CN111730773B - 一种多线切割装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种多线切割装置，包括加工台、切割线、主动线槽轴、从动线槽轴和调节机构，其中，加工台设置于切割线上方，加工台沿竖直方向移动时，通过切割线对其上装载的工件进行线切割；切割线缠绕在主动线槽轴与从动线槽轴之间，形成上切割线网和下切割线网；调节机构包括控制单元和连接至控制单元的两个伸缩单元；两个伸缩单元均设置在上切割线网下方，且分别靠近主动线槽轴一侧或从动线槽轴一侧；控制单元用于在对工件进行线切割时，控制主动线槽轴一侧或从动线槽轴一侧的伸缩单元将上切割线网顶起一设定高度。该装置能够通过可伸缩的调节机构支撑所述上切割线网，控制切割线振幅，提高切割获得的硅片质量。

Description

一种多线切割装置

技术领域

本发明涉及线切割技术领域，更具体地，涉及一种多线切割装置。

背景技术

晶棒加工主要采用多线切割和内圆切割两种方法。相比于内圆切割方法，多线切割方法切割效果高、出片率高，应用更加广泛。晶棒的多线切割机理是：将待切割的晶棒固定在能够上下移动的加工台上，当加工台逐渐下降时，固定在加工台上的晶棒被下方高速运动的切割线分离，以将晶棒切割成若干个所需尺寸的硅片。

在多线切割过程中，加工台缓慢下降，硅棒与切割线接触进行切割，切割线以很高的速度进行往复运动。由于机械运动的原因，在切割过程中，位于硅棒与线槽轴之间的切割线会发生振动。并且，由于晶棒不断向下运动，硅棒与线槽轴之间切割线的长度，即，切割线离开线槽轴的点与切割线接触晶棒边缘的点之间的长度会发生变化，具体为先变短后变长，而切割线的振动幅度与硅棒和线槽轴之间的切割线长度有关，切割线长度越大，振动幅度则越大。由于在硅棒的整个切割过程中硅棒与线槽轴之间的切割线长度不断发生变化，导致整个过程切割线存在不同幅度的振动，影响切割后的硅片质量。

发明内容

为了解决现有技术中存在的上述问题，本发明提供了一种多线切割装置。本发明要解决的技术问题通过以下技术方案实现：

本发明提供了一种多线切割装置，包括加工台、切割线、主动线槽轴、从动线槽轴和调节机构，其中，

所述加工台设置于所述切割线上方，所述加工台能够沿竖直方向移动，使得通过所述切割线对其上装载的工件进行线切割；

所述切割线缠绕在所述主动线槽轴与所述从动线槽轴之间，形成上切割线网和下切割线网；

所述调节机构包括控制单元和连接至所述控制单元的两个伸缩单元；

两个所述伸缩单元均设置在所述上切割线网下方，且分别靠近所述主动线槽轴一侧和所述从动线槽轴一侧；

所述控制单元用于在对所述工件进行线切割时，控制所述主动线槽轴一侧或所述从动线槽轴一侧的伸缩单元将所述上切割线网顶起一设定高度。

在本发明的一个实施例中，所述控制单元具体用于当所述切割线从所述主动线槽轴一侧向所述从动线槽轴一侧加速或匀速运动时，控制靠近所述主动线槽轴一侧的伸缩单元顶起所述上切割线网；或者，

当所述切割线从所述从动线槽轴一侧向所述主动线槽轴一侧加速或匀速运动时，控制靠近所述从动线槽轴一侧的伸缩单元顶起所述上切割线网。

在本发明的一个实施例中，所述控制单元具体用于当所述切割线从所述主动线槽轴一侧向所述从动线槽轴一侧减速运动时，控制靠近所述主动线槽轴一侧的伸缩单元从顶起所述上切割线网的位置处缩回；或者，

当所述切割线从所述从动线槽轴一侧向所述主动线槽轴一侧减速运动时，控制靠近所述从动线槽轴一侧的伸缩单元从顶起所述上切割线网的位置处缩回。

在本发明的一个实施例中，所述控制单元还用于当所述上切割线网切割所述工件的中间位置时，控制所述主动线槽轴一侧和所述从动线槽轴一侧的伸缩单元均处于缩回位置。

在本发明的一个实施例中，当所述上切割线网被顶起时，顶起长度较短一侧的上切割线网与所述下切割线网的夹角为3-4°；顶起长度较长一侧的上切割线网与所述下切割线网的夹角为1-3°。

在本发明的一个实施例中，所述伸缩单元包括依次连接的带槽导轮、伸缩杆组件和电机，其中，

所述伸缩杆组件固定在带槽导轮的下方；

所述电机连接所述控制单元，用于根据所述控制单元发送的控制信号驱动所述伸缩杆组件伸长或缩短，以调节所述带槽导轮顶起所述上切割线网的高度。

在本发明的一个实施例中，所述带槽导轮向上伸长的最大高度为80-120mm。

在本发明的一个实施例中，所述带槽导轮的外周平行设置有多个凹槽，当所述带槽导轮向上伸长时，所述上切割线网中不同位置的切割线分别伸入到对应位置的所述凹槽中。

在本发明的一个实施例中，所述伸缩杆组件包括丝杆、涡轮和蜗杆，所述蜗杆的一端连接至所述电机的旋转轴，另一端与所述涡轮啮合；所述丝杆与所述涡轮同轴啮合，以将所述电机的旋转运动转换为所述丝杆的垂直运动。

在本发明的一个实施例中，所述伸缩单元还包括导轮套筒，其中，

所述带槽导轮以可转动的方式设置在所述导轮套筒内部，且所述伸缩杆组件固定在所述导轮套筒上。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

1、本发明的多线切割装置通过可伸缩的调节机构，能够顶起上切割线网，将切割线的振动幅度控制在一定的范围内，从而提高切割出来的硅片的品质。

2、本发明的多线切割装置包括控制单元，能够根据加工台的移动距离和移动速度以及主动线槽轴的转动方向和转动速度，智能控制切割过程中调节机构中两个伸缩单元的伸长和缩回，从而提高了线切割的智能化和效率。

以下将结合附图及实施例对本发明做进一步详细说明。

附图说明

图1是本发明实施例提供的一种多线切割装置的主视图；

图2是本发明实施例提供的一种多线切割装置的侧视图；

图3是本发明实施例提供一种主动线槽轴往复运动过程的曲线示意图；

图4是本发明实施例提供一种待切割的单晶硅棒的截面示意图，其中显示了不同部分的尺寸。

图5是本发明实施例提供的一种伸缩单元的结构示意图；

图6是图5中A区域的放大视图；

图7a至图7c是主动线槽轴沿顺时针旋转且单晶硅棒在不同高度时，本发明实施例的调节机构的位置示意图；

图8a至图8b是主动线槽轴沿逆时针旋转且单晶硅棒在不同高度时，本发明实施例的调节机构的位置示意图。

附图标记说明如下：

1-加工台；11-工件装载件；2-切割线；3-主动线槽轴；4-从动线槽轴；5-调节机构；51-控制单元；52-伸缩单元；521-带槽导轮；5211-凹槽；522-伸缩杆组件；5221-丝杆；5222-涡轮；5223-蜗杆；523-电机；524-导轮套筒；6-工件。

具体实施方式

为了使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。有关本发明的前述及其他技术内容、特点及功效，在以下配合附图的具体实施方式详细说明中即可清楚地呈现。通过具体实施方式的说明，可对本发明为达成预定目的所采取的技术手段及功效进行更加深入且具体地了解，然而所附附图仅是提供参考与说明之用，并非用来对本发明的技术方案加以限制。

应当说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的物品或者设备中还存在另外的相同要素。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。

请参见图1和图2，图1是本发明实施例提供的一种多线切割装置的主视图，图2是本发明实施例提供的一种多线切割装置的侧视图。该多线切割装置包括加工台1、切割线2、主动线槽轴3和从动线槽轴4，其中，加工台1设置于切割线2上方，加工台1能够沿竖直方向移动，使得通过切割线2对其上装载的工件6进行线切割；切割线2缠绕在主动线槽轴3与从动线槽轴4之间，形成上切割线网和下切割线网。主动线槽轴3连接至驱动机构(附图中未示出)，能够在该驱动机构的驱动下顺时针或逆时针旋转，并带动切割线2运动。在实际线切割过程中，主动线槽轴3通常顺时针旋转一段时间，再逆时针旋转一段时间，如此循环往复运动。

在本实施例中，加工台1的下表面上固定设置有工件装载件11，用于夹持和紧固待切割的工件6。

进一步地，本实施例的多线切割装置还包括调节机构5，调节机构5包括控制单元51和连接至控制单元51的两个伸缩单元52，两个伸缩单元52均设置在上切割线网下方，且两个伸缩单元52分别靠近主动线槽轴3一侧和从动线槽轴4一侧。在本实施例中，两个伸缩单元52均设置在主动线槽轴3、从动线槽轴4、切割线网和下切割线网围成的空间内。

控制单元51用于在对工件6进行线切割时，控制主动线槽轴3一侧或从动线槽轴4一侧的伸缩单元52将上切割线网顶起一设定高度，以使上切割线网与下切割线网具有一夹角。

在本实施例中，控制单元51具体用于当切割线2从主动线槽轴3一侧向从动线槽轴4一侧加速或匀速运动时，控制靠近主动线槽轴3一侧的伸缩单元52顶起上切割线网；以及当切割线2从从动线槽轴4一侧向主动线槽轴3一侧加速或匀速运动时，控制靠近从动线槽轴4一侧的伸缩单元52顶起上切割线网。

进一步地，控制单元51具体用于当切割线2从主动线槽轴3一侧向从动线槽轴4一侧减速运动时，控制靠近主动线槽轴3一侧的伸缩单元52从顶起上切割线网的位置处缩回；以及当切割线2从从动线槽轴4一侧向主动线槽轴3一侧减速运动时，控制靠近从动线槽轴4一侧的伸缩单元52从顶起上切割线网的位置处缩回。

具体地，请参见图3，图3是本发明实施例提供一种主动线槽轴往复运动过程的曲线示意图。在多线切割装置的运行过程中，主动线槽轴3带动切割线2做往复循环运动。在本实施例中，主动线槽轴3首先顺时针旋转，带动切割线2正向运动800mm左右，随后，主动线槽轴3逆时针旋转，带动切割线2反向运动600mm，正向运动加反向运动为一个完整的循环，如此往复运动。当然，切割线正向和反向运动的距离可以根据实际需要进行具体设定。

也就是说，当主动线槽轴3沿顺时针方向旋转，使上切割线网处的切割线2从主动线槽轴3一侧向从动线槽轴4一侧加速或匀速运动，控制单元51控制靠近主动线槽轴3一侧的伸缩单元52顶起上切割线网，当主动线槽轴3沿顺时针方向旋转一段时间之后，需要改变主动线槽轴3的旋转方向，此时主动线槽轴3开始沿顺时针方向减速，使切割线2对应减速，同时控制单元51控制靠近主动线槽轴3一侧的伸缩单元52慢慢缩回至原始位置。随后，主动线槽轴3开始沿逆时针方向旋转，使上切割线网处的切割线2从从动线槽轴4一侧向主动线槽轴3一侧加速或匀速运动，此时，控制单元51控制靠近从动线槽轴4一侧的伸缩单元52顶起上切割线网，当主动线槽轴3沿逆时针方向旋转一段时间之后，会再次改变主动线槽轴3的旋转方向，此时主动线槽轴3沿逆时针方向减速，使得切割线2对应减速，同时控制单元51控制靠近从动线槽轴4一侧的伸缩单元52慢慢缩回至原始位置，随后，两侧的伸缩单元52往复进行伸出和缩回动作。

进一步地，当所述上切割线网切割工件6的中间位置时，控制单元51控制主动线槽轴3一侧和从动线槽轴4一侧的伸缩单元52均处于缩回位置。例如，该中间位置为工件6中间的1/3段时。具体地，当所述上切割线网切割工件6的1/3段时，主动线槽轴3一侧和从动线槽轴4一侧的伸缩单元52均一直保持在缩回位置，即不与切割线接触。

更进一步地，控制单元51用于当上切割线网切割工件6的前1/3段时，控制主动线槽轴3一侧或从动线槽轴4一侧的伸缩单元52顶起上切割线网；当上切割线网切割工件6的中间1/3段时，控制主动线槽轴3一侧或从动线槽轴4一侧的伸缩单元52处于缩回位置；当上切割线网切割工件6的后1/3段时，控制主动线槽轴3一侧或从动线槽轴4一侧的伸缩单元52顶起上切割线网。

具体地，请参见图4，图4是本发明实施例提供一种待切割的单晶硅棒的截面示意图，其中显示了不同部分的尺寸。在本实施例中，待切割的单晶硅棒的直径大约为300mm，因此，将竖向直径方向的上100mm称为上部，中间100mm中部，下100mm称为下部。

如上所述，由于切割过程中单晶硅棒不断向下运动，切割线的振动幅度在切割单晶硅棒上下两端时较大，而切割中间部位时相对较小。为了维持振动幅度的相对平衡，当切割该单晶硅棒的下部100mm时，控制单元51控制主动线槽轴3一侧或从动线槽轴4一侧的伸缩单元52顶起上切割线网。此时，如果主动线槽轴3沿顺时针方向旋转，控制单元51控制靠近主动线槽轴3一侧的伸缩单元52顶起上切割线网，如果主动线槽轴3沿逆时针方向旋转，控制单元51控制靠近从动线槽轴4一侧的伸缩单元52顶起上切割线网。

当切割该单晶硅棒的中部100mm时，控制单元51控制主动线槽轴3一侧或从动线槽轴4一侧的伸缩单元52一直保持在缩回位置。此时，无论主动线槽轴3沿顺时针方向或逆时针方向旋转，两个伸缩单元52始终处于缩回状态。

当切割该单晶硅棒的上部100mm时，控制主动线槽轴3一侧或从动线槽轴4一侧的伸缩单元52顶起上切割线网。此时，与切割下部类似，如果主动线槽轴3沿顺时针方向旋转，控制单元51控制靠近主动线槽轴3一侧的伸缩单元52顶起上切割线网，如果主动线槽轴3沿逆时针方向旋转，控制单元51控制靠近从动线槽轴4一侧的伸缩单元52顶起上切割线网。

更进一步地，请参见图5和图6，图5是本发明实施例提供的一种伸缩单元的结构示意图；图6是图5中A区域的放大视图。本实施例的两个伸缩单元52具有相同的结构和尺寸。该伸缩单元52包括带槽导轮521、伸缩杆组件522和电机523，伸缩杆组件522固定在带槽导轮521的下方；电机523连接控制单元51，用于根据控制单元51发送的控制信号驱动伸缩杆组件522伸长或缩短，以调节带槽导轮521顶起上切割线网的高度。

本实施例的带槽导轮521呈圆筒状且其中心轴平行于主动线槽轴3的中心轴，带槽导轮521用于支撑切割线2。具体地，带槽导轮521的外周并列设置有多个相同的凹槽5211，当带槽导轮521向上伸长时，所述上切割线网中不同位置的切割线2能够分别伸入到对应位置的凹槽5211中。也就是说，不同位置的切割线2会被带槽导轮521同时顶起，以减少整个上切割线网的切割线振动。

在本实施例中，带槽导轮521向上伸长的最大高度是80-120mm，即，上切割线被顶起的最大高度是80-120mm。当所述上切割线网被顶起时，顶起长度较短一侧的上切割线网与所述下切割线网的夹角为3-4°，或者；顶起长度较长一侧的上切割线网与所述下切割线网的夹角为1-3°。

进一步地，伸缩杆组件522包括丝杆5221、涡轮5222和蜗杆5223，蜗杆5223的一端连接至电机523的旋转轴，另一端与涡轮5222啮合，丝杆5221与涡轮5222同轴啮合，以将电机523的旋转运动转换为丝杆5221的垂直运动。实际中，伸缩杆组件522的运动方式为：通过电机523驱动蜗杆5223转动，蜗杆5223带动涡轮5222转动，随后涡轮5222驱动丝杆5221向上推起或者收回，从而达到带槽导轮521垂直上下运动的目的。

此外，伸缩单元52还包括导轮套筒524，其中，导轮套筒524套设在带槽导轮521的外部。具体地，导轮套筒524的两端分别与带槽导轮521的端部活动连接，带槽导轮521能够相对于导轮套筒524转动，伸缩杆组件522固定在导轮套筒524上，从而使得伸缩杆组件522能够带动带槽导轮521上升或下降但又不影响带槽导轮521沿其中心轴的转动。

在本实施例中，该伸缩杆组件522包括三个丝杆5221，其沿长度方向固定在导轮套筒524的不同位置处，对应的，该伸缩杆组件522包括涡轮5222，每个丝杆5221对应一个涡轮5222，并且，三个丝杆5221与同一个蜗杆5223啮合，使得蜗杆5223驱动三个丝杆5221同时同幅度的上升或下降，以保持带槽导轮521均处于水平状态。

以下以切割单晶硅棒为例对本实施例的多线切割装置的工作过程进行详细描述。

请参见图7a至图7c，图7a至图7c是主动线槽轴沿顺时针旋转且工件在不同高度时，本发明实施例的调节机构的位置示意图，其中，图7a为切割单晶硅棒下部时调节机构的位置示意图，图7b为切割单晶硅棒中部时调节机构的位置示意图，图7c为切割单晶硅棒上部时调节机构的位置示意图。如图7a所示，当主动线槽轴3顺时针旋转，工件(单晶硅棒)6左侧的切割线2上的振动幅度较大，此时，控制单元51控制位于主动线槽轴3一侧的伸缩单元52向上伸长，并支撑切割线2，有效减小了切割线振动。此时，伸出的伸缩单元52与主动线槽轴3之间的切割线2的倾斜角度a1为3-4°，与从动线槽轴4之间的切割线2的倾斜角度a2为1-3°。如图7b所示，当切割单晶硅棒的中部时，相比于切割下部，此时切割线2上的振动已经减小，控制单元51控制位于主动线槽轴3一侧的伸缩单元52向下缩回。如图7c所示，当切割到该单晶硅棒的上部且主动线槽轴3仍按顺时针旋转，相比于切割中部，该单晶硅棒左侧的切割线2上的振动幅度又会变大，此时，控制单元51控制位于主动线槽轴3一侧的伸缩单元52再次向上伸出，并支撑切割线2，有效减小了此时的切割线振动。

类似地，请参见图8a和图8b，图8a至图8b是主动线槽轴沿逆时针旋转且单晶硅棒在不同高度时，本发明实施例的调节机构的位置示意图。如图8a所示，当切割该单晶硅棒的下部且主动线槽轴3逆时针旋转，该单晶硅棒右侧的切割线2上的振动幅度较大，此时，控制单元51控制位于从动线槽轴4一侧的伸缩单元52向上伸长，并支撑切割线2，有效减小了此时的切割线振动。优选地，此时，该伸长的伸缩单元52与主动线槽轴3之间的切割线的倾斜角度a1为1-3°，该伸缩单元52与从动线槽轴4之间的切割线的倾斜角度a2为3-4°。与如图7b所示的情况类似，当切割到该单晶硅棒的中部时，相比于切割下部，此时切割线上的振动已经减小，此时，控制单元51控制位于从动线槽轴4一侧的伸缩单元52向下缩回；如图8b所示，当切割到该单晶硅棒的上部且主动线槽轴3逆时针旋转，相比于切割中部，该单晶硅棒右侧的切割线2上的振动幅度又会变大，此时，控制单元51控制位于从动线槽轴4一侧的伸缩单元52再次向上伸出，并支撑切割线2，有效减小了此时的切割线振动。

此外，本实施例的控制单元51能够根据加工台1的移动距离和移动速度以及主动线槽轴3的转动方向和转动速度，预先设定伸缩单元52的伸缩时间、伸缩高度等。实际上，在单晶硅棒的多线切割过程之前会根据实际需求预先设定的主动线槽轴3的运动轨迹(包括转动速度和正反转时长等)以及加工台1的移动距离和移动速度，根据这些预设参数，可以计算伸缩单元52的伸缩时间、伸缩高度等参数，并在控制单元51中预先存储这些参数。在随后的切割过程中，控制单元51可以根据这些预先存储的参数控制电机523的转向和转速，以在相应的时刻控制所述主动线槽轴一侧和所述从动线槽轴一侧的伸缩单元伸长或缩回，顶起相应一侧的切割线，从而调节切割线上的振动幅度。

综上，本实施例的多线切割装置通过可伸缩的调节机构，能够支撑切割线形成的上切割线网，将切割线的振动幅度控制在一定的范围内，从而提高切割出来的硅片的品质。本实施例的多线切割装置包括控制单元，能够根据加工台的移动距离和移动速度以及主动线槽轴的转动方向和转动速度，智能控制切割过程中调节机构中两个伸缩单元的伸长和缩回，从而提高了线切割的智能化和效率。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种多线切割装置，其特征在于，包括加工台(1)、切割线(2)、主动线槽轴(3)、从动线槽轴(4)和调节机构(5)，其中，

所述加工台(1)设置于所述切割线(2)上方，所述加工台(1)能够沿竖直方向移动，使得通过所述切割线(2)对其上装载的工件(6)进行线切割；

所述切割线(2)缠绕在所述主动线槽轴(3)与所述从动线槽轴(4)之间，形成上切割线网和下切割线网；

所述调节机构(5)包括控制单元(51)和连接至所述控制单元(51)的两个伸缩单元(52)，两个所述伸缩单元(52)均设置在所述上切割线网下方，且分别靠近所述主动线槽轴(3)一侧和所述从动线槽轴(4)一侧；

所述控制单元(51)用于在对所述工件(6)进行线切割时，控制所述主动线槽轴(3)一侧或所述从动线槽轴(4)一侧的伸缩单元(52)将所述上切割线网顶起一设定高度；

所述控制单元(51)具体用于当所述切割线(2)从所述主动线槽轴(3)一侧向所述从动线槽轴(4)一侧加速或匀速运动时，控制靠近所述主动线槽轴(3)一侧的伸缩单元(52)顶起所述上切割线网；或者，

当所述切割线(2)从所述从动线槽轴(4)一侧向所述主动线槽轴(3)一侧加速或匀速运动时，控制靠近所述从动线槽轴(4)一侧的伸缩单元(52)顶起所述上切割线网；

所述控制单元(51)具体用于当所述切割线(2)从所述主动线槽轴(3)一侧向所述从动线槽轴(4)一侧减速运动时，控制靠近所述主动线槽轴(3)一侧的伸缩单元(52)从顶起所述上切割线网的位置处缩回；或者，

当所述切割线(2)从所述从动线槽轴(4)一侧向所述主动线槽轴(3)一侧减速运动时，控制靠近所述从动线槽轴(4)一侧的伸缩单元(52)从顶起所述上切割线网的位置处缩回。

2.根据权利要求1所述的多线切割装置，其特征在于，所述控制单元(51)还用于当所述上切割线网切割所述工件(6)的中间位置时，控制所述主动线槽轴(3)一侧和所述从动线槽轴(4)一侧的伸缩单元(52)均处于缩回位置。

3.根据权利要求1所述的多线切割装置，其特征在于，当所述上切割线网被顶起时，顶起长度较短一侧的上切割线网与所述下切割线网的夹角为3-4°；顶起长度较长一侧的上切割线网与所述下切割线网的夹角为1-3°。

4.根据权利要求1所述的多线切割装置，其特征在于，所述伸缩单元(52)包括依次连接的带槽导轮(521)、伸缩杆组件(522)和电机(523)，其中，

所述伸缩杆组件(522)固定在所述带槽导轮(521)的下方；

所述电机(523)连接所述控制单元(51)，用于根据所述控制单元(51)发送的控制信号驱动所述伸缩杆组件(522)伸长或缩短，以调节所述带槽导轮(521)顶起所述上切割线网的高度。

5.根据权利要求4所述的多线切割装置，其特征在于，所述带槽导轮(521)向上伸长的最大高度为80-120mm。

6.根据权利要求4所述的多线切割装置，其特征在于，所述带槽导轮(521)的外周平行设置有多个凹槽(5211)，当所述带槽导轮(521)向上伸长时，所述上切割线网中不同位置的切割线分别伸入到对应位置的所述凹槽(5211)中。

7.根据权利要求4所述的多线切割装置，其特征在于，所述伸缩杆组件(522)包括丝杆(5221)、涡轮(5222)和蜗杆(5223)，所述蜗杆(5223)的一端连接至所述电机(523)的旋转轴，另一端与所述涡轮(5222)啮合；所述丝杆(5221)与所述涡轮(5222)同轴啮合，以将所述电机(523)的旋转运动转换为所述丝杆(5221)的垂直运动。

8.根据权利要求4至7中任一项所述的多线切割装置，其特征在于，所述伸缩单元(52)还包括导轮套筒(524)，其中，

所述带槽导轮(521)以可转动的方式设置在所述导轮套筒(524)内部，且所述伸缩杆组件(522)固定在所述导轮套筒(524)上。

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