JPS61101941A - Ｘ線源 - Google Patents
Ｘ線源Info
- Publication number
- JPS61101941A JPS61101941A JP59222126A JP22212684A JPS61101941A JP S61101941 A JPS61101941 A JP S61101941A JP 59222126 A JP59222126 A JP 59222126A JP 22212684 A JP22212684 A JP 22212684A JP S61101941 A JPS61101941 A JP S61101941A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- window
- ray
- liquid metal
- electrodes
- horizontal direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/16—Vessels; Containers; Shields associated therewith
- H01J35/18—Windows
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/16—Vessels; Containers; Shields associated therewith
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Public Health (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は真空ギャップ式のＸ線源に関し、とくに電極材
として液体金属を用いたＸ線源に関する。
として液体金属を用いたＸ線源に関する。
近年、集積回路関係の技術的進歩はきわめて急速でちゃ
、リングラフィ装置の加工パヅーンの最小幅はサブミク
ロンの領域に入ろうとしている。
、リングラフィ装置の加工パヅーンの最小幅はサブミク
ロンの領域に入ろうとしている。
このサブミクロンの領域では、もはや光による露光では
鮮明な加工を施すことが困難となシ、軟Ｘ線を使ったリ
ングラフィ装置が必要になってきている。そのため、強
力な軟Ｘ線発生源が求められている。軟Ｘ線発生源とし
ては、対陰極形Ｘ線管、シンクロトロン放射光、高温プ
ラズマからのＸ線を利用するものなどがあるが、対陰極
形は輝度が弱く、またシンクロトロンはあまりにも設備
が高価格になる。このため、プラズマＸ線源が有望視さ
れている。
鮮明な加工を施すことが困難となシ、軟Ｘ線を使ったリ
ングラフィ装置が必要になってきている。そのため、強
力な軟Ｘ線発生源が求められている。軟Ｘ線発生源とし
ては、対陰極形Ｘ線管、シンクロトロン放射光、高温プ
ラズマからのＸ線を利用するものなどがあるが、対陰極
形は輝度が弱く、またシンクロトロンはあまりにも設備
が高価格になる。このため、プラズマＸ線源が有望視さ
れている。
プラズマＸ線源として、特公昭５７−１９１９４８号等
にて提案されているように、液体金属を用いた真空ギャ
ップ式のものがある。
にて提案されているように、液体金属を用いた真空ギャ
ップ式のものがある。
すなわち、第３図に示すように、端板１．２並びに絶縁
円筒から成る真空容器１５の中に、端板１．２をそれぞ
れ貫通するように電極４．５が一定の間隙をもって対峙
させられて設けられている。
円筒から成る真空容器１５の中に、端板１．２をそれぞ
れ貫通するように電極４．５が一定の間隙をもって対峙
させられて設けられている。
電極４．５は、通常、融点のきわめて高いタングステン
（Ｗ）などで構成されている。ｉ［Ｅｉ４の外側には、
先端部が電極４の先端部と細隙をもって同軸状に狭窄さ
れた基底部を有する円筒部６が設けられ、その内側には
、ガリウム（Ｇ−）などの液体金属が満たされている。
（Ｗ）などで構成されている。ｉ［Ｅｉ４の外側には、
先端部が電極４の先端部と細隙をもって同軸状に狭窄さ
れた基底部を有する円筒部６が設けられ、その内側には
、ガリウム（Ｇ−）などの液体金属が満たされている。
電極４，５には図示していない光電装置ならびにコンデ
ンサ１０．抵抗１１、スイッチ１２．１３からなるパル
ス大電流電源１６が接続されているう Ｘ線発生にあたっては、まずスイッチ１２を閉じてコン
デンサ１０を光電し、光電完了後にスイッチ１２を開放
し、引き続いてスイッチ１３を閉じる。
ンサ１０．抵抗１１、スイッチ１２．１３からなるパル
ス大電流電源１６が接続されているう Ｘ線発生にあたっては、まずスイッチ１２を閉じてコン
デンサ１０を光電し、光電完了後にスイッチ１２を開放
し、引き続いてスイッチ１３を閉じる。
ここで、電極４の先端部では、液体金属のガリウムが細
隙からにじみ出し、表面張力にょシ液滴状となって先端
についている。従って、スイッチ１３の閉成により高電
圧がこの液滴状の液体金属と電極５との間に実質印加さ
れることになる。この間の耐電圧値は、ただちに放電が
生じるような間隙長に設定されているのですぐに放電が
生じる７この放電回路はコンデンサ１ｏの短終回路を形
成するので、電流の立ち上り時間が１μｓ程度と非常に
早く、また得られる電流値もａｌ ００ ｋＡのオーダ
となる。そのため、電極４，５間の放電アークにはｚピ
ンチ現象が生じる。このＺピンｆｆＪｌ象によシ、アー
クプラズマは非常に高温に加熱され、アークプラズマ中
の原子から特性ＸＡ１９が放出されるようになる。
隙からにじみ出し、表面張力にょシ液滴状となって先端
についている。従って、スイッチ１３の閉成により高電
圧がこの液滴状の液体金属と電極５との間に実質印加さ
れることになる。この間の耐電圧値は、ただちに放電が
生じるような間隙長に設定されているのですぐに放電が
生じる７この放電回路はコンデンサ１ｏの短終回路を形
成するので、電流の立ち上り時間が１μｓ程度と非常に
早く、また得られる電流値もａｌ ００ ｋＡのオーダ
となる。そのため、電極４，５間の放電アークにはｚピ
ンチ現象が生じる。このＺピンｆｆＪｌ象によシ、アー
クプラズマは非常に高温に加熱され、アークプラズマ中
の原子から特性ＸＡ１９が放出されるようになる。
この特性Ｘ線９は、電極５の軸中心部に設けられた開口
部２ｏに連通しているＸ線取出口１４に設けられた開口
部ラム（Ｂ、）窓２１を介してマスク１７でおおわれた
シリコンウェーハに導びがれて露光する。
部２ｏに連通しているＸ線取出口１４に設けられた開口
部ラム（Ｂ、）窓２１を介してマスク１７でおおわれた
シリコンウェーハに導びがれて露光する。
ところで、この時アークプラズマを形成しているガリウ
ム金属蒸気は、Ｘ線９と同様に開口部２０を通ってベリ
リウム窓２１へと拡散してきてこの窓２１に付着する。
ム金属蒸気は、Ｘ線９と同様に開口部２０を通ってベリ
リウム窓２１へと拡散してきてこの窓２１に付着する。
従って、露光が繰返されるたびにベリリウム２１に付着
するガリウム金属の景は蓄積されることになシ、やがて
液滴１９となってベリリウム窓２１上に析出する。その
結果、この液滴１９によってＸ線フィルタ窓としてのベ
リリウム窓２１が遮蔽され、マスクパターンが正しくウ
ェーハに転写されなくなるという欠点がめった。
するガリウム金属の景は蓄積されることになシ、やがて
液滴１９となってベリリウム窓２１上に析出する。その
結果、この液滴１９によってＸ線フィルタ窓としてのベ
リリウム窓２１が遮蔽され、マスクパターンが正しくウ
ェーハに転写されなくなるという欠点がめった。
本発明の目的はガリウム金属が、Ｘ線フィルタ窓に付着
するのを防止し、常に良好な転写パターンの得られるＸ
Ｓ源を提供するにある。
するのを防止し、常に良好な転写パターンの得られるＸ
Ｓ源を提供するにある。
本発明は、Ｘ線取出口のＸ線フィルタ窓を水平方向に対
して傾斜を有する平面もしくは曲面にして構成したもの
である。
して傾斜を有する平面もしくは曲面にして構成したもの
である。
以下、実施例を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す図であり、Ｘ線取出口
１４に設けられたべＩＪ ＩＪウム窓２１は、水平方向
に対しである傾斜をもって設置されている。
１４に設けられたべＩＪ ＩＪウム窓２１は、水平方向
に対しである傾斜をもって設置されている。
このため、液滴状となった液体金属（Ｇ１）は低い方に
移動し、この窓２１に連通した管２３を通って貯留室２
２へと流れて行く。この結果、ベリリウム窓２１の上に
液滴状の液体金Ｘ（Ｏ，）が蓄積されることが無くな軒
常に良好なパターン転写が可能となる。
移動し、この窓２１に連通した管２３を通って貯留室２
２へと流れて行く。この結果、ベリリウム窓２１の上に
液滴状の液体金Ｘ（Ｏ，）が蓄積されることが無くな軒
常に良好なパターン転写が可能となる。
第２図は、本発明の他の実施例を示す図である。
この実施例ではベリリウム膜２１を周囲を低くした曲面
として構成している。この場合も、ベリリウム膜２１に
付いた液体金属は低い位置の周囲部へ移動し、これに連
通した管２３を通って貯留室２２へと流れていく。この
結果、第１図の実施例と全く同様の効果を得ることがで
きる。なお、Ｘ線フィルタ窓はベリリウムに限定されな
い。
として構成している。この場合も、ベリリウム膜２１に
付いた液体金属は低い位置の周囲部へ移動し、これに連
通した管２３を通って貯留室２２へと流れていく。この
結果、第１図の実施例と全く同様の効果を得ることがで
きる。なお、Ｘ線フィルタ窓はベリリウムに限定されな
い。
以上説明したように本発明では、Ｘ線フィルタ窓を水平
方向に対して傾斜を有する平面もしくは曲面にして構成
したものでめるから、この窓に液体金属の液滴かたまる
ことが無くなり、Ｘ線リングラフィ装置においては常に
良好なパターン転写が可能である。
方向に対して傾斜を有する平面もしくは曲面にして構成
したものでめるから、この窓に液体金属の液滴かたまる
ことが無くなり、Ｘ線リングラフィ装置においては常に
良好なパターン転写が可能である。
第１図は本発明の一実、施例を示す図、第２図は本発明
の他の実施例を示す図、第３図は従来装置の構成を示す
図である。 ４．５・・・電極、１５・・・真空容器、１８・・・ウ
ェーハ、２１・・・窓、２２・・・貯留室。
の他の実施例を示す図、第３図は従来装置の構成を示す
図である。 ４．５・・・電極、１５・・・真空容器、１８・・・ウ
ェーハ、２１・・・窓、２２・・・貯留室。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、真空容器と該真空容器内に収納された少なくとも一
対の電極を有し、該電極の少なくとも一方は液体金属ま
たは液体金属を含む材料で構成され、これら電極間の放
電によつてＸ線フィルタ窓を介してＸ線を取り出すＸ線
源において、前記Ｘ線フィルタ窓を水平方向に対して傾
斜を有する平面もしくは曲面として構成したことを特徴
とするＸ線源。 ２、真空容器と該真空容器内に収納された少なくとも一
対の電極を有し、該電極の少なくとも一方は液体金属ま
たは液体金属を含む材料で構成され、これら電極間の放
電によつてＸ線フィルタ窓を介してＸ線を取り出すＸ線
源において、前記Ｘ線フィルタ窓を水平方向に対して傾
斜を有する平面もしくは曲面として構成し、かつ該Ｘ線
取り出し窓に連通する液体金属貯留室を設けたことを特
徴とするＸ線源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59222126A JPS61101941A (ja) | 1984-10-24 | 1984-10-24 | Ｘ線源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59222126A JPS61101941A (ja) | 1984-10-24 | 1984-10-24 | Ｘ線源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61101941A true JPS61101941A (ja) | 1986-05-20 |
Family
ID=16777568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59222126A Pending JPS61101941A (ja) | 1984-10-24 | 1984-10-24 | Ｘ線源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61101941A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02253598A (ja) * | 1989-03-27 | 1990-10-12 | Nichicon Corp | Ｘ線発生装置 |
-
1984
- 1984-10-24 JP JP59222126A patent/JPS61101941A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02253598A (ja) * | 1989-03-27 | 1990-10-12 | Nichicon Corp | Ｘ線発生装置 |
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