JPS61100366A - ワイヤ式多条切断装置 - Google Patents
ワイヤ式多条切断装置Info
- Publication number
- JPS61100366A JPS61100366A JP59221878A JP22187884A JPS61100366A JP S61100366 A JPS61100366 A JP S61100366A JP 59221878 A JP59221878 A JP 59221878A JP 22187884 A JP22187884 A JP 22187884A JP S61100366 A JPS61100366 A JP S61100366A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- cut
- cutting
- rollers
- row
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0061—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of devices for guiding or feeding saw wires
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は例えばシ１１フン等半導体電子材料のインゴッ
トをワイヤにて切断するワイヤ式多条切断装置に関する
。
トをワイヤにて切断するワイヤ式多条切断装置に関する
。
従来技術及び解決しようとする問題点
従来、半導体電子材料等のインゴット全ウェハー状に切
断する手段として１円板状のカッタの他１どワイヤを利
用するワイヤ式切断機がある。
断する手段として１円板状のカッタの他１どワイヤを利
用するワイヤ式切断機がある。
この切断機は８個もしくはそれ以上の平行に配列したロ
ーラにワイヤ全多数回所定の微小間隔全存して巻きつけ
、これ全被切断部材に押しつけ、砥粒を含む切削液音生
ぎつ＼往復移行せしめ、いわゆるラッピング作用にて切
断する手段が採られている（例えば特公昭５２−１２９
５４号）。その概要全第７図に示す。図においてワイヤ
式多条切断装置１には８個の溝ローラ２λ。
ーラにワイヤ全多数回所定の微小間隔全存して巻きつけ
、これ全被切断部材に押しつけ、砥粒を含む切削液音生
ぎつ＼往復移行せしめ、いわゆるラッピング作用にて切
断する手段が採られている（例えば特公昭５２−１２９
５４号）。その概要全第７図に示す。図においてワイヤ
式多条切断装置１には８個の溝ローラ２λ。
ｚｂ、２ｃを備え、各溝ローラ２ａ、ｚｂ、ｓｔｃには
ワイヤ８を等間隔に巻きつけてワイヤ列８ａ？形成する
。Ｗは被切断部材を示す。
ワイヤ８を等間隔に巻きつけてワイヤ列８ａ？形成する
。Ｗは被切断部材を示す。
ワイヤ８は矢符４に示す如く一方向−どゆっくり移行さ
れ、被切断部材Ｗは適宜に振動装置（図示省略）により
矢符Ｓ方向に往復移行されつ＼徐々に上昇して切断され
る。
れ、被切断部材Ｗは適宜に振動装置（図示省略）により
矢符Ｓ方向に往復移行されつ＼徐々に上昇して切断され
る。
この場合、切断に使用されるワイヤ８は切断代全極力少
くする必要上細いワイヤが使用され、従ってワイヤ自体
が張力で断線するおそれがあるため、ワイヤ張力を大と
することができない等の問題がある。更に溝ローラｚｂ
、ｗｅ間のワイヤ列ｊλの長さは、少くとも被切断部材
Ｗの往復移行する距離より大とする必要がある。
くする必要上細いワイヤが使用され、従ってワイヤ自体
が張力で断線するおそれがあるため、ワイヤ張力を大と
することができない等の問題がある。更に溝ローラｚｂ
、ｗｅ間のワイヤ列ｊλの長さは、少くとも被切断部材
Ｗの往復移行する距離より大とする必要がある。
このワイヤ列３友の長さが大であることは、被切断部材
Ｗに対し充分な加圧力が得られず、かつ切断時、特に切
断当初においてワイヤ８は振動し、被切断部材Ｗに対す
る切断ピッチ即ち切断により形成されるウェハーの幅に
斑音生じ、かつ切断代がワイヤ幅より大となり、特に切
断面の左右において、いわゆる「だれ」音生ずるおそれ
がある。
Ｗに対し充分な加圧力が得られず、かつ切断時、特に切
断当初においてワイヤ８は振動し、被切断部材Ｗに対す
る切断ピッチ即ち切断により形成されるウェハーの幅に
斑音生じ、かつ切断代がワイヤ幅より大となり、特に切
断面の左右において、いわゆる「だれ」音生ずるおそれ
がある。
本発明はかかる点に鑑み、ワイヤの振動全防止し、かつ
被切断部材Ｗの切り込みに対しワイヤを効果的に支持し
、正確な厚さのウェハー全形成するワイヤ式多条の断Ｌ
ｔ＋提供することを目的とする。
被切断部材Ｗの切り込みに対しワイヤを効果的に支持し
、正確な厚さのウェハー全形成するワイヤ式多条の断Ｌ
ｔ＋提供することを目的とする。
問題点の解決手段
本発明は、複数個の溝ローラ間にワイヤを多数回巻回し
てワイヤ列？形成し、このワイヤ列により被切断部材を
切断して所要厚さのウェハー全形成するワイヤ式多条切
断装置であって。
てワイヤ列？形成し、このワイヤ列により被切断部材を
切断して所要厚さのウェハー全形成するワイヤ式多条切
断装置であって。
被切断部材は上昇手段によりワイヤ列に直角に徐々に上
昇せしめると共に、ワイヤ列を挾んで被切断部材と反対
側には、該ワイヤ列を支持する対全なすガイドローラを
所定間隔を存して配＃Ｌ″″ｍ、４″″″Ｆ′“、＝ｔ
ａｂｏ”ｒｓ、ｓ・ ！。
昇せしめると共に、ワイヤ列を挾んで被切断部材と反対
側には、該ワイヤ列を支持する対全なすガイドローラを
所定間隔を存して配＃Ｌ″″ｍ、４″″″Ｆ′“、＝ｔ
ａｂｏ”ｒｓ、ｓ・ ！。
実施例
第１図は本発明に係るワイヤ式多条切断装置の要部の正
面図である。このワイヤ式多条切断装ｑ ｔ ｏのフレ
ーム１１のｍ個ｌごは供給リールｔｚｆｔ、他側には巻
取リール１８をそれぞれ取付け、中央には被切断部材Ｗ
ｔ−支持する取付部材１４並びに被切断部材Ｗに対向し
てワイヤ１５全張設するワイヤ張設機構ｔｇｔ″備える
。
面図である。このワイヤ式多条切断装ｑ ｔ ｏのフレ
ーム１１のｍ個ｌごは供給リールｔｚｆｔ、他側には巻
取リール１８をそれぞれ取付け、中央には被切断部材Ｗ
ｔ−支持する取付部材１４並びに被切断部材Ｗに対向し
てワイヤ１５全張設するワイヤ張設機構ｔｇｔ″備える
。
取付部材１４は第２図に示す如く被切断部材Ｗを支持す
る取付台２ｏと、この取付台２０ｆ昇降する昇降手段２
１ｆ備え、取付台２０は両側に角柱２２ｉ備え、この角
柱は内側フレーム１１ ａｌζ取付けられるガイド部２
６のスライド溝に嵌合する嵌合部を備えている。
る取付台２ｏと、この取付台２０ｆ昇降する昇降手段２
１ｆ備え、取付台２０は両側に角柱２２ｉ備え、この角
柱は内側フレーム１１ ａｌζ取付けられるガイド部２
６のスライド溝に嵌合する嵌合部を備えている。
昇降手段２１は、昇降枠２６と駆動モータ２９及び歯車
機構８０並びにロードセル等の荷重検知器８１と全備え
、昇降枠２６は上記取付台２０に螺合するねじ部２７と
、歯車機構８０の一方の歯車に嵌挿されるスプライン部
２８とよりなり、下端は荷重検知器８１に取付けられる
。
機構８０並びにロードセル等の荷重検知器８１と全備え
、昇降枠２６は上記取付台２０に螺合するねじ部２７と
、歯車機構８０の一方の歯車に嵌挿されるスプライン部
２８とよりなり、下端は荷重検知器８１に取付けられる
。
歯車機構゛８０は対全なす傘歯車により構成され、一方
の傘歯車は駆動モータ２９に接続される減速磯８２の出
力軸に取付けられ、他方の傘歯車は上記スプライン部２
ｓに嵌合し、かつ支持ベアリング８８により同効自在に
支持されている。従って駆動モータ２９の回動により歯
車機構ｇｏ’２介して昇降枠２６は回動され、取付台２
０を上昇せしめると共に、その反力は荷重検知器Ｉｌｌ
に加えられ、荷重検知器８１は４Ｌの断部材Ｗが後述す
る如くワイヤ１６に当接すること痴どより発生する反力
？荷重として検知し、その荷重が所定値となるように駆
動モータ２９の回動即ち取付台２０の上昇速度全規制す
る。
の傘歯車は駆動モータ２９に接続される減速磯８２の出
力軸に取付けられ、他方の傘歯車は上記スプライン部２
ｓに嵌合し、かつ支持ベアリング８８により同効自在に
支持されている。従って駆動モータ２９の回動により歯
車機構ｇｏ’２介して昇降枠２６は回動され、取付台２
０を上昇せしめると共に、その反力は荷重検知器Ｉｌｌ
に加えられ、荷重検知器８１は４Ｌの断部材Ｗが後述す
る如くワイヤ１６に当接すること痴どより発生する反力
？荷重として検知し、その荷重が所定値となるように駆
動モータ２９の回動即ち取付台２０の上昇速度全規制す
る。
８６は取付台２０の上昇位置検出器であり、例えば商品
名リニアスケール等その位置に応じた電気信号奮発する
検出器が用いられ、被切断部材Ｗの上昇位置に応じ、上
記荷重検出器８１と協同して被切断部材Ｗに加えられる
切削荷重全規制するようにしたものである。これは切削
当初は切削長は短かく、被切断部材Ｗの中央部Ｃどおい
て切削長は最大となり、終端に近ずくに従い切削長は短
かくなる。従って上記上昇位置検出器１１５の出力と荷
重検知器８１の出力とから、切削長単位長さ当りの荷重
を一定とすることにより能率よく切断を行うことができ
る。
名リニアスケール等その位置に応じた電気信号奮発する
検出器が用いられ、被切断部材Ｗの上昇位置に応じ、上
記荷重検出器８１と協同して被切断部材Ｗに加えられる
切削荷重全規制するようにしたものである。これは切削
当初は切削長は短かく、被切断部材Ｗの中央部Ｃどおい
て切削長は最大となり、終端に近ずくに従い切削長は短
かくなる。従って上記上昇位置検出器１１５の出力と荷
重検知器８１の出力とから、切削長単位長さ当りの荷重
を一定とすることにより能率よく切断を行うことができ
る。
尚８６は取付台２０にワイヤ８７を介して取付けられる
バランスウェイトである。
バランスウェイトである。
上記ワイヤ張設機構１６は、第８図に示す如く複数個例
えば４個の溝ローラ４ｏｚ、＜ｏｂ。
えば４個の溝ローラ４ｏｚ、＜ｏｂ。
＜ｏｃ、ａｏｄｆ上下左右にそれぞれ平行にフレーム１
１の外枠１１ｂの前面に回動自在に支持せしめ、そのう
ちの１個の溝ローラ４０ａｌごは溝ローラ駆動モータ４
２全ベルト４ａを介して連繋せしめる。（第１図参照）
これらの溝ローラ４Ｑａ、４０ｂ、４０Ｃ，４０ｄには
それぞれ多数の溝４ｔａ、４ｔｈ、ａｔｃ、４ｔｄが所
定間隔毎に刻設されて怠り、１本のワイヤ１６を各溝４
１友、＜ｘｂ・・・に順次巻回し。
１の外枠１１ｂの前面に回動自在に支持せしめ、そのう
ちの１個の溝ローラ４０ａｌごは溝ローラ駆動モータ４
２全ベルト４ａを介して連繋せしめる。（第１図参照）
これらの溝ローラ４Ｑａ、４０ｂ、４０Ｃ，４０ｄには
それぞれ多数の溝４ｔａ、４ｔｈ、ａｔｃ、４ｔｄが所
定間隔毎に刻設されて怠り、１本のワイヤ１６を各溝４
１友、＜ｘｂ・・・に順次巻回し。
被の断部材Ｗに対し所定間隔の多数平行したワイヤ列４
５全形成する。
５全形成する。
このワイヤ列４６に常に所要張力を付与すべく張設機構
１６のワイヤ供給側及び必要により排出側にもそれぞれ
張力付与手段ｓｏａ、ｓｏｂが設けられる。この張力付
与手段５０ａ、１ｓＯｂはキャプスタン５１１．５１ｂ
とダンサロールｆｉ２ｍ、５２ｂ全備える。キャプスタ
ン５１ａ。
１６のワイヤ供給側及び必要により排出側にもそれぞれ
張力付与手段ｓｏａ、ｓｏｂが設けられる。この張力付
与手段５０ａ、１ｓＯｂはキャプスタン５１１．５１ｂ
とダンサロールｆｉ２ｍ、５２ｂ全備える。キャプスタ
ン５１ａ。
ｉｘｂにはそれぞれ駆動モータｇａａ、ｓ８ｂが連結さ
れ、それぞれ主ロールｓ４＠、ｓｔｂと副ロールｒ；ｓ
ａ、ｓｓｂとの間にワイヤ１５全数回巻きっけ、これに
より前後のワイヤ張力全確実に区分する。
れ、それぞれ主ロールｓ４＠、ｓｔｂと副ロールｒ；ｓ
ａ、ｓｓｂとの間にワイヤ１５全数回巻きっけ、これに
より前後のワイヤ張力全確実に区分する。
ダンサロールｓｚａ、ｓｚｂはそれぞれレバーｒ；ｇａ
、ｉｇｂの適所に取付けられ、レバー５６λ、６６ｂに
は荷重６７λ、５７ｂが調節可能５ζ設けられ、かつ適
所にダンサロール５ハ。
、ｉｇｂの適所に取付けられ、レバー５６λ、６６ｂに
は荷重６７λ、５７ｂが調節可能５ζ設けられ、かつ適
所にダンサロール５ハ。
Ｋ２ｂの昇降位置検出器５８１．５１１ｂが設けられて
いる。
いる。
これ１とより上記ダンサロール６２λに加エラれる荷重
は、張設機構ＳＳに張設されるワイヤ１４５１ど対し切
断作業に適当な高張力を付与する １と共に、溝
ローラ４１λの回転による牽引と、キャプスタン５１１
からの送り出しの相関関係によりダンサロール６２３は
昇降し、昇降位置検出器６８２はこれを検知し、常にダ
ンサロール５２ａｉ定位置に保持するようキャプスタン
５１１の駆動モータｉｓａの回転数全制御する。
は、張設機構ＳＳに張設されるワイヤ１４５１ど対し切
断作業に適当な高張力を付与する １と共に、溝
ローラ４１λの回転による牽引と、キャプスタン５１１
からの送り出しの相関関係によりダンサロール６２３は
昇降し、昇降位置検出器６８２はこれを検知し、常にダ
ンサロール５２ａｉ定位置に保持するようキャプスタン
５１１の駆動モータｉｓａの回転数全制御する。
他方の張力付与手段５０ｂにおいても同様に常にダンサ
ロール６ｚｂを定位置に保持するよう番こ、張設機構１
６からの繰出し量に応じキャプスタンｓ１ｂの回転数？
規制せしめる。
ロール６ｚｂを定位置に保持するよう番こ、張設機構１
６からの繰出し量に応じキャプスタンｓ１ｂの回転数？
規制せしめる。
ただし張力付与手段ｓｏｂは、むしろワイヤ１５が巻取
り−ル１８に巻き取られ、ついでワイヤ１６全逆方向に
走行し切断作業を行う場合に。
り−ル１８に巻き取られ、ついでワイヤ１６全逆方向に
走行し切断作業を行う場合に。
張設機構１６の入口側にあって上述の張力付与手段ＳＯ
ａと同様に張設機構１６のワイヤ１５に対し所要張力全
付与するものである。
ａと同様に張設機構１６のワイヤ１５に対し所要張力全
付与するものである。
尚図面では省略したが供給１１−ル１２とキャプスタン
５１ａとの間及び巻取り−ル１８とキャプスタン５ｘｂ
との間にも適当な張力付与手段が設けられる。これは上
述と同様のダンサロールを利用し、供給リール１２の駆
動モータ１２Ｍ。
５１ａとの間及び巻取り−ル１８とキャプスタン５ｘｂ
との間にも適当な張力付与手段が設けられる。これは上
述と同様のダンサロールを利用し、供給リール１２の駆
動モータ１２Ｍ。
巻取リール１８の駆動モータ１８Ｍの回転数を制御する
ようにしてもよい。
ようにしてもよい。
上記張設機構１６１とは、ワイヤ列４５ｔ−被切断部材
Ｗに押しつけるための対上なすガイドロー−ｙｇｏ 、
６１ｔ＝備える。このガイドローラ６０゜６１は被切断
部材Ｗに近接して配備され、被切断部材Ｗ、の上昇に伴
ない徐々に左右に移行し、常に被切断部材Ｗとは等距離
全維持すべく駆動手段６２に連繋される。
Ｗに押しつけるための対上なすガイドロー−ｙｇｏ 、
６１ｔ＝備える。このガイドローラ６０゜６１は被切断
部材Ｗに近接して配備され、被切断部材Ｗ、の上昇に伴
ない徐々に左右に移行し、常に被切断部材Ｗとは等距離
全維持すべく駆動手段６２に連繋される。
この駆動手段６２はフレーム１１に水平に取付けられる
案内部材ｓｇａ、６８ｂに摺動可能に嵌合される支持ア
ームｇａ＠、ｓ４ｂを備え、この支持アーム＋ｓａａ、
６４ｂは先端に上記ガイドローラｇｏ、６１が取付けら
れると共に、共通の駆動モータ６６により同期して回動
される螺子軸６６！、６６ｂにそれぞれ螺合されている
。上記駆動モータ６５は前述の被切断部材Ｗの取付台２
０に対する上昇位置検出器８５よりの作動信号により駆
動される。
案内部材ｓｇａ、６８ｂに摺動可能に嵌合される支持ア
ームｇａ＠、ｓ４ｂを備え、この支持アーム＋ｓａａ、
６４ｂは先端に上記ガイドローラｇｏ、６１が取付けら
れると共に、共通の駆動モータ６６により同期して回動
される螺子軸６６！、６６ｂにそれぞれ螺合されている
。上記駆動モータ６５は前述の被切断部材Ｗの取付台２
０に対する上昇位置検出器８５よりの作動信号により駆
動される。
図中、７０はカーボランダム等の砥粒全混合した切削液
注水用パイプ、７１．？２は蛇腹全示し、この蛇腹７１
．７２は取付台２０の上下とフレーム外枠１１ｂに形成
される窓孔７８の上下端１聞にそれぞれ収付けられ、切
削液等がフレーム内部に侵入するのを防止する。また７
４７６は供給リール１２及び巻取リール１８にそれぞれ
対没され、送り込まれるワイヤ１５全リールに対しボビ
ン状に巻きつけるトラバース機構である。ただし、供給
リール１２からのワイヤ１５の繰出し時には、ワイヤ１
５はトラバース機構７４から外される。
注水用パイプ、７１．？２は蛇腹全示し、この蛇腹７１
．７２は取付台２０の上下とフレーム外枠１１ｂに形成
される窓孔７８の上下端１聞にそれぞれ収付けられ、切
削液等がフレーム内部に侵入するのを防止する。また７
４７６は供給リール１２及び巻取リール１８にそれぞれ
対没され、送り込まれるワイヤ１５全リールに対しボビ
ン状に巻きつけるトラバース機構である。ただし、供給
リール１２からのワイヤ１５の繰出し時には、ワイヤ１
５はトラバース機構７４から外される。
作用
本発明の実施例は以上の構成からなり、切断部＠１０は
張設機構１６の溝ローラ４０λの回転全基準とし、その
他のキャプスタン５１λ。
張設機構１６の溝ローラ４０λの回転全基準とし、その
他のキャプスタン５１λ。
Ｒｘｂの駆動モータｓａａ、ｓａｂ及び供給リール駆動
モータ１ｚＭ並びに巻取リール駆動モータ１ｇＭは関連
駆動され、ワイヤ１６は供給リール１２から繰出され、
所要張力全付与されて張設機構１６に供給され、次いで
巻取リール１１１１こ巻取られる。
モータ１ｚＭ並びに巻取リール駆動モータ１ｇＭは関連
駆動され、ワイヤ１６は供給リール１２から繰出され、
所要張力全付与されて張設機構１６に供給され、次いで
巻取リール１１１１こ巻取られる。
被切断部材ｗ’２支持する取付台２０は昇降手段２１の
作動により徐々番ご上昇され、被切断６部材Ｗはワイヤ
列４６に押し当てられる。このワイヤ列は対をなすガイ
ドローラｇｏ、ｓｔに！−り支持されている。従って溝
ローラ４ｏｂ 。
作動により徐々番ご上昇され、被切断６部材Ｗはワイヤ
列４６に押し当てられる。このワイヤ列は対をなすガイ
ドローラｇｏ、ｓｔに！−り支持されている。従って溝
ローラ４ｏｂ 。
４ｏｃｌｉには相当の間隔があり、かつワイヤ１５が高
速度で移行してもワイヤ列は振動することがなく正確番
ごワイヤ相互間隔が保持されて波切断部材Ｗに押し当て
られる。このガイドローラｇＯ０Ｉ１１は切断が進むに
従い、即ち被切断部材Ｗが徐々に上昇されるに従い、駆
動モータ６５の作動により被切断部材Ｗの外周に沿い、
かつ僅少の間隙全存して左右方向に移動される。このガ
イドローラ６０．６１と波切断部材Ｗとの相対関係を第
４図に示す。但し図は説明を簡単にするため波１７１所
部材Ｗを固定し、ガイドローラｇＯ，ｌｉｌを下降せし
めた状態として示す。
速度で移行してもワイヤ列は振動することがなく正確番
ごワイヤ相互間隔が保持されて波切断部材Ｗに押し当て
られる。このガイドローラｇＯ０Ｉ１１は切断が進むに
従い、即ち被切断部材Ｗが徐々に上昇されるに従い、駆
動モータ６５の作動により被切断部材Ｗの外周に沿い、
かつ僅少の間隙全存して左右方向に移動される。このガ
イドローラ６０．６１と波切断部材Ｗとの相対関係を第
４図に示す。但し図は説明を簡単にするため波１７１所
部材Ｗを固定し、ガイドローラｇＯ，ｌｉｌを下降せし
めた状態として示す。
即ち切断当初に詔いては、ガイドローラ６ｏ、 ！
・。
・。
６１は実線で示す位置にあってワイヤ列４５ｔ−維持し
、被切断部材ｗＢ上昇し、切断が進むに従い６０ａ＋ｇ
ｌａ：６Ｇ＋）、６１ｂ：６０Ｃ。
、被切断部材ｗＢ上昇し、切断が進むに従い６０ａ＋ｇ
ｌａ：６Ｇ＋）、６１ｂ：６０Ｃ。
６１Ｃと両ガイドローラ間隔は順次拡開され、被切断部
材Ｗの中心全過ぎた後は再び間隔は縮神小されて６０ｄ
、６１ｄの位置に至る。図中、Ｄは波切断部材Ｗに取付
けられたダミーである。
材Ｗの中心全過ぎた後は再び間隔は縮神小されて６０ｄ
、６１ｄの位置に至る。図中、Ｄは波切断部材Ｗに取付
けられたダミーである。
尚、上記第４図はガイドローラ６０．６１全披切断部−
謔番対し同心円状に移動させる例全示したが、夜切断部
材Ｗの外周とガイドローラ６０゜６１間の長さを予め定
められた軌跡、上？移動させるようにしてもよい。
謔番対し同心円状に移動させる例全示したが、夜切断部
材Ｗの外周とガイドローラ６０゜６１間の長さを予め定
められた軌跡、上？移動させるようにしてもよい。
実施例２
第６図及び第６図は、本発明の他の実施例全示ｔ０
二
被切断部材に対する切断に際し最も重要な為とハ、最初
の切り目全正しくつけることであり、その後はワイヤは
切り込みに支持され振動が防止される。
の切り目全正しくつけることであり、その後はワイヤは
切り込みに支持され振動が防止される。
本実施例は上記切り々ｔつけるときガイドローラにより
ワイヤ列全支持して振動？防止し、所要深さに切込まれ
た後はガイドローラを退避するようにしたものである。
ワイヤ列全支持して振動？防止し、所要深さに切込まれ
た後はガイドローラを退避するようにしたものである。
即ち本実施例の多条切断装置８８ａは、左右対をなし先
端にそれぞれがイドローラ８ｔａ、ｇｔｂを取付けた回
動アーム８２＠、８２ｂと、それぞれの回動アーム基端
に取付けられる駆動軸ｓｓａ、５ｓｂ）回動するロータ
リアクチュエータ等の駆動手段８４ａ、８＋ｂｉ備える
。
端にそれぞれがイドローラ８ｔａ、ｇｔｂを取付けた回
動アーム８２＠、８２ｂと、それぞれの回動アーム基端
に取付けられる駆動軸ｓｓａ、５ｓｂ）回動するロータ
リアクチュエータ等の駆動手段８４ａ、８＋ｂｉ備える
。
８Ｆｉａ、８５ｂはガイドローラｓｔａ、ｓ ｌｂ？定
位置に停止させるためのストッパ、８６ａ。
位置に停止させるためのストッパ、８６ａ。
ｇｇｂはそれぞれ回動アー春１１２１．８２ｂに取付け
られる間隔保持板、８７１．８７ｂは駆動軸８Ｂ＆、８
Ｂｂｆ支持するペア＋１ングであり、ガイドローラ８１
ａ、８１ｂはワイヤ張設機構９ｏに巻回されるワイヤ列
９１の全幅？押圧する長さを有し、回動アーム８２＠、
８２ｂの前後の板１■に支持されている。
られる間隔保持板、８７１．８７ｂは駆動軸８Ｂ＆、８
Ｂｂｆ支持するペア＋１ングであり、ガイドローラ８１
ａ、８１ｂはワイヤ張設機構９ｏに巻回されるワイヤ列
９１の全幅？押圧する長さを有し、回動アーム８２＠、
８２ｂの前後の板１■に支持されている。
作用
波切断部材Ｗの切断に際しては、回動アームｓｚａ、ｓ
ｚｂはストッパｓ５ａ１ｇ５ｂに当接し、ガイドローラ
８１＠、８１ｂは張設機構９０の下部ワイヤ列９１ａに
所要間隔全存して当接される。この間隔は被の断部材Ｗ
の外径に応じ適宜選択され、被切断部材Ｗの押し上げに
対し下郎ワイヤ列９１１全支持する。
ｚｂはストッパｓ５ａ１ｇ５ｂに当接し、ガイドローラ
８１＠、８１ｂは張設機構９０の下部ワイヤ列９１ａに
所要間隔全存して当接される。この間隔は被の断部材Ｗ
の外径に応じ適宜選択され、被切断部材Ｗの押し上げに
対し下郎ワイヤ列９１１全支持する。
所要深さの切込み（例えば第４図１ご右いて６０ａ−６
１２１に示す線）が行なわれ、被切断部材Ｗが第６図鎖
線に示す位置に上昇したとき、ガイドローラはそれぞれ
駆動軸８ｇａ、８ｓｂ全中心として外方に回動され％鎖
線にて示す位置に退避される。
１２１に示す線）が行なわれ、被切断部材Ｗが第６図鎖
線に示す位置に上昇したとき、ガイドローラはそれぞれ
駆動軸８ｇａ、８ｓｂ全中心として外方に回動され％鎖
線にて示す位置に退避される。
効果
本発明によればワイヤ列は対をなすガイドローラにより
被切断部材に押圧され、しかもガイドローラは被切断部
材に近接配備したから、ワイヤが高速走行し、かつワイ
ヤ列を張設支持する溝ローラ間の間隔が広くても被切断
品材対向品でｊｉワイヤは振動を生ずることがない。従
ってワイヤの張力は比較的小とすることができ、該張力
によるワイヤの切断全防止することができる。またワイ
ヤ列のワイヤ相互の間隔は常に正確に保持され、かつワ
イヤが振動しないから。
被切断部材に押圧され、しかもガイドローラは被切断部
材に近接配備したから、ワイヤが高速走行し、かつワイ
ヤ列を張設支持する溝ローラ間の間隔が広くても被切断
品材対向品でｊｉワイヤは振動を生ずることがない。従
ってワイヤの張力は比較的小とすることができ、該張力
によるワイヤの切断全防止することができる。またワイ
ヤ列のワイヤ相互の間隔は常に正確に保持され、かつワ
イヤが振動しないから。
形成されるウェハーの厚さは均一であり、切断代が少く
て済み、かつ切断面両端にいわゆる「だれ」を生ずるお
それがない等の効果を有する。
て済み、かつ切断面両端にいわゆる「だれ」を生ずるお
それがない等の効果を有する。
なお上記実施例では切断時被切断物を徐々に上昇せしめ
たが、ワイヤーを降下させるようにしても）あるいはワ
イヤーを降下させ被切断物な上昇させるのを同時に行な
ってもよい。
たが、ワイヤーを降下させるようにしても）あるいはワ
イヤーを降下させ被切断物な上昇させるのを同時に行な
ってもよい。
Ｍ１図乃至Ｍ４図は実Ｄ１例１に閃し、第１図は全体正
面図、第２図は第１囚におけるＸ−Ｘ線に沿う縦断面図
、第３図はワイヤ張設機構の斜視図１第４図はガイドロ
ーラの作動要領説明図、第５図及び第６図は実施例２に
関し、第５図は要部の正面図、第６図はその右側面η、
第７図は従来のワイヤ張設機構の斜視図である。 １０．８０はワイヤ式多条切断装置、１５はワイヤ、２
１は被切断部材昇降手段、４０ａ、 ４０ｂ、 ４０ｃ
、 ４０（１は溝ローラ、４５．９１はワイヤ列、６
０．６１．８１＆。 ８１ｂはガイドローラ、６２ 、８４ａ、 ８４ ｂ
＆′ｉ駆動手段である。
面図、第２図は第１囚におけるＸ−Ｘ線に沿う縦断面図
、第３図はワイヤ張設機構の斜視図１第４図はガイドロ
ーラの作動要領説明図、第５図及び第６図は実施例２に
関し、第５図は要部の正面図、第６図はその右側面η、
第７図は従来のワイヤ張設機構の斜視図である。 １０．８０はワイヤ式多条切断装置、１５はワイヤ、２
１は被切断部材昇降手段、４０ａ、 ４０ｂ、 ４０ｃ
、 ４０（１は溝ローラ、４５．９１はワイヤ列、６
０．６１．８１＆。 ８１ｂはガイドローラ、６２ 、８４ａ、 ８４ ｂ
＆′ｉ駆動手段である。
Claims (3)
- （１）複数個の溝ローラ間にワイヤを多数回巻回してワ
イヤ列を形成し、このワイヤ列により被切断部材を切断
して所要厚さのウェハーを形成するワイヤ式多条切断装
置であって、被切断部材はワイヤ列を挾んで被切断部材
と反対側には、該ワイヤ列を支持する対をなすガイドロ
ーラを所定間隔を存して配備したことを特徴とするワイ
ヤ式多条切断装置。 - （２）ガイドローラは、被切断部材の移行に伴ない被切
断部材の外周に沿い、かつ所要間隔を存して移行される
駆動手段を備えている特許請求の範囲第１項記載のワイ
ヤ式多条切断装置。 - （３）対をなすガイドローラは、被切断部材の形状寸法
に応じ所定間隔に維持され、被切断部材が所定寸法切り
込まれた後、ワイヤ列から退避される駆動手段を備えて
いる特許請求の範囲第１項記載のワイヤ式多条切断装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59221878A JPH0683953B2 (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | ワイヤ式多条切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59221878A JPH0683953B2 (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | ワイヤ式多条切断装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61100366A true JPS61100366A (ja) | 1986-05-19 |
| JPH0683953B2 JPH0683953B2 (ja) | 1994-10-26 |
Family
ID=16773595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59221878A Expired - Fee Related JPH0683953B2 (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | ワイヤ式多条切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0683953B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01177958A (ja) * | 1988-01-08 | 1989-07-14 | Nippei Toyama Corp | ワイヤーソー装置 |
| WO1989010825A1 (fr) * | 1988-05-09 | 1989-11-16 | Charles Hauser | Dispositif pour l'amelioration du sciage d'une piece en tranches fines |
| JPH04122566A (ja) * | 1989-12-22 | 1992-04-23 | Wacker Chemitronic Ges Elektron Grundstoffe Mbh | バーまたはブロック状加工材からのウェファー切断用ワイヤーソー |
| EP0534117A2 (de) * | 1991-09-16 | 1993-03-31 | Hans Lingl Anlagenbau und Verfahrenstechnik GmbH & Co. KG | Schneidedrahtführung für Abschneider |
| WO2001091981A1 (en) * | 2000-05-31 | 2001-12-06 | Memc Electronic Materials, S.P.A. | Wire saw and process for slicing multiple semiconductor ingots |
| ITTV20140029A1 (ja) * | 2014-02-24 | 2015-08-25 | ||
| CN111730773A (zh) * | 2020-05-28 | 2020-10-02 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种多线切割装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5015099A (ja) * | 1973-06-15 | 1975-02-17 |
-
1984
- 1984-10-22 JP JP59221878A patent/JPH0683953B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5015099A (ja) * | 1973-06-15 | 1975-02-17 |
Cited By (14)
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| JPH01177958A (ja) * | 1988-01-08 | 1989-07-14 | Nippei Toyama Corp | ワイヤーソー装置 |
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| US6941940B1 (en) | 2000-05-31 | 2005-09-13 | Memc Electronic Materials, S.P.A. | Wire saw and process for slicing multiple semiconductor ingots |
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| ITTV20140029A1 (ja) * | 2014-02-24 | 2015-08-25 | ||
| WO2015125122A3 (en) * | 2014-02-24 | 2015-12-03 | Dario Toncelli | Multi-wire frame for cutting blocks of stone material in slabs |
| CN106061699A (zh) * | 2014-02-24 | 2016-10-26 | 达里奥·通切利 | 用于将石质材料块切割成平板的多线框架 |
| EP4046734A1 (en) * | 2014-02-24 | 2022-08-24 | Dario Toncelli | Multi-wire frame for cutting blocks of stone material in slabs |
| CN111730773A (zh) * | 2020-05-28 | 2020-10-02 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种多线切割装置 |
| CN111730773B (zh) * | 2020-05-28 | 2022-04-08 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 一种多线切割装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0683953B2 (ja) | 1994-10-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |