設けられたシリコン層の表面に、光ビームの照射
によって昇華し、前記シリコン層を露出する酸化シリコ
ン層を設け、二層構造にしたことを特徴とする信号記録
媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60209581A JPS61105742A (ja) | 1985-09-21 | 1985-09-21 | 信号記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60209581A JPS61105742A (ja) | 1985-09-21 | 1985-09-21 | 信号記録媒体 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5920078A Division JPS54151006A (en) | 1978-05-18 | 1978-05-18 | Signal recording medium and signal recording method for optical video disk or like |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61105742A true JPS61105742A (ja) | 1986-05-23 |
| JPS6310494B2 JPS6310494B2 (ja) | 1988-03-07 |
Family
ID=16575199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60209581A Granted JPS61105742A (ja) | 1985-09-21 | 1985-09-21 | 信号記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61105742A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4807892A (en) * | 1988-05-12 | 1989-02-28 | Ishikawa Gaskit Co., Ltd. | Steel laminate gasket with high sealing ability |
| JPH01316564A (ja) * | 1988-05-16 | 1989-12-21 | Ishikawa Gasket Kk | 金属積層形ガスケット |
| JPH0733053U (ja) * | 1991-05-17 | 1995-06-16 | 寿雄 池谷 | 電話機の受話によるテレビやオーディオ機器等の音量自動調節機構 |
-
1985
- 1985-09-21 JP JP60209581A patent/JPS61105742A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4807892A (en) * | 1988-05-12 | 1989-02-28 | Ishikawa Gaskit Co., Ltd. | Steel laminate gasket with high sealing ability |
| JPH01316564A (ja) * | 1988-05-16 | 1989-12-21 | Ishikawa Gasket Kk | 金属積層形ガスケット |
| JPH0581796B2 (ja) * | 1988-05-16 | 1993-11-16 | Ishikawa Gasket | |
| JPH0733053U (ja) * | 1991-05-17 | 1995-06-16 | 寿雄 池谷 | 電話機の受話によるテレビやオーディオ機器等の音量自動調節機構 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6310494B2 (ja) | 1988-03-07 |
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